JP2020193356A - 成膜装置用部品及びこれを備えた成膜装置 - Google Patents
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Abstract
Description
溶射膜は一般に、ブラスト(Blast)処理表面に比べてその表面粗さが大きいので、溶射膜上に付着した被膜(以下、付着膜と呼ぶ)はアンカー効果を得やすいことが知られている。また、溶射膜は付着膜との接触面積が大になることから剥離し難くなる傾向がある。さらに、溶射膜はある程度の空孔率を有しており、その空孔の存在によってやや変形し易く、その度合いに応じて付着膜の剥離応力が緩和されることも公知である。
このため、内部応力の高い付着膜に対して、剥離や脱落の発生が起こりにくい成膜装置用部品及びこれを備えた成膜装置の開発が期待されていた。
請求項2に記載の発明は、請求項1において、前記溶射膜の密着力[kg/m2]が6以上であることを特徴とする。
請求項3に記載の発明は、請求項1において、前記Al合金の添加元素がSiまたはTiであることを特徴とする。
請求項4に記載の発明は、請求項1において、前記Cu合金の添加元素がAlであることを特徴とする。
請求項6に記載の発明は、請求項5において、前記溶射膜の密着力[kg/m2]が6以上であることを特徴とする。
請求項7に記載の発明は、請求項5において、前記Al合金の添加元素がSiまたはTiであることを特徴とする。
請求項8に記載の発明は、請求項5において、前記Cu合金の添加元素がAlであることを特徴とする。
アーク溶射とは、矢印の方向に連続的に送給される2本の溶射材料(Spray coating wire)の先端で直流アーク放電を発生させるために、当該2本の溶射材料の間に、所定の電圧/電流を印加することにより、当該2本の溶射材料の先端近傍にアーキング(Arcing)を発生させる。同時に、吹き付けガス(Compressor Air)を用い、アーキングによって溶融した金属を噴霧化(Atomizing)する。この噴霧化された粒子(Arc spray particles)を、エアーキャップ(Air Cap)に設けた開口部を通して、対象基材(不図示)に吹き付けることにより、対象基材(不図示)上に堆積させて、所望の溶射膜3が形成される。吹き付けガスとしては、たとえば、空気や窒素ガス、アルゴンガスなどが好適に用いられる。
エアーキャップに設けた開口部の穴径は、小さければ小さいほど、エアーキャップ内の圧力が上昇し、微細な噴霧化が可能となる。これにより、対象基材上に形成された溶射膜3は、表面粗さが小さく、密着力が高い傾向となる。
これに対して、エアーキャップに設けた開口部の穴径を大きくすると、エアーキャップ内の圧力が下がり、噴霧化が進まなくなる。このため、対象基材上に形成された溶射膜3は、表面粗さが大きく、密着力が低下する傾向となる。
このような範囲の表面粗さRaや密着力を備えたAlからなる溶射膜3を作製するための溶射条件としては、Air capの穴径は大きい方が好ましい。電圧は安定したアーキングできる範囲で小さい方が好ましい。ガス圧は溶射膜3の密着力の低下が生じない範囲で低い方が望ましい。具体的には、電圧[V]は30〜33、電流[A]は150〜200、ガス種は空気、アルゴンあるいは窒素、ガス圧[bar]は28〜35、Air capの穴径[mm]はφ12〜14、が各々好適である。
フレーム溶射法は、ワイヤーを溶かしながら吹き付ける方法のため、任意に溶融量を調節することが困難である。このため、対象基材上に形成された溶射膜3は、表面粗さが小さく、表面プロファイルが整ったものとなる。
プラズマ溶射法は、使用する材料が数十〜百μm程度の粒子を用い、プラズマ(plasma)の炎で溶融させて吹き付け、対象基材上に堆積して溶射膜3を形成する。その際、粒子はプラズマの高い熱量で完全に溶融し高い熱量を持っている。このため、対象基材上に堆積する際には、粒子は大きく扁平し、表面粗さが小さく、表面プロファイルが整った溶射膜3が形成される。
実施例1は、平面寸法80mm×100mm、厚さ2mmのSUS304製基材を用い、その表面に、アーク溶射法を用いてAl単体からなる溶射膜3(厚さ350μm)を形成した。SUS304製基材の表面には、溶射膜の形成前に、予め、アンカー効果が得られるようにドライブラスト処理を行い、表面を荒らした。溶射法はアーク溶射法にて行った。後述する表1に示す溶射条件の異なる4つの試料(Al−1、Al−2、Al−3、Al−4)を作製した。
また、これらとは別に、添加元素がSiまたはTiのAl合金からなる溶射膜も作製した。その際、Siの含有率は4.81〜11.6at%、Tiの含有率は1.1〜2.9at%の範囲内とした。
比較例1は、実施例1と同基材の表面にAl単体からなる溶射膜を、フレーム溶射法により同様の厚さ(厚さ350μm)となるように形成した。後述する表1に示す1つの試料(Ref.Flame Al)を作製した。
実施例2は、実施例1と同じ基材を用い、その表面に、アーク溶射法を用いてCu−Al合金からなる溶射膜3(厚さ350μm)を形成した。Cu−Al合金の組成は、Cu−7.9at%Alとした。基材の表面には、実施例1と同様に、溶射膜の形成前に、予め、アンカー効果が得られるようにドライブラスト処理を行い表面を荒らした。溶射法はアーク溶射法にて行った。後述する表1に示す溶射条件の異なる2つの試料(Cu−Al−1、Cu−Al−2)を作製した。
また、これらとは別に、添加元素を含まないCu膜(Cu単体からなる溶射膜)とCu−Al合金からなる溶射膜も作製した。その際、Cu−Al合金からなる溶射膜は、Alの含有率を6.7〜11.1at%の範囲内とした。
(a1)アーク溶射法を用いることにより、フレーム溶射法で作製された試料より、Raが大きく、かつ、密着力の大きな溶射膜を形成することができる(試料番号1と試料番号2の比較)。
(a2)Al単体からなる溶射膜では、表面粗さ[μm]が15〜70の範囲内であり、かつ、密着力[kg/m2]が6.51〜7.11の範囲内となる(試料番号2〜5)。
(a3)Cu−Al合金からなる溶射膜では、表面粗さ[μm]が20〜60の範囲内であり、かつ、密着力[kg/m2]が6.08〜8.82の範囲内となる(試料番号6〜7)。
(a4)溶射膜の表面粗さが、上記範囲を超えた場合には、溶射膜の強度が低下し、溶射粒子の脱落が起こるようになり、パーティクルの発生量が増加することが分かった。
(a5)溶射膜の膜厚は、300〜600μmなければ、所望の表面粗さが確保できない(試料番号2と試料番号3〜5の比較)。
(a6)密着力の評価結果より、溶射膜の膜厚を増やすことで、応力吸収量が増加する(強度の高い溶射膜が得られる)ことが分かった。
また、表1には示さないが、添加元素がSiまたはTiのAl合金からなる溶射膜においても、上述したAl単体からなる溶射膜(試料番号2〜5)と同様の結果が得られた。また、Cu単体からなる溶射膜においても、上述したCu−Al合金からなる溶射膜(試料番号6〜7)と同様の結果が得られた。
また、アーク溶射法を用いて形成された本発明に係るCu単体またはCu合金からなる溶射膜についても、Al単体またはAl合金からなる溶射膜と同様の作用・効果が確認された。
ゆえに、本発明は、内部応力の高い付着膜に対して、剥離や脱落の発生が起こりにくい成膜装置用部品及びこれを備えた成膜装置の提供に貢献する。
く、本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
Claims (8)
- 成膜雰囲気に晒される表面に、Al若しくはAl合金、又は、Cu若しくはCu合金からなる溶射膜が形成された成膜装置用部品であって、
前記溶射膜の表面粗さRa[μm]が50〜70の範囲内であることを特徴とする。 - 前記溶射膜の密着力[kg/m2]が、6以上であることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置用部品。
- 前記Al合金の添加元素がSiまたはTiであることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置用部品。
- 前記Cu合金の添加元素がAlであることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置用部品。
- 成膜室と、前記成膜室内に配置され、表面に溶射膜が形成された成膜装置用部品とを備えた成膜装置であって、
前記溶射膜は、Al若しくはAl合金、又は、Cu若しくはCu合金からなり、
前記溶射膜の表面粗さRa[μm]が50〜70の範囲内であることを特徴とする成膜装置。 - 前記溶射膜の密着力[kg/m2]が、6以上であることを特徴とする請求項5に記載の成膜装置。
- 前記Al合金の添加元素がSiまたはTiであることを特徴とする請求項5に記載の成膜装置。
- 前記Cu合金の添加元素がAlであることを特徴とする請求項5に記載の成膜装置。
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