JP2017177335A - 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドユニットの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】コンプライアンスシートの接合不良を抑制して低コストで接着することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】複数のアクチュエーター３００と、前記アクチュエーター３００に対応して設けられた複数の圧力室１２と、を備えた液体噴射ヘッド２００であって、前記複数の圧力室１２は、共通の共通液室１００に連通し、前記共通液室１００を画成する第１部材４０には、前記共通液室１００の上流側に液体の振動を吸収するコンプライアンスシート１３０と、前記コンプライアンスシート１３０を貫通して形成された導入口１３２と、が設けられ、前記第１部材４０の前記導入口１３２の開口周縁部には、当該コンプライアンスシート１３０が接合される受け面４５ａを有する庇部４５が設けられ、前記庇部４５の前記導入口１３２とは反対側には、前記導入口１３２から導入された液体を受ける受け部４２ｂが設けられている。【選択図】図６

Description

本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドを有する液体噴射ヘッドユニット、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドユニットの製造方法に関し、特に液体としてインクを噴射するインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録ヘッドユニット、インクジェット式記録装置及びインクジェット式記録ヘッドユニットの製造方法に関する。

液体噴射ヘッドとしては、例えば、圧力発生手段の圧力変化を利用してノズルからインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。インクジェット式記録ヘッドでは、インク滴を吐出するノズルと連通する流路の壁の一部を、インクの圧力変化に応じて変形する可撓性を有するプレート（コンプライアンスシート）で形成したものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

この特許文献１のインクジェット式記録ヘッドは、レーザー加工やエッチング加工によって凹部又は開口を形成した金属からなるプレートを積層することで流路を形成し、積層したプレートに樹脂又は金属からなる可撓性を有するプレート（コンプライアンスシート）を接着することで形成されている。

特開２００４−１０６３９５号公報

しかしながら、コンプライアンスシートが接着された被接着部材の導入口に上流の流路を有する流路部材を接着するには、導入口の周囲の被接着部材に剛性をもたせる必要があり、剛性が不足すると、接合不良による剥離やインクの漏出が生じるという問題がある。

また、金属からなる剛性部材にコンプライアンスシートをラミネートした接着体を用いて、コンプライアンスシートを被接着部材に接着することもできるが、剛性部材を用いることで、材料コストが高くなってしまうという問題がある。また、特許文献１のように剛性部材をそのまま流路を構成する部材として用いる場合であっても、剛性部材にコンプライアンスシートをラミネートした後、剛性部材の余分な部分をエッチングやレーザー加工等によって除去しなくてはならず、製造コストが高くなってしまうという問題がある。

本発明はこのような事情に鑑み、コンプライアンスシートの接合不良を抑制して低コストで接着することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドユニットの製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、複数のアクチュエーターと、前記アクチュエーターに対応して設けられた複数の圧力室と、を備えた液体噴射ヘッドであって、前記複数の圧力室は、共通の共通液室に連通し、前記共通液室を画成する第１部材には、前記共通液室の上流側に液体の振動を吸収するコンプライアンスシートと、前記コンプライアンスシートを貫通して形成された導入口と、が設けられ、前記第１部材の前記導入口の開口周縁部には、当該コンプライアンスシートが接合される受け面を有する庇部が設けられ、前記庇部の前記導入口とは反対側には、前記導入口から導入された液体を受ける受け部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、コンプライアンスシートを庇部によって支持することができるため、コンプライアンスシートの導入口の周囲に上流の流路を有する部材を容易に接合することができる。また、コンプライアンスシートの導入口の剛性を確保するためにコンプライアンスシートと一体となった剛性部材が不要となる。

ここで、前記第１部材と前記コンプライアンスシートとが接着剤で接着されていることが好ましい。これによれば、第１部材とコンプライアンスシートを接着剤によって確実に接合することができる。

また、本発明の他の態様は、上記態様に記載の液体噴射ヘッドを複数具備し、複数の前記液体噴射ヘッドの前記コンプライアンスシートが共通して固定されるホルダーをさらに具備することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットにある。
かかる態様では、コンプライアンスシートが設けられた複数の液体噴射ヘッドを共通するホルダーに固定することができる。

ここで、前記ホルダー及び前記第１部材が、金属ではない部材であることが好ましい。これによれば、第１部材、フィルム及びホルダーにおいて、金属と接着剤との界面を減少させて、接着強度を向上することができる。また、第１部材及びホルダーとして金属以外の材料を用いることで、コストを低減することができる。

また、前記第１部材と前記ホルダーとが同じ材料で形成されていることが好ましい。これによれば、第１部材とホルダーとの線膨張係数の差を低減して、線膨張係数差による第１部材及びホルダーの反りや剥離を抑制すると共にフィルムのよりや剥離を抑制することができる。

さらに、本発明の他の態様は、上記態様に記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、コンプライアンスシートの剥離や液体の漏出を抑制した液体噴射装置を実現できる。

また、本発明の他の態様は、複数の液体噴射ヘッドと、複数の前記液体噴射ヘッドが共通して接合されるホルダーと、を具備し、前記液体噴射ヘッドのそれぞれには、複数のアクチュエーターと、前記アクチュエーターに対応して設けられた複数の圧力室と、前記複数の圧力室に共通して連通する共通液室と、を具備し、前記共通液室を画成する第１部材には、前記共通液室の上流側に液体の振動を吸収するコンプライアンスシートと、前記コンプライアンスシートを貫通して形成された導入口と、が設けられ、前記第１部材の前記導入口の開口周縁部には、当該コンプライアンスシートが接合される受け面を有する庇部が設けられ、前記庇部の前記導入口とは反対側には、前記導入口から導入された液体を受ける受け部が設けられた液体噴射ヘッドユニットの製造方法であって、前記第１部材の少なくとも前記受け面に前記コンプライアンスシートを接合して前記液体噴射ヘッドを形成する工程と、複数の前記液体噴射ヘッドの前記コンプライアンスシートを前記ホルダーに接着剤を介して接合する工程と、を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法にある。
かかる態様では、第１部材にコンプライアンスシートを接合することで、共通液室の開口をコンプライアンスシートで封止して、共通液室内に異物が侵入するのを抑制することができる。また、コンプライアンスシートを第１部材に接合した後で、複数の液体噴射ヘッドをホルダーに接着することで、複数の液体噴射ヘッドの液体噴射面の高さを揃えることができると共に、ホルダーと液体噴射ヘッドとを接着する接着剤によって寸法ばらつきを吸収することができる。

実施形態１に係るヘッドユニットの分解斜視図である。 実施形態１に係るヘッドユニットの平面図である。 実施形態１に係るヘッドユニットの断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの要部平面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。 実施形態１に係る記録ヘッドの要部を拡大した断面図である。 実施形態１に係るヘッドユニットの製造方法を示す断面図である。 実施形態１に係るヘッドユニットの製造方法を示す断面図である。 実施形態１に係るヘッドユニットの製造方法を示す断面図である。 一実施形態に係る記録装置の概略図である。

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットの分解斜視図であり、図２は、インクジェット式記録ヘッドユニットの平面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ′線断面図である。

図示するようにインクジェット式記録ヘッドユニット（以下、単にヘッドユニット１とも言う）１は、インクをインク滴として吐出する複数のインクジェット式記録ヘッド２００（以下、単に記録ヘッド２００とも言う）と、複数の記録ヘッド２００を共通して保持するホルダー２１０と、複数の記録ヘッド２００の液体噴射面側を覆うカバーヘッド２２０と、を具備する。

記録ヘッド２００の各々には、インクをインク滴として吐出するノズル２１が並設されている。本実施形態では、ノズル２１が並設される方向を第１の方向Ｘと称する。また、記録ヘッド２００の各々には、ノズル２１が第１の方向Ｘに並設された列が複数列、本実施形態では、２列設けられている。このノズル２１の列の列設方向を、以降、第２の方向Ｙと称する。さらに、第１の方向Ｘ及び第２の方向Ｙの双方に交差する方向を本実施形態では、第３の方向Ｚと称し、第３の方向Ｚにおいて、ホルダー２１０側をＺ１側、記録ヘッド２００側をＺ２側と称する。なお、本実施形態では、各方向（Ｘ、Ｙ、Ｚ）の関係を直交とするが、各構成の配置関係が必ずしも直交するものに限定されるものではない。

このような記録ヘッド２００が、複数、本実施形態では４個、第２の方向Ｙに並設されてホルダー２１０に保持されている。

ホルダー２１０は、液体としてインクが貯留されたインクタンクやインクカートリッジなどの液体貯留手段が直接又はチューブ等の供給管を介して接続される接続部２１１をＺ１側に有する。また、ホルダー２１０には、一端がＺ１側の接続部２１１に開口し、他端がＺ２側に開口する複数のインク連通路２１２が設けられている。接続部２１１のインク連通路２１２の開口部分には、液体貯留手段と接続される供給部２１３が、インク内の気泡やゴミなどのフィルター２１４を介して固定されている。本実施形態では、供給部２１３は、Ｚ１側に向かって針状に突出するものとした。

また、ホルダー２１０のＺ２側の面には、記録ヘッド２００が複数、本実施形態では、４個が第２の方向Ｙに並設されて固定されており、供給部２１３から供給されたインクは、インク連通路２１２を介して記録ヘッド２００に供給される。

さらに、記録ヘッド２００のノズル２１が開口するＺ２側には、カバーヘッド２２０が設けられている。カバーヘッド２２０は、記録ヘッド２００毎にノズル２１を露出する露出開口部２２１を有する。すなわち、カバーヘッド２２０には、４つの露出開口部２２１が設けられている。このようなカバーヘッド２２０の露出開口部２２１の周囲に記録ヘッド２００の液体噴射面２０ａ側が固定されている。すなわち、複数の記録ヘッド２００は、液体噴射面２０ａ側であるＺ２側の面が共通するカバーヘッド２２０に固定されている。なお、カバーヘッド２２０と記録ヘッド２００との固定方法としては、例えば、接着剤による接着や溶着等が挙げられる。

このようなヘッドユニット１に用いられる記録ヘッド２００の一例についてさらに図４〜図９を参照して説明する。なお、図４は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図５は、インクジェット式記録ヘッドの流路形成基板の要部平面図であり、図６は、図５のＢ−Ｂ′線断面図であり、図７は、図５のＣ−Ｃ′線断面図であり、図８は、図６のＤ-Ｄ′線断面図であり、図９は、図８の要部を拡大した図である。また、本実施形態では、記録ヘッド２００の各方向について、ヘッドユニット１に搭載された際の方向、すなわち、第１の方向Ｘ、第２の方向Ｙ及び第３の方向Ｚに基づいて説明する。もちろん、記録ヘッド２００のヘッドユニット１内の配置は、以下に示すものに限定されるものではない。

図示するように、本実施形態の記録ヘッド２００を構成する流路形成基板１０には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力室１２が第１の方向Ｘに沿って並設されている。また、流路形成基板１０には、圧力室１２が第１の方向Ｘに並設された列が第２の方向Ｙに複数列、本実施形態では、２列設けられている。

このような流路形成基板１０の第３の方向ＺのＺ２側には、連通板１５と、ノズルプレート２０とが順次積層されている。

連通板１５には、圧力室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６が設けられている。連通板１５は、流路形成基板１０よりも大きな面積を有し、ノズルプレート２０は流路形成基板１０よりも小さい面積を有する。このように連通板１５を設けることによってノズルプレート２０のノズル２１と圧力室１２とを離せるため、圧力室１２の中にあるインクは、ノズル２１付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート２０は圧力室１２とノズル２１とを連通するノズル連通路１６の開口を覆うだけで良いので、ノズルプレート２０の面積を比較的小さくすることができ、コストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート２０のノズル２１が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面２０ａと称する。

また、連通板１５には、複数の圧力室１２に共通して連通する共通液室であるマニホールド１００の一部を構成する第１マニホールド部１７と、第２マニホールド部１８とが設けられている。

第１マニホールド部１７は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通して設けられている。また、第２マニホールド部１８は、連通板１５を第３の方向Ｚに貫通することなく、連通板１５のノズルプレート２０側に開口して設けられている。

さらに、連通板１５には、圧力室１２の第２の方向Ｙの一端部に連通する供給連通路１９が、圧力室１２の各々に対して独立して設けられている。この供給連通路１９は、第２マニホールド部１８と圧力室１２とを連通する。すなわち、供給連通路１９は、マニホールド１００に対して、第１の方向Ｘに並設されている。

ノズルプレート２０には、各圧力室１２とノズル連通路１６を介して連通するノズル２１が形成されている。すなわち、ノズル２１は、同じ種類の液体（インク）を噴射するものが第１の方向Ｘに並設され、この第１の方向Ｘに並設されたノズル２１の列が第２の方向Ｙに２列形成されている。

また、連通板１５の第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８が開口するＺ２側の面には、カバー４９が接合されており、第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８の開口は、カバー４９によって塞がれている。なお、本実施形態では、記録ヘッド２００にカバー４９を設け、カバー４９のＺ２側の面に上述したカバーヘッド２２０が接合されるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、カバー４９を設けずに、カバーヘッド２２０によって第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８の開口を塞ぐようにしてもよい。

一方、流路形成基板１０の連通板１５とは反対面側であるＺ１側には、振動板５０が形成されている。本実施形態では、振動板５０として、流路形成基板１０側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜５１と、弾性膜５１上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５２と、を設けるようにした。なお、圧力室１２等の液体流路は、流路形成基板１０を一方面側（ノズルプレート２０が接合された面側）から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力室１２の他方面は、弾性膜５１によって画成されている。

また、流路形成基板１０の振動板５０上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とを有する圧電アクチュエーター３００が設けられている。本実施形態では、圧電アクチュエーター３００が、詳しくは後述する半導体素子である駆動回路１２１によって駆動されるアクチュエーター（圧力発生手段）となっている。ここで、本実施形態では、第１電極６０は、圧力室１２毎に切り分けてあり、詳しくは後述する能動部毎に独立する個別電極を構成する。この第１電極６０は、第１の方向Ｘにおいては、圧力室１２の幅よりも狭い幅で形成されている。すなわち、圧力室１２の第１の方向Ｘにおいて、第１電極６０の端部は、圧力室１２に対向する領域の内側に位置している。また、第２の方向Ｙにおいて、第１電極６０の両端部は、それぞれ圧力室１２の外側まで延設されている。

圧電体層７０は、第２の方向Ｙが所定の幅となるように、第１の方向Ｘに亘って連続して設けられている。圧電体層７０の第２の方向Ｙの幅は、圧力室１２の第２の方向Ｙの長さよりも広い。このため、圧力室１２の第２の方向Ｙでは、圧電体層７０は圧力室１２の外側まで設けられている。

圧力室１２の第２の方向Ｙにおいて、圧電体層７０の供給連通路１９側の端部は、第１電極６０の端部よりも外側に位置している。すなわち、第１電極６０の端部は圧電体層７０によって覆われている。また、圧電体層７０のノズル２１側の端部は、第１電極６０の端部よりも内側（圧力室１２側）に位置しており、第１電極６０のノズル２１側の端部は、圧電体層７０に覆われていない。

圧電体層７０は、第１電極６０上に形成される分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ＡＢＯ_３で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができ、鉛を含む鉛系圧電材料や鉛を含まない非鉛系圧電材料などを用いることができる。

このような圧電体層７０には、図５に示すように、各隔壁に対応する凹形状を有する溝部７１が形成されている。この溝部７１の第１の方向Ｘの幅は、各隔壁の第１の方向Ｘの幅と略同一、もしくはそれよりも広くなっている。これにより、振動板５０の圧力室１２の第２の方向Ｙの端部に対向する部分（いわゆる振動板５０の腕部）の剛性が抑えられるため、圧電アクチュエーター３００を良好に変位させることができる。

第２電極８０は、圧電体層７０の第１電極６０とは反対面側に設けられており、複数の能動部に共通する共通電極を構成する。また、第２電極８０は、溝部７１の内面、すなわち、圧電体層７０の溝部７１の側面内に設けるようにしてもよく、設けないようにしてもよい。

このような第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０で構成される圧電アクチュエーター３００は、第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加することで変位が生じる。すなわち両電極の間に電圧を印加することで、第１電極６０と第２電極８０とで挟まれている圧電体層７０に圧電歪みが生じる。そして、両電極に電圧を印加した際に、圧電体層７０に圧電歪みが生じる部分を能動部と称する。これに対して、圧電体層７０に圧電歪みが生じない部分を非能動部と称する。また、圧電体層７０に圧電歪みが生じる能動部において、圧力室１２に対向する部分を可撓部と称し、圧力室１２の外側の部分を非可撓部と称する。

また、図５に示すように、圧電アクチュエーター３００の第１電極６０からは、引き出し配線である個別配線９１が引き出されている。個別配線９１は、２列の圧電アクチュエーター３００の間に引き出されている。また、第２電極８０からは、引き出し配線である共通配線９２が引き出されている。

そして、このような個別配線９１及び共通配線９２には、フレキシブルケーブル１２０が電気的に接続されている。フレキシブルケーブル１２０は、可撓性を有する配線基板であって、本実施形態では、半導体素子である駆動回路１２１が実装されている。外部からの印刷制御信号は、フレキシブルケーブル１２０を介して駆動回路１２１に供給され、駆動回路１２１からの駆動信号は、フレキシブルケーブル１２０及び個別配線９１、共通配線９２を介して圧電アクチュエーター３００に供給される。

このような流路形成基板１０の圧電アクチュエーター３００側の面には、流路形成基板１０と略同じ大きさを有する保護基板３０が接合されている。保護基板３０は、圧電アクチュエーター３００を保護するための空間である保持部３１を有する。保持部３１は、第１の方向Ｘに並設された圧電アクチュエーター３００の列の間に第２の方向Ｙに２つ並んで形成されている。また、保護基板３０には、第２の方向Ｙで並設された２つの保持部３１の間に第３の方向Ｚに貫通する貫通孔３２が設けられている。圧電アクチュエーター３００の電極から引き出された個別配線９１及び共通配線９２の端部は、この貫通孔３２内に露出するように延設され、個別配線９１及び共通配線９２とフレキシブルケーブル１２０とは、貫通孔３２内で電気的に接続されている。

また、保護基板３０上には、複数の圧力室１２に連通するマニホールド１００を流路形成基板１０と共に画成するケース部材４０が固定されている。ケース部材４０は、平面視において上述した連通板１５と略同一形状を有し、保護基板３０に接合されると共に、上述した連通板１５にも接合されている。具体的には、ケース部材４０は、保護基板３０側に流路形成基板１０及び保護基板３０が収容される深さの第１凹部４１を有する。この第１凹部４１は、保護基板３０の流路形成基板１０に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、第１凹部４１に流路形成基板１０等が収容された状態で第１凹部４１のノズルプレート２０側の開口面が連通板１５によって塞がれている。

また、ケース部材４０には、連通板１５の第１マニホールド部１７と連通する第３マニホールド部４２が形成されている。第３マニホールド部４２は、第３の方向Ｚに貫通する貫通部４２ａと、連通板１５とは反対側であるＺ１側に設けられて、貫通部４２ａの第２の方向Ｙの幅を拡幅した拡幅部４２ｂと、を具備する。拡幅部４２ｂは、本実施形態では、第２の方向Ｙにおいて、圧電アクチュエーター３００側にせり出すように設けられている。つまり、拡幅部４２ｂは、本実施形態では、第３の方向Ｚから平面視した際に、その一部が第１凹部４１に重なる位置に配置されている。これにより、第３マニホールド部４２のＺ１側の開口は、Ｚ２側に比べて広い面積となっている。そして、連通板１５に設けられた第１マニホールド部１７及び第２マニホールド部１８と、ケース部材４０に設けられた第３マニホールド部４２と、によって本実施形態の共通液室であるマニホールド１００が構成されている。マニホールド１００は、圧力室１２の並設方向である第１の方向Ｘに亘って連続して設けられており、各圧力室１２とマニホールド１００とを連通する供給連通路１９は、第１の方向Ｘに並設されている。

また、ケース部材４０には、保護基板３０の貫通孔３２に連通してフレキシブルケーブル１２０が挿通される接続孔４３が設けられている。接続孔４３は、第２の方向Ｙにおいて、２つの第３マニホールド部４２の間に設けられている。

このようなケース部材４０としては、例えば、樹脂、シリコン、ガラス、セラミックス、金属、金属酸化物等が挙げられる。特に、ケース部材４０として樹脂を用いることで、成型によって安価に形成することができる。なお、ケース部材４０として金属を用いた場合、切削加工、エッチング加工、プレス部品の積層等によって形成することができる。

また、ケース部材４０の第３マニホールド部４２が開口するＺ１側の面には、フィルム状のコンプライアンスシート１３０が第１接着剤１４０を介して接着されており、第３マニホールド部４２のＺ１側の開口はコンプライアンスシート１３０によって塞がれている。すなわち、本実施形態では、ケース部材４０が第１部材に相当し、共通液室であるマニホールド１００の上流側にコンプライアンスシート１３０が設けられている。ちなみに、本願発明の「凹部」とは、内部に空間が形成されていればよく、第１部材を貫通することなく溝状に形成されたものも、第１部材を貫通して形成されたものも含む。

ここで、コンプライアンスシート１３０は、可撓性を有する厚さが例えば１５μｍ以下の樹脂からなる。このようなコンプライアンスシート１３０としては、例えば、パラ系の芳香族ポリアミドフィルムが挙げられる。また、コンプライアンスシート１３０は、ケース部材４０のＺ１側の当該コンプライアンスシート１３０が接着される面の外周以下の面積を有する。すなわち、コンプライアンスシート１３０は、ケース部材４０よりも外側に突出して設けられていない。また、本実施形態では、２つの第３マニホールド部４２を１つのコンプライアンスシート１３０で塞ぐように連続して設けられている。もちろん、第３マニホールド部４２毎にコンプライアンスシート１３０を独立して設けるようにしてもよい。なお、コンプライアンスシート１３０の厚さや固定方法は特に限定されず、１５μｍよりも厚いコンプライアンスシート１３０を用いてもよく、コンプライアンスシート１３０を溶着等で固定してもよい。

このように、第３マニホールド部４２の開口をコンプライアンスシート１３０で塞ぐことで、マニホールド１００の壁の一部は、可撓性を有するコンプライアンスシート１３０で画成された可撓部であるコンプライアンス部１３１となっている。本実施形態では、拡幅部４２ｂを設けて第３マニホールド部４２の開口面積を広げることで、コンプライアンス部１３１の面積を広げることができ、マニホールド１００内のインクの大きな圧力変動をコンプライアンス部１３１で吸収することができる。

なお、図６に示すように、ケース部材４０のコンプライアンスシート１３０が接着された面には、第３マニホールド部４２に連通する第１導入口４４が設けられている。第１導入口４４は、第２の方向Ｙにおいて、２つの第３マニホールド部４２の間側の壁の一方から拡幅部４２ｂ内に庇状に突出して設けられた庇部４５に第３の方向Ｚに貫通して設けられている。ここで、庇部４５は、第２の方向Ｙにおいて一方の壁面から他方の壁面に亘って連続して設けられている。すなわち、庇部４５は、第３マニホールド部４２と、拡幅部４２ｂとの開口に第２の方向に亘って連続して設けられている。また、庇部４５の第１導入口４４が開口する面にもコンプライアンスシート１３０が第１接着剤１４０を介して接着されている。すなわち、庇部４５のＺ１側の面は、コンプライアンスシート１３０が接合される受け面４５ａとなっている。

また、コンプライアンスシート１３０には、第３の方向Ｚに貫通する導入口である第２導入口１３２が設けられている。第２導入口１３２は、庇部４５の第１導入口４４に連通する位置に設けられて、第１導入口４４よりも大きな開口を有する。したがって、コンプライアンスシート１３０は、第１導入口４４の開口縁部よりも外側において第２導入口１３２の開口周縁部が庇部４５に接合されている。

さらに、庇部４５のコンプライアンスシート１３０側の面において、第１導入口４４のＺ１側の開口縁部には、凹形状を有する接着剤逃がし溝４６が第１導入口４４の周方向に亘って設けられている。すなわち、接着剤逃がし溝４６は、第１導入口４４に連通して、第１導入口４４よりも大きな内径を有し、第２導入口１３２よりも小さな内径を有する。

このようなコンプライアンスシート１３０の第２導入口１３２及び庇部４５の第１導入口４４は、拡幅部４２ｂに相対向する位置、すなわち、第１導入口４４及び第２導入口１３２は、第３の方向Ｚにおいて拡幅部４２ｂに重なる位置に配置されている。このため、コンプライアンスシート１３０の第２導入口１３２及び庇部４５の第１導入口４４から導入されたインクは、拡幅部４２ｂによって受けられる。つまり、本実施形態では、拡幅部４２ｂが受け部となっている。このように受け部である拡幅部４２ｂを設けることで、第２導入口１３２及び第１導入口４４から導入されたインクは、拡幅部４２ｂのＺ１側の面に当接してから第３マニホールド部４２内に流入する。したがって、第２導入口１３２及び第１導入口４４から導入されたインクの圧力変動によって圧力室１２内のインクの圧力変化に影響を及ぼし難くなっている。

このような記録ヘッド２００のコンプライアンスシート１３０のＺ１側には、ヘッドユニット１を構成するホルダー２１０が第２接着剤１４１を介して接着されている。ホルダー２１０は、例えば、金属、樹脂、シリコン、ガラス、セラミックス、金属酸化物等の材料を用いることができる。なお、ホルダー２１０は、金属以外の材料を用いるのが好ましく、特に、樹脂を用いることで安価に形成することができる。また、ホルダー２１０は、ケース部材４０と線膨張係数が同等の材料を用いるのが好ましい。すなわち、ホルダー２１０として、ケース部材４０と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、ホルダー２１０とケース部材４０との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。そして、ホルダー２１０とケース部材４０とに反りが生じると、ホルダー２１０とケース部材４０との剥離や、コンプライアンスシート１３０によれや剥離が発生してしまう。特に、本実施形態のコンプライアンスシート１３０は、厚さが１５μｍ以下と薄いので、ホルダー２１０とケース部材４０との線膨張係数差による変形の応力が影響しやすい。したがって、ホルダー２１０とケース部材４０とは、線膨張係数が同等の材料を用いるのが好ましく、ホルダー２１０とケース部材４０とを同じ材料で形成するのがより好ましい。これによりホルダー２１０とケース部材４０との剥離やコンプライアンスシート１３０のよれや剥離が発生するのを抑制することができる。

なお、ホルダー２１０には、コンプライアンスシート１３０の第３マニホールド部４２に対向する領域、すなわち、コンプライアンス部１３１に対向する領域に開口する第２凹部２１５が設けられている。第２凹部２１５は、コンプライアンスシート１３０の変形を阻害しない程度の深さを備えており、マニホールド１００内のインクの圧力変化によるコンプライアンスシート１３０の変形は、第２凹部２１５によって許容される。

さらに、ホルダー２１０には、上述のように第２導入口１３２及び第１導入口４４に連通するインク連通路２１２が設けられており、インク連通路２１２から供給されたインクは、第１導入口４４を介してマニホールド１００内に供給される。

また、ホルダー２１０には、フレキシブルケーブル１２０を挿通するための挿通孔２１６が設けられており、ホルダー２１０の挿通孔２１６側から挿入されたフレキシブルケーブル１２０が、ケース部材４０の接続孔４３及び保護基板３０の貫通孔３２を挿通して、流路形成基板１０上で圧電アクチュエーター３００と電気的に接続される。

このようなホルダー２１０がコンプライアンスシート１３０のＺ１側の面に第２接着剤１４１を介して接着されている。また、ホルダー２１０とコンプライアンスシート１３０とを接着する第２接着剤１４１によって、コンプライアンスシート１３０の第２導入口１３２の開口縁部は、周方向に亘って覆われている。つまり、コンプライアンスシート１３０の第２導入口１３２は、第１導入口４４よりも大きな開口を有するため、ケース部材４０にコンプライアンスシート１３０を第１導入口４４よりも外側となるように第１接着剤１４０で接着することで、コンプライアンスシート１３０の第２導入口１３２の開口縁部を第２接着剤１４１によって覆うことができる。したがって、第１導入口４４とインク連通路２１２との接続部分である流路において、コンプライアンスシート１３０の端部は露出することなく、第２接着剤１４１によって覆われている。さらに、コンプライアンスシート１３０の第２導入口１３２の端面を覆う第２接着剤１４１は、接着剤逃がし溝４６内に充填されるため、余分な第２接着剤１４１が第１導入口４４とインク連通路２１２との接続部分である流路内に流れ出るのを抑制することができる。したがって、流出した余分な第２接着剤１４１による異物の発生を抑制して、ノズル２１の目詰まり等を抑制することができる。なお、本実施形態では、接着剤逃がし溝４６内に第２接着剤１４１が充填されるようにしたが、特にこれに限定されず、コンプライアンスシート１３０をケース部材４０に接着する第１接着剤１４０の流路内への流出も接着剤逃がし溝４６によって抑制することができる。すなわち、接着剤逃がし溝４６内には、第１接着剤１４０及び第２接着剤１４１の少なくとも一方が充填されていればよい。

このような記録ヘッド２００では、インクを噴射する際に、インクをインク連通路２１２から第２導入口１３２及び第１導入口４４を介してマニホールド１００内に取り込み、マニホールド１００からノズル２１に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路１２１からの信号に従い、圧力室１２に対応する各圧電アクチュエーター３００に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター３００と共に振動板５０をたわみ変形させる。これにより、圧力室１２内の圧力が高まり所定のノズル２１からインク滴が噴射される。このようにインク連通路２１２からマニホールド１００内にインクが充填された際に、コンプライアンスシート１３０のコンプライアンス部１３１が可撓変形することで、マニホールド１００内のインクの圧力変化を吸収する。また、ノズル２１からインク滴を噴射した際に生じるマニホールド１００内のインクの圧力変動も、コンプライアンスシート１３０のコンプライアンス部１３１が変形することで吸収される。特に、本実施形態では、インクの受け部である拡幅部４２ｂによって、コンプライアンス部１３１を広い面積で設けることができるため、コンプライアンス部１３１によってマニホールド１００内の圧力変動を確実に吸収することができる。したがって、インクの供給特性及び吐出特性を向上して、安定したインク滴の吐出を行うことができる。また、本実施形態では、１５μｍ以下のコンプライアンスシート１３０を用いることで、マニホールド１００内のインクの圧力変化に対する反応性が高い。したがって、本実施形態の記録ヘッド２００では、高周波数でのインク滴の吐出時にもインク吐出特性が低下するのを抑制することができる。

また、本実施形態では、庇部４５にコンプライアンスシート１３０が接合される受け面４５ａを設けることで、コンプライアンスシート１３０の第２導入口１３２の周囲が庇部４５によって支持される。したがって、第２導入口１３２の周囲にホルダー２１０を接合する際に、ケース部材４０の剛性不良による接合不良による剥離やインクの漏出を抑制することができる。すなわち、詳しくは後述するが、コンプライアンスシート１３０をケース部材４０側に接合して記録ヘッド２００を製造した後に、記録ヘッド２００をホルダー２１０に固定することができる。したがって、記録ヘッド２００の比較的広い開口を有するマニホールド１００をコンプライアンスシート１３０で覆うことができるため、流路内に異物が入り込むのを抑制することができる。

また、本実施形態では、上述したように、金属以外の材料からなるケース部材４０にコンプライアンスシート１３０を第１接着剤１４０で接着し、コンプライアンスシート１３０のケース部材４０とは反対面側に好ましくは金属以外の材料からなるホルダー２１０を第２接着剤１４１を介して接着するようにした。このため、ケース部材４０とコンプライアンスシート１３０とホルダー２１０との接着界面において、金属材料と第１接着剤１４０及び第２接着剤１４１との接着界面を無くすことができる。したがって、ケース部材４０、コンプライアンスシート１３０及びホルダー２１０の接着強度の低下を抑制して、剥離やそれに伴うインクのリーク等を抑制することができる。すなわち、一般的に、金属以外の材料と接着剤との接着強度は、金属材料と接着剤との接着強度に比べて高いため、金属材料と接着剤との接着部分を減少させることで接着強度を向上することができる。

また、ケース部材４０とホルダー２１０とを金属以外の材料、特に線膨張係数が同等の材料を用いることで、線膨張係数の違いによるケース部材４０及びホルダー２１０の反りや剥離を抑制して、コンプライアンスシート１３０のよりや剥離を抑制することができる。

さらに、本実施形態では、コンプライアンスシート１３０の端面、すなわち、第２導入口１３２の開口縁部を流路内に露出しないように第２接着剤１４１で覆うことで、コンプライアンスシート１３０の剥離をさらに抑制することができる。すなわち、コンプライアンスシート１３０の端面が流路内に露出していると、コンプライアンスシート１３０と第１接着剤１４０及び第２接着剤１４１との接着界面にインクが浸食し、コンプライアンスシート１３０の接着強度が低下してコンプライアンスシート１３０の剥離が発生し易い。本実施形態では、コンプライアンスシート１３０と第１接着剤１４０及び第２接着剤１４１との界面が直接インクに触れないため、コンプライアンスシート１３０の接着界面の接着強度の低下を抑制して、コンプライアンスシート１３０の剥離を抑制することができる。

このような記録ヘッドを具備するヘッドユニット１の製造方法について、図１０〜図１２を参照して説明する。なお、図１０〜図１２は、ヘッドユニットの製造方法を示す要部断面図である。

図１０に示すように、ケース部材４０にコンプライアンスシート１３０を固定する。本実施形態では、流路形成基板１０、保護基板３０、連通板１５、ノズルプレート２０、カバー４９及びケース部材４０を一体的に接合した後、ケース部材４０にコンプライアンスシート１３０を第１接着剤１４０で接着することで、記録ヘッド２００を形成した。

このようにケース部材４０にコンプライアンスシート１３０を第１接着剤１４０で接着する際に、ケース部材４０には庇部４５が形成されているため、コンプライアンスシート１３０の第２導入口１３２の周囲を庇部４５によって支持して、第２導入口１３２の周囲の剛性を確保することができる。

また、ケース部材４０に予めコンプライアンスシート１３０を接着することで、記録ヘッド２００の流路の内、特に比較的広く開口するマニホールド１００の開口をコンプライアンスシート１３０によって封止することができる。したがって、記録ヘッド２００の流路内に異物が侵入するのを抑制することができる。特に、記録ヘッド２００を複数形成して保管する際などに、コンプライアンスシート１３０によって流路内への異物の侵入を抑制することができる。

次に、図１１に示すように、カバーヘッド２２０に複数の記録ヘッド２００をノズル２１の相対位置を位置決めした状態で固定する。このように共通するカバーヘッド２２０に複数の記録ヘッド２００の液体噴射面２０ａ側を固定することで、複数の記録ヘッド２００の液体噴射面２０ａの第３の方向Ｚの高さを揃えることができ、印刷品質を向上することができる。

次に、図１２に示すように、複数の記録ヘッド２００のコンプライアンスシート１３０側をホルダー２１０に固定する。本実施形態では、コンプライアンスシート１３０とホルダー２１０とを第２接着剤１４１によって接着する。これにより、ヘッドユニット１が形成される。

このとき、コンプライアンスシート１３０の第２導入口１３２の周囲は、庇部４５の受け面４５ａに接合されて庇部４５によって支持されている。したがって、コンプライアンスシート１３０にホルダー２１０を接合した際に、コンプライアンスシート１３０の第２導入口１３２の周囲とホルダー２１０とを確実に接合することができる。すなわち、第２導入口１３２の周囲の剛性が不足することがなく、コンプライアンスシート１３０とホルダー２１０との接合不良による剥離やインクの漏出等を抑制することができる。つまり、本実施形態のように庇部４５を設けることで、先にコンプライアンスシート１３０をケース部材４０に接着することが可能となる。

また、カバーヘッド２２０に複数の記録ヘッド２００を固定した後に、複数の記録ヘッド２００に共通するホルダー２１０を固定することで、複数の記録ヘッド２００の液体噴射面２０ａの第３の方向Ｚの高さを揃えることができる。ちなみに、記録ヘッド２００を構成する部材の寸法ばらつきや、部材を積層する際に用いる接着剤の厚さばらつき等によって、複数の記録ヘッド２００は、第３の方向Ｚの高さにばらつきが存在する。このため、先にホルダー２１０と複数の記録ヘッド２００とを接合すると、複数の記録ヘッド２００の液体噴射面２０ａの位置にばらつきが生じ、インク滴の着弾位置ずれが生じる。本実施形態では、記録ヘッド２００の液体噴射面２０ａ側を共通するカバーヘッド２２０に固定することで、記録ヘッド２００の第３の方向Ｚの寸法ばらつきを抑制することができる。また、記録ヘッド２００の第３の方向Ｚの寸法ばらつきは、記録ヘッド２００とホルダー２１０とを接着する第２接着剤１４１の厚さを調整することによって吸収して、液体噴射面２０ａの高さばらつきを抑制することができる。

ちなみに、庇部４５を設けない場合には、コンプライアンスシート１３０の第２導入口１３２の周囲の剛性が確保できないため、先にコンプライアンスシート１３０とホルダー２１０とを接合する必要がある。コンプライアンスシート１３０をホルダー２１０に接合する場合、記録ヘッド２００のマニホールド１００が開口したままとなり、異物が侵入し易くなってしまう。また、記録ヘッド２００の第３の方向Ｚの寸法ばらつきを吸収して、複数の記録ヘッド２００の液体噴射面２０ａの第３の方向Ｚの高さを揃えるためには、コンプライアンスシート１３０とケース部材４０とを接着する第１接着剤１４０の厚さを調整する必要があるが、各記録ヘッド２００の間で第１接着剤１４０の厚さを変更すると、マニホールド１００の容積にばらつきが生じ、インクの吐出特性にばらつきが生じて、印刷品質が低下してしまう虞がある。また、第１接着剤１４０を厚く形成しようとすると、第１接着剤１４０の流路内への流出量の増大や、コンプライアンス部１３１への付着による可撓性の低下などの不具合が生じる虞がある。本実施形態では、ホルダー２１０と記録ヘッド２００とを接着する第２接着剤１４１の厚さを調整して、液体噴射面２０ａの高さを揃えることで、マニホールド１００の容積のばらつきを抑制してインク吐出特性のばらつきを抑制することができると共に、第１接着剤１４０の流路内への流出やコンプライアンス部１３１への付着による可撓性の低下を抑制することができる。

（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。

上述した実施形態１では、拡幅部４２ｂは、第３の方向Ｚから平面視した際に、その一部が第１凹部４１に重なる位置に配置するようにしたが、特にこれに限定されず、拡幅部４２ｂは、第１凹部４１と第３の方向Ｚで重ならない位置に配置してもよい。ただし、上述した実施形態１のように、拡幅部４２ｂを第３の方向Ｚから平面視した際に、その一部が第１凹部４１に重なる位置に配置することで、コンプライアンス部１３１の面積を確保しつつ、小型化を図ることができる。

また、上述した実施形態１では、ケース部材４０に接着剤逃がし溝４６を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、接着剤逃がし溝４６を設けないようにしてもよい。接着剤逃がし溝４６を設けない場合であっても、コンプライアンスシート１３０の第２導入口１３２を第１導入口４４よりも大きな開口とすることで、コンプライアンスシート１３０の第２導入口１３２の開口縁部である端面を第１接着剤１４０及び第２接着剤１４１の少なくとも一方で覆って、コンプライアンスシート１３０の端面が流路内に露出しないようにすることができる。もちろん、コンプライアンスシート１３０の端面が流路内に露出していてもよい。すなわち、コンプライアンスシート１３０の端面が第１接着剤１４０及び第２接着剤１４１の少なくとも一方で覆われていなくてもよい。もちろん、第１導入口４４と第２導入口１３２とを略同じ内径で形成してもよい。

さらに、上述した実施形態１では、厚さが１５μｍ以下のコンプライアンスシート１３０を有する構造体である記録ヘッド２００を例示したが、記録ヘッド２００には、厚さが１５μｍより厚いコンプライアンスシート１３０を有するものであってもよい。さらに、コンプライアンスシート１３０の接合方法は、第１接着剤１４０による接着に限定されず、溶着等であってもよい。

また、上述した実施形態１では、マニホールド１００のＺ２側の開口をカバー４９によって塞ぐようにしたが、特にこれに限定されず、カバー４９に代わって上述した実施形態１と同様のコンプライアンスシート１３０を接着してもよい。これにより、コンプライアンス部１３１の面積を大きくすることができ、さらにマニホールド１００内のインクの大きな圧力変動を吸収することができる。

さらに、上述した実施形態１では、第１電極６０を各圧電アクチュエーター３００の個別電極とし、第２電極８０を複数の圧電アクチュエーター３００の共通電極としたが、特にこれに限定されず、第１電極６０を複数の圧電アクチュエーター３００の共通電極とし、第２電極８０を各圧電アクチュエーター３００の個別電極としてもよい。

さらに、上述した各実施形態では、圧力室１２に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター３００を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、駆動素子として、圧力室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルから液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。

このような記録ヘッド２００は、インクジェット式記録装置Ｉに搭載される。図１３は、本実施形態のインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。

図１３に示すインクジェット式記録装置Ｉにおいて、記録ヘッド２００は、液体供給手段を構成するカートリッジ２が着脱可能に設けられ、この記録ヘッド２００を搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッド２００を搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４には搬送手段としての搬送ローラー８が設けられており、紙等の記録媒体である記録シートＳが搬送ローラー８により搬送されるようになっている。なお、記録シートＳを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。

また、上述した例では、インクジェット式記録装置Ｉは、インク供給手段であるカートリッジ２がキャリッジ３に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体供給手段を装置本体４に固定して、液体供給手段と記録ヘッド２００とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体供給手段がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。

さらに、上述したインクジェット式記録装置Ｉでは、記録ヘッド２００がキャリッジ３に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド２００が固定されて、紙等の記録シートＳを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。

また、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。また、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置Ｉを挙げて説明したが、上述した他の液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置にも用いることが可能である。

また、本発明は、広くＭＥＭＳデバイスを対象としたものであり、記録ヘッド以外のＭＥＭＳデバイスにも適用することができる。このようなＭＥＭＳデバイスの一例としては、超音波デバイス、モーター、圧力センサー、焦電素子、強誘電体素子などが挙げられる。また、これらのＭＥＭＳデバイスを利用した完成体、たとえば、上記記録ヘッドを利用した液体等噴射装置、上記超音波デバイスを利用した超音波センサー、上記モーターを駆動源として利用したロボット、上記焦電素子を利用したＩＲセンサー、強誘電体素子を利用した強誘電体メモリーなども、ＭＥＭＳデバイスに含まれる。

さらに、本発明は、広く構造体を対象としたものであり、ＭＥＭＳデバイス以外に用いられる構造体にも適用することができる。

Ｉ…インクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１…インクジェット式記録ヘッドユニット（液体噴射ヘッドユニット）、２…カートリッジ、１０…流路形成基板、１２…圧力室、２０…ノズルプレート、２１…ノズル、３０…保護基板、４０…ケース部材（第１部材）、４１…第１凹部、４２…第３マニホールド部、４２ａ…貫通部、４２ｂ…拡幅部（受け部）、４３…接続孔、４４…第１導入口、４５…庇部、４６…接着剤逃がし溝、４９…カバー、５０…振動板、６０…第１電極、７０…圧電体層、８０…第２電極、９１…個別配線、９２…共通配線、１００…マニホールド、１２０…フレキシブルケーブル、１２１…駆動回路、１３０…コンプライアンスシート、１３１…コンプライアンス部、１３２…第２導入口、１４０…第１接着剤、１４１…第２接着剤、２００…インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、２１０…ホルダー、２１１…接続部、２１２…インク連通路、２１３…供給部、２１４…フィルター、２１５…第２凹部、２１６…挿通孔、２２０…カバーヘッド、３００…圧電アクチュエーター（アクチュエーター）

Claims (7)

1. 複数のアクチュエーターと、
   前記アクチュエーターに対応して設けられた複数の圧力室と、を備えた液体噴射ヘッドであって、
   前記複数の圧力室は、共通の共通液室に連通し、
   前記共通液室を画成する第１部材には、前記共通液室の上流側に液体の振動を吸収するコンプライアンスシートと、前記コンプライアンスシートを貫通して形成された導入口と、が設けられ、
   前記第１部材の前記導入口の開口周縁部には、当該コンプライアンスシートが接合される受け面を有する庇部が設けられ、
   前記庇部の前記導入口とは反対側には、前記導入口から導入された液体を受ける受け部が設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記第１部材と前記コンプライアンスシートとが接着剤で接着されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 請求項１又は２に記載の液体噴射ヘッドを複数具備し、複数の前記液体噴射ヘッドの前記コンプライアンスシートが共通して固定されるホルダーをさらに具備することを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
4. 前記ホルダー及び前記第１部材が、金属ではない部材であることを特徴とする請求項３記載の液体噴射ヘッドユニット。
5. 前記第１部材と前記ホルダーとが同じ材料で形成されていることを特徴とする請求項４に記載の液体噴射ヘッドユニット。
6. 請求項３〜５の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。
7. 複数の液体噴射ヘッドと、複数の前記液体噴射ヘッドが共通して接合されるホルダーと、を具備し、
   前記液体噴射ヘッドのそれぞれには、複数のアクチュエーターと、前記アクチュエーターに対応して設けられた複数の圧力室と、前記複数の圧力室に共通して連通する共通液室と、を具備し、
   前記共通液室を画成する第１部材には、前記共通液室の上流側に液体の振動を吸収するコンプライアンスシートと、前記コンプライアンスシートを貫通して形成された導入口と、が設けられ、
   前記第１部材の前記導入口の開口周縁部には、当該コンプライアンスシートが接合される受け面を有する庇部が設けられ、
   前記庇部の前記導入口とは反対側には、前記導入口から導入された液体を受ける受け部が設けられた液体噴射ヘッドユニットの製造方法であって、
   前記第１部材の少なくとも前記受け面に前記コンプライアンスシートを接合して前記液体噴射ヘッドを形成する工程と、
   複数の前記液体噴射ヘッドの前記コンプライアンスシートを前記ホルダーに接着剤を介して接合する工程と、を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法。

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