JP2017152705A - ナノインプリントリソグラフィーにおける充填時間を短縮するための基板の前処理 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2015年9月8日付けで出願された「ナノインプリントリソグラフィーにおける充填時間を短縮するための基板の前処理(SUBSTRATE PRETREATMENT FOR REDUCING FILL TIME IN NANOIMPRINT LITHOGRAPHY)」と題される米国特許出願第62/215,316号に対する優先権を主張するものであり、その出願の全体が引用することにより本明細書の一部をなす。
基板は通例、密着層を含み、複合重合層は密着層の表面上に形成される。場合によっては、重合層の中央領域及び境界が前処理組成物とインプリントレジストとの不均質混合物により形成され、インプリントレジストの重合性成分と前処理組成物の重合性成分とを反応させることで、複合重合層の形成中に共有結合が形成される。いくつかの場合、インプリントレジストの重合性成分及び前処理組成物の重合性成分は共通する官能基、例えばアクリレート基を有する。
γL1G=γL1L2+γL2G・cos(θ) (1)
により界面エネルギーγL1G、γL2G及びγL1L2と関連付けられている。
γL1G≧γL1L2+γL2G (2)
であり、θ=0度である場合、第2液302は第1液300上に完全に広がる。これらの液を混ぜ合わせることができる場合、或る程度時間が経過すると、
γL1L2=0 (3)
となる。この場合、第1液300上に第2液302が完全に広がる条件は、
γL1G≧γL2G (4)
である。第1液300の薄膜及び第2液302の小滴については、混ざり合いは拡散現象により制限され得る。そのため、第2液302が滴の形で第1液300上に配置されている場合に第2液302を第1液300上に広げるには、不等式(2)を広がりの初期段階にてより適用可能である。
α+β+θ=2π (5)
である。各界面に即した力平衡には、3つの条件がある:
γL2G+γL1L2・cos(θ)+γL1G・cos(α)=0 (6)
γL2G・cos(θ)+γL1L2+γL1G・cos(β)=0 (7)
γL2G・cos(α)+γL1L2・cos(β)+γL1G=0 (8)
第1液300と第2液302とを混ぜ合わせることができる場合、
γL1L2=0 (9)
となり、式(6)〜(8)は、
γL2G+γL1G・cos(α)=0 (10)
γL2G・cos(θ)+γL1G・cos(β)=0 (11)
γL2G・cos(α)+γL1G=0 (12)
となる。式(10)及び(12)により、
cos2(α)=1 (13)
及び
α=0、π (14)
が与えられる。第2液302が第1液300を湿らせる場合、
α=π (15)
γL2G=γL1G (16)
及び式(11)により、
cos(θ)+cos(β)=0 (17)
が与えられる。この結果を式(5)及び(15)と組み合わせることで、
θ=0 (18)
β=π (19)
が与えられる。このようにして、式(15)、(18)及び(19)により、角度α、β及びθについて解法が得られる。
γL1G≧γL2G (20)
である場合、界面間での平衡は起こらない。式(12)はα=πであっても不等式となり、第2液302は第1液300上に広がり続ける。
γL1L2=0 (21)
となる。角度αについての解法は式(14)により得られる。この場合、
α=0 (22)
及び
θ1=π (23)
β=π (24)
となる。
γL1G≧γL2G (25)
である場合、第2液302の滴と第1液300との間に平衡は起こらず、他の物理的制限(例えば、体積保存及び混ぜ合わせ)により制限されるまで、第2液とガスとの間の界面に沿って滴が広がり続ける。
γSL1=γSL2+γL1L2・cos(θ2) (26)
を考える。
γSL1≧γSL2+γL1L2 (27)
である場合、滴は完全に広がり、θ2=0となる。さらに、混ぜ合わせることができる液については、第2項γL1L2=0であり、不等式(27)は、
γSL1≧γSL2 (28)
へと単純化される。液の広がりについての複合条件は、広がりの前後のエネルギーを考慮すると、
γL1G+γSL1≧γL2G+γSL2 (29)
と表される。エネルギー的に優位な遷移(すなわち、システムのエネルギーを最小限に抑える遷移)が起こるものとする。
γL1L2=0 (30)
となる。角度αについての解法は式(14)により得られる。
α=π (31)
であれば、式(11)により、
cos(θ1)+cos(β)=0 (32)
及び
θ1=0 (33)
β=π (34)
が与えられる。
γL1G≧γL2G (35)
である場合、第2液302の滴と液300との間に平衡は起こらず、他の物理的制限(例えば、体積保存及び混ぜ合わせ)により制限されるまで、第2液とガスとの間の界面に沿って滴が広がり続ける。
γSL1=γSL2+γL1L2・cos(θ2) (36)
cos(θ2)=(γSL1−γSL2)/γL1L2 (37)
となる。
γSL1≦γSL2 (38)
であり、液を混ぜ合わせることができる場合、すなわち、
γL1L2→0 (39)
−∞≦cos(θ2)≦−1 (40)
である場合、角度θ2は180度に近付いた後、未定となる。すなわち、第2液302は基板界面に沿って縮小し、第1液300とガス306との界面に沿って広がる傾向がある。
光重合開始剤としては、ラジカル発生剤が好ましく、ラジカル発生剤としては、例えば、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−又はp−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体等の置換基を有してもよい2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体;ベンゾフェノン、N,N’−テトラメチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、N,N’−テトラエチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン、4−メトキシ−4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、4−クロロベンゾフェノン、4,4’−ジメトキシベンゾフェノン、4,4’−ジアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体;2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノ−プロパン−1−オン等のα―アミノ芳香族ケトン誘導体;2−エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、2−t−ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ベンズアントラキノン、2−フェニルアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、2−メチルアントラキノン、1,4−ナフトキノン、9,10−フェナンタラキノン、2−メチル−1,4−ナフトキノン、2,3−ジメチルアントラキノン等のキノン類;ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル誘導体;ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン、プロピルベンゾイン等のベンゾイン誘導体;ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体;9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体;N−フェニルグリシン等のN−フェニルグリシン誘導体;アセトフェノン、3−メチルアセトフェノン、アセトフェノンベンジルケタール、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン等のアセトフェノン誘導体;チオキサントン、ジエチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン等のチオキサントン誘導体;2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド等のアシルフォスフィンオキサイド誘導体;1,2−オクタンジオン,1−[4−(フェニルチオ)−,2−(O−ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)等のオキシムエステル誘導体;キサントン、フルオレノン、ベンズアルデヒド、フルオレン、アントラキノン、トリフェニルアミン、カルバゾール、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン等が挙げられるが、これらに限定はされない。
また、前処理組成物とインプリントレジストは前述した成分の他に、種々の目的に応じ、本発明の効果を損なわない範囲で、非重合性化合物を含有していてもよい。このような成分としては、増感剤、水素供与体、酸化防止剤、ポリマー成分、その他添加剤等が挙げられる。
増感剤は、一種類を単独で用いてもよいし、二種類以上を混合して用いてもよい。
また、前処理組成物とインプリントレジストは成分として溶媒を含有していてもよい。特に限定されないが、好ましい溶媒としては、常圧における沸点が80℃以上200℃以下の溶媒である。さらに好ましくは、水酸基、エーテル構造、エステル構造、ケトン構造のいずれかを少なくとも1つ有する溶媒である。
前処理組成物及びインプリントレジストは、できる限り不純物を含まないことが好ましい。ここで記載する不純物とは、前述した成分以外のものを意味する。したがって、前処理組成物及びインプリントレジストは、精製工程を経て得られたものであることが好ましい。このような精製工程としては、フィルタを用いた濾過等が好ましい。フィルタを用いた濾過を行う際には、具体的には、前述した成分および必要に応じて添加する添加成分を混合した後、例えば、孔径0.001μm以上5.0μm以下のフィルタで濾過することが好ましい。フィルタを用いた濾過を行う際には、多段階で行ったり、多数回繰り返したりすることがさらに好ましい。また、濾過した液を再度濾過してもよい。孔径の異なるフィルタを複数用いて濾過してもよい。濾過に使用するフィルタとしては、ポリエチレン樹脂製、ポリプロピレン樹脂製、フッ素樹脂製、ナイロン樹脂製等のフィルタを使用することができるが、特に限定されるものではない。このような精製工程を経ることで、組成物に混入したパーティクル等の不純物を取り除くことができる。これにより、パーティクル等の不純物によって、硬化性組成物を硬化した後に得られる硬化膜に不用意に凹凸が生じてパターンの欠陥が発生することを防止することができる。
前述のテンプレート110と複合コーティングとの接触は、凝縮性ガスを含む雰囲気(以下、「凝縮性ガス雰囲気」と称する)下で行ってもよい。本明細書において凝縮性ガスとは、テンプレート110上に形成された微細パターンの凹部、およびモールドと基板との間隙に、前処理組成物およびインプリントレジストと一緒に雰囲気中のガスが充填されたとき、充填時に発生する毛細管圧力で凝縮して液化するガスのことを指す。なお凝縮性ガスは、複合コーティングとテンプレートとの接触において前処理組成物およびインプリントレジストとテンプレート110とが接触する前は雰囲気中に気体として存在する。
<残膜の除去>
複合重合層からのテンプレートの分離(離型工程)により得られるポリマー化層は、特定のパターン形状を有するものの、このパターン形状が形成される領域以外の領域においても、図2に示すように、残膜204が残る場合がある。そのような場合は、得られたパターン形状を有する硬化膜(重合層)202のうちの除去すべき領域にある残膜204をエッチングガスAなどにより除去する。これにより、所望の凹凸パターン形状(例えば、テンプレート110の凹凸形状に因むパターン形状)を有する残膜のない(基板102の表面の所望の部分が露出した)硬化膜パターンを得ることができる。
残膜の除去後、残膜のない硬化膜パターン202をレジスト膜として利用して、表面が露出した基板102の一部分に対してドライエッチングを行う。ドライエッチングには、従来公知のドライエッチング装置を用いることができる。そして、エッチングガスは、エッチングに供される硬化膜の元素組成及び基板102の元素組成によって適宜選択されるが、CF4、C2F6、C3F8、CCl2F2、CCl4、CBrF3、BCl3、PCl3、SF6、Cl2等のハロゲン系ガス、O2、CO、CO2等の酸素原子を含むガス、He、N2、Ar等の不活性ガス、H2、NH3のガス等を使用することができる。なお、これらのガスは混合して用いることもできる。上述の残膜除去におけるエッチングガスAと基板加工におけるエッチングガスBは、同一であっても異なっていても良い。
上述した本発明の別の側面は、基板上に前処理コーティングとなる液膜を形成し、液膜に対し液滴を付与することで液滴成分の基板面方向の広がりを促進するインプリント前処理コーティング材料を提供するものである。
PC2:トリメチロールプロパンエトキシレートトリアクリレート、n 約1.3(大阪有機化学工業株式会社)
PC3:1,12−ドデカンジオールジアクリレート
PC4:ポリ(エチレングリコール)ジアクリレート、平均Mn=575(Sigma-Aldrich)
PC5:テトラエチレングリコールジアクリレート(Sartomer)
PC6:1,3−アダマンタンジオールジアクリレート
PC7:ノナンジオールジアクリレート
PC8:m−キシリレンジアクリレート
PC9:トリシクロデカンジメタノールジアクリレート(Sartomer)
Claims (45)
- ナノインプリントリソグラフィー方法であって、
重合性成分を含む前処理組成物を基板上に配置して、前記基板上に前処理コーティングを形成する工程と、
前記前処理コーティング上に、前記基板の標的域を各々が覆う、重合性組成物であるインプリントレジストの不連続部分を配置する工程と、
前記インプリントレジストの各不連続部分がその標的域を超えて広がることで、前記前処理組成物と前記インプリントレジストとの混合物を含む複合重合性コーティングを前記基板上に形成する工程と、
前記複合重合性コーティングをテンプレートと接触させる工程と、
前記複合重合性コーティングを重合させ、前記基板上に複合重合層を得る工程と、
を有し、
前記前処理組成物と空気との間の界面エネルギーが、前記インプリントレジストと空気との間の界面エネルギーよりも大きいことを特徴とする、ナノインプリントリソグラフィー方法。 - 前記前処理組成物と空気との間の界面エネルギーと、前記インプリントレジストと空気との間の界面エネルギーとの差が、1mN/m〜25mN/m、1mN/m〜15mN/m、又は1mN/m〜7mN/mである、請求項1に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記前処理組成物が単一の単量体を含む、請求項1又は2に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記前処理組成物が実質的に単一の単量体からなる、請求項1又は2に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記前処理組成物が単一の単量体である、請求項1又は2に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記前処理組成物が2つ以上の単量体を含む、請求項1又は2に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記前処理組成物が一官能性、二官能性、又は多官能性アクリレート単量体を含む、請求項1又は2に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法に使用するインプリントレジストであって、前記インプリントレジストが、
0重量%〜80重量%、20重量%〜80重量%、又は40重量%〜80重量%の1つ又は複数の単官能性アクリレートと、
20重量%〜98重量%の1つ又は複数の二官能性又は多官能性アクリレートと、
1重量%〜10重量%の1つ又は複数の光重合開始剤と、
1重量%〜10重量%の1つ又は複数の界面活性剤と、
を含むことを特徴とするインプリントレジスト。 - 前記インプリントレジストが20重量%〜98重量%の1つ又は複数の二官能性又は多官能性アクリレートを含み、単官能性アクリレートを実質的に含まない、請求項8に記載のインプリントレジスト。
- 前記インプリントレジストが1つ又は複数の単官能性アクリレートと、20重量%〜75重量%の1つ又は複数の二官能性又は多官能性アクリレートとを含む、請求項8に記載のインプリントレジスト。
- 前記前処理組成物の重合性成分と前記インプリントレジストの重合性成分とを反応させ、前記複合重合性コーティングの重合中に共有結合を形成する、請求項1又は2に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記前処理組成物と前記インプリントレジストとがそれぞれ、共通する官能基を有する単量体を含む、請求項1又は2に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記共通する官能基がアクリレート基である、請求項12に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記基板上に前記前処理組成物を配置する工程が、前記基板上に前記前処理組成物をスピンコートすることを含む、請求項1〜7及び11〜13のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記基板が密着層を備え、基板上に前処理組成物を配置することが該密着層上に該前処理組成物を配置することを含む、請求項1〜7及び11〜14のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記前処理コーティング上に前記インプリントレジストの不連続部分を配置する工程が、前記前処理コーティング上にインプリントレジスト滴を吐出することを含む、請求項1〜7及び11〜15のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記複合重合性コーティングを前記テンプレートと接触させる前に、前記インプリントレジストの不連続部分を前記インプリントレジストの少なくとも1つの他の不連続部分と接触させ、2つの不連続部分間に境界を形成する、請求項1〜7及び11〜16のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記複合重合性コーティングを前記テンプレートと接触させる際に、前記インプリントレジストの不連続部分のそれぞれが、前記前処理組成物により前記インプリントレジストの少なくとも1つの他の不連続部分と隔てられている、請求項1〜7及び11〜17のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記複合重合性コーティングが前記前処理組成物と前記インプリントレジストとの均質混合物である、請求項1〜7及び11〜18のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記複合重合性コーティングを重合させる工程が、前記前処理組成物の成分と前記インプリントレジストの成分とを共有結合することを含む、請求項1〜7及び11〜19のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記複合重合層の化学組成が不均一である、請求項1〜7及び11〜20のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記前処理組成物が、プロポキシル化(3)トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、トリメチロールプロパンエトキシレートトリアクリレート、1,12−ドデカンジオールジアクリレート、ポリ(エチレングリコール)ジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、1,3−アダマンタンジオールジアクリレート、ノナンジオールジアクリレート、m−キシリレンジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、又はそれらの任意の組合せを含む、請求項1〜21のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記前処理組成物が、1,12−ドデカンジオールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、又はそれらの組合せを含む、請求項22に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記前処理組成物が、テトラエチレングリコールジアクリレート、トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、又はそれらの組合せを含む、請求項22に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記前処理組成物が、20重量%〜40重量%の1,12−ドデカンジオールジアクリレートと、60重量%〜80重量%のトリシクロデカンジメタノールジアクリレートとを含む、請求項23に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- 前記前処理組成物が、30重量%の1,12−ドデカンジオールジアクリレートと、70重量%のトリシクロデカンジメタノールジアクリレートとを含む、請求項23に記載のナノインプリントリソグラフィー方法。
- ナノインプリントリソグラフィー方法であって、
重合性成分を含む前処理組成物を基板上に配置して、前記基板上に前処理コーティングを形成する工程と、
前記前処理コーティング上に、前記基板の標的域を各々が覆うインプリントレジストの不連続部分を配置する工程と、
前記インプリントレジストの各不連続部分がその標的域を超えて広がることで、前記前処理組成物と前記インプリントレジストとの混合物を含む複合重合性コーティングを前記基板上に形成する工程と、
前記複合重合性コーティングをテンプレートと接触させる工程と、
前記複合重合性コーティングを重合させ、前記基板上に複合重合層を得る工程と、
を有し、
前記前処理組成物と空気との間の界面エネルギーが、前記インプリントレジストの少なくとも1つの成分と空気との間の界面エネルギーよりも大きいことを特徴とする、ナノインプリントリソグラフィー方法。 - ナノインプリントリソグラフィー積層体であって、
基板と、
前記基板の表面上に形成される複合重合層と、
を備え、
前記複合重合層は化学組成が不均一であり、境界によって隔てられた複数の中央領域を含み、前記境界での前記複合重合層の化学組成は前記中央領域の内部の前記複合重合層の化学組成とは異なることを特徴とする、ナノインプリントリソグラフィー積層体。 - 前記基板が密着層を備え、前記複合重合層が前記密着層の表面上に形成される、請求項28に記載のナノインプリントリソグラフィー積層体。
- 前記複合重合層の前記中央領域及び前記境界が前処理組成物とインプリントレジストとの不均質混合物から形成され、前記インプリントレジストの重合性成分と前記前処理組成物の重合性成分とを反応させ、前記複合重合層の形成中に共有結合を形成する、請求項28又は29に記載のナノインプリントリソグラフィー積層体。
- 前記インプリントレジストの前記重合性成分と前記前処理組成物の前記重合性成分とが共通する官能基を有する、請求項30に記載のナノインプリントリソグラフィー積層体。
- 前記共通する官能基がアクリレート基である、請求項31に記載のナノインプリントリソグラフィー積層体。
- 請求項1〜7及び11〜27のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法を有することを特徴とする加工基板の製造方法。
- 請求項1〜7及び11〜27のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法を有することを特徴とする光学部品の製造方法。
- 請求項1〜7及び11〜27のいずれか一項に記載のナノインプリントリソグラフィー方法を有することを特徴とするレプリカモールドの製造方法。
- パターン形成方法であって、
基板上に、重合性成分を含む前処理組成物の前処理コーティングを配置する工程と、
前記前処理コーティング上に、重合性成分を含むインプリントレジストからなる部分を不連続に配置する工程と、
前記インプリントレジストがそれぞれ広がり、前記前処理組成物と前記インプリントレジストとの混合物を含む複合重合性コーティングを基板上に形成する工程と、
表面に凹凸のパターンを有するモールドを前記複合重合性コーティングと接触させる工程と、
前記複合重合性コーティングを重合させ、前記基板上に複合重合層を得る工程と、
前記モールドを硬化後の前記複合重合層から引き離す工程と、
を順に有し、
前記前処理組成物と空気との間の界面エネルギーが、前記インプリントレジストと空気との間の界面エネルギーよりも大きい、
ことを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項36に記載のパターン形成方法を有することを特徴とする加工基板の製造方法。
- 請求項36に記載のパターン形成方法を有することを特徴とする光学部品の製造方法。
- 請求項36に記載のパターン形成方法を有することを特徴とするレプリカモールドの製造方法。
- 基板上に前処理コーティングとなる液膜を形成し、前記液膜に対し液滴を付与することで液滴成分の基板面方向の広がりを促進するインプリント前処理コーティング材料であって、
前記インプリント前処理コーティング材料は重合性成分を有し、且つ前記液滴と空気との間の界面エネルギーが、前記インプリント前処理コーティング材料と空気との間の界面エネルギーよりも小さいことを特徴とするインプリント前処理コーティング材料。 - 請求項40に記載のインプリント前処理コーティング材料と、前記インプリント前処理コーティング材料でコーティングされた基板に滴下するためのインプリントレジストと、を有するセット。
- 前記インプリント前処理コーティング材料と空気との間の界面エネルギーと、前記インプリントレジストと空気との間の界面エネルギーの差が、1mN/m〜25mN/mである請求項41に記載のセット。
- 請求項41に記載のセットに用いるインプリントレジスト。
- 基板上に硬化性組成物を配置してインプリントを行うための前処理方法であって、請求項40に記載のインプリント前処理コーティング材料を基板上にコーティングすることを特徴とする基板の前処理方法。
- 基板上にパターンを形成するためのパターン形成方法であって、請求項40に記載のインプリント前処理コーティング材料がコーティングされた基板上にレジストを不連続に滴下する工程を有することを特徴とするパターン形成方法。
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