JP2017149133A - 基板切断用スクライブヘッド回転装置 - Google Patents

基板切断用スクライブヘッド回転装置 Download PDF

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Abstract

【課題】スクライブヘッドを軸回転させるための専用モータが具備され、動作精度と敏捷性に優れ、正確なスクライブラインを高速で形成することができ、作業効率を大幅上昇させることができる基板切断用スクライブヘッド回転装置を提供する。【解決手段】基板切断用スクライブヘッド回転装置は、メインボディと、メインボディに固定され、垂直のガイド経路を提供する垂直ガイダと、垂直ガイダに昇降可能に支持され、その下部にスクライブヘッドを有する昇降部と、昇降部を垂直方向に昇降運動させる昇降手段と、昇降部に弾力支持された状態で昇降部が上昇する時に下部に押されてスクライブヘッド側に移動するヘッド作動モータと、ヘッド作動モータをスクライブヘッド側に下向加圧するモータ加圧部を含む。【選択図】図1

Description

本発明は、脆性基板にスクライブラインを形成するスクライブヘッドの走行方向を決定するために使用される基板切断用スクライブヘッド回転装置に関する。
従来、ガラス基板を含む脆性基板を必要なサイズに切断する場合は、切断ホイールを備えた切断装置が使用されている。このような切断装置は、切断ホイールを基板の表面に圧接させた状態で荷重を加えながら走行させて、基板表面にスクライブラインを形成する。スクライブラインが形成された後には、スクライブラインに曲げ応力を印加して基板を分断する。
一方、切断ホイールは、スクライブヘッドの下端部にピンにより連結された状態で基板に対して転動するが、切断ホイールの走行方向は、スクライブヘッドの軸回転により決定される。すなわち、スクライブヘッドを軸回転させることにより、切断ホイールの走行方向が転換されるものである。
例えば、X方向に走行していた切断ホイールの走行経路を90度曲げるためには、スクライブヘッドを90度軸回転させる必要がある。
一方、韓国登録特許公報第10-1528905号には、旋回機構付スクライブヘッドが開示されている。この旋回機構付スクライブヘッドは、カッターホイールの走行方向を所定の向きに変更するための旋回機構を備える。
ところが、前記旋回機構付スクライブヘッドは、その構造が複雑であり、構成部品が多いとの欠点があった。複雑かつ部品が多いということは、重量が重いという事態を招く。重量が重いと動作の敏捷性が落ちて、慣性力の影響を多く受けて作業速度を高めるのに限界がある。
本発明は、前記問題点を解消しようと創出したものであって、スクライブヘッドを軸回転させるための専用モータが備えられ、動作精度と敏捷性に優れているため、正確なスクライブラインを高速で形成することができるとともに、作業効率を大幅に上昇させることができ、全体の構造が簡単であって、メンテナンスが容易な基板切断用スクライブヘッド回転装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するための本発明の基板切断用スクライブヘッド回転装置は、メインボディと、前記メインボディに固定され、垂直のガイド経路を提供する垂直ガイダと、前記垂直ガイダに昇降可能に支持され、その下部にスクライブヘッドを有する昇降部と、前記昇降部を垂直方向に昇降運動させる昇降手段と、前記昇降部に弾力支持された状態で前記昇降部が上昇する時に下方に押されて前記スクライブヘッド側に移動するヘッド作動モータと、前記ヘッド作動モータを前記スクライブヘッド側に下向加圧するモータ加圧部を含むことを特徴とする。
なお、前記昇降手段は、前記メインボディに支持される上部モータと、前記上部モータにより軸回転するものであって、前記ヘッド作動モータの鉛直上部に垂直で配置されるリードスクリューを含み、前記昇降部は、前記リードスクリューに螺合して前記リードスクリューの軸回転に応じて昇降するスクリュー結合部と、前記スクリュー結合部に固定され、その一部が前記垂直ガイダに摺動可能に支持され、前記ヘッド作動モータを昇降可能に支持するモータ支持部を含むことを特徴とする。
さらに、前記モータ加圧部は、前記リードスクリューの下端部に固定され、下部に開放された収容溝を有する回転ディスクと、前記回転ディスクの下部に位置し、その一部が前記回転ディスクの収容溝の内部に挟まれた状態で回転可能であり、下降時に前記ヘッド作動モータを下向加圧する加圧ディスクを含むことを特徴とする。
併せて、前記ヘッド作動モータは、前記昇降部に支持された状態で弾力手段により上向き弾力支持され、鉛直下部に延長されたモータ軸を有し、前記スクライブヘッドの上端部には、前記ヘッド作動モータの下降時に、モータ軸の下端部を収容してモータ軸から回転トルクを伝達されるトルク伝達溝が形成されていることを特徴とする。
さらに、前記モータ軸と前記トルク伝達溝は、多角形の構造を有し、前記トルク伝達溝は、前記モータ軸が前記トルク伝達溝に挿入された状態で、その内側面が前記モータ軸から離隔できるサイズを有することを特徴とする。
なお、前記スクライブヘッドの周辺には、前記スクライブヘッドの角度を感知するセンサが備えられたことを特徴とする。
前記のように構成される本発明の基板切断用スクライブヘッド回転装置は、スクライブヘッドを軸回転させるための専用モータが備えられ、動作精度と敏捷性に優れているので、正確なスクライブラインを高速で形成することができ、特に直角に折り曲げられた経路を非常に精密かつ迅速に走行することができ、作業品質及び効率に優れ、全体の構造が簡単であって、メンテナンスが容易である。
図1は、本発明の一実施形態に係る基板切断用スクライブヘッド回転装置の構成を説明するための図である。 図2は、図1に示すスクライブヘッドとモータ軸の相対位置を示す部分斜視図である。 図3は、図2に示すスクライブヘッドに対するモータ軸の作動特性を説明するための図である。 図4は、図1に示す基板切断用スクライブヘッド回転装置の動作を説明するための図である。
以下、本発明に係る一実施例を添付の図面を参照して、より詳細に説明することにする。
基本的に、後述する本実施例に係る基板切断用スクライブヘッド回転装置11は、その下端部に切断ホイール45を有するスクライブヘッド43を迅速かつ正確に軸回転させるための専用モータ(ヘッド作動モータ35)と、これを駆動するための周辺要素などを含む構成を有する。
スクライブヘッド43を迅速かつ正確に軸回転できるとの意味は、切断ホイールの走行方向を精密に制御して、正確なスクライブラインを形成できるとの意味である。
図1は、本発明の一実施例に係る基板切断用スクライブヘッド回転装置11の構成を説明するための図である。
図1を参照すると、本実施例に係る基板切断用スクライブヘッド回転装置11は、支持力を提供するメインボディ13と、メインボディ13の一側に固定され、垂直に延長されたガイド経路を有する垂直ガイダ25と、垂直ガイダ25に昇降可能に支持された昇降ホルダ27と、昇降ホルダ27の上部に位置し、昇降ホルダ27を垂直方向に移動させる上部モータ15及びリードスクリュー17と、昇降ホルダ27の下部に設置されるスクライブヘッド43と、スクライブヘッド43の上部に設置され、スクライブヘッド43を軸回転させるヘッド作動モータ35を含む。
まず、メインボディ13は、基板切断装置(不図示)の一部分であって、基板Aに対して垂直をなす支持面13aを有する。
垂直ガイダ25は、支持面13aに固定され、垂直に延長されたリニアガイダ(linear guider)であって、昇降ホルダ27の一部であるモータ支持部31の一部を収容支持する。モータ支持部31は、垂直ガイダ25に支持された状態で垂直方向に摺動する。
昇降ホルダ27は、ブロック状または板状のスクリュー結合部29と、スクリュー結合部29の端部に固定され、下部に延長されたモータ支持部31と、モータ支持部31の下端部に位置する受けブラケット33と、受けブラケット33の下部に固定される円筒状ヘッドホルダ41を含む。
昇降ホルダ27は、垂直ガイダ25に支持された状態で上部モータ15の作動により垂直方向に昇降運動し、基板Aに対するスクライブヘッド43の高さを調節する。昇降ホルダ27が上昇すると切断ホイール45が基板Aから離れて上昇し、下降すると切断ホイール45が基板Aを押すことになる。
昇降ホルダ27に対する残りの説明は後述する。
上部モータ15は、昇降ホルダ27の鉛直上部に位置するサーボモータであって、その駆動軸にリードスクリュー17を有する。上部モータ15は固定アーム15aにより、メインボディ13の側部に堅固に固定された状態で、外部から伝達された電力により回転トルクを発生し、リードスクリュー17を時計回り及びその反対方向に軸回転させる。
リードスクリュー17は、その外周面に雌ネジ山が形成されている垂直のシャフトであって、スクリュー結合部29と螺合する。リードスクリュー17が軸回転することにより、スクリュー結合部29が昇降する。
リードスクリュー17の下端部には、回転ディスク19と加圧ディスク21が備えられている。回転ディスク19と加圧ディスク21は、ヘッド作動モータ35を図4のf方向に押圧する加圧部の役割をする。すなわち、図4に示すように、昇降ホルダ27が矢印D方向に上昇するときに、ヘッド作動モータ35を下向きのf方向に加圧する役割をする。
後述するように、ヘッド作動モータ35は、下向きに押されてスクライブヘッド43側に下がり、モータ軸37がスクライブヘッド43の上部に設けられたトルク伝達溝(図2の43a)に挿入された状態でスクライブヘッド43を軸回転させる。切断ホイール45が基板Aから離れた状態で、スクライブヘッド43が軸回転する。スクライブヘッド43が軸回転すると、切断ホイール45の走行方向が変更される。
回転ディスク19は、リードスクリュー17の下端部に一体に固定され、リードスクリュー17の軸回転時に共に回転する円板状部材であって、下部に開放された収容溝19aを有する。収容溝19aは、一定の内径を有する溝であって、その内周面に段差(図面符号なし)を有する。
また、加圧ディスク21は、その一部が収容溝19aの内部に挿入支持された状態で軸回転する部材である。このために、加圧ディスク21の上部には、収容溝19aの内部の段差に係って支持される係止段差21aが形成されている。係止段差21aにより、加圧ディスク21が回転ディスク19から抜けないように支持される。
併せて、係止段差21aの下部には、ベアリング19bが備えられている。ベアリング19bは、回転ディスク19に対する加圧ディスク21の回転が円滑に具現されるように作用する。
一方、昇降ホルダ27は、内部空間27aを備え、内部空間27aにヘッド作動モータ35を有する。ヘッド作動モータ35は、外部から伝達された電気信号により作動するサーボモータであって、鉛直下方に延長されたモータ軸37を有する。ヘッド作動モータ35の作動により、モータ軸37が軸回転する。
ヘッド作動モータ35は、モータカバー35aにより囲まれている。モータカバー35aは、ヘッド作動モータ35をモータ支持部31に間接的に支持させるための部材であって、水平方向に延長され、垂直溝31aに挿入される。
垂直溝31aは、モータ支持部31に形成されて垂直に延長され、ヘッド作動モータ35側に開放された溝であって、モータカバー35aの延長端部を収容支持する。モータカバー35aは、垂直溝31aに部分的に挿入された状態で昇降運動が可能である。
なお、垂直溝31aの内部には、スプリング39が備えられる。スプリング39は、モータカバー35aと受けブラケット33との間に介在された状態で、モータカバー35aを上向支持する役割をする。
スプリング39の作用により、ヘッド作動モータ35は、垂直溝31aが許容する上死点に位置し、加圧ディスク21が下降することを待つ。スプリング39は、加圧ディスク21がヘッド作動モータ35を矢印f方向に加圧するときに圧縮され、モータ軸37がトルク伝達溝43aに挿入できるようにする。
加圧ディスク21の加圧力が除去されると、ヘッド作動モータ35は、スプリング39の弾性復元力により上死点に上がってスクライブヘッド43から分離される。
図面符号33a及び35bは、スプリング39を支持してスプリング39が外部に跳ね出ないようにする支持突起である。
ヘッドホルダ41は、受けブラケット33の下部に固定された円筒状の部材であって、その内部にスクライブヘッド43を軸回転可能に支持する。スクライブヘッド43の中心軸線は、モータ軸37の中心軸線と一致している。
なお、ヘッドホルダ41とクライブヘッド43との間には、多数のセンサ47,49が配置される。センサ47,49は、スクライブヘッド43の回転角度を感知する役割をする。センサ47,49が感知した角度情報は、外部のコントローラ(不図示)に転送され、コントローラにより、それに合う次の動作を実行するようにする。
図2は、図1に示したスクライブヘッド43と、モータ軸37の相対位置を示す一部の斜視図であり、図3a及び図3bは、スクライブヘッド43に対するモータ軸37の作動特性を説明するための図である。
図示のように、スクライブヘッド43の上端部に、その内向面が正六角形の形態をしているトルク伝達溝43aが形成されている。トルク伝達溝43aは、時計回り、またはその反対方向に軸回転するモータ軸37から回転力が伝達される溝である。
なお、モータ軸37は、六角棒状をしており、下端にテーパ部37aを有する。テーパ部37aは、下部に行くほど縮まる部分であって、例えば、トルク伝達溝43aにモータ軸37が挿入されるとき、モータ軸37がトルク伝達溝43aの縁部に衝突しないようにするためのものである。
図3aに示すように、トルク伝達溝43aの内側面とモータ軸37の外周面との間には余裕間隔Zがある。
このように余裕間隔Zを置く理由は、トルク伝達溝43aに対するモータ軸37の挿入をより迅速かつ安定的に具現することはもちろん、摩擦による摩耗を防止するためである。もちろん、トルク伝達溝43aの内側面とモータ軸37の外側面が面接するように製作することもできるが、そうする場合、モータ軸37とトルク伝達溝43aの摩耗が激しいことから、寿命を短縮させることがある。
余裕間隔Zは、モータ軸37が角度θだけ軸回転した状態で、モータ軸37の角がトルク伝達溝43aの内側面に線接触できるように設計される。角度θは10度乃至30度程度に設計することができる。
したがって、例えば、スクライブヘッド43を90度軸回転させるべきなら、モータ軸37は、90度+θだけ軸回転させなければならない。
図4は、図1に示す基板切断用スクライブヘッド回転装置11の動作を説明するための図である。
基板Aに一定方向のスクライブラインを形成しつつ、切断ホイール45の走行方向を変更するためには、前述したように、切断ホイール45を基板Aから離した後、スクライブヘッド43を軸回転させなければならない。
このような動作のためには、まず、上部モータ15を駆動して昇降ホルダ27を矢印Dの方向に持ち上げる。このとき、ヘッド作動モータ35も共に上昇することは当然である。
ヘッド作動モータ35が上昇して加圧ディスク21の底面に到達した状態で、さらに昇降ホルダ27を上昇させると、ヘッド作動モータ35は、それ以上上昇できず、昇降ホルダ27とスクライブヘッド43だけが上昇する。そうすると、ヘッド作動モータ35とスクライブヘッド43との間隔が狭くなり、やがてモータ軸37がトルク伝達溝43aに挿入される。
モータ軸37がトルク伝達溝43aの内部に挿入されたら、上部モータ15を停止させ、ヘッド作動モータ35を駆動してスクライブヘッド43を所望の方向に軸回転させる。
スクライブヘッド43の軸回転が完了したら、上部モータ15を再び駆動して昇降ホルダ27を下降させる。昇降ホルダ27が下降することにより、ヘッド作動モータ35は、加圧ディスク21から離隔され、それと同時にスプリング39の弾性復元力によりヘッド作動モータ35は、前記の上死点に移動してスクライブヘッド43とも分離される。
さらに昇降ホルダ27を下降させて切断ホイール45が基板Aに到達したら、スクライブ工程を続けていく。
以上、本発明を具体的な実施例を通じて詳細に説明したが、本発明は、前記実施例に限定せず、本発明の技術的思想の範囲内で通常の知識を有する者により様々な変形が可能である。
11 回転装置
13 メインボディ
13a 支持面
15 上部モータ
15a 固定アーム
17 リードスクリュー
19 回転ディスク
19a 収容溝
19b ベアリング
21 加圧ディスク
21a 係止段差
25 垂直ガイダ
27 昇降ホルダ
27a 内部空間
29 スクリュー結合部
31 モータ支持部
31a 垂直溝
33 受けブラケット
33a 支持突起
35 ヘッド作動モータ
35a モータカバー
35b 支持突起
37 モータ軸
37a テーパ部
39 スプリング
41 ヘッドホルダ
43 スクライブヘッド
43a トルク伝達溝
45 切断ホイール
47,49 センサ

Claims (6)

  1. メインボディ(13)と、
    前記メインボディ(13)に固定され、垂直のガイド経路を提供する垂直ガイダ(25)と、
    前記垂直ガイダ(25)に昇降可能に支持され、その下部にスクライブヘッド(43)を有する昇降部と、
    前記昇降部を垂直方向に昇降運動させる昇降手段と、
    前記昇降部に弾力支持された状態で前記昇降部が上昇するときに、下方に押されて前記スクライブヘッド(43)側に移動するヘッド作動モータ(35)と、
    前記ヘッド作動モータ(35)を前記スクライブヘッド側に下向加圧するモータ加圧部を含むことを特徴とする基板切断用スクライブヘッド回転装置。
  2. 前記昇降手段は、
    前記メインボディ(13)に支持される上部モータ(15)と、
    前記上部モータ(15)により軸回転するものであって、前記ヘッド作動モータ(35)の鉛直上部に配置されるリードスクリュー(17)を含み、
    前記昇降部は、
    前記リードスクリュー(17)に螺合して前記リードスクリュー(17)の軸回転に応じて昇降するスクリュー結合部(29)と、
    前記スクリュー結合部(29)に固定され、その一部が前記垂直ガイダ(25)に摺動可能に支持され、前記ヘッド作動モータ(35)を昇降可能に支持するモータ支持部(31)を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板切断用スクライブヘッド回転装置。
  3. 前記モータ加圧部は、
    前記リードスクリュー(17)の下端部に固定され、下部に開放された収容溝(19a)を有する回転ディスク(19)と、
    前記回転ディスク(19)の下部に位置し、その一部が前記回転ディスク(19)の収容溝(19a)の内部に挟まれた状態で回転可能であり、下降時に前記ヘッド作動モータ(35)を下向加圧する加圧ディスク(21)を含むことを特徴とする請求項1に記載の基板切断用スクライブヘッド回転装置。
  4. 前記ヘッド作動モータ(35)は、
    前記昇降部に支持された状態で弾力手段により上向弾力支持され、
    鉛直下方に延長されたモータ軸(37)を有し、
    前記スクライブヘッド(43)の上端部には、前記ヘッド作動モータ(35)の下降時に、前記モータ軸(37)の下端部を収容して前記モータ軸(37)から回転トルクを伝達されるトルク伝達溝(43a)が形成されていることを特徴とする請求項2に記載の基板切断用スクライブヘッド回転装置。
  5. 前記モータ軸(37)と前記トルク伝達溝(43a)は、多角形の構造を有し、
    前記トルク伝達溝(43a)は、前記モータ軸(37)が前記トルク伝達溝(43a)に挿入された状態で、その内側面が前記モータ軸(37)から離隔できるサイズを有することを特徴とする請求項4に記載の基板切断用スクライブヘッド回転装置。
  6. 前記スクライブヘッド(43)の周辺には、前記スクライブヘッド(43)の角度を感知するセンサ(47,49)が具備されたことを特徴とする請求項1に記載の基板切断用スクライブヘッド回転装置。
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