KR101474695B1 - Ｄｄ모터를 이용한 ｚ축 스테이지 - Google Patents

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KR101474695B1
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강윤기
김원재
고정현
이선규
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(주)삼정오토메이션
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    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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Abstract

본 발명은 DD모터를 이용한 Z축 스테이지에 관한 것으로, 베이스; 상기 베이스 상에 구비되는 하우징; 상기 하우징 내에 구비되어 회전력을 발생시키는 모터부; 상기 모터부의 중앙에 관통 결합되어 모터부의 회전에 따라 회전하여 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 볼스크류; 상기 베이스에 구비되고 볼스크류의 하단이 결합하는 베어링; 및 상기 볼스크류의 회전에 따라 하우징 위에서 승강하는 Z축 스테이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 DD모터를 이용한 Z축 스테이지를 제공한다.
본 발명에 따르면, DD모터를 하우징의 내부에 구비하고 DD모터의 중심에 구비된 볼스크류를 이용하여 직접 동력을 전달하여 Z축 스테이지를 승하강시킴으로써 장비의 구성에 사용되는 공간을 최소화 하였으며, DD모터의 높은 토크를 활용하여 고중량의 피작업물을 이송할 수 있다.
또한, DD 모터를 이용하여 백래쉬를 최소화 함으로써 정밀한 위치제어가 가능하다.
또한, Z축 스테이지의 승ㆍ하강 시 LM 가이드를 따라 이동하도록 함으로써 안정적이고 정밀한 이송이 가능하다.
또한, 엔코더를 이용하여 Z축 스테이지의 상하이동 거리값을 검출함으로써 초정밀 위치제어가 가능하다.
또한, DD모터를 사용하여 불필요한 구성을 제거하고 Z축 스테이지의 승ㆍ하강을 위한 동력전달 구성을 간결히 함으로써 누적 조립 오차를 최소화하여 최상의 기구 정밀도를 제공한다.

Description

ＤＤ모터를 이용한 Ｚ축 스테이지{Z-AXIS STAGE USING DIRECT DRIVE MOTOR}
본 발명은 DD모터를 이용한 Z축 스테이지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 피작업물이 놓여지는 작업 스테이지를 Z축 방향으로 정밀하게 승하강시키기 위한 DD모터(Direct Drive Motor)를 이용한 Z축 스테이지에 관한 것이다.
일반적으로 반도체, LCD 및 기타 자동화 장비 등에는 Z축 방향(승강방향)으로의 승강이 가능한 Z축 스테이지가 사용된다. 이러한 Z축 스테이지는 피작업물을 정확한 위치로 승ㆍ하강시킬 수 있는 정밀한 위치제어가 요구된다.
한국등록특허 제10-1043925호(특허문헌1)는 X축, Y축, Z축 방향으로 이송이 가능한 3축 스테이지장치에 관한 것으로서, Z축 스테이지(130)의 승강작동은 베이스(110)의 리니어모터(112)가 작동되어 양 Y축 스테이지(120)(120a)를 반대 방향으로 이동시키면, 양 Y축 스테이지(120)(120a)가 베이스(110) 상에서 서로 반대방향의 Y축 방향으로 직선 이동되면서 오므려지거나 또는 벌어지게 되고, 이와 같은 양 Y축 스테이지(120)(120a)의 직선 왕복이동에 의해서 Z축 스테이지(130)는 양 Y축 스테이지(120)(120a) 상에서 상하로 승강된다.
한국등록특허 제10-1043925호(특허문헌1)에 의하는 경우, 리니어모터를 사용하며 Wedge Stage 형태로 구성되어 길이 방향으로 불필요한 공간을 많이 차지하여 장비 설계 시 애로점이 있으며, 백래쉬(Backlash)로 인하여 정밀한 위치제어가 어려운 문제가 있다.
한국공개특허 제10-2013-0021148호(특허문헌2)는 스테이지 Z축 구동장치에 관한 것으로서, 동력원인 구동모터(21)와, 구동모터(21)로부터 동력을 받아 스테이지의 Z방향 이동을 유도하는 승강장치(40)와, 구동모터(21)의 동력을 승강장치(40)에 전달하는 동력전달장치(30)와, 승강장치(40)와 동력전달장치(30)사이의 동력전달을 단속하기 위한 클러치(50)와, 각각의 승강장치(40)가 정지상태를 유지할 수 있도록 하는 제동장치(60)를 포함하며, 구동모터로는 서보 모터 또는 스테핑 모터를 사용한다.
한국공개특허 제10-2013-0021148호(특허문헌2)에 의하는 경우, 스테이지를 승ㆍ하강시키기 위해 구동모터로부터 여러 가지 장치를 거쳐 동력을 전달하므로 장비의 구성이 복잡해지고 서보 모터 또는 스테핑 모터를 이용하여 제어하므로 백래쉬(Backlash)로 인하여 정밀한 위치제어가 어려운 문제가 있다.
이와 같이 종래의 Z축 스테이지의 경우 리니어모터를 사용하며 Wedge Stage 형태로 구성되어 길이 방향으로 불필요한 공간을 많이 차지하거나 스테이지를 승ㆍ하강시키기 위해 구동모터로부터 여러 가지 장치를 거쳐 동력을 전달하므로 장비 설계 시 애로점이 있으며 장비의 구성이 복잡해지고, 리니어 모터, 서보 모터 또는 스테핑 모터를 이용하여 제어하므로 백래쉬(Backlash)로 인하여 정밀한 위치제어가 어려운 문제가 있다.
대한민국 등록특허 제10-1043925호 대한민국 공개특허 제10-2013-0021148호
본 발명은 상기의 종래 기술의 문제를 해결하기 위한 것으로, DD모터(Direct Drive Motor)를 하우징의 내부에 구비하여 종래 구성 대비 장비의 구성에 사용되는 공간을 최소화하고 DD모터의 높은 토크를 활용하여 고중량의 피작업물을 이송할 수 있고 백래쉬를 최소화하여 정밀한 위치제어가 가능한 DD모터를 이용한 Z축 스테이지를 제공하고자 함에 발명의 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 DD모터를 이용한 Z축 스테이지는 베이스; 상기 베이스 상에 구비되는 하우징; 상기 하우징 내에 구비되어 회전력을 발생시키는 모터부; 상기 모터부의 중앙에 관통 결합되어 모터부의 회전에 따라 회전하여 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 볼스크류; 상기 베이스에 구비되고 볼스크류의 하단이 결합하는 베어링; 및 상기 볼스크류의 회전에 따라 하우징 위에서 승강하는 Z축 스테이지를 포함한다.
또한, 상기 모터부는 상기 볼스크류의 하부 둘레에 고정 결합하여 볼스크류를 회전시키는 회전부; 상기 회전부의 외주면에 형성된 수용홈에 밀착하여 결합되는 로터; 및 상기 로터의 둘레에 인접하여 배치되어 로터와 회전부를 회전시키는 스테이터를 포함할 수 있다.
또한, 상기 회전부의 외주면 상부에 형성된 결합홈에 내륜이 결합하고, 회전부에 인접하는 하우징의 상부에 형성된 결합홈에 외륜이 결합하는 크로스 롤러링을 더 포함하고, 로터와 회전부가 회전 시 크로스 롤러링의 내륜이 회전할 수 있다.
또한, 상기 회전부는 볼스크류의 하부 둘레에 고정 결합하는 내측에서 로터가 결합하는 외측으로 갈수록 높이가 높게 형성되어 회전부의 외주면 하부에 형성된 수용홈에 로터가 밀착하여 결합할 수 있다.
또한, 상기 스테이터는 외주면에 돌출 형성된 돌출부를 구비하고, 상기 돌출부가 하우징 내부 측면에 오목하게 형성된 결합홈에 결합함으로써 로터 둘레에 고정 배치될 수 있다.
또한, 상기 볼스크류의 회전부 결합 위치의 상부에 결합되어 볼스크류의 회전에 따라 승강하는 승강부를 더 포함하고, 상기 Z축 스테이지의 중앙부는 Z축 스테이지의 수평면에서 수직 하향 절곡된 절곡부를 형성하며 절곡부가 승강부와 결합함으로써 승강부의 승강에 따라 Z축 스테이지가 승강할 수 있다.
또한, 상기 절곡부는 Z축 스테이지의 수평면에서 수직 하향 절곡된 제1절곡부와 제1절곡부로부터 볼스크류 방향으로 수직 상향 절곡된 제2절곡부로 구성되며, 제2 절곡부가 상기 승강부와 결합할 수 있다.
또한, 상기 베어링은 베이스의 중앙에 삽입 결합되고 볼스크류의 하단과 결합할 수 있다.
또한, 상기 하우징의 중심을 기준으로 하우징 외측면의 대칭되는 위치에 복수 개 구비되고 Z축 스테이지의 저면에 결합되어 Z축 스테이지의 승강 시 함께 이동하면서 Z축 스테이지가 수평상태를 유지하도록 하는 수평유지수단을 복수 개 포함할 수 있다.
또한, 상기 수평유지수단은 상기 하우징의 외주면에 높이 방향으로 부착되는 LM 가이드; 상기 LM 가이드 상에서 이동 가능한 LM 가이드 블록; 및 측면은 상기 LM 가이드 블록에 결합하고 상면은 상기 Z축 스테이지의 저면에 결합하여 Z축 스테이지의 승강에 따라 함께 이동하는 지지부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 Z축 스테이지의 가장자리에서 Z축 스테이지의 수평면과 수직하며 하우징 방향으로 구비되는 스케일; 및 상기 하우징의 외주면에서 스케일에 대향하는 위치에 구비되어 Z축 스테이지의 승강 시 Z축 스테이지의 상하이동 거리값을 스케일로부터 검출하는 엔코더를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 DD모터를 이용한 Z축 스테이지에 의하면, DD모터를 하우징의 내부에 구비하고 DD모터의 중심에 구비된 볼스크류를 이용하여 직접 동력을 전달하여 Z축 스테이지를 승ㆍ하강시킴으로써 장비의 구성에 사용되는 공간을 최소화 하였으며, DD모터의 높은 토크를 활용하여 고중량의 피작업물을 이송할 수 있다.
또한, DD 모터를 이용하여 백래쉬를 최소화 함으로써 정밀한 위치제어가 가능하다.
또한, Z축 스테이지의 승ㆍ하강 시 LM 가이드를 따라 이동하도록 함으로써 안정적이고 정밀한 이송이 가능하다.
또한, 엔코더를 이용하여 Z축 스테이지의 상하이동 거리값을 검출함으로써 초정밀 위치제어가 가능하다.
또한, DD모터를 사용하여 불필요한 구성을 제거하고 Z축 스테이지의 승ㆍ하강을 위한 동력전달 구성을 간결히 함으로써 누적 조립 오차를 최소화하여 최상의 기구 정밀도를 제공한다.
도 1은 본 발명에 따른 DD모터를 이용한 Z축 스테이지의 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 DD모터를 이용한 Z축 스테이지의 수직 단면도.
도 3은 본 발명에 따른 DD모터를 이용한 Z축 스테이지에서 측면에 구비되는 LM 가이드 및 LM 가이드 블록이 생략된 모습의 수직 단면도.
도 4는 본 발명에 따른 DD모터를 이용한 Z축 스테이지의 수평 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 DD모터를 이용한 Z축 스테이지의 평면도.
이하에서는, 첨부도면을 참고하여 본 발명에 따른 일 실시 예를 보다 상세하게 설명한다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, DD모터를 이용한 Z축 스테이지(100)는 베이스(110), 베이스 상에 구비되는 하우징(120), 볼스크류(140), 베어링(150) 및 Z축 스테이지(160)를 포함하며, 크로스 롤러링(137), 승강부(170), 수평유지수단(180), 스케일(191) 및 엔코더(190)를 더 포함할 수 있다.
제일 아래에는 베이스(110)가 위치하며 그 위에 하우징(120)이 구비되고 하우징의 위에서 Z축 스테이지(160)가 승하강하는 구조이다.
모터부(130)는 하우징(120) 내에 구비되어 회전력을 발생시키고, 볼스크류(140)는 모터부(130)의 중앙에 관통 결합되어 모터부(130)의 회전에 따라 회전하여 회전운동을 직선운동으로 변환시킨다.
구체적으로, 모터부(130)는 회전부(131), 로터(133) 및 스테이터(135)를 포함하며, 크로스 롤러링(137)을 더 포함할 수 있다.
회전부(131)는 베이스(110) 위에 수직으로 구비된 볼스크류(140)의 하부 둘레에 고정 결합하여 볼스크류(140)를 회전시킨다. 회전부(131)의 내측이 볼스크류(140)의 하부 둘레에 고정되어 회전부(131)의 회전 시 볼스크류(140)도 함께 회전한다.
로터(133)는 회전부(131)의 외주면 둘레에 형성된 수용홈(132)에 밀착하여 결합된다. 수용홈(132)에 로터(133)가 밀착하여 결합된 회전부(131)가 볼스크류(140)의 하부 둘레에 고정 결합되고 회전부(131)와 로터(133)의 저면은 베이스(110)의 상면으로부터 일정 높이 위에서 회전한다.
스테이터(135)는 원형으로 배치된 로터(133)의 둘레에 인접하여 배치되어 로터(133)와 회전부(131)를 회전시킨다. 로터(133)는 다수의 영구자석으로 구성되어 있으며, 다수의 권선된 코일이 구비된 스테이터(135)와의 사이에 발생하는 전자기력에 의하여 회전한다. 하우징(120)의 측면에는 케이블 홀(미도시)이 형성되어 있으며 케이블 홀(미도시)을 통해 제어신호 및 전원을 공급함으로써 스테이터(135)에 구비된 코일에 전기가 흘러 로터(133)를 회전 및 제어하게 된다.
로터(133)가 회전을 시작하면 로터(133)와 결합된 회전부(131)도 회전하고 회전부(131)의 내측에 관통 결합된 볼스크류(140)가 회전한다. 볼스크류(140)의 회전에 따라 볼스크류(140)의 둘레에 결합된 Z축 스테이지(160)가 하우징(120) 위에서 승강한다.
베어링(150)은 베이스(110)에 구비되고 볼스크류(140)의 하단이 베어링(150)에 결합되어 회전한다.
모터부(130)의 구체적인 구성은 아래와 같다.
모터부(130)는 회전부(131)의 외주면 상부에 형성된 결합홈에 내륜이 결합하고, 회전부(131)에 인접하는 하우징(120)의 상부에 형성된 결합홈에 외륜이 결합하는 크로스 롤러링(137)을 더 포함한다. 로터(133)와 회전부(131)가 회전 시 회전부(131)에 결합된 내륜이 회전하게 된다.
구체적으로, 하우징(120)의 상면 중앙에는 일정 크기의 개구부가 형성되어 있으며, 개구부를 통해 회전부(131)와 볼스크류(140)가 노출되어 있다. 회전부(131)의 외주면은 개구부를 형성하는 하우징(120)의 상부 커버 내주면에 인접하여 회전한다. 크로스 롤러링(137)의 내륜은 회전부(131)의 외주면 상부에 형성된 결합홈에 결합하고, 외륜은 하우징(120)의 상부 커버 내주면에 형성된 결합홈에 결합한다. 회전부(131)의 외주면 상부에 형성된 결합홈은 'ㄴ'자 형태로 형성되고 하우징(120)의 상부 커버 내주면에 형성된 결합홈은 회전부(131)에 형성된 결합홈에 대칭하는 'ㄴ'자 형태로 형성된다. 각 결합홈에 크로스 롤러링(137)이 결합된 후 회전부(131)의 바깥쪽 둘레에 커버(134)를 안착하여 결합하고, 하우징(120)의 상부 커버 안쪽 둘레에 커버(123)를 안착하여 결합함으로써, 크로스 롤러링(137)이 이탈하지 않고 결합될 뿐만 아니라 회전부(131)의 회전 시 크로스 롤러링(137)의 내륜이 회전하게 된다.
회전부(131)는 볼스크류(140)의 하부 둘레에 고정 결합하는 내측에서 로터(133)가 결합하는 외측으로 갈수록 계단식으로 높이가 높게 형성되며 회전부(131)의 외주면 하부에 형성된 수용홈(132)에 로터(133)가 밀착하여 결합한다.
회전부(131)의 외주면 하부에는 로터(133)가 밀착하여 수용되는 수용홈(132)이 'ㄱ'자 형태로 형성되어 있어 'ㄱ'자 형태의 수용홈(132)에 로터(133)가 밀착하여 결합 후 회전부(131)의 상면에서 삽입되는 볼트를 이용하여 회전부(131)와 로터(133)를 함께 결합한다.
스테이터(135)는 외주면에 돌출 형성된 돌출부(136)를 구비하고, 돌출부(136)가 하우징(120) 내부 측면에 오목하게 형성된 결합홈(121)에 결합함으로써 로터(133) 둘레에 고정 배치된다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 회전부(131)는 볼스크류(140)의 하부 둘레에 고정 결합하는 내측에서 로터(133)가 결합하는 외측으로 갈수록 계단식으로 높이가 높게 형성되며, 승강부(170)는 볼스크류(140)의 회전부(131) 결합 위치의 상부에 결합되어 볼스크류(140)의 회전에 따라 승강한다.
볼스크류(140) 둘레에 위치하는 Z축 스테이지(160)의 중앙부는 Z축 스테이지(160)의 수평면에서 수직 하향 절곡된 절곡부(161)를 형성하며 절곡부(161)가 승강부(170)와 결합함으로써 승강부(170)의 승강에 따라 Z축 스테이지(160)가 승강한다.
구체적으로, 절곡부(161)는 Z축 스테이지(160)의 수평면에서 수직 하향 절곡된 제1절곡부(163)와 제1절곡부(163)로부터 볼스크류(140) 방향으로 수직 상향 절곡된 제2절곡부(165)로 구성되며, 제2절곡부(165)가 승강부(170)와 결합한다. 승강부(170)가 볼스크류(140)를 따라 승강함에 따라 제2절곡부(165)를 통해 결합된 Z축 스테이지(160)가 승강하게 된다.
베어링(150)은 베이스(110) 중앙에 삽입 결합되고 볼스크류(140)의 하단과 결합함으로써, 볼스크류(140)의 하단이 베어링(150)에 의해 지지되어 안정적으로 회전할 수 있다.
도 1을 참조하면, 수평유지수단(180)은 하우징(120)의 중심을 기준으로 하우징(120) 외측면의 대칭되는 위치에 복수 개 구비되며, 상부가 Z축 스테이지(160)의 저면에 결합되어 Z축 스테이지(160)의 승강 시 함께 이동하면서 Z축 스테이지(160)가 수평상태를 유지하도록 한다. 바람직하게는 수평유지수단(180)은 Z축 스테이지(160)의 중심을 기준으로 대칭되는 위치에 네 개가 구비될 수 있다.
수평유지수단(180)은 Z축 스테이지(160)를 직접 승강시키지 않으며, 볼스크류(140)에 의하여 Z축 스테이지(160)가 승강될 때 함께 승강하면서 Z축 스테이지(160)의 수평을 유지해주고 Z축 스테이지(160)가 어느 한쪽으로 기우는 것을 방지해줌으로써 Z축 스테이지(160) 상에 피작업물이 놓인 상태에서 안정적이고 정밀하게 이송하는 효과가 있다.
도 4를 참조하면, 각 수평유지수단(180)은 LM 가이드(181), LM 가이드 블록(183) 및 지지부(185)를 포함한다.
LM 가이드(181)는 하우징(120)의 외주면에 높이 방향으로 부착되며, LM 가이드 블록(183)은 LM 가이드(181) 상에서 슬라이딩하여 이동 가능하도록 결합된다.
지지부(185)의 측면은 LM 가이드 블록(183)에 결합하고 상면은 Z축 스테이지(160)의 저면에 결합함으로써, Z축 스테이지(160)의 승강 시 네 개의 지지부(185) 및 지지부(185)에 결합된 LM 가이드 블록(183)이 함께 이동하면서 Z축 스테이지(160)의 수평을 유지하며 Z축 스테이지(160)가 안정적이고 정밀하게 이송되도록 한다.
스케일(191)은 Z축 스테이지(160)의 가장자리에서 Z축 스테이지(160)의 수평면과 수직하며 하우징(120)이 위치한 아래쪽으로 구비된다. 구체적으로, Z축 스테이지(160)에서 수평유지수단(180)이 위치하지 않는 쪽에 구비되며, Z축 스테이지(160)의 가장자리에 구비된 스케일 고정부(193)에 결합되어 Z축 스테이지(160)의 승강에 따라 함께 이동한다.
엔코더(190)는 하우징(120)의 외주면에서 스케일(191)에 대향하는 위치에 구비되어 Z축 스테이지(160)의 승강 시 Z축 스테이지(160)의 상하이동 거리값을 스케일(191)로부터 검출한다. 엔코더(190)를 이용함으로써 초정밀 위치제어가 가능하다.
본 발명에 의하면, DD모터를 하우징의 내부에 구비하고 DD모터의 중심에 구비된 볼스크류를 이용하여 직접 동력을 전달하여 Z축 스테이지를 승ㆍ하강시킴으로써 장비의 구성에 사용되는 공간을 최소화 하였으며, DD모터의 높은 토크를 활용하여 고중량의 피작업물을 이송할 수 있다.
또한, DD 모터를 이용하여 백래쉬를 최소화 함으로써 정밀한 위치제어가 가능하다.
또한, Z축 스테이지의 승ㆍ하강 시 LM 가이드를 따라 이동하도록 함으로써 안정적이고 정밀한 이송이 가능하다.
또한, 엔코더를 이용하여 Z축 스테이지의 상하이동 거리값을 검출함으로써 초정밀 위치제어가 가능하다.
또한, DD모터를 사용하여 불필요한 구성을 제거하고 Z축 스테이지의 승ㆍ하강을 위한 동력전달 구성을 간결히 함으로써 누적 조립 오차를 최소화하여 최상의 기구 정밀도를 제공한다.
본 발명은 상기한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 되는 것임은 자명하다.
100: DD모터를 이용한 Z축 스테이지 110: 베이스
120: 하우징 121: 결합홈
123, 134: 커버 130: 모터부
131: 회전부 132: 수용홈
133: 로터 135: 스테이터
136: 돌출부 137: 크로스 롤러링
140: 볼스크류 150: 베어링
160: Z축 스테이지 161: 절곡부
163: 제1절곡부 165: 제2절곡부
170: 승강부 180: 수평유지수단
181: LM 가이드 183: LM 가이드 블록
185: 지지부 190: 엔코더
191: 스케일 193: 스케일 고정부

Claims (11)

  1. 베이스;
    상기 베이스 상에 구비되는 하우징;
    상기 하우징 내에 구비되어 회전력을 발생시키는 모터부;
    상기 모터부의 중앙에 관통 결합되어 모터부의 회전에 따라 회전하여 회전운동을 직선운동으로 변환시키는 볼스크류;
    상기 베이스에 구비되고 볼스크류의 하단이 결합하는 베어링; 및
    상기 볼스크류의 회전에 따라 하우징 위에서 승강하는 Z축 스테이지를 포함하되,
    상기 하우징의 중심을 기준으로 하우징 외측면의 대칭되는 위치에 복수 개 구비되고 Z축 스테이지의 저면에 결합되어 Z축 스테이지의 승강 시 함께 이동하면서 Z축 스테이지가 수평상태를 유지하도록 하는 수평유지수단을 복수 개 포함하고,
    상기 수평유지수단은
    상기 하우징의 외주면에 높이 방향으로 부착되는 LM 가이드;
    상기 LM 가이드 상에서 이동 가능한 LM 가이드 블록; 및
    측면은 상기 LM 가이드 블록에 결합하고 상면은 상기 Z축 스테이지의 저면에 결합하여 Z축 스테이지의 승강에 따라 함께 이동하는 지지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 DD모터를 이용한 Z축 스테이지.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 모터부는
    상기 볼스크류의 하부 둘레에 고정 결합하여 볼스크류를 회전시키는 회전부;
    상기 회전부의 외주면에 형성된 수용홈에 밀착하여 결합되는 로터; 및
    상기 로터의 둘레에 배치되어 로터와 회전부를 회전시키는 스테이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 DD모터를 이용한 Z축 스테이지.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 회전부의 외주면 상부에 형성된 결합홈에 내륜이 결합하고, 회전부에 인접하는 하우징의 상부에 형성된 결합홈에 외륜이 결합하는 크로스 롤러링을 더 포함하고,
    로터와 회전부가 회전 시 크로스 롤러링의 내륜이 회전하는 것을 특징으로 하는 DD모터를 이용하는 Z축 스테이지.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 회전부는 볼스크류의 하부 둘레에 고정 결합하는 내측에서 로터가 결합하는 외측으로 갈수록 높이가 높게 형성되어 회전부의 외주면 하부에 형성된 수용홈에 로터가 밀착하여 결합되는 것을 특징으로 하는 DD모터를 이용한 Z축 스테이지.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 스테이터는 외주면에 돌출 형성된 돌출부를 구비하고, 상기 돌출부가 하우징 내부 측면에 오목하게 형성된 결합홈에 결합함으로써 로터 둘레에 고정 배치되는 것을 특징으로 하는 DD모터를 이용한 Z축 스테이지.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 볼스크류의 회전부 결합 위치의 상부에 결합되어 볼스크류의 회전에 따라 승강하는 승강부를 더 포함하고,
    상기 Z축 스테이지의 중앙부는 Z축 스테이지의 수평면에서 수직 하향 절곡된 절곡부를 형성하며 절곡부가 승강부와 결합함으로써 승강부의 승강에 따라 Z축 스테이지가 승강하는 것을 특징으로 하는 DD모터를 이용한 Z축 스테이지.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 절곡부는 Z축 스테이지의 수평면에서 수직 하향 절곡된 제1절곡부와 제1절곡부로부터 볼스크류 방향으로 수직 상향 절곡된 제2절곡부로 구성되며,
    제2 절곡부가 상기 승강부와 결합하는 것을 특징으로 하는 DD모터를 이용한 Z축 스테이지.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 베어링은 베이스의 중앙에 삽입 결합되고 볼스크류의 하단과 결합하는 것을 특징으로 하는 DD모터를 이용한 Z축 스테이지.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제1항에 있어서,
    상기 Z축 스테이지의 가장자리에서 Z축 스테이지의 수평면과 수직하며 하우징 방향으로 구비되는 스케일; 및
    상기 하우징의 외주면에서 스케일에 대향하는 위치에 구비되어 Z축 스테이지의 승강 시 Z축 스테이지의 상하이동 거리값을 스케일로부터 검출하는 엔코더를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 DD모터를 이용한 Z축 스테이지.
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