KR20150143401A

KR20150143401A - 다중 스크라이브 장치

Info

Publication number: KR20150143401A
Application number: KR1020150174925A
Authority: KR
Inventors: 요시타카 니시오
Original assignee: 한국미쯔보시다이아몬드공업(주)
Priority date: 2015-12-09
Filing date: 2015-12-09
Publication date: 2015-12-23

Abstract

본 발명은 박판의 유리 기판 등을 미세하게 분단할 때에 스크라이브 장치의 툴 홀더의 자중값을 고려하지 않고 쉽게 하중 값을 반영할 수 있을 뿐만 아니라, 두 개의 툴 홀더에 의해 툴을 빠르게 교체하여 사용할 수 있는 다중 스크라이브 장치에 관한 것으로, 회전력을 발생시킬 수 있는 회전 수단(50)과, 상기 회전 수단(50)을 사이에 두고 서로 대향하여 배치되며, 상기 회전 수단(50)과 연동하도록 결합되어, 상기 회전 수단(50)의 회전력에 의해 상호 반대 방향으로 이동하도록 형성된 제1 이동 수단(25) 및 제2 이동 수단(35)과, 상기 제1 이동 수단(25)과 결합되고, 상기 제1 이동 수단(25)의 이동에 따라 상기 기판의 두께 방향으로 이동되는 제1 툴 홀더(20)와, 상기 제2 이동 수단(35)과 결합되고, 상기 제1 이동 수단(25)과 반대 방향으로 이동하는 상기 제2 이동 수단(35)의 이동에 따라, 상기 제1 툴 홀더(20)의 이동 방향과는 반대 방향으로 이동되는 제2 툴 홀더(30)를 구비하여, 저압의 하중을 정밀도 좋게 제어할 수 있을 뿐만 아니라, 툴 홀더(20),(30)의 교체를 빠르게 할 수 있어 작업의 효율을 높일 수 있다.

Description

다중 스크라이브 장치{MULTI-SCRIBING APPARATUS}

본 발명은 스크라이브 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 박판의 유리 기판 등을 분단할 때에 높은 정밀도로 저압 하중을 가할 수 있을 뿐만 아니라, 서로 다른 종류의 툴을 구비하는 다중 스크라이브 장치에 관한 것이다.

일반적으로 유리 등의 기판을 분단시키기 위해서, 스크라이브 장치를 이용하여 기판 상에 스크라이브 라인을 형성하고, 당해 스크라이브 라인을 기준으로 기판을 분단시키는 방법이 알려져 있다.

그리고, 스크라이브 장치를 이용하여 기판상에 스크라이브 라인을 형성할 때는, 원활한 기판의 분단과 양호한 품질의 단위 기판을 얻기 위해, 스크라이브 장치에 장착된 툴(예컨대, 스크라이빙 휠)을 유리 기판의 두께 방향으로 일정한 하중을 가압하면서 유리의 표면을 따라 주행시켜야 한다.

그런데, 최근에 기판이 박판화되는 경향에 따라, 얇은 유리 기판 등에 스크라이브 라인을 형성하는 경우가 생기게 되고, 이 경우에는, 스크라이브 장치에 장착된 툴을 통상의 유리 기판에 가해지는 하중으로 가압하면서 분단하게 되면, 박판인 기판의 두께와 비교하여 과도한 하중이 부가되어, 얇은 유리 기판이 완전히 절단되어 버리거나, 치핑 또는 균열 등으로 인해 스크라이브 라인의 품질이 열악해지는 문제점이 있었다. 그래서, 이러한 문제점을 해결하기 위해, 얇은 박판의 유리 기판 등을 분단할 때에는 저압 하중 가압 방식을 이용하여 스크라이브 장치에 장착된 툴을 주행시키고 있다.

이러한 종래의 저압 하중 가압 방식을 도 1을 참조하여 설명한다.

도 1에 도시된 것처럼, 종래의 스크라이브 장치는 툴 홀더(8)와 그의 하단에 장착되는 툴(스크라이빙 휠:10)을 구비하고 있으며, 상기 툴 홀더(8)의 상측에는 에어 실린더(2)가 설치되어, 이 에어 실린더(2)의 작용에 의해 툴 홀더(8)에 수직 방향으로의 하중을 발생시키도록 되어 있다. 그리고, 종래의 저압 하중 가압 방식의 스크라이브 장치는, 저압 하중의 가압을 위해 에어 실린더(2)와 툴 홀더(8)의 사이에 역가압 스프링부(4)를 구비하고 있다.

즉, 박판의 유리 기판 등을 분단할 때에는, 툴 홀더(8)의 자체 하중보다 작은 값으로 가압시켜야 할 필요가 있다. 이 경우, 역가압 스프링부(4)는, 툴 홀더(8) 및 툴(10)을 가압 방향과는 반대 방향으로 당겨주는 역방향으로의 하중을 발생시켜, 툴 홀더(8) 및 툴(10)의 자중에 의한 하중이 캔슬될 수 있도록 하기 때문에, 박판의 유리 기판에 툴 홀더(8)의 자체 하중보다 작은 값의 하중을 부여할 수 있게 된다.

그런데, 이와 같이 역가압 스프링부(4)를 이용하는 방식은, 에어 실린더(2)에 의해 툴(10)로 가해지는 수직 방향의 하중을 역가압 스프링부(4)만으로 정밀도 좋게 제어하기는 매우 어려운 문제점이 있다.

즉, 역가압 스프링부(4)의 스프링 자체의 재질과 스프링이 갖고 있는 특성으로 인해, 박판의 유리 기판의 두께 방향으로 가해져야 할 하중의 값이 스프링의 오차로 인한 영향을 많이 받게 되어, 정밀도 좋게 제어할 수 없는 문제점이 대두되고 있다.

한편, 이종 접합 유리(예컨대, 상하 두께가 상이한 유리)를 스크라이브 하거나, 스크라이브 위치에 의한 툴(구체적으로는 날끝)의 변경을 요하는 절단 패턴(예컨대, 단자부와 그외 외주 컷)을 스크라이브할 때, 프로세스 조건에 가장 적합한 날끝의 종류를 변환할 필요가 있다. 또한, 기판의 상하 분단에서는, 날끝과 대면하는 측은 백업 롤러를 사용하기 때문에, 날끝과 백업 롤러의 변환이 행해져야 할 필요가 있다. 또한, 수지 기판을 절단하는 경우에는, 수지 기판을 커팅할 때 솟아오른 수지를 압입할 목적으로 전압(轉壓) 롤러를 사용하기 때문에, 수지 기판을 커팅하는 툴과 전압 롤러의 2가지를 사용해야 할 필요가 있다.

그런데, 종래의 스크라이브 장치에서는, 이와 같이 날끝 종류의 변환이나 롤러와의 변환 용도가 필요한 경우에, 변환되어야 할 툴을 장착하고 있는 별개의 스크라이브 장치를 필요한 수만큼 구비하여, 기존의 것과 교체하는 방법이 일반적이어서, 불편함이 발생되고 있는 실정이다.

국내공개특허공보 제2011-0090182호

따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 감안하여 창출한 것으로, 그 목적은 박판의 유리 기판 등을 스크라이브할 때에 저압 하중을 정밀도 좋게 제어할 수 있을 뿐만 아니라, 툴의 종류를 변환할 필요가 있을 때, 별개의 스크라이브 장치로 교체하지 않고, 하나의 스크라이브 장치에서 서로 다른 종류의 툴로 연속해서 사용할 수 있도록 하는 다중 스크라이브 장치를 제공함에 있다.

상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 다중 스크라이브 장치는, 기판의 분단시에 사용되는 스크라이브 장치로서, 회전력을 발생시킬 수 있는 회전 수단과, 회전 수단을 사이에 두고 서로 대향하여 배치되며, 회전 수단과 연동하도록 결합되어, 회전 수단의 회전력에 의해 상호 반대 방향으로 이동하도록 형성된 제1 이동 수단 및 제2 이동 수단과, 제1 이동 수단과 결합되고, 제1 이동 수단의 이동에 따라 기판의 두께 방향으로 이동되는 제1 툴 홀더와, 제2 이동 수단과 결합되고, 제1 이동 수단과 반대 방향으로 이동하는 제2 이동 수단의 이동에 따라, 제1 툴 홀더의 이동 방향과는 반대 방향으로 이동되는 제2 툴 홀더를 구비한다.

상기 회전수단에는 로터리 액츄에이터가 포함될 수 있다.

또한, 로터리 액츄에이터에는 피니언 기어가 연결되고, 제1 이동 수단에는 제1 래크 기어가, 그리고 제2 이동 수단에는 제2 래크 기어가 포함되며, 제1 래크 기어와 제2 래크 기어는 피니언 기어를 사이에 두고 피니언 기어와 연동하도록 맞물려 결합될 수 있다.

그리고, 제1 툴 홀더의 하중에 의해 제1 래크 기어가 피니언 기어에 작용하는 힘과, 제2 툴 홀더의 하중에 의해 제2 래크 기어가 피니언 기어에 작용하는 힘이, 피니언 기어의 회전 중심에 대하여 서로 대향하는 양쪽에서 같은 방향으로 작용하도록, 제1 래크 기어 및 제2 래크 기어가 피니언 기어에 결합될 수 있다.

또한, 회전수단에는 모터가 포함될 수 있다.

또한, 제1 툴 홀더에 장착되는 제1 툴과, 제2 툴 홀더에 장착되는 제2 툴은 서로 다른 툴로서, 제1 툴 및 제2 툴은 모두 스크라이빙 휠 또는 롤러이거나, 제1 툴 및 제2 툴의 어느 하나는 스크라이빙 휠이고 다른 하나는 롤러일 수 있다.

본 발명에 따른 스크라이브 장치는, 서로 다른 툴을 장착하고 있는 한 쌍의 툴 홀더가 각각 이동 수단에 연결되고, 회전 수단의 회전력에 의해 각 이동 수단이 상호 반대 방향으로 이동하도록 각 이동 수단과 회전 수단이 결합되어 있어, 스크라이브 작업시 툴을 변환해야 하는 경우가 발생하더라도, 스크라이브 장치를 교체하지 않고, 하나의 스크라이브 장치 내에서 툴의 종류를 바꿔가면서 작업할 수 있다.

또한, 한 쌍의 툴 홀더를 이동시키는 각각의 이동 수단은 회전 수단을 사이에 두고 회전 수단의 양쪽에서 서로 대향하여 배치되기 때문에, 한쪽의 툴 홀더의 자중과 다른 한쪽의 툴 홀더의 자중이 회전 수단을 지지점으로 하여 양쪽에서 균형을 이룰 수 있다. 따라서, 사용하려는 한쪽의 툴 홀더에 소정의 압력을 부여할 때, 당해 툴 홀더의 자중이 사용하지 않는 다른 한쪽의 툴 홀더의 자중에 의해 캔슬될 수 있어, 당해 툴 홀더의 자중을 고려하지 않고, 기판 두께 방향으로 하중값을 적용할 수 있는 효과가 있다.

특히, 종래의 스크라이브 장치로 박판의 유리 기판을 스크라이브할 때에는, 박판의 유리 기판에 적합한 압력보다 툴 홀더의 자중에 의해 가해지는 압력이 더 크게 되어, 박판의 유리 기판을 절단하는데 곤란한 점이 있었으나, 본 발명에 따른 스크라이브 장치에 의하면, 한쪽의 툴 홀더의 무게가 반대쪽의 툴 홀더의 무게에 의해 상쇄되는 구조이기 때문에, 툴 홀더에 부여되는 압력을 제어할 때, 툴 홀더 자체의 무게를 고려하지 않고 정밀도 좋게 압력을 제어할 수 있는 효과가 있다.

도 1 은 종래의 스크라이브 장치를 나타내는 도면이다.
도 2 는 본 발명의 일 실시형태에 따른 다중 스크라이브 장치에 있어서 이동 수단 및 회전 수단의 결합 및 작동 상태를 나타내는 개략도이다.
도 3 은 본 발명의 일 실시형태에 따른 다중 스크라이브 장치를 나타내는 도면이다.
도 4 는 본 발명의 일 실시형태에 따른 다중 스크라이브 장치를 나타내는 사시도이다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태에 대하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시형태에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 간단·명료하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다. 또한, 본 발명의 실시 형태에 대해서는 종래의 스크라이브 장치와의 구성상의 차이점을 중심으로 설명하며, 종래의 스크라이브 장치와 동일하거나 유사한 구성에 대해서는 그의 설명을 생략한다.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시형태에 따른 스크라이브 장치(1)는, 서로 다른 툴을 지지할 수 있는 제1 툴 홀더(20) 및 제2 툴 홀더(30)와, 이들 제1 툴 홀더(20) 및 제2 툴 홀더(30)에 각각 장착되는 제1 툴(22) 및 제2 툴(33)을 구비한다.

본 실시형태의 제1 툴 홀더(20) 및 제2 툴 홀더(30)는 박판의 기판(100)에 대한 수직 방향(이하, '가압 방향' 또는 '기판의 두께 방향'이라고도 칭한다)에 있어서 서로 반대 방향으로 연동하여 이동할 수 있도록 하나의 스크라이브 장치(1)에 일체로 장착되어 있으며, 작업 용도에 맞게 하나의 툴 홀더를 선택하여 사용할 수 있도록 되어 있다.

또한, 제1 툴 홀더(20) 및 제2 툴 홀더(30)에 장착되는 제1 툴(22) 및 제2 툴(33)은 얇은 박판의 유리 기판(100) 등에 스크라이브 작업을 수행할 때 사용될 수 있는 공구로서, 스크라이빙 휠(scribing wheel), 롤러, 스크라이버 등이 포함될 수 있다. 그리고, 제1 툴(22) 및 제2 툴(33)은 서로 동일할 수도 있지만, 본 실시 형태에서는 제1 툴(22) 및 제2 툴(33)로서 서로 다른 툴이 선택된다. 여기서, '서로 다른 툴'의 의미는, 제1 툴(22)과 제2 툴(33)의 종류가 서로 다른 경우(예컨대, 제1 툴(22)이 스크라이빙 휠이고, 제2 툴(33)이 롤러이거나, 이와 반대의 경우 등)뿐만 아니라, 제1 툴(22)과 제2 툴(33)의 종류는 서로 동일하지만, 툴의 크기, 형상, 용도 등이 서로 다른 경우(예컨대, 제1 툴(22) 및 제2 툴(33) 모두 스크라이빙 휠이지만, 크기, 형상, 용도 등이 서로 다른 경우)도 포함되며, 그 외 제1 툴(22)과 제2 툴(33)의 다양한 조합도 가능함은 물론이다. 이하, 본 실시형태에서는, 제1 툴(22) 및 제2 툴(33)이 서로 다른 스크라이빙 휠인 것으로 설명한다.

이러한 스크라이브 장치(1)를 이용하여 박판의 유리 기판(100)을 사용자의 요구에 맞는 크기로 분단하기 위해서, 도 3에 도시된 바와 같이, 스크라이브 장치(1)를 분단될 박판의 유리 기판(100)상으로 이동시킨다.

그리고, 스크라이브 장치(1)가 박판의 유리 기판(100) 상부측으로 이동되어 위치되면, 스크라이브 장치(1)에 장착되어 있는 서버 모터(66)를 작동시켜 볼 스크류(69)를 회전시킨다. 이로 인해, 볼 스크류(69)와 연결되어 있는 제1 툴 홀더(20) 및 제2 툴 홀더(30)는 유리 기판(100)의 두께 방향으로 하강되면서, 기판의 두께 방향으로 위치 조정된다.

또한, 이때, 박판의 유리 기판(100)에 스크라이브 작업을 하는데 사용될 적절한 툴을 선택하여, 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 제1 툴 홀더(20) 및 제2 툴 홀더(30) 중 어느 하나의 툴 홀더 및 툴 만이 하강된다.

이와 같이, 제1 툴 홀더(20) 및 제2 툴 홀더(30) 중 어느 한쪽만을 하강시키기 위해, 본 실시형태에 따른 스크라이브 장치(1)는, 제1 툴 홀더(20)와 제2 툴 홀더(30)의 사이에 배치되어 회전력을 발생시키는 회전 수단(50)과, 이 회전 수단(50)과 결합된 상태에서 회전 수단(50)의 회전력에 의해 제1 툴 홀더(20) 및 제2 툴 홀더(30)를 각각 수직 이동시키는 제1 이동 수단(25) 및 제2 이동 수단(35)을 추가로 포함한다.

구체적으로, 제1 이동 수단(25) 및 제2 이동 수단(35)은 회전 수단(50)과 마찰 또는 이맞물림 등에 의해 연동되도록 결합되어 있어, 회전 수단(50)에 의해 발생된 회전력이, 회전 수단(50)과 결합된 제1 이동 수단(25) 및 제2 이동 수단(35)으로 전달된다. 그리고, 이로 인해 제1 이동 수단(25) 또는 제2 이동 수단(35)이 기판의 두께 방향으로 승하강되면, 제1 이동 수단(25)과 결합되어 있는 제1 툴 홀더(20) 또는 제2 이동 수단(35)과 결합되어 있는 제2 툴 홀더(30)가 기판의 두께 방향으로 승하강될 수 있다.

또한, 제1 이동 수단(25)과 제2 이동 수단(35)은 회전 수단(50)을 사이에 두고 서로 대향하도록 위치된 상태에서 상기 회전 수단(50)과 결합되어 있어, 회전 수단(50)에 의해 발생된 회전력에 따라, 제1 툴 홀더(20) 및 제2 툴 홀더(30)는 기판에 대하여 서로 반대 방향의 위치로 승하강될 수 있다.

따라서, 본 실시형태에 따르면, 작업 공정에서 박판의 유리 기판에 대해 날끝 종류의 변환을 할 필요가 있을 때, 제1 툴 홀더(20)에 장착되어 있는 제1 툴(22)로부터 제2 툴 홀더(30)에 장착되어 있는 제2 툴(33)로, 또는 이와 반대로, 제2 툴 홀더(30)에 장착되어 있는 제2 툴(33)로부터 제1 툴 홀더(20)에 장착되어 있는 제1 툴(22)로, 회전 수단(50)의 작동에 의해 간단하게 교체하여 사용할 수 있는 장점이 있다.

또한, 본 실시형태에 따른 스크라이브 장치(1)는, 제1 툴 홀더(20)에 장착된 제1 툴(22)과 제2 툴 홀더(30)에 장착된 제2 툴(33)로 박판의 유리 기판에 저압의 하중을 부여하면서 스크라이브 작업을 정밀도 좋게 수행할 수 있는 효과가 있다.

구체적으로, 제1 툴 홀더(20)와 제2 툴 홀더(30)는 회전 수단(50)을 사이에 두고 좌우측에 위치한 상태로 회전 수단(50)과 결합되어 있어, 회전 수단(50)을 중심으로 하여 각각의 자중에 의해 하중의 균형이 잡혀 있다.

여기서, 본 실시형태에 따른 회전 수단(50)으로서는, 모터 등이 사용될 수도 있지만, 공압 등을 이용한 로터리 액츄에이터가 사용된다. 또한, 로터리 액츄에이터(50)에는, 회전력을 확실하게 전달하기 위해 피니언 기어(55)가 장착되어 있다. 그리고, 이 피니언 기어(55)를 사이에 두고, 제1 이동 수단(25)으로서 제1 래크 기어(25)와 제2 이동 수단(35)으로서 제2 래크 기어(35)가 피니언 기어(55)와 이맞물림에 의해 결합되어 있다. 따라서, 피니언 기어(55)의 회전력이 손실되지 않고 제1 래크 기어(25) 및 제2 래크 기어(35)로 전달될 수 있다. 또한, 회전수단(50)과 제1 이동 수단(25) 및 제2 이동 수단(35)은, 로터리 액츄에이터(50)에 연결되는 피니언 기어(55)와 제1 및 제2 래크 기어(25, 35)로 한정되는 것은 아니며, 회전 수단은 롤러, 제1 및 제2 이동수단은 롤러와의 마찰에 의해 연동되어 움직일 수 있는 평면인 바 등의 조합도 가능하다.

이러한 구성의 스크라이브 장치(1)를 이용하여, 박판의 유리 기판(100)에 대해 기판의 두께 방향으로 압력을 가하면서 분단 작업을 실시할 때, 외부로부터 공기가 레귤레이터(62) 및 솔레노이드 밸브(60)를 통해 유입되면서 공기 유로가 결정되고, 이로 인해 회전 수단(50)에 가해지는 압력이 제어된다.

즉, 솔레노이드 밸브(60)를 통하여 공급되는 공압에 의해 로터리 액츄에이터(50)가 피니언 기어(55)를 시계방향으로 정회전시키면, 피니언 기어(55)의 회전에 의해 제2 래크 기어(35)는 하방쪽으로 힘을 받아 하강되고, 이에 따라 제2 래크 기어(35)에 결합되어 있는 제2 툴 홀더(30) 및 제2 툴(33)도 하강된다.

그런데, 이때, 도 2 에 도시된 바와 같이, 제1 래크 기어(25)는 피니언 기어(55)를 사이에 두고 제2 래크 기어(35)와 대향 배치되어 있고, 제1 래크 기어(25)에는 제1 툴 홀더(20) 및 제1 툴(22)이 결합되어 있다. 즉, 제1 래크 기어(25)도 제1 툴 홀더(20) 및 제1 툴(22)의 자중에 의해 피니언 기어(55)를 하방으로 잡아당기고 있기 때문에, 제1 툴 홀더(20) 및 제1 툴(22)의 자중이 제2 툴 홀더(30) 및 제2 툴(33)의 자중을 캔슬하는 역할을 하게 된다. 즉, 제1 툴 홀더(20)와 제2 툴 홀더(30)는 피니언 기어(55)를 중앙에 두고 서로의 하중에 따른 밸런스가 유지되는 시이소와 같은 상태로 형성되어 있다. 따라서, 피니언 기어(55)를 회전시켜 제2 래크 기어(35)를 하방으로 이동시킬 때, 제2 툴 홀더(30) 및 제2 툴(33)의 자중을 고려하지 않고 박판의 유리 기판(100)에 저압의 하중을 부여할 수 있게 된다.

한편, 이와는 반대로, 제1 툴 홀더(20)가 하강되어 사용될 때에는, 솔레노이드 밸브(60)를 작동시켜 공압의 흐름을 역회전시키면, 로터리 액츄에이터(50)에 의해 피니언 기어(55)는 반시계 방향으로 역회전하게 된다. 그리고, 상기한 바와 마찬가지로, 이 경우에도, 제2 툴 홀더(30) 측의 자중이 제1 툴 홀더(20) 측의 자중을 캔슬하여 밸런스를 유지하는 역할을 하기 때문에, 박판의 유리 기판(100)으로 가해지는 압력값에 제1 툴 홀더(20) 측의 자중을 고려하지 않아도 된다. 따라서, 박판의 유리 기판(100)에 하중을 가할 때, 스프링 등을 이용하여 역하중을 부여하지 않더라도, 저압의 하중을 정밀도 좋게 제어하면서 가할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치(1)는, 상하의 두께가 상이한 이종 접합 유리 기판을 분단할 때나, 스크라이브 위치에 의한 날끝 변경을 필요로 하는 분단 패턴으로 단자부 또는 그외의 외주 컷으로 스크라이브 할 때 등, 프로세스 조건에 적합한 날끝의 종류로 변환해서 작업할 필요가 있을 때에, 프로세스 조건에 적합한 날끝(예컨대, 제1 툴(22) 또는 제2 툴(33))으로의 교체가 매우 용이하다.

또한, 본 실시형태에 따른 로터리 액츄에이터(50)는 공압 등을 이용하기 때문에, 제1 툴 홀더(20) 측에 일정한 압력이 가해지면, 반대쪽의 제2 툴 홀더(30)측으로 약간의 반력이 발생되어 완충 역할을 할 수 있게 된다.

또한, 본 실시형태에 따른 스크라이브 장치(1)는, 제1 및 제2 툴 홀더(20, 30)측의 자중을 고려하지 않아도 되기 때문에, 로터리 액츄에이터(50)에 접속된 레귤레이터(62)에 의한 제어값을 그대로 가압 하중에 반영할 수 있는 효과가 있다.

한편, 본 실시형태에서는, 2개의 툴 홀더(20, 30)를 이용하여 박판의 유리 기판의 상면에만 하중을 가압하는 경우에 대해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고, 기판의 하면측에 적용하거나, 기판의 상면 및 하면에 동시에 적용하는 경우도 가능하다. 특히, 기판의 상하 분단 장치에 적용하는 경우, 기판에 대하여 툴 홀더의 자중이 가해지는 방향이 서로 반대가 되기 때문에, 종래의 스크라이브 장치로 기판의 상하 분단을 행하는 경우, 기판의 상면측에서는 툴 홀더측을 스프링으로 매달아 올리고, 기판의 하면측에서는 툴 홀더의 자중만큼을 하중으로부터 빼는 데이터 처리가 필요했다. 하지만, 본 실시 형태에 따른 스크라이브 장치를 이용하는 경우, 기판의 상면측 및 하면측 모두 동일한 조건하에서 운용할 수 있는 장점이 있다.

20: 제1 툴 홀더
22: 제1 툴
30: 제2 툴 홀더
33: 제2 툴
25: 제1 이동 수단(제1 래크 기어)
35: 제2 이동 수단(제2 래크 기어)
50: 회전 수단(로터리 액츄에이터)
55: 피니언 기어
60: 솔레노이드 밸브
62: 레귤레이터
66: 서보 모터
69: 볼 스크류
100: 유리 기판

Claims

기판의 분단시에 사용되는 스크라이브 장치로서,
회전력을 발생시킬 수 있는 회전 수단(50)과,
상기 회전 수단(50)을 사이에 두고 서로 대향하여 배치되며, 상기 회전 수단(50)과 연동하도록 결합되어, 상기 회전 수단(50)의 회전력에 의해 상호 반대 방향으로 이동하도록 형성된 제1 이동 수단(25) 및 제2 이동 수단(35)과,
상기 제1 이동 수단(25)과 결합되고, 상기 제1 이동 수단(25)의 이동에 따라 상기 기판의 두께 방향으로 이동되는 제1 툴 홀더(20)와,
상기 제2 이동 수단(35)과 결합되고, 상기 제1 이동 수단(25)과 반대 방향으로 이동하는 상기 제2 이동 수단(35)의 이동에 따라, 상기 제1 툴 홀더(20)의 이동 방향과는 반대 방향으로 이동되는 제2 툴 홀더(30)를 구비하고,
상기 회전 수단(50)에는, 공압(空壓)을 이용하는 로터리 액츄에이터(50)가 포함되고,
상기 로터리 액츄에이터(50)는, 상기 제1 툴 홀더(20) 측에 일정한 압력이 가해지면, 상기 압력에 대응하여 상기 제2 툴 홀더(30) 측으로부터 발생하는 반발력을 이용하여, 완충역할을 수행하는 것을 특징으로 하는 다중 스크라이브 장치.
제 1 항에 있어서,
상기 로터리 액츄에이터(50)에는 피니언 기어(55)가 연결되고,
상기 제1 이동 수단(25)에는 제1 래크 기어(25)가, 그리고 상기 제2 이동 수단(35)에는 제2 래크 기어(35)가 포함되며,
상기 제1 래크 기어(25)와 상기 제2 래크 기어(35)는 상기 피니언 기어(55)를 사이에 두고 상기 피니언 기어(55)와 연동하도록 맞물려 결합되는 것을 특징으로 하는 다중 스크라이브 장치.
제 2 항에 있어서,
상기 제1 툴 홀더(20)의 하중에 의해 상기 제1 래크 기어(25)가 상기 피니언 기어(55)에 작용하는 힘과, 상기 제2 툴 홀더(30)의 하중에 의해 상기 제2 래크 기어(35)가 상기 피니언 기어(55)에 작용하는 힘이, 상기 피니언 기어(55)의 회전 중심에 대하여 서로 대향하는 양쪽에서 같은 방향으로 작용하도록, 상기 제1 래크 기어(25) 및 상기 제2 래크 기어(35)가 상기 피니언 기어(55)에 결합되는 것을 특징으로 하는 다중 스크라이브장치.
제 1 항에 있어서,
상기 제1 툴 홀더(20)에 장착되는 제1 툴(22)과, 상기 제2 툴 홀더(30)에 장착되는 제2 툴(33)은 서로 다른 것을 특징으로 하는 다중 스크라이브 장치.
제 4 항에 있어서,
상기 제1 툴(22) 및 상기 제2 툴(33)은 모두 스크라이빙 휠 또는 롤러이거나, 상기 제1 툴(22) 및 상기 제2 툴(33)의 어느 하나는 스크라이빙 휠이고 다른 하나는 롤러인 것을 특징으로 하는 다중 스크라이브 장치.