TW201730122A - 基板切斷用之劃線頭旋轉裝置 - Google Patents

基板切斷用之劃線頭旋轉裝置 Download PDF

Info

Publication number
TW201730122A
TW201730122A TW105136388A TW105136388A TW201730122A TW 201730122 A TW201730122 A TW 201730122A TW 105136388 A TW105136388 A TW 105136388A TW 105136388 A TW105136388 A TW 105136388A TW 201730122 A TW201730122 A TW 201730122A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
motor
head
scribing head
cutting
shaft
Prior art date
Application number
TW105136388A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI627147B (zh
Inventor
Pii-Jong Kim
Original Assignee
Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd filed Critical Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd
Publication of TW201730122A publication Critical patent/TW201730122A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI627147B publication Critical patent/TWI627147B/zh

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/22Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by cutting, e.g. incising
    • B28D1/225Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by cutting, e.g. incising for scoring or breaking, e.g. tiles
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K7/00Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
    • H02K7/14Structural association with mechanical loads, e.g. with hand-held machine tools or fans

Abstract

本發明之課題在於提供一種基板切斷用之劃線頭旋轉裝置,其具備用以使劃線頭進行軸旋轉之專用馬達,且動作精度與敏捷性優異,能以高速形成準確之劃線,可使作業效率大幅上升。 本發明之基板切斷用之劃線頭旋轉裝置包含:主體;垂直導引器,其固定於主體,提供垂直之導引路徑;升降部,其可升降地被支持於垂直導引器,且於其下部具有劃線頭;升降機構,其使升降部於垂直方向升降運動;頭作動馬達,其係於被彈力支持於升降部之狀態下,當升降部上升時,被向下部按壓而朝劃線頭側移動;及馬達加壓部,其將頭作動馬達朝劃線頭側向下加壓。

Description

基板切斷用之劃線頭旋轉裝置
本發明係關於用以決定於脆性基板形成劃線之劃線頭之行走方向而使用之基板切斷用之劃線頭旋轉裝置。
先前,於將包含玻璃基板之脆性基板切斷成所需尺寸之情形時,使用具備切斷輪之切斷裝置。此種切斷裝置以使切斷輪壓接於基板表面之狀態一面施加載荷一面使切斷輪行走,而於基板表面形成劃線。於形成劃線後,對劃線施加彎曲應力而分斷基板。 另一方面,切斷輪以藉由銷連結於劃線頭之下端部之狀態相對於基板滾動,但切斷輪之行走方向由劃線頭之軸旋轉而決定。即,藉由使劃線頭進行軸旋轉而轉換切斷輪之行走方向。 例如,為了將沿X方向行走之切斷輪之行走路徑彎曲90度,必須使劃線頭進行90度軸旋轉。 另一方面,於韓國登錄專利公報第10-1528905號中揭示有附有迴旋機構之劃線頭。該附有迴旋機構之劃線頭具備用以將切割輪之行走方向變更為特定方向之迴旋機構。 然而,上述附有迴旋機構之劃線頭有其構造複雜,且構成零件較多之缺點。複雜且零件較多導致重量較重之事態。若重量較重則動作之敏捷性下降,較多地受慣性力之影響而於提高作業速度上存在極限。
[發明所欲解決之問題] 本發明係為了解決上述問題點研究而成者,目的在於提供一種基板切斷用之劃線頭旋轉裝置,其具備用以使劃線頭進行軸旋轉之專用馬達,且動作精度與敏捷性優異,故而可以高速形成準確之劃線,且可使作業效率大幅上升,整體構造簡單,容易維護。 [解決問題之技術手段] 用以達成上述目的之本發明之基板切斷用之劃線頭旋轉裝置之特徵在於包含:主體;垂直導引器,其固定於上述主體,提供垂直之導引路徑;升降部,其可升降地被支持於上述垂直導引器,且於其下部具有劃線頭;升降機構,其使上述升降部於垂直方向升降運動;頭作動馬達,其係於被彈力支持於上述升降部之狀態下,當上述升降部上升時,被向下方按壓而朝上述劃線頭側移動;及馬達加壓部,其將上述頭作動馬達朝上述劃線頭側向下加壓。 另,本發明之特徵在於,上述升降機構包含:上部馬達,其被支持於上述主體;及導螺桿,其藉由上述上部馬達進行軸旋轉,垂直配置於上述頭作動馬達之鉛直上部;且上述升降部包含:螺桿結合部,其螺合於上述導螺桿,根據上述導螺桿之軸旋轉而升降;及馬達支持部,其固定於上述螺桿結合部,其一部分可滑動地被支持於上述垂直導引器,將上述頭作動馬達可升降地予以支持。 再者,本發明之特徵在於,上述馬達加壓部包含:旋轉盤,其固定於上述導螺桿之下端部,且具有下部開放之收納槽;及加壓盤,其位於上述旋轉盤之下部,可於其一部分被夾於上述旋轉盤之收納槽之內部之狀態下旋轉,且於下降時將上述頭作動馬達向下加壓。 而且,本發明之特徵在於,上述頭作動馬達係以被支持於上述升降部之狀態藉由彈力機構被向上彈力支持,具有朝鉛直下部延長之馬達軸,且於上述劃線頭之上端部形成有轉矩傳遞槽,上述轉矩傳遞槽係於上述頭作動馬達下降時,收納馬達軸之下端部而自馬達軸傳遞旋轉轉矩。 再者,本發明之特徵在於,上述馬達軸與上述轉矩傳遞槽具有多邊形之構造,上述轉矩傳遞槽具有於上述馬達軸插入至上述轉矩傳遞槽之狀態下、其內側面可與上述馬達軸隔開之尺寸。 另,本發明之特徵在於,於上述劃線頭之周邊,具備感知上述劃線頭之角度之感測器。 [發明之效果] 如上述般構成之本發明之基板切斷用之劃線頭旋轉裝置具備用以使劃線頭進行軸旋轉之專用馬達,且動作精度與敏捷性優異,故而可以高速形成準確之劃線,且尤其可於直角彎折之路徑上非常精密且迅速地行走,從而作業品質及效率優異,整體構造簡單,容易維護。
以下,參照附加圖式對本發明之一實施例更詳細說明。 基本上,後述之本實施例之基板切斷用之劃線頭旋轉裝置11具有包含如下等之構成:專用馬達(頭作動馬達35),其用以使於下端部具有切斷輪45之劃線頭43迅速且準確地進行軸旋轉;及周邊要件,其用以驅動該專用馬達。 可使劃線頭43迅速且準確地進行軸旋轉係指,可精密地控制切斷輪之行走方向而形成準確之劃線。 圖1係用以說明本發明之一實施例之基板切斷用之劃線頭旋轉裝置11之構成之圖。 若參照圖1,則本實施例之基板切斷用之劃線頭旋轉裝置11包含:主體13,其提供支持力;垂直導引器25,其固定於主體13之一側,具有垂直延長之導引路徑;升降固持器27,其可升降地支持於垂直導引器25;上部馬達15及導螺桿17,其等位於升降固持器27之上部,使升降固持器27於垂直方向移動;劃線頭43,其設置於升降固持器27之下部;及頭作動馬達35,其設置於劃線頭43之上部,使劃線頭43進行軸旋轉。 首先,主體13係基板切斷裝置(未圖示)之一部分,具有相對於基板A形成為垂直之支持面13a。 垂直導引器25係固定於支持面13a且垂直延長之線性導引器(linear guider),收納支持升降固持器27之一部分即馬達支持部31之一部分。馬達支持部31以支持於垂直導引器25之狀態於垂直方向滑動。 升降固持器27包含:塊狀或板狀之螺桿結合部29;馬達支持部31,其固定於螺桿結合部29之端部,朝下部延長;承受支架33,其位於馬達支持部31之下端部;及圓筒狀頭固持器41,其固定於承受支架33之下部。 升降固持器27以支持於垂直導引器25之狀態藉由上部馬達15之作動而於垂直方向升降運動,調節劃線頭43相對於基板A之高度。當升降固持器27上升時切斷輪45自基板A離開而上升,當下降時切斷輪45按壓基板A。 對於升降固持器27之其餘說明將予以後述。 上部馬達15係位於升降固持器27之鉛直上部之伺服馬達,於其驅動軸具有導螺桿17。上部馬達15以藉由固定臂15a牢固地固定於主體13之側部之狀態,藉由自外部傳遞之電力而產生旋轉轉矩,使導螺桿17順時針及朝其相反方向進行軸旋轉。 導螺桿17係於其外周面形成有內螺紋之垂直之軸,與螺桿結合部29螺合。藉由導螺桿17進行軸旋轉而使螺桿結合部29升降。 於導螺桿17之下端部具備旋轉盤19與加壓盤21。旋轉盤19與加壓盤21發揮將頭作動馬達35朝圖4之f方向按壓之加壓部之功能。即,如圖4所示,於升降固持器27朝箭頭D方向上升時,發揮將頭作動馬達35朝著向下之f方向加壓之功能。 如後述般,頭作動馬達35被向下按壓而朝劃線頭43側下降,在馬達軸37插入至設置於劃線頭43之上部之轉矩傳遞槽(圖2之43a)之狀態下使劃線頭43進行軸旋轉。於切斷輪45與基板A分開之狀態下,劃線頭43進行軸旋轉。若劃線頭43進行軸旋轉,則切斷輪45之行走方向變更。 旋轉盤19係一體固定於導螺桿17之下端部、且於導螺桿17進行軸旋轉時一同旋轉之圓板狀構件,且具有下部開放之收納槽19a。收納槽19a係具有一定內徑之槽,於其內周面具有階差(無圖式符號)。 又,加壓盤21係以其一部分插入支持於收納槽19a之內部之狀態進行軸旋轉之構件。因此,於加壓盤21之上部,形成有與收納槽19a之內部之階差卡合而被支持之卡止階差21a。藉由卡止階差21a,加壓盤21以不自旋轉盤19脫離之方式被支持。 而且,於卡止階差21a之下部具備軸承19b。軸承19b係以使加壓盤21相對於旋轉盤19之旋轉順利地實現之方式作用。 另一方面,升降固持器27具備內部空間27a,且於內部空間27a具有頭作動馬達35。頭作動馬達35係藉由自外部傳遞之電信號而作動之伺服馬達,且具有朝鉛直下方延長之馬達軸37。藉由頭作動馬達35之作動使馬達軸37進行軸旋轉。 頭作動馬達35由馬達罩35a包圍。馬達罩35a係用以使頭作動馬達35間接地被支持於馬達支持部31之構件,於水平方向延長,且插入至垂直槽31a。 垂直槽31a係形成於馬達支持部31並垂直延長、且於頭作動馬達35側開放之槽,且收納支持馬達罩35a之延長端部。馬達罩35a能以部分地插入至垂直槽31a之狀態進行升降運動。 另,於垂直槽31a之內部具備彈簧39。彈簧39發揮以介隔在於馬達罩35a與承受支架33之間之狀態向上支持馬達罩35a之功能。 藉由彈簧39之作用,頭作動馬達35位於垂直槽31a容許之上死點,等待加壓盤21下降。彈簧39於加壓盤21將頭作動馬達35朝箭頭f方向加壓時被壓縮,而使馬達軸37可插入至轉矩傳遞槽43a。 若去除加壓盤21之加壓力,則頭作動馬達35藉由彈簧39之彈性恢復力上升至上死點而與劃線頭43分離。 圖式符號33a及35b係支持彈簧39而避免彈簧39彈出至外部之支持突起。 頭固持器41係固定於承受支架33之下部之圓筒狀之構件,於其內部將劃線頭43可進行軸旋轉地予以支持。劃線頭43之中心軸線與馬達軸37之中心軸線一致。 另,於頭固持器41與劃線頭43之間配置有多個感測器47、49。感測器47、49發揮感知劃線頭43之旋轉角度之功能。感測器47、49感知到之角度資訊被傳送至外部之控制器(未圖示),藉由控制器而執行相符之下述動作。 圖2係顯示圖1所示之劃線頭43與馬達軸37之相對位置之局部立體圖,圖3a及圖3b係用以說明馬達軸37相對於劃線頭43之作動特性之圖。 如圖示般,於劃線頭43之上端部形成有其內向面呈正六邊形之形態之轉矩傳遞槽43a。轉矩傳遞槽43a係自順時針或朝其相反方向進行軸旋轉之馬達軸37傳遞旋轉力之槽。 另,馬達軸37形成為六角棒狀,於下端具有錐形部37a。錐形部37a係越向下部越收縮之部分,例如用以於將馬達軸37插入至轉矩傳遞槽43a時,避免馬達軸37碰撞轉矩傳遞槽43a之緣部。 如圖3a所示,於轉矩傳遞槽43a之內側面與馬達軸37之外周面之間具有餘裕間隔Z。 如此設置餘裕間隔Z之理由在於更迅速且穩定地實現馬達軸37對於轉矩傳遞槽43a之插入,當然亦為了防止摩擦引起之磨損。當然,亦可以轉矩傳遞槽43a之內側面與馬達軸37之外側面成面接之方式製作,但此種情形時,有時由於馬達軸37與轉矩傳遞槽43a之磨損嚴重,故而使壽命縮短。 餘裕間隔Z係設計為在馬達軸37以角度θ進行軸旋轉之狀態下,馬達軸37之角可與轉矩傳遞槽43a之內側面線接觸。角度θ可設計成10度至30度左右。 因此,例如,若為了使劃線頭43進行90度軸旋轉,則必須使馬達軸37進行90度+θ軸旋轉。 圖4係用以說明圖1所示之基板切斷用之劃線頭旋轉裝置11之動作之圖。 為了一面於基板A形成固定方向之劃線,一面變更切斷輪45之行走方向,如上述般,於將切斷輪45自基板A離開後,必須使劃線頭43進行軸旋轉。 為了進行此種動作,首先,驅動上部馬達15而將升降固持器27朝箭頭D之方向升起。此時,頭作動馬達35當然亦一同上升。 若於頭作動馬達35上升而到達加壓盤21之底面之狀態下,使升降固持器27進而上升,則頭作動馬達35無法進一步上升,僅升降固持器27與劃線頭43上升。如此一來,頭作動馬達35與劃線頭43之間隔變窄,最終馬達軸37便插入至轉矩傳遞槽43a。 若馬達軸37插入至轉矩傳遞槽43a之內部,使上部馬達15停止,驅動頭作動馬達35而使劃線頭43朝期望之方向進行軸旋轉。 當劃線頭43之軸旋轉完成後,再次驅動上部馬達15而使升降固持器27下降。藉由升降固持器27下降,頭作動馬達35與加壓盤21隔開,與此同時,藉由彈簧39之彈性恢復力,使頭作動馬達35移動至上述上死點而亦與劃線頭43分離。 若使升降固持器27進而下降且切斷輪45到達基板A,繼續進行劃線步驟。 以上,通過具體之實施例詳細說明本發明,但本發明並非限定於上述實施例,可由具有一般知識者於本發明之技術性思想之範圍內進行各種變化。
11‧‧‧旋轉裝置
13‧‧‧主體
13a‧‧‧支持面
15‧‧‧上部馬達
15a‧‧‧固定臂
17‧‧‧導螺桿
19‧‧‧旋轉盤
19a‧‧‧收納槽
19b‧‧‧軸承
21‧‧‧加壓盤
21a‧‧‧卡止階差
25‧‧‧垂直導引器
27‧‧‧升降固持器
27a‧‧‧內部空間
29‧‧‧螺桿結合部
31‧‧‧馬達支持部
31a‧‧‧垂直槽
33‧‧‧承受支架
33a‧‧‧支持突起
35‧‧‧頭作動馬達
35a‧‧‧馬達罩
35b‧‧‧支持突起
37‧‧‧馬達軸
37a‧‧‧錐形部
39‧‧‧彈簧
41‧‧‧頭固持器
43‧‧‧劃線頭
43a‧‧‧轉矩傳遞槽
45‧‧‧切斷輪
47‧‧‧感測器
49‧‧‧感測器
A‧‧‧基板
D‧‧‧箭頭
f‧‧‧箭頭
Z‧‧‧餘裕間隔
θ‧‧‧角度
圖1係用以說明本發明之一實施形態之基板切斷用之劃線頭旋轉裝置之構成之圖。 圖2係顯示圖1所示之劃線頭與馬達軸之相對位置之局部立體圖。 圖3(a)、(b)係用以說明圖2所示之馬達軸相對於劃線頭之作動特性之圖。 圖4係用以說明圖1所示之基板切斷用之劃線頭旋轉裝置之動作之圖。
11‧‧‧旋轉裝置
13‧‧‧主體
13a‧‧‧支持面
15‧‧‧上部馬達
15a‧‧‧固定臂
17‧‧‧導螺桿
19‧‧‧旋轉盤
19a‧‧‧收納槽
19b‧‧‧軸承
21‧‧‧加壓盤
21a‧‧‧卡止階差
25‧‧‧垂直導引器
27‧‧‧升降固持器
27a‧‧‧內部空間
29‧‧‧螺桿結合部
31‧‧‧馬達支持部
31a‧‧‧垂直槽
33‧‧‧承受支架
33a‧‧‧支持突起
35‧‧‧頭作動馬達
35a‧‧‧馬達罩
35b‧‧‧支持突起
37‧‧‧馬達軸
39‧‧‧彈簧
41‧‧‧頭固持器
43‧‧‧劃線頭
45‧‧‧切斷輪
47‧‧‧感測器
49‧‧‧感測器
A‧‧‧基板
f‧‧‧箭頭

Claims (6)

  1. 一種基板切斷用之劃線頭旋轉裝置,其特徵在於包含: 主體(13); 垂直導引器(25),其固定於上述主體(13),提供垂直之導引路徑; 升降部,其可升降地被支持於上述垂直導引器(25),且於其下部具有劃線頭(43); 升降機構,其使上述升降部於垂直方向升降運動; 頭作動馬達(35),其係於被彈力支持於上述升降部之狀態下,當上述升降部上升時,被向下方按壓而朝上述劃線頭(43)側移動;及 馬達加壓部,其將上述頭作動馬達(35)朝上述劃線頭側向下加壓。
  2. 如請求項1之基板切斷用之劃線頭旋轉裝置,其中上述升降機構包含: 上部馬達(15),其被支持於上述主體(13);及 導螺桿(17),其藉由上述上部馬達(15)進行軸旋轉,且配置於上述頭作動馬達(35)之鉛直上部;且 上述升降部包含: 螺桿結合部(29),其螺合於上述導螺桿(17),且根據上述導螺桿(17)之軸旋轉而升降;及 馬達支持部(31),其固定於上述螺桿結合部(29),其一部分可滑動地被支持於上述垂直導引器(25),將上述頭作動馬達(35)可升降地予以支持。
  3. 如請求項1之基板切斷用之劃線頭旋轉裝置,其中上述馬達加壓部包含: 旋轉盤(19),其固定於上述導螺桿(17)之下端部,且具有下部開放之收納槽(19a);及 加壓盤(21),其位於上述旋轉盤(19)之下部,可於其一部分被夾於上述旋轉盤(19)之收納槽(19a)之內部之狀態下旋轉,且於下降時將上述頭作動馬達(35)向下加壓。
  4. 如請求項2之基板切斷用之劃線頭旋轉裝置,其中上述頭作動馬達(35)係 以被支持於上述升降部之狀態藉由彈力機構被向上彈力支持;且 具有朝鉛直下方延長之馬達軸(37); 於上述劃線頭(43)之上端部形成有轉矩傳遞槽(43a),該轉矩傳遞槽(43a)係於上述頭作動馬達(35)下降時,收納上述馬達軸(37)之下端部而自上述馬達軸(37)傳遞旋轉轉矩。
  5. 如請求項4之基板切斷用之劃線頭旋轉裝置,其中上述馬達軸(37)與上述轉矩傳遞槽(43a)具有多邊形之構造;且 上述轉矩傳遞槽(43a)具有於上述馬達軸(37)插入至上述轉矩傳遞槽(43a)之狀態下、其內側面可與上述馬達軸(37)隔開之尺寸。
  6. 如請求項1之基板切斷用之劃線頭旋轉裝置,其中於上述劃線頭(43)之周邊具備感知上述劃線頭(43)之角度之感測器(47、49)。
TW105136388A 2016-02-22 2016-11-09 基板切斷用之劃線頭旋轉裝置 TWI627147B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160020617A KR101727543B1 (ko) 2016-02-22 2016-02-22 기판절단용 스크라이브헤드 회전장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201730122A true TW201730122A (zh) 2017-09-01
TWI627147B TWI627147B (zh) 2018-06-21

Family

ID=58703039

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW105136388A TWI627147B (zh) 2016-02-22 2016-11-09 基板切斷用之劃線頭旋轉裝置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6875719B2 (zh)
KR (1) KR101727543B1 (zh)
CN (1) CN107097359B (zh)
TW (1) TWI627147B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109274212B (zh) * 2018-10-10 2024-04-19 浙江斯耐特动力股份有限公司 切割铣削两用永磁伺服电机
KR102315009B1 (ko) * 2020-02-07 2021-10-20 주식회사 아이지스 유리 커팅 장치
JP7098174B2 (ja) * 2020-02-17 2022-07-11 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライブヘッド

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3968789B2 (ja) * 1994-02-16 2007-08-29 坂東機工株式会社 カッタ装置
JP2003212578A (ja) * 2002-01-23 2003-07-30 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd スクライブヘッド
TW200906746A (en) * 2007-08-10 2009-02-16 Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd Scribing head, scribing device, and scribing method
JP5399768B2 (ja) * 2009-05-01 2014-01-29 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライブヘッド及び該スクライブヘッドを用いたスクライブ装置
JP2011088382A (ja) * 2009-10-23 2011-05-06 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd ブレイク装置およびブレイク方法
JP5338780B2 (ja) * 2010-09-14 2013-11-13 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライブヘッド
JP2013023403A (ja) * 2011-07-20 2013-02-04 Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd スクライブヘッド
JP5826652B2 (ja) * 2012-01-31 2015-12-02 三星ダイヤモンド工業株式会社 ホルダユニット及びスクライブ装置
KR101528905B1 (ko) * 2013-11-08 2015-06-12 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) 선회기구 부착 스크라이브 헤드
JP2015120252A (ja) * 2013-12-20 2015-07-02 三星ダイヤモンド工業株式会社 ホルダ取付け構造体、スクライブ装置、ホルダユニット及びホルダジョイント
JP6243788B2 (ja) * 2014-04-16 2017-12-06 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライブヘッドおよびスクライブ装置
JP6435698B2 (ja) * 2014-08-07 2018-12-12 三星ダイヤモンド工業株式会社 スクライブ装置
KR20150143401A (ko) * 2015-12-09 2015-12-23 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) 다중 스크라이브 장치

Also Published As

Publication number Publication date
CN107097359B (zh) 2019-05-28
KR101727543B1 (ko) 2017-04-17
JP6875719B2 (ja) 2021-05-26
TWI627147B (zh) 2018-06-21
JP2017149133A (ja) 2017-08-31
CN107097359A (zh) 2017-08-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201730122A (zh) 基板切斷用之劃線頭旋轉裝置
JP6067743B2 (ja) 電子回路部品装着ヘッド
JP5288694B2 (ja) 測定器を保持するための測定スタンド
CN109335846B (zh) 转盘式换盘断线装置
JP2009295751A5 (zh)
JP4773291B2 (ja) 平板表示装置製造用の基板スクライブ装置
JP5997292B2 (ja) 電子回路部品装着ヘッド
TWI667100B (zh) 研磨裝置
KR20150020761A (ko) 캔 시밍장치
KR20150000417A (ko) 기판 유지 장치 및 기판 세정 장치
CN105692320A (zh) 一种电力设施规划用电缆线放线装置
EP2977179A1 (en) Bottle blowing machine
CN105345830B (zh) 吸盘式机械手
JP5204872B2 (ja) 旋回機構付きスクライブヘッド
JP2011194628A (ja) スクライブヘッド
JP6011323B2 (ja) 基板洗浄装置、基板洗浄方法及び記憶媒体
CN209256749U (zh) 定位装置
EP2977181A1 (en) Bottom die lifting mechanism
JP4243006B2 (ja) ワークの研磨方法及び装置
JP2018020390A (ja) 研磨装置および研磨方法
CN206029492U (zh) 一种石材磨光机
CN216641801U (zh) 一种单电机驱动升降旋转一体化cd机出门机构
CN203819551U (zh) 片状元件垂直下压的旋转结构
CN213498461U (zh) 一种不锈钢锅生产用抛光装置
CN215964494U (zh) 一种点胶设备

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees