JP2017123374A - 半導体集積回路及びその制御方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】低電圧で動作し、かつ、保護回路自体の破壊を防止することができるようにする。
【解決手段】半導体集積回路は、電源配線とグランド配線の間に直列接続された抵抗素子及び容量素子と、抵抗素子と容量素子との間に入力が接続されたインバータと、インバータの出力をゲート電極に受け、ドレイン電極とソース電極が電源配線とグランド配線に接続されたMOSトランジスタと、MOSトランジスタが形成されているウェル領域とゲート電極の間に挿入されている電流制限素子とを備える。本技術は、例えば、ESDによって内部回路が破壊されるのを防ぐ保護回路等に適用できる。
【選択図】図1
【解決手段】半導体集積回路は、電源配線とグランド配線の間に直列接続された抵抗素子及び容量素子と、抵抗素子と容量素子との間に入力が接続されたインバータと、インバータの出力をゲート電極に受け、ドレイン電極とソース電極が電源配線とグランド配線に接続されたMOSトランジスタと、MOSトランジスタが形成されているウェル領域とゲート電極の間に挿入されている電流制限素子とを備える。本技術は、例えば、ESDによって内部回路が破壊されるのを防ぐ保護回路等に適用できる。
【選択図】図1
Description
本技術は、半導体集積回路及びその制御方法に関し、特に、低電圧で動作し、かつ、保護回路自体の破壊を防止することができるようにする半導体集積回路及びその制御方法に関する。
ESD(Electro Static Discharge)保護回路として、RCトリガーパワークランプMOSが広く使われている。RCトリガーパワークランプMOSは、電源配線とグランド配線間に直列接続された抵抗素子及び容量素子と、その抵抗素子と容量素子の間に入力が接続されたCMOSインバータ、及び、クランプMOSとしてのNチャネルMOSFETで構成される。クランプMOS のゲートはCMOSインバータの出力と接続され、ドレインとソースは、それぞれ、電源配線とグランド配線に接続される。
RCトリガーパワークランプMOSは、ESDサージ電流が入ったときに抵抗素子と容量素子の時定数に従ってCMOSインバータの入力時間遅延が生じ、CMOSインバータの出力がHighになり、クランプMOSのチャネルがONし、ドレインーソース間にESDサージ電流を電源−グランド間に流すことができる。ESDサージ電流が入らない状態は電源配線に掛かる電圧により、CMOSインバータの出力はLowになりクランプMOSはオフ状態となる。
RCトリガーパワークランプMOSでは、ESDサージ電流が入ったときに保護素子に発生するクランプ電圧は小さいほど内部回路に掛かる電圧を低減できるので、クランプ電圧指標としては小さい方が望まれる。クランプ電圧を小さくするためには、パワークランプMOSの駆動電流を高めるためにMOSのゲート長の微細化やWサイズを増やせばよいが、ゲート長の微細化やWサイズを増やすことはESD動作以外の通常動作ではオフリークの要因となる。オフリークは回路スタンバイ時の消費電流増大に繋がるため、クランプ電圧低減と消費電流は、トレードオフの関係となる。
例えば、特許文献1には、面積を大きくせずESD放電能力を大きくする技術として、CMOSインバータ出力をパワークランプMOSのゲート電位とウェル電位に供給する構造が提案されている。CMOSインバータ出力をウェル電位に供給し、基板電位を上昇させることで、パワークランプMOSの寄生バイポーラ動作を促進させてESD放電能力を増大させている。
しかしながら、特許文献1開示のように、CMOSインバータ出力をパワークランプMOSのゲート電位とウェル電位に信号を伝達する場合、ESDサージ電流の電流経路としてCMOSインバータのPFETへ流れる電流負荷の増大と、パワークランプMOSのゲート電位が持ち上がらないことが懸念される。
より詳しく言えば、CMOSインバータのサイズは、パワークランプMOSを駆動する程度のサイズで構成されるためパワークランプMOSほど大きくない。そのため、CMOSインバータとパワークランプMOSが並列に接続された場合、ESDサージ電流の電流経路としてCMOSインバータのPFETへ流れる電流負荷が増大し、CMOSインバータのPFETが先にESD破壊される懸念がある。
また、パワークランプMOSのウェルとソースを接続すると、ウェルとソース間に順方向ダイオードが形成されるため、ダイオード電圧に固定されて、パワークランプMOSのゲート電位が持ち上がらない要因となる。ゲート電位が持ち上がらないと、チャネル電流が十分に流れないため放電能力が低くなる。
本技術は、このような状況に鑑みてなされたものであり、低電圧で動作し、かつ、保護回路自体の破壊を防止することができるようにするものである。
本技術の一側面の半導体集積回路は、電源配線とグランド配線の間に直列接続された抵抗素子及び容量素子と、前記抵抗素子と前記容量素子との間に入力が接続されたインバータと、前記インバータの出力をゲート電極に受け、ドレイン電極とソース電極が前記電源配線とグランド配線に接続されたMOSトランジスタと、前記MOSトランジスタが形成されているウェル領域と前記ゲート電極の間に挿入されている電流制限素子とを備える。
本技術の一側面の半導体集積回路の制御方法は、電源配線とグランド配線の間に直列接続された抵抗素子及び容量素子と、前記抵抗素子と前記容量素子との間に入力が接続されたインバータと、前記インバータの出力をゲート電極に受け、ドレイン電極とソース電極が前記電源配線とグランド配線に接続されたMOSトランジスタと、前記MOSトランジスタが形成されているウェル領域と前記ゲート電極の間に挿入されている電流制限素子とを備える半導体集積回路の前記電流制限素子が、前記インバータに流れる電流を制限しつつ、前記ウェル領域の電位を上昇させることで、前記MOSトランジスタのオン動作を高速化する。
本技術の一側面においては、電源配線とグランド配線の間に直列接続された抵抗素子及び容量素子と、前記抵抗素子と前記容量素子との間に入力が接続されたインバータと、前記インバータの出力をゲート電極に受け、ドレイン電極とソース電極が前記電源配線とグランド配線に接続されたMOSトランジスタと、前記MOSトランジスタが形成されているウェル領域と前記ゲート電極の間に挿入されている電流制限素子とを備える半導体集積回路の前記電流制限素子において、前記インバータに流れる電流を制限しつつ、前記ウェル領域の電位を上昇させることで、前記MOSトランジスタのオン動作が高速化される。
半導体集積回路は、独立した装置であっても良いし、1つの装置を構成している内部ブロックであっても良い。
本技術の一側面によれば、低電圧で動作し、かつ、保護回路自体の破壊を防止することができる。
なお、ここに記載された効果は必ずしも限定されるものではなく、本開示中に記載されたいずれかの効果であってもよい。
以下、本技術を実施するための形態(以下、実施の形態という)について説明する。なお、説明は以下の順序で行う。
1.ESD保護回路の第1の実施の形態(電流制限素子が抵抗素子である構成例)
2.ESD保護回路の第2の実施の形態(電流制限素子が容量素子である構成例)
3.ESD保護回路の第3の実施の形態(電流制限素子が抵抗素子と容量素子である構成例)
4.第1乃至第3の実施の形態の構造例
1.ESD保護回路の第1の実施の形態(電流制限素子が抵抗素子である構成例)
2.ESD保護回路の第2の実施の形態(電流制限素子が容量素子である構成例)
3.ESD保護回路の第3の実施の形態(電流制限素子が抵抗素子と容量素子である構成例)
4.第1乃至第3の実施の形態の構造例
<1.ESD保護回路の第1の実施の形態>
図1は、ESD保護回路の第1の実施の形態を示す回路図である。
図1は、ESD保護回路の第1の実施の形態を示す回路図である。
図1に示されるESD保護回路1は、ESD(Electro Static Discharge)によって内部回路(不図示)が破壊されるのを防ぐ半導体集積回路である。ESD保護回路1は、抵抗素子21、容量素子22、CMOSインバータ23、パワークランプMOS24、及び、抵抗素子25を備え、RCトリガーパワークランプMOSと呼ばれる回路である。
抵抗素子21と容量素子22は、直列に接続されて、電源配線31とグランド配線32の間に挿入されている。CMOSインバータ23は、PチャネルMOSFET(以下、PFETという。)33とNチャネルMOSFET(以下、NFETという。)34で構成され、抵抗素子21と容量素子22の間の接続点が入力とされ、出力がパワークランプMOS24のゲート電極に接続されている。また、CMOSインバータ23の出力は、抵抗素子25を経由して、パワークランプMOS24が形成されているウェル領域とも接続されている。パワークランプMOS24のドレイン電極は電源配線31と接続され、ソース電極はグランド配線32と接続されている。なお、以下の説明では、ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極、及び、ウェル領域は、簡単のため、単に、ゲート、ソース、ドレイン、及びウェルと称して説明する。
RCトリガーの抵抗素子21は、例えばポリシリコンゲート電極を用いたポリ抵抗、またはMOSFETなどの抵抗素子で構成される。抵抗素子21の抵抗値は、例えば数MΩなどに設定され、素子サイズの大きさによって調節できる。RCトリガーの容量素子22は、例えばMOSキャパシタや配線層間の並行平板で構成される。容量素子22の容量値は、素子サイズの大きさによって、例えば数pFなどに調節される。ESDサージ電流の想定しているモデルによってESDサージ電流を流す時間目安が分かるため、例えばHBM(Human Body Model)を想定した場合は、1μsec程度などを目安としてRC時定数を調節して、抵抗素子21の抵抗値と容量素子22の容量値が設計される。例えば、RC時定数に1MΩの抵抗素子21と1pFの容量素子22を用いれば、ESDサージ電流を流す時間は、R×C=1M(Ω)×1p(F)=1μ(sec)に設定される。一方、パワークランプMOS24のゲートとウェルとの間に挿入された抵抗素子25は、例えば、ポリシリコンゲート電極を用いて、数千Ω程度の抵抗値に設定される。
パワークランプMOS24がオンし、チャネル電流によってESDサージ電流が流れる前の状態では、図2において破線で示される経路のESDサージ電流が流れる。CMOSインバータ23は、パワークランプMOS24を駆動する程度のサイズで構成されるためパワークランプMOS24ほど大きくない。そのため、パワークランプMOS24の駆動回路であるCMOSインバータ23のPFET33が先にESD破壊される懸念がある。
しかしながら、第1の実施の形態に係るESD保護回路1によれば、パワークランプMOS24のゲートとウェルの間に抵抗素子25が挿入されていることにより、CMOSインバータ23のPFET33への流入電流が抑制されるので、CMOSインバータ23のPFET33が先にESD破壊されることを防止することができる。
また、パワークランプMOS24のゲートとウェルの間に抵抗素子25を挿入することにより、パワークランプMOSのゲート電位を上昇させ、チャネルを形成させることができる。
図3は、パワークランプMOS24のゲートとウェルの間に抵抗素子25を挿入した効果を検証した結果を示す図である。
図3左に示されるように、パワークランプMOS24のゲート−ウェル間を接続しない場合、ゲート電圧Vgは約2.2Vである。
図3中央に示されるように、パワークランプMOS24のゲート−ウェル間を直接接続すると、ウェルからソースの方向に順方向ダイオードパスが形成され、ダイオード電圧にクランプされるため、ゲート電圧Vgは約0.9Vに固定される。
これに対して、図3右に示されるように、第1の実施の形態に係るESD保護回路1の構成を採用し、ゲート−ウェル間に例えば1000Ωの抵抗素子25を挿入してゲート−ウェル間を接続すると、ゲート−ウェル間に電位差が生じ、ゲート電圧Vgが、元々の接続が無い状態とほぼ同じ2.1Vまで上がる。
以上のように、パワークランプMOS24のゲート−ウェル間に抵抗素子25を挿入することによりゲート−ウェル間に電位差分を発生させるので、パワークランプMOSのゲート電位を上昇させ、チャネルを形成させる効果がある。
図4は、第1の実施の形態におけるパワークランプMOS24のウェルのESD応答特性を説明する図である。
第1の実施の形態によれば、図4のAにおいて破線で示されているパワークランプMOS24のソース−ウェル間の寄生容量Ca及びウェル−基板間の寄生容量Cbと、抵抗素子25とでCRタイマが形成されるため、図4のBに示されるように、パワークランプMOS24のウェルに入力される電流は、CMOSインバータ23の出力電流から一定の遅延をもって増大する。
パワークランプMOS24のウェルに電流が供給され、ウェルの電位が持ち上がる。これにより、基板バイアス効果によってパワークランプMOS24の動作開始電圧が下げられ、ESD動作開始時の電圧を低くすることができるので、低電圧保護が可能となる。また、ウェル電位が上昇すると、寄生バイポーラトランジスタのオン動作も促進され、寄生バイポーラトランジスタのオン動作と、パワークランプMOS24のチャネル動作により、高電圧をグランド配線32に流す動作(クランプ動作)を高速化することができる。
また、CMOSインバータ23の出力をパワークランプMOS24のゲートとウェルに同時に供給することで、ゲートとウェル別々にインバータを準備する場合と比較して回路面積を増やさずに済む。
<2.ESD保護回路の第2の実施の形態>
図5は、ESD保護回路の第2の実施の形態を示す回路図である。
図5は、ESD保護回路の第2の実施の形態を示す回路図である。
なお、図5においては、図1に示した第1の実施の形態と共通する部分については同一の符号を付してあり、その説明については省略する。
第2の実施の形態では、第1の実施の形態においてパワークランプMOS24のゲートとウェルの間に挿入されていた抵抗素子25が、容量素子26に置き換えられている点が異なる。容量素子26は、例えば、MOSキャパシタで構成することができ、容量値を0.01pF程度となるように形成すれば、ESDサージの立ち上がり時間を10nsec程度にして応答することができる。
図6は、第2の実施の形態におけるパワークランプMOS24のウェルのESD応答特性を説明する図である。
第2の実施の形態によれば、図6のAに示されるように、パワークランプMOS24のソース−ウェル間の寄生容量Ca及びウェル−基板間の寄生容量Cbと容量素子26との直列接続で合成容量は小さくなる。これにより、図4のBに示されるように、パワークランプMOS24のウェルには、CMOSインバータ23の出力電流が、ESDサージ電流が入ったときのみ瞬間的に遅延なく入力され、ウェルの電位が持ち上がる。その結果、図2において破線で示したCMOSインバータ23を経由する電流経路は瞬間的にしか発生しないので、CMOSインバータ23のPFET33への流入電流が抑制され、CMOSインバータ23のPFET33のESD破壊を防止することができる。
換言すれば、第1の実施の形態がESDサージ電流の電流集中によるPFET33の熱破壊を、電流を制限することにより防止するのに対して、第2の実施の形態は、電流が流れる時間を時間的に制限することにより防止する。
また、ウェルの電位を早期に持ち上げることにより、寄生バイポーラトランジスタを素早くオンさせることができるので、スピードアップ効果が期待できる。寄生バイポーラトランジスタのオン動作後は、自己継続動作するので、初めに電流を流すだけでよい。
<3.ESD保護回路の第3の実施の形態>
図7は、ESD保護回路の第3の実施の形態を示す回路図である。
図7は、ESD保護回路の第3の実施の形態を示す回路図である。
なお、図7においても、上述した第1及び第2の実施の形態と共通する部分については同一の符号を付してあり、その説明については省略する。
第3の実施の形態では、第1の実施の形態における抵抗素子25と第2の実施の形態における容量素子26の両方が、パワークランプMOS24のゲートとウェルの間に並列に挿入されている。
図8は、第3の実施の形態におけるパワークランプMOS24のウェルのESD応答特性を説明する図である。
抵抗素子25と容量素子26の両方がパワークランプMOS24のゲートとウェルの間に並列に挿入されることにより、パワークランプMOS24のソース−ウェル間の寄生容量Ca及びウェル−基板間の寄生容量Cbと容量素子26との直列接続によって合成容量を小さくしつつ、抵抗素子25を経由して電流が流れ続ける。CMOSインバータ23の出力電流に対する、パワークランプMOS24のウェル入力電流の遅延は、抵抗素子25のみのときよりも小さくなる。
第3の実施の形態によれば、上述した第1の実施の形態と第2の実施の形態の両方の特徴を合わせ持つことになる。よって、CMOSインバータ23のPFET33への流入電流を抑制し、CMOSインバータ23のPFET33のESD破壊を防止することができる。また、ウェル電位を早期に持ち上げるとともに、基板バイアス効果によってパワークランプMOS24の動作開始電圧が下げられ、ESD動作開始時の電圧を低くすることができるので、低電圧保護が可能となる。
<4.第1乃至第3の実施の形態の構造例>
次に、上述した第1乃至第3の実施の形態を実現するためのパワークランプMOS24、抵抗素子25、及び、容量素子26の構造について説明する。
次に、上述した第1乃至第3の実施の形態を実現するためのパワークランプMOS24、抵抗素子25、及び、容量素子26の構造について説明する。
<4.1 第1の実施の形態の第1の構造例>
図9は、図1に示したESD保護回路1の第1の実施の形態におけるパワークランプMOS24と抵抗素子25の第1の構造例を示す図である。
図9は、図1に示したESD保護回路1の第1の実施の形態におけるパワークランプMOS24と抵抗素子25の第1の構造例を示す図である。
図9のA及びBに示されるように、半導体基板のウェル領域111に、パワークランプMOS24のソース領域121とドレイン領域122が形成されている。ウェル領域111は、P型の不純物領域で形成され、ソース領域121とドレイン領域122は、N型の不純物領域で形成される。
パワークランプMOS24のソース領域121とドレイン領域122間の基板上には、パワークランプMOS24のゲート電極124が、ゲート絶縁膜123を介して形成されている。ゲート絶縁膜123は、例えば酸化膜で構成され、ゲート電極124は、例えばポリシリコンで構成される。
矩形の平面領域を有するゲート電極124の上部には、2箇所のコンタクト部125及び126が形成されており、そのうちの一方のコンタクト部125は、CMOSインバータ23の出力と接続されている。もう一方のコンタクト部126はウェル領域111と接続されている。コンタクト部126が接続されたウェル領域111とソース領域121との間には絶縁層127が形成されている。コンタクト部125及び126は、例えば、Cu,Al等の金属配線で構成される。
図9のAは、CMOSインバータ23の出力と接続されているコンタクト部125と、ウェル領域111と接続されているコンタクト部126が、矩形の平面領域を有するゲート電極124の長手方向に対して両端に配置された構成であり、図9のBは、ゲート電極124の短手方向に対して両端に配置された構成である。
以上の構造により、コンタクト部125から入力されたCMOSインバータ23の出力電流が、ゲート電極124の一端から他端へと流れてコンタクト部126へ到達し、コンタクト部126からウェル領域111へと供給される。したがって、パワークランプMOS24のゲート電極124(の抵抗成分)が、パワークランプMOS24のゲートとウェルの間に挿入される抵抗素子25として機能する。コンタクト部125と126を、図9のAのように長手方向に対して配置した場合には、例えば数Ω程度のシート抵抗を実現でき、図9のBのように短手方向に対して配置した場合には、例えば1Ω程度のシート抵抗を実現できる。
<4.2 第1の実施の形態の第2の構造例>
図10は、図1に示したESD保護回路1の第1の実施の形態におけるパワークランプMOS24と抵抗素子25の第2の構造例を示す図である。
図10は、図1に示したESD保護回路1の第1の実施の形態におけるパワークランプMOS24と抵抗素子25の第2の構造例を示す図である。
図10の第2の構造例では、図9のAに示した第1の構造例のパワークランプMOS24のゲート電極124上にシリサイドブロック141をさらに設けることにより、高抵抗の抵抗素子25が形成されている。シリサイドブロック141を設けることにより数十Ω程度のシート抵抗を実現でき、シリサイドブロック141を設けない場合の図9のAに示した構造と比較して10倍程度のシート抵抗を実現できる。
なお、図示は省略するが、図9のBに示した短手方向に対してコンタクト部125と126を配置した構成においても、ゲート電極124上にシリサイドブロック141をさらに設けることが可能である。
<4.3 第1の実施の形態の第3の構造例>
図11は、図1に示したESD保護回路1の第1の実施の形態におけるパワークランプMOS24と抵抗素子25の第3の構造例を示す図である。
図11は、図1に示したESD保護回路1の第1の実施の形態におけるパワークランプMOS24と抵抗素子25の第3の構造例を示す図である。
上述した第1の構造例及び第2の構造例では、矩形の平面領域を有するゲート電極124の一端(コンタクト部125)が電流入力部で、他端(コンタクト部126)が電流出力部となっているために、ゲート電極124の面内で電流の不均一が発生する。
そこで、第3の構造例では、図11に示されるように、矩形の平面領域を有するゲート電極124の両端側に2箇所のコンタクト部125−1及び125−2が形成されており、2箇所のコンタクト部125−1及び125−2を介して、CMOSインバータ23の出力が供給される。また、コンタクト部125−1と125−2の中間部分となるゲート電極124の中央付近において、もう1つのコンタクト部126が形成されており、コンタクト部126を介して、ゲート電極124とウェル領域111が接続されている。これにより、スナップバック動作が起きにくいゲート電極124の端部をスナップバック動作しやすくすることができ、ゲート電極124の面内の電流の不均一も抑制することができる。
図11のAは、図9のAに示した、パワークランプMOS24のゲート電極124(の抵抗成分)を抵抗素子25とした構造を、ゲート電極124における電流の面内不均一を改善するように、コンタクト部125−1及び125−2とコンタクト部126を形成した例である。
図11のBは、図10に示した、パワークランプMOS24のゲート電極124上にシリサイドブロック141を形成し抵抗素子25とした構造を、ゲート電極124における電流の面内不均一を改善するように、コンタクト部125−1及び125−2とコンタクト部126を形成した例である。この例では、コンタクト部125−1とコンタクト部126の間と、コンタクト部125−2とコンタクト部126の間の両方に、シリサイドブロック141が配置されている。
<4.4 第2の実施の形態の構造例>
図12は、図5に示したESD保護回路1の第2の実施の形態におけるパワークランプMOS24と容量素子26の構造例を示す図である。
図12は、図5に示したESD保護回路1の第2の実施の形態におけるパワークランプMOS24と容量素子26の構造例を示す図である。
図12の構造例において、パワークランプMOS24の構造については、上述した第1の実施の形態の第1乃至第3の構造例と同様である。即ち、半導体基板のウェル領域111に、パワークランプMOS24のソース領域121とドレイン領域122が形成され、ソース領域121とドレイン領域122間の基板上に、パワークランプMOS24のゲート電極124が、ゲート絶縁膜123を介して形成されている。
そして、図12の構造例では、ESD保護回路1の第2の実施の形態が有する容量素子26としてのMOSキャパシタを構成するゲート電極161及びゲート絶縁膜162が、絶縁層127を挟んでパワークランプMOS24の反対側に形成されている。ウェル領域111とともにMOSキャパシタを構成するゲート電極161及びゲート絶縁膜162は、パワークランプMOS24のゲート電極124及びゲート絶縁膜123と同じ材料を用いて同じ製造方法で同時に形成することができる。
パワークランプMOS24のゲート電極124の上部には、CMOSインバータ23の出力と接続されているコンタクト部151−1が形成されており、容量素子26のゲート電極161の上部にも、CMOSインバータ23の出力と接続されているコンタクト部151−2が形成されている。
以上の構造により、図5に示したESD保護回路1の第2の実施の形態のパワークランプMOS24と容量素子26の回路が実現できる。容量素子26のゲート電極161の面積を、パワークランプMOS24のゲート電極124の面積と同等に形成することで、応答の立ち上がり時間を、おおよそ半分程度に短くすることができる。
<4.5 第3の実施の形態の構造例>
図13は、図7に示したESD保護回路1の第3の実施の形態におけるパワークランプMOS24、抵抗素子25、及び容量素子26の構造例を示す図である。
図13は、図7に示したESD保護回路1の第3の実施の形態におけるパワークランプMOS24、抵抗素子25、及び容量素子26の構造例を示す図である。
図13の構造例は、図11のBに示した第1の実施の形態の第3の構造例と、図12に示した第2の実施の形態の構造例を組み合わせた構造となっている。即ち、図13の構造例では、パワークランプMOS24及び抵抗素子25は、シリサイドブロック141により抵抗素子25を構成した第1の実施の形態の第3の構造例と同様に形成され、容量素子26は、MOSキャパシタにより構成した第2の実施の形態の構造例と同様に形成されている。
パワークランプMOS24のゲート電極124の上面には、CMOSインバータ23の出力と接続されている3箇所のコンタクト部151−1乃至151−3が形成され、ゲート電極124の両端側及び中央付近に配置されている。より具体的には、コンタクト部151−1と151−3は、それぞれ、ゲート電極124の長手方向の一端と他端の位置に形成され、コンタクト部151−2は、ゲート電極124の長手方向の中央付近に形成されている。また、コンタクト部151−2は、容量素子26としてのMOSキャパシタを構成するゲート電極161とも接続されている。
以上の構造により、図7に示したESD保護回路1の第3の実施の形態のパワークランプMOS24、抵抗素子25、及び容量素子26の回路が実現できる。
なお、図13の構造例は、抵抗素子25の構成として、図11のBと同様に、パワークランプMOS24のゲート電極124上にシリサイドブロック141を設けた構成を採用しているが、図11のAと同様の、パワークランプMOS24のゲート電極124のみで抵抗素子25とする構成でもよい。
<まとめ>
以上説明したように、ESD保護回路1は、電源配線31とグランド配線32の間に直列接続された抵抗素子21及び容量素子22と、抵抗素子21と容量素子22との間に入力が接続されたCMOSインバータ23と、CMOSインバータ23の出力をゲート電極に受け、ドレイン電極とソース電極が電源配線31とグランド配線32に接続されたパワークランプMOS(MOSトランジスタ)24と、パワークランプMOS24が形成されているウェル領域とゲート電極の間に挿入されている電流制限素子とを備え、電流制限素子は抵抗素子25及び容量素子26の一方または両方で構成される。
以上説明したように、ESD保護回路1は、電源配線31とグランド配線32の間に直列接続された抵抗素子21及び容量素子22と、抵抗素子21と容量素子22との間に入力が接続されたCMOSインバータ23と、CMOSインバータ23の出力をゲート電極に受け、ドレイン電極とソース電極が電源配線31とグランド配線32に接続されたパワークランプMOS(MOSトランジスタ)24と、パワークランプMOS24が形成されているウェル領域とゲート電極の間に挿入されている電流制限素子とを備え、電流制限素子は抵抗素子25及び容量素子26の一方または両方で構成される。
電流制限素子が、CMOSインバータ23に流れる電流を制限しつつ、ウェル領域の電位を上昇させることで、パワークランプMOS24のオン動作を高速化するので、ESD保護回路1によれば、低電圧で動作し、かつ、保護回路自体の破壊を防止することができる。
ここで、抵抗素子25または容量素子26は、ESDサージ電流の電流集中によるPFET33の熱破壊を、電流を制限することにより防止する電流制限素子として機能し、抵抗素子25は、流れる電流の大きさを制限し、容量素子26は、流れる時間を制限する。
電流制限素子として抵抗素子25を含む場合には、パワークランプMOS24のウェル領域に電位を印加することで、基板バイアス効果によるパワークランプMOS24の動作開始電圧が下げられ、ESD動作開始時の電圧を低くすることができる。さらに、ウェル電位を上げることで、寄生バイポーラ動作を促進でき、ESD放電能力が上がる。抵抗素子25があることでCMOSインバータ23への流入電流が抑制され、パワークランプMOS24よりも先に破壊されることを防ぐ。パワークランプMOS24のゲート電極とウェル電位に差分が生じ、ゲート電圧Vgが高くなり、パワークランプMOS24のチャネルが形成され、ESDサージ電流を流せる。
電流制限素子として容量素子26を含む場合には、ESDサージが発生したとき、容量素子26が瞬間的に基板電位を持ち上げる効果がある。CMOSインバータ23への電流継続を防げる。スピードアップ効果により、保護動作開始時間を短くできるため、内部回路に電圧が掛かることを防ぐことができる。
本技術の実施の形態は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本技術の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
なお、本明細書に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、本明細書に記載されたもの以外の効果があってもよい。
なお、本技術は以下のような構成も取ることができる。
(1)
電源配線とグランド配線の間に直列接続された抵抗素子及び容量素子と、
前記抵抗素子と前記容量素子との間に入力が接続されたインバータと、
前記インバータの出力をゲート電極に受け、ドレイン電極とソース電極が前記電源配線とグランド配線に接続されたMOSトランジスタと、
前記MOSトランジスタが形成されているウェル領域と前記ゲート電極の間に挿入されている電流制限素子と
を備える半導体集積回路。
(2)
前記電流制限素子は、抵抗素子で構成される
前記(1)に記載の半導体集積回路。
(3)
前記電流制限素子としての前記抵抗素子は、前記MOSトランジスタのゲート電極で構成されている
前記(2)に記載の半導体集積回路。
(4)
前記電流制限素子としての前記抵抗素子は、前記MOSトランジスタのゲート電極上に形成されたシリサイドブロックを含む
前記(2)または(3)に記載の半導体集積回路。
(5)
前記インバータの出力とは、前記MOSトランジスタのゲート電極の両端側の2箇所のコンタクト部で接続され、前記ウェル領域とは、前記MOSトランジスタのゲート電極の中央付近のコンタクト部で接続されている
前記(2)乃至(4)のいずれかに記載の半導体集積回路。
(6)
前記電流制限素子は、容量素子で構成される
前記(1)に記載の半導体集積回路。
(7)
前記電流制限素子としての前記容量素子は、MOSキャパシタで構成されている
前記(6)に記載の半導体集積回路。
(8)
前記電流制限素子は、抵抗素子及び容量素子で構成される
前記(1)に記載の半導体集積回路。
(9)
前記電流制限素子は、並列接続された抵抗素子及び容量素子で構成される
前記(8)に記載の半導体集積回路。
(10)
前記電流制限素子としての前記抵抗素子は、前記MOSトランジスタのゲート電極で構成されている
前記(8)または(9)に記載の半導体集積回路。
(11)
前記電流制限素子としての前記抵抗素子は、前記MOSトランジスタのゲート電極上に形成されたシリサイドブロックを含む
前記(8)乃至(10)のいずれかに記載の半導体集積回路。
(12)
前記電流制限素子としての前記容量素子は、MOSキャパシタで構成されている
前記(8)乃至(11)のいずれかに記載の半導体集積回路。
(13)
前記インバータの出力とは、前記MOSトランジスタのゲート電極の両端側及び中央付近の3箇所のコンタクト部で接続され、前記ゲート電極の両端側のコンタクト部は、前記ウェル領域とも直接接続されており、前記ゲート電極の中央付近のコンタクト部は、前記電流制限素子としての前記容量素子を介して前記ウェル領域と接続されている
前記(8)乃至(12)のいずれかに記載の半導体集積回路。
(14)
電源配線とグランド配線の間に直列接続された抵抗素子及び容量素子と、
前記抵抗素子と前記容量素子との間に入力が接続されたインバータと、
前記インバータの出力をゲート電極に受け、ドレイン電極とソース電極が前記電源配線とグランド配線に接続されたMOSトランジスタと、
前記MOSトランジスタが形成されているウェル領域と前記ゲート電極の間に挿入されている電流制限素子と
を備える半導体集積回路の、
前記電流制限素子が、前記インバータに流れる電流を制限しつつ、前記ウェル領域の電位を上昇させることで、前記MOSトランジスタのオン動作を高速化する
半導体集積回路の制御方法。
(1)
電源配線とグランド配線の間に直列接続された抵抗素子及び容量素子と、
前記抵抗素子と前記容量素子との間に入力が接続されたインバータと、
前記インバータの出力をゲート電極に受け、ドレイン電極とソース電極が前記電源配線とグランド配線に接続されたMOSトランジスタと、
前記MOSトランジスタが形成されているウェル領域と前記ゲート電極の間に挿入されている電流制限素子と
を備える半導体集積回路。
(2)
前記電流制限素子は、抵抗素子で構成される
前記(1)に記載の半導体集積回路。
(3)
前記電流制限素子としての前記抵抗素子は、前記MOSトランジスタのゲート電極で構成されている
前記(2)に記載の半導体集積回路。
(4)
前記電流制限素子としての前記抵抗素子は、前記MOSトランジスタのゲート電極上に形成されたシリサイドブロックを含む
前記(2)または(3)に記載の半導体集積回路。
(5)
前記インバータの出力とは、前記MOSトランジスタのゲート電極の両端側の2箇所のコンタクト部で接続され、前記ウェル領域とは、前記MOSトランジスタのゲート電極の中央付近のコンタクト部で接続されている
前記(2)乃至(4)のいずれかに記載の半導体集積回路。
(6)
前記電流制限素子は、容量素子で構成される
前記(1)に記載の半導体集積回路。
(7)
前記電流制限素子としての前記容量素子は、MOSキャパシタで構成されている
前記(6)に記載の半導体集積回路。
(8)
前記電流制限素子は、抵抗素子及び容量素子で構成される
前記(1)に記載の半導体集積回路。
(9)
前記電流制限素子は、並列接続された抵抗素子及び容量素子で構成される
前記(8)に記載の半導体集積回路。
(10)
前記電流制限素子としての前記抵抗素子は、前記MOSトランジスタのゲート電極で構成されている
前記(8)または(9)に記載の半導体集積回路。
(11)
前記電流制限素子としての前記抵抗素子は、前記MOSトランジスタのゲート電極上に形成されたシリサイドブロックを含む
前記(8)乃至(10)のいずれかに記載の半導体集積回路。
(12)
前記電流制限素子としての前記容量素子は、MOSキャパシタで構成されている
前記(8)乃至(11)のいずれかに記載の半導体集積回路。
(13)
前記インバータの出力とは、前記MOSトランジスタのゲート電極の両端側及び中央付近の3箇所のコンタクト部で接続され、前記ゲート電極の両端側のコンタクト部は、前記ウェル領域とも直接接続されており、前記ゲート電極の中央付近のコンタクト部は、前記電流制限素子としての前記容量素子を介して前記ウェル領域と接続されている
前記(8)乃至(12)のいずれかに記載の半導体集積回路。
(14)
電源配線とグランド配線の間に直列接続された抵抗素子及び容量素子と、
前記抵抗素子と前記容量素子との間に入力が接続されたインバータと、
前記インバータの出力をゲート電極に受け、ドレイン電極とソース電極が前記電源配線とグランド配線に接続されたMOSトランジスタと、
前記MOSトランジスタが形成されているウェル領域と前記ゲート電極の間に挿入されている電流制限素子と
を備える半導体集積回路の、
前記電流制限素子が、前記インバータに流れる電流を制限しつつ、前記ウェル領域の電位を上昇させることで、前記MOSトランジスタのオン動作を高速化する
半導体集積回路の制御方法。
1 ESD保護回路, 21 抵抗素子, 22 容量素子, 23 CMOSインバータ, 24 パワークランプMOS, 25 抵抗素子, 26 容量素子, 31 電源配線, 32 グランド配線, 33 PFET, 34 NFET, 111 ウェル領域, 121 ソース領域, 122 ドレイン領域, 123 ゲート絶縁膜, 124 ゲート電極, 125 コンタクト部, 141 シリサイドブロック, 151 コンタクト部
Claims (14)
- 電源配線とグランド配線の間に直列接続された抵抗素子及び容量素子と、
前記抵抗素子と前記容量素子との間に入力が接続されたインバータと、
前記インバータの出力をゲート電極に受け、ドレイン電極とソース電極が前記電源配線とグランド配線に接続されたMOSトランジスタと、
前記MOSトランジスタが形成されているウェル領域と前記ゲート電極の間に挿入されている電流制限素子と
を備える半導体集積回路。 - 前記電流制限素子は、抵抗素子で構成される
請求項1に記載の半導体集積回路。 - 前記電流制限素子としての前記抵抗素子は、前記MOSトランジスタのゲート電極で構成されている
請求項2に記載の半導体集積回路。 - 前記電流制限素子としての前記抵抗素子は、前記MOSトランジスタのゲート電極上に形成されたシリサイドブロックを含む
請求項2に記載の半導体集積回路。 - 前記インバータの出力とは、前記MOSトランジスタのゲート電極の両端側の2箇所のコンタクト部で接続され、前記ウェル領域とは、前記MOSトランジスタのゲート電極の中央付近のコンタクト部で接続されている
請求項2に記載の半導体集積回路。 - 前記電流制限素子は、容量素子で構成される
請求項1に記載の半導体集積回路。 - 前記電流制限素子としての前記容量素子は、MOSキャパシタで構成されている
請求項6に記載の半導体集積回路。 - 前記電流制限素子は、抵抗素子及び容量素子で構成される
請求項1に記載の半導体集積回路。 - 前記電流制限素子は、並列接続された抵抗素子及び容量素子で構成される
請求項8に記載の半導体集積回路。 - 前記電流制限素子としての前記抵抗素子は、前記MOSトランジスタのゲート電極で構成されている
請求項8に記載の半導体集積回路。 - 前記電流制限素子としての前記抵抗素子は、前記MOSトランジスタのゲート電極上に形成されたシリサイドブロックを含む
請求項8に記載の半導体集積回路。 - 前記電流制限素子としての前記容量素子は、MOSキャパシタで構成されている
請求項8に記載の半導体集積回路。 - 前記インバータの出力とは、前記MOSトランジスタのゲート電極の両端側及び中央付近の3箇所のコンタクト部で接続され、前記ゲート電極の両端側のコンタクト部は、前記ウェル領域とも直接接続されており、前記ゲート電極の中央付近のコンタクト部は、前記電流制限素子としての前記容量素子を介して前記ウェル領域と接続されている
請求項8に記載の半導体集積回路。 - 電源配線とグランド配線の間に直列接続された抵抗素子及び容量素子と、
前記抵抗素子と前記容量素子との間に入力が接続されたインバータと、
前記インバータの出力をゲート電極に受け、ドレイン電極とソース電極が前記電源配線とグランド配線に接続されたMOSトランジスタと、
前記MOSトランジスタが形成されているウェル領域と前記ゲート電極の間に挿入されている電流制限素子と
を備える半導体集積回路の、
前記電流制限素子が、前記インバータに流れる電流を制限しつつ、前記ウェル領域の電位を上昇させることで、前記MOSトランジスタのオン動作を高速化する
半導体集積回路の制御方法。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110053782A (zh) * | 2017-12-04 | 2019-07-26 | 贝尔直升机德事隆公司 | 集成电容式放电电气接合保证系统 |
CN110053782B (zh) * | 2017-12-04 | 2022-08-05 | 德事隆创新公司 | 集成电容式放电电气接合保证系统 |
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