JP2017122262A - 成膜方法 - Google Patents
成膜方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017122262A JP2017122262A JP2016001389A JP2016001389A JP2017122262A JP 2017122262 A JP2017122262 A JP 2017122262A JP 2016001389 A JP2016001389 A JP 2016001389A JP 2016001389 A JP2016001389 A JP 2016001389A JP 2017122262 A JP2017122262 A JP 2017122262A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- target
- film formation
- metal layer
- sputtering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000151 deposition Methods 0.000 title abstract description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 40
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 40
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims abstract description 31
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 28
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 28
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract description 13
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 abstract description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 91
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 14
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 11
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 6
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 3
- -1 argon ions Chemical class 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
Claims (3)
- 成膜対象物をその表面に原子量が90以上の金属で構成される金属層を有するものとし、この金属層の表面にカーボン膜をスパッタリング法により成膜する成膜方法において、
アモルファスカーボン製ターゲットを用い、成膜対象物に0.2W/cm2より大きいバイアス電力を投入して成膜することを特徴とする成膜方法。 - 前記アモルファスカーボン製ターゲットのスパッタ面のラフネスが0.5μmRa以下であることを特徴とする請求項1記載の成膜方法。
- 前記金属は、Ta、Pt、W、Ru、Nb及びMoの中から選択されることを特徴とする請求項1又は2記載の成膜方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016001389A JP6616192B2 (ja) | 2016-01-06 | 2016-01-06 | 成膜方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016001389A JP6616192B2 (ja) | 2016-01-06 | 2016-01-06 | 成膜方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017122262A true JP2017122262A (ja) | 2017-07-13 |
JP6616192B2 JP6616192B2 (ja) | 2019-12-04 |
Family
ID=59306812
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016001389A Active JP6616192B2 (ja) | 2016-01-06 | 2016-01-06 | 成膜方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6616192B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019131010A1 (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-04 | 株式会社アルバック | スパッタリング方法及びスパッタリング装置 |
WO2020033236A1 (en) * | 2018-08-10 | 2020-02-13 | Applied Materials, Inc. | Physical vapor deposition (pvd) chamber with reduced arcing |
WO2020068343A1 (en) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | Applied Materials, Inc. | Coaxial lift device with dynamic leveling |
JP2021017616A (ja) * | 2019-07-18 | 2021-02-15 | 株式会社アルバック | 炭素薄膜の形成方法、および、炭素薄膜の形成装置 |
US20210319985A1 (en) * | 2018-11-16 | 2021-10-14 | Ulvac, Inc. | Vacuum Processing Apparatus |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11100671A (ja) * | 1997-09-25 | 1999-04-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 硬質炭素系被膜 |
JP2001192864A (ja) * | 1998-12-25 | 2001-07-17 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 硬質被膜及び被覆部材 |
JP2003088939A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-25 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属成形機用被覆部材 |
JP2008255462A (ja) * | 2006-05-19 | 2008-10-23 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | キャリアシート付銅箔、キャリアシート付銅箔の製造方法、キャリアシート付表面処理銅箔及びそのキャリアシート付表面処理銅箔を用いた銅張積層板 |
WO2010050542A1 (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-06 | Ntn株式会社 | 硬質多層膜成形体およびその製造方法 |
-
2016
- 2016-01-06 JP JP2016001389A patent/JP6616192B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11100671A (ja) * | 1997-09-25 | 1999-04-13 | Sanyo Electric Co Ltd | 硬質炭素系被膜 |
JP2001192864A (ja) * | 1998-12-25 | 2001-07-17 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 硬質被膜及び被覆部材 |
JP2003088939A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-25 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 金属成形機用被覆部材 |
JP2008255462A (ja) * | 2006-05-19 | 2008-10-23 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | キャリアシート付銅箔、キャリアシート付銅箔の製造方法、キャリアシート付表面処理銅箔及びそのキャリアシート付表面処理銅箔を用いた銅張積層板 |
WO2010050542A1 (ja) * | 2008-10-29 | 2010-05-06 | Ntn株式会社 | 硬質多層膜成形体およびその製造方法 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019131010A1 (ja) * | 2017-12-27 | 2019-07-04 | 株式会社アルバック | スパッタリング方法及びスパッタリング装置 |
JPWO2019131010A1 (ja) * | 2017-12-27 | 2020-12-17 | 株式会社アルバック | スパッタリング方法及びスパッタリング装置 |
JP2021533275A (ja) * | 2018-08-10 | 2021-12-02 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials, Incorporated | アーク放電を低減させた物理的気相堆積(pvd)チャンバ |
WO2020033236A1 (en) * | 2018-08-10 | 2020-02-13 | Applied Materials, Inc. | Physical vapor deposition (pvd) chamber with reduced arcing |
US11742235B2 (en) | 2018-09-28 | 2023-08-29 | Applied Materials, Inc. | Coaxial lift device with dynamic leveling |
CN112639164A (zh) * | 2018-09-28 | 2021-04-09 | 应用材料公司 | 具有动态调平的同轴升降装置 |
JP2022502846A (ja) * | 2018-09-28 | 2022-01-11 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials, Incorporated | 動的水平化を備えた同軸リフト装置 |
WO2020068343A1 (en) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | Applied Materials, Inc. | Coaxial lift device with dynamic leveling |
CN112639164B (zh) * | 2018-09-28 | 2023-10-10 | 应用材料公司 | 具有动态调平的同轴升降装置 |
JP7475337B2 (ja) | 2018-09-28 | 2024-04-26 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 動的水平化を備えた同軸リフト装置 |
US20210319985A1 (en) * | 2018-11-16 | 2021-10-14 | Ulvac, Inc. | Vacuum Processing Apparatus |
US11923178B2 (en) * | 2018-11-16 | 2024-03-05 | Ulvac, Inc. | Vacuum processing apparatus |
JP2021017616A (ja) * | 2019-07-18 | 2021-02-15 | 株式会社アルバック | 炭素薄膜の形成方法、および、炭素薄膜の形成装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6616192B2 (ja) | 2019-12-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6616192B2 (ja) | 成膜方法 | |
US6562200B2 (en) | Thin-film formation system and thin-film formation process | |
JP6171108B2 (ja) | 成膜装置及び成膜方法 | |
TWI780173B (zh) | 濺鍍裝置 | |
JP5901762B2 (ja) | ハードマスクの製造方法 | |
JP5461690B2 (ja) | スパッタリング装置及びスパッタリング方法 | |
JP6692164B2 (ja) | 成膜方法 | |
JP2014148703A (ja) | スパッタリング装置 | |
JP7262235B2 (ja) | スパッタリング装置及びスパッタリング方法 | |
JP7478049B2 (ja) | スパッタリング装置及び金属化合物膜の成膜方法 | |
JP5265309B2 (ja) | スパッタリング方法 | |
JP2016117923A (ja) | スパッタリング装置 | |
JP6762207B2 (ja) | 成膜方法 | |
KR102341593B1 (ko) | 성막 방법 | |
WO2023105894A1 (ja) | 窒化シリコン膜の成膜方法、成膜装置及び窒化シリコン膜 | |
JP5137332B2 (ja) | 成膜装置の運転方法 | |
JPH10204630A (ja) | スパッタリング装置、スパッタリング方法およびターゲット | |
WO2016143263A1 (ja) | 酸化アルミニウム膜の成膜方法及び形成方法並びにスパッタリング装置 | |
JP7438853B2 (ja) | マグネトロンスパッタリング装置 | |
WO2022059277A1 (ja) | 積層構造体及び積層構造体の製造方法 | |
JP6734711B2 (ja) | 成膜方法 | |
JP2023170446A (ja) | 成膜方法 | |
JP2018135575A (ja) | スパッタリング装置 | |
JP2009114510A (ja) | スパッタリング方法 | |
JP2021021120A (ja) | スパッタリング方法及びスパッタリング装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181119 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190718 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190827 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190911 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191029 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191107 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6616192 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |