JP2017117916A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7082862B2 (ja) * 2017-07-27 2022-06-09 ファスフォードテクノロジ株式会社 ダイボンディング装置、半導体装置の製造方法および半導体製造システム
JP7029900B2 (ja) * 2017-08-03 2022-03-04 ファスフォードテクノロジ株式会社 ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法
JP7010633B2 (ja) * 2017-09-19 2022-01-26 ファスフォードテクノロジ株式会社 半導体製造装置および半導体装置の製造方法
JP7010638B2 (ja) * 2017-09-26 2022-01-26 ファスフォードテクノロジ株式会社 ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法
JP6886379B2 (ja) * 2017-09-28 2021-06-16 Ｔｏｗａ株式会社 保持部材、保持部材の製造方法、検査装置及び切断装置
WO2019111394A1 (ja) * 2017-12-07 2019-06-13 株式会社Ｆｕｊｉ 情報管理装置及び情報管理方法
JP7102271B2 (ja) * 2018-07-17 2022-07-19 ファスフォードテクノロジ株式会社 半導体製造装置および半導体装置の製造方法
JP7146352B2 (ja) * 2018-12-10 2022-10-04 株式会社ディスコ 試験装置
EP3920677B1 (en) * 2019-02-01 2023-04-05 Fuji Corporation Work machine
JP7299728B2 (ja) * 2019-03-22 2023-06-28 ファスフォードテクノロジ株式会社 半導体製造装置および半導体装置の製造方法
JP7300353B2 (ja) * 2019-09-13 2023-06-29 ファスフォードテクノロジ株式会社 ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法
JP7377655B2 (ja) * 2019-09-19 2023-11-10 ファスフォードテクノロジ株式会社 ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法
JP7437987B2 (ja) * 2020-03-23 2024-02-26 ファスフォードテクノロジ株式会社 ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法
JP7502108B2 (ja) 2020-07-31 2024-06-18 ファスフォードテクノロジ株式会社 ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法
KR102792628B1 (ko) * 2020-11-03 2025-04-07 세메스 주식회사 다이 이송 장치 및 방법
JP7575937B2 (ja) * 2020-12-21 2024-10-30 ファスフォードテクノロジ株式会社 ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法
JP7635075B2 (ja) * 2021-05-28 2025-02-25 ファスフォードテクノロジ株式会社 ダイボンディング装置および半導体装置の製造方法
DE102022118873B4 (de) * 2022-07-27 2024-02-08 ASMPT GmbH & Co. KG Verfahren und Vorrichtung zum Entnehmen von Chips von einem Waferfilmframe, Bestücksystem und Computerprogramm
JP2024017960A (ja) * 2022-07-28 2024-02-08 ファスフォードテクノロジ株式会社 ダイボンディング装置、ダイボンディング方法および半導体装置の製造方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR960015001A (ko) * 1994-10-07 1996-05-22 가나이 쓰토무 반도체 기판의 제조방법과 피검사체상의 패턴결함을 검사하기 위한 방법 및 장치
JP3744966B2 (ja) * 1994-10-07 2006-02-15 株式会社ルネサステクノロジ 半導体基板の製造方法
JPH11345865A (ja) * 1998-06-01 1999-12-14 Sony Corp 半導体製造装置
JP2000150546A (ja) * 1998-11-16 2000-05-30 Toshiba Corp 電子部品の実装装置及び実装方法
JP2005332982A (ja) * 2004-05-20 2005-12-02 Renesas Technology Corp 半導体装置の製造方法
JP2006138830A (ja) * 2004-11-10 2006-06-01 Nippon Electro Sensari Device Kk 表面欠陥検査装置
JP4624813B2 (ja) * 2005-01-21 2011-02-02 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置の製造方法および半導体製造装置
JP4830772B2 (ja) * 2006-10-11 2011-12-07 ヤマハ株式会社 半導体チップの検査方法
JP5054949B2 (ja) * 2006-09-06 2012-10-24 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置の製造方法
JP2008215875A (ja) * 2007-02-28 2008-09-18 Omron Corp 成形体の検査方法およびこの方法を用いた検査装置
US7847927B2 (en) * 2007-02-28 2010-12-07 Hitachi High-Technologies Corporation Defect inspection method and defect inspection apparatus
JP5903229B2 (ja) * 2011-08-30 2016-04-13 ファスフォードテクノロジ株式会社 ダイボンダ及び半導体製造方法
JP2013092661A (ja) * 2011-10-26 2013-05-16 Panasonic Corp 部品実装装置に用いる撮像用照明ユニット及び部品実装装置
JP5438165B2 (ja) * 2012-06-13 2014-03-12 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体装置の製造方法
JP6266275B2 (ja) * 2013-09-09 2018-01-24 ファスフォードテクノロジ株式会社 ダイボンダ及びボンディング方法

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