JP2017065962A - 石英ガラス溶融用カーボン電極 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電極基材がかさ密度1.72〜1.75g/cm3で、かつ固有抵抗が7〜8μΩmのカーボンから構成されている石英ガラス溶融用カーボン電極1。例えば石英ガラスルツボ11を製造する際、好適に用いられる石英ガラス溶融用カーボン電極1。カーボン電極1(電極基材)はカーボン粒子がコークス等の原料、例えば石炭系ピッチコークスとコールタールピッ等の結合材等の炭化した混練物を用いて、一般的製造方法で形成するカーボンである。
【選択図】図2
Description
前記石英ガラスルツボ製造装置21のルツボ成形用型22は、減圧可能な構造を有する内側部材23と保持体24とから構成され、回転軸25により回転可能なように支持されている。
また、前記内側部材23に対向する上部には、アーク放電を行うための3本の石英ガラス溶融用カーボン電極27が設けられている。
また、石英ガラス溶融用カーボン電極にあっては、アーク放電中にアーク放電切れ(アーク放電が停止)が発生し、均一な石英ガラスを形成することができないという問題があった。
その結果、カーボン電極を構成する電極基材のかさ密度が特定の範囲にあり、かつ固有抵抗が特定範囲内にある場合に、カーボン電極(電極基材)から落下するカーボン粒子をより抑制することができ、かつアーク放電中のアーク放電切れを抑制でき、石英ガラス(透明層)内の泡の発生をより抑制した、均一な石英ガラスを形成することができることを想到し、本発明を完成した。
また、石英ガラス溶融用カーボン電極の固有抵抗が、7μΩm以上8μΩm以下のカーボンから構成されているため、アーク放電中のアーク放電切れを抑制でき、均一な石英ガラスを形成することができる。
また、カーボン電極1(電極基材)は、カーボン粒子がコークスなどの原料、例えば石炭系ピッチコークスと、コールタールピッチなどの結合材、例えば石炭系コールタールピッチとを炭化した混練物を用いて、一般的な製造方法により形成される。
このかさ密度は、20mm×20mm×100mmに切り出したサンプルの重量と体積から、JIS−R7222−1997「黒鉛素材の物理特性測定方法」に準拠した方法で算出する。
前記電極基材の固有抵抗が前記特定の範囲内にあるため、アーク放電中のアーク放電切れを抑制でき、またカーボン電極の消耗、粒子の落下をより抑制でき、均一な石英ガラスを形成することができる。
尚、前記固有抵抗は体積固有抵抗を意味し、アークの安定性、カーボン電極の消耗、カーボン粒子の落下から鑑みれば、電極基材の固有抵抗は小さい方が望ましい。
黒鉛化温度を高くし、黒鉛化度を高くする(黒鉛化度:黒鉛結晶構造の成長度合い)と固有抵抗は低くなる。また、かさ密度を高くすると固有抵抗は低くなる。このかさ密度は成形圧力、成形後の含浸などにより調整することができる。
そのほかに、原料粉末を配向させる、すなわち異方性をコントロールすることによっても固有抵抗を調整することができる。
前記保持体6の下部には、図示しない回転手段と連結されている回転軸7が固着されていて、ルツボ成形用型3を回転可能なようにして支持している。
また、前記内側部材8に対向する上部には、アーク放電による石英ガラス溶融用の3本のカーボン電極1が設けられている。
更に、前記減圧機構10の作動により内側部材4内を減圧し、カーボン電極1に通電して、ルツボ成形体11の内側からアーク放電により加熱し、成形体11の内表面から徐々に溶融層を形成する。その後、前記溶融層が冷却されることにより、石英ガラスルツボが製造される。
そのため、石英ガラス(透明層)内の泡の発生を抑制でき、かつアーク放電中のアーク放電切れを抑制でき、均一な石英ガラスを形成することができる。
また、石英ガラス溶融用カーボン電極(電極基材)の固有抵抗が、7μΩm以上8μΩm以下のカーボンから構成されているため、アーク放電中のアーク放電切れを抑制でき、均一な石英ガラスを形成することができる。
そして、夫々のカーボン電極、石英ガラスルツボについて評価した。その結果を表1に示す。
尚、比較例6にあっては、アークの安定性が悪く、石英ガラスルツボを製造することができなかった。
2 石英ガラスルツボ製造装置
Claims (1)
- アーク放電により石英ガラスを溶融するのに用いられる石英ガラス溶融用カーボン電極において、
この電極基材が、かさ密度1.72g/cm3以上1.75g/cm3以下で、かつ固有抵抗が7μΩm以上8μΩm以下のカーボンからなることを特徴とする石英ガラス溶融用カーボン電極。
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