JP5025976B2 - アーク溶融用高純度炭素電極とその用途 - Google Patents
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Description
(1)アーク放電によって石英粉を加熱溶融するために用いる炭素電極であり、炭素電極の密度が1.60g/cm3〜1.80g/cm3であって、粒子径0.05mm以下の高純度炭素粒子からなることを特徴とするアーク溶融用高純度炭素電極。
(2)上記(1)の炭素電極を備えたアーク放電手段を有する石英ガラスルツボ製造装置。
(3)上記(2)の製造装置を用いて製造または再生したシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボ。
(4)上記(3)の石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の引上げ方法。
本発明の炭素電極は、アーク放電によって石英粉を加熱溶融するために用いる炭素電極であり、炭素電極の密度が1.60g/cm3〜1.80g/cm3であって、粒子径0.05mm以下の高純度炭素粒子からなることを特徴とするアーク溶融用高純度炭素電極である。
〔実施例1〜4、比較例1〜4〕
表1に示す炭素電極を有するアーク放電手段を備えた石英ガラスルツボを用い、回転モールド法によって石英ガラスルツボを製造し、得られたルツボの性状を調べた。さらに、この石英ガラスルツボを用いてシリコン単結晶を引き上げた。結果を表1に示した。
Claims (4)
- 交流三相で電極間のアーク放電によって石英粉を加熱溶融するために用いる炭素電極であり、炭素電極の密度が1.65g/cm3〜1.67g/cm3であって、最大粒子径0.02mm以下の高純度炭素粒子からなることを特徴とする石英粉のアーク溶融用高純度炭素電極。
- 請求項1の炭素電極を備えたアーク放電手段を有する石英ガラスルツボ製造装置。
- 請求項2の製造装置を用いて製造または再生したシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボ。
- 請求項3の石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の引上げ方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006096324A JP5025976B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | アーク溶融用高純度炭素電極とその用途 |
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JP2006096324A JP5025976B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | アーク溶融用高純度炭素電極とその用途 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007273206A JP2007273206A (ja) | 2007-10-18 |
JP5025976B2 true JP5025976B2 (ja) | 2012-09-12 |
Family
ID=38675807
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006096324A Active JP5025976B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | アーク溶融用高純度炭素電極とその用途 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5025976B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5344423B2 (ja) | 2008-09-26 | 2013-11-20 | 株式会社Sumco | 炭素電極の製造方法および石英ガラスルツボの製造方法 |
KR101331181B1 (ko) * | 2009-08-12 | 2013-11-20 | 쟈판 스파 쿼츠 가부시키가이샤 | 실리카 유리 도가니의 제조 장치 및 실리카 유리 도가니의 제조 방법 |
JP5500672B2 (ja) * | 2009-11-02 | 2014-05-21 | 株式会社Sumco | 石英ガラスルツボの製造装置および石英ガラスルツボの製造方法 |
US8281620B1 (en) | 2011-04-27 | 2012-10-09 | Japan Super Quartz Corporation | Apparatus for manufacturing vitreous silica crucible |
KR101626068B1 (ko) * | 2014-12-04 | 2016-06-01 | 주식회사 포스코 | 전극 재생장치 및 재생방법과, 이를 이용하는 전기로의 운용방법 |
JP7023130B2 (ja) * | 2018-02-06 | 2022-02-21 | 信越石英株式会社 | カーボン電極及び石英ガラスるつぼの製造方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59184714A (ja) * | 1983-04-06 | 1984-10-20 | Hitachi Chem Co Ltd | 電気比抵抗の異方性比が1.05以下の炭素材料の製造法 |
JPS62182107A (ja) * | 1986-02-05 | 1987-08-10 | Nippon Light Metal Co Ltd | 高密度炭素材の製造法 |
JPH04104954A (ja) * | 1990-08-24 | 1992-04-07 | Nippon Steel Corp | 耐酸化性高密度炭素材料の製造方法 |
JP3278190B2 (ja) * | 1992-02-18 | 2002-04-30 | 東海カーボン株式会社 | 等方性高密度黒鉛材の製造方法 |
JPH11236233A (ja) * | 1998-02-23 | 1999-08-31 | Sumikin Sekiei Kk | 石英るつぼの製造方法 |
JP4169844B2 (ja) * | 1998-12-02 | 2008-10-22 | 滲透工業株式会社 | アーク式電気炉用黒鉛電極の酸化防止方法 |
JP4290291B2 (ja) * | 1999-09-30 | 2009-07-01 | コバレントマテリアル株式会社 | 石英ガラス溶融用カーボン電極 |
JP5159002B2 (ja) * | 2000-08-29 | 2013-03-06 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | 高純度炭素電極及びこれを用いた石英ガラスルツボの製造方法 |
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2006
- 2006-03-31 JP JP2006096324A patent/JP5025976B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007273206A (ja) | 2007-10-18 |
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