JP4866126B2 - アーク放電装置とその石英ガラスルツボ製造装置および用途 - Google Patents
アーク放電装置とその石英ガラスルツボ製造装置および用途 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4866126B2 JP4866126B2 JP2006096325A JP2006096325A JP4866126B2 JP 4866126 B2 JP4866126 B2 JP 4866126B2 JP 2006096325 A JP2006096325 A JP 2006096325A JP 2006096325 A JP2006096325 A JP 2006096325A JP 4866126 B2 JP4866126 B2 JP 4866126B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- carbon
- arc discharge
- quartz glass
- glass crucible
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 36
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 title claims description 32
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 17
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 66
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 66
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 42
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 12
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 12
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 11
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 9
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 7
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 229910021487 silica fume Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000009694 cold isostatic pressing Methods 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 239000005350 fused silica glass Substances 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 2
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 2
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 2
- 230000018199 S phase Effects 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000013001 point bending Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B19/00—Other methods of shaping glass
- C03B19/09—Other methods of shaping glass by fusing powdered glass in a shaping mould
- C03B19/095—Other methods of shaping glass by fusing powdered glass in a shaping mould by centrifuging, e.g. arc discharge in rotating mould
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Discharge Heating (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
(1)アーク放電によって石英粉を加熱溶融する高純度炭素電極を備えたアーク放電装置において、各炭素電極の密度が1.30g/cm3〜1.80g/cm3であり、電極各相に配置した炭素電極相互の密度差が0.2g/cm3以下であることを特徴とするアーク放電放置。
(2)電極各相の炭素電極を形成する炭素粒子の粒子径が0.3mm以下である上記(1)に記載のアーク放電装置。
(3)電極各相に配置した炭素電極相互の密度差が0.10g/cm3以下であり、各炭素電極を形成する炭素粒子の粒子径が0.1mm以下である上記(1)に記載のアーク放電装置。
(4)上記(1)〜上記(3)の何れかに記載されたアーク放電装置を備えた石英ガラスルツボ製造装置。
(5)上記(4)の装置によって製造された石英ガラスルツボ。
(6)上記(5)の石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の引上げ方法。
本発明のアーク放電装置は、アーク放電によって石英粉を加熱溶融する高純度炭素電極を備えたアーク放電装置であって、各炭素電極の密度が1.30g/cm3〜1.80g/cm3であり、電極各相に配置した炭素電極相互の密度差が0.2g/cm3以下であることを特徴とするアーク放電放置である。
〔実施例1〜4、比較例1〜4〕
表1に示す粒径の炭素粒子からなる炭素電極を用い、回転モールド法によってアーク溶融を行い、石英ガラスルツボを製造してこのルツボの性状を調べた。さらに、この石英ガラスルツボを用いてシリコン単結晶を引き上げた。結果を表1に示した。
Claims (7)
- アーク放電によって石英粉を加熱溶融する高純度炭素電極を備えたアーク放電装置において、前記高純度炭素電極は交流3相の高純度炭素電極であり、各炭素電極の密度が1.30g/cm3〜1.80g/cm3であり、電極各相に配置した炭素電極相互の密度差が0.2g/cm3以下であることを特徴とする、石英ガラスルツボ製造用のアーク放電装置。
- 電極各相の炭素電極を形成する炭素粒子の粒子径が0.3mm以下である請求項1に記載のアーク放電装置。
- 電極各相に配置した炭素電極相互の密度差が0.10g/cm3以下であり、各炭素電極を形成する炭素粒子の粒子径が0.1mm以下である請求項1又は2に記載のアーク放電装置。
- 前記各炭素電極の密度が1.40g/cm 3 〜1.57g/cm 3 である、請求項1〜3いずれかに記載のアーク放電装置。
- 請求項1〜4の何れかに記載されたアーク放電装置を備えた石英ガラスルツボ製造装置。
- 請求項5の装置によって製造された石英ガラスルツボ。
- 請求項6の石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の引上げ方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006096325A JP4866126B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | アーク放電装置とその石英ガラスルツボ製造装置および用途 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006096325A JP4866126B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | アーク放電装置とその石英ガラスルツボ製造装置および用途 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007273207A JP2007273207A (ja) | 2007-10-18 |
JP4866126B2 true JP4866126B2 (ja) | 2012-02-01 |
Family
ID=38675808
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006096325A Active JP4866126B2 (ja) | 2006-03-31 | 2006-03-31 | アーク放電装置とその石英ガラスルツボ製造装置および用途 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4866126B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101154931B1 (ko) | 2009-01-08 | 2012-06-13 | 쟈판 스파 쿼츠 가부시키가이샤 | 석영 유리 도가니 제조 장치 |
JP5443932B2 (ja) * | 2009-10-02 | 2014-03-19 | 株式会社Sumco | 石英ガラスルツボ、その製造装置およびその製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4169844B2 (ja) * | 1998-12-02 | 2008-10-22 | 滲透工業株式会社 | アーク式電気炉用黒鉛電極の酸化防止方法 |
JP5159002B2 (ja) * | 2000-08-29 | 2013-03-06 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | 高純度炭素電極及びこれを用いた石英ガラスルツボの製造方法 |
JP2004209610A (ja) * | 2003-01-07 | 2004-07-29 | Toyo Tanso Kk | 放電加工用電極材料 |
-
2006
- 2006-03-31 JP JP2006096325A patent/JP4866126B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007273207A (ja) | 2007-10-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5025976B2 (ja) | アーク溶融用高純度炭素電極とその用途 | |
TWI427188B (zh) | 熱噴塗粉末、形成熱噴塗塗層之方法、以及耐電漿侵蝕之構件 | |
CN103880448B (zh) | 一种浇注成型大型自结合碳化硅制品 | |
JP5149864B2 (ja) | 石英ガラスるつぼの製造方法 | |
TW201022179A (en) | Method of manufacturing carbon electrodes and vitreous silica crucible | |
JP2008208021A (ja) | 結晶質SiO2を含む成形体を製造するための溶融シリカの焼結方法 | |
CN103540829B (zh) | 原位制备TiB2增强铜基复合材料的方法和设备 | |
WO2016172274A1 (en) | Bonded zirconia refractories and methods for making the same | |
JP5683739B1 (ja) | 断熱材及びその製造方法 | |
JP6386801B2 (ja) | アルミナ溶融鋳造耐火物とその製造方法 | |
CN105350294B (zh) | 一种镀碳化硅层的短切碳纤维及其制备方法 | |
JP4866126B2 (ja) | アーク放電装置とその石英ガラスルツボ製造装置および用途 | |
TW201008894A (en) | Material and method for welding zircon blocks | |
JPS62212234A (ja) | ガラスの製造法 | |
DE102010045934B4 (de) | Verfahren für die Herstellung eines Quarzglastiegels mit transparenter Innenschicht aus synthetisch erzeugtem Quarzglas | |
JP5159002B2 (ja) | 高純度炭素電極及びこれを用いた石英ガラスルツボの製造方法 | |
JP2004203639A (ja) | シリカガラス成形ブランク製品及びその研磨加工製品並びにそれらの製造方法 | |
JPH10504794A (ja) | 珪質耐火性物質の製造法 | |
JP2010280529A (ja) | 多結晶シリコン製造用ルツボの製造方法 | |
JP2013095652A (ja) | シリカ焼結体ルツボ | |
JP2007290875A (ja) | 酸化チタン系焼結体およびその製造方法 | |
JP2008150224A (ja) | セラミックスの製造方法 | |
JP4394080B2 (ja) | ジルコニア質耐火物 | |
JP2019064882A (ja) | 石英ガラスルツボ溶融用カーボン電極、及び該電極を用いた石英ガラスルツボ製造装置、並びに該電極を用いた石英ガラスルツボの製造方法 | |
CN103112862A (zh) | 一种以废石英坩埚为原料生产熔融钝角石英砂的方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090303 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090303 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20090325 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20110316 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110629 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110818 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111007 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111108 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141118 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4866126 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141118 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141118 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313115 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141118 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |