JP2007273206A - アーク溶融用高純度炭素電極とその用途 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】アーク放電によって石英粉を加熱溶融するために用いる炭素電極であり、炭素電極の密度が1.60g/cm3〜1.80g/cm3であって、粒子径0.05mm以下の高純度炭素粒子からなることを特徴とするアーク溶融用高純度炭素電極およびその用途。
【選択図】なし
Description
(1)アーク放電によって石英粉を加熱溶融するために用いる炭素電極であり、炭素電極の密度が1.60g/cm3〜1.80g/cm3であって、粒子径0.05mm以下の高純度炭素粒子からなることを特徴とするアーク溶融用高純度炭素電極。
(2)上記(1)の炭素電極を備えたアーク放電手段を有する石英ガラスルツボ製造装置。
(3)上記(2)の製造装置を用いて製造または再生したシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボ。
(4)上記(3)の石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の引上げ方法。
本発明の炭素電極は、アーク放電によって石英粉を加熱溶融するために用いる炭素電極であり、炭素電極の密度が1.60g/cm3〜1.80g/cm3であって、粒子径0.05mm以下の高純度炭素粒子からなることを特徴とするアーク溶融用高純度炭素電極である。
〔実施例1〜4、比較例1〜4〕
表1に示す炭素電極を有するアーク放電手段を備えた石英ガラスルツボを用い、回転モールド法によって石英ガラスルツボを製造し、得られたルツボの性状を調べた。さらに、この石英ガラスルツボを用いてシリコン単結晶を引き上げた。結果を表1に示した。
Claims (4)
- アーク放電によって石英粉を加熱溶融するために用いる炭素電極であり、炭素電極の密度が1.60g/cm3〜1.80g/cm3であって、粒子径0.05mm以下の高純度炭素粒子からなることを特徴とするアーク溶融用高純度炭素電極。
- 請求項1の炭素電極を備えたアーク放電手段を有する石英ガラスルツボ製造装置。
- 請求項2の製造装置を用いて製造または再生したシリコン単結晶引上用石英ガラスルツボ。
- 請求項3の石英ガラスルツボを用いたシリコン単結晶の引上げ方法。
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