JP2017055610A - パワー半導体装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】配線インダクタンスの低減および立体交差配線の回避を実現すると共に、装置の小形化、低コスト化を可能にするパワー半導体装置を提供する。【解決手段】パワー半導体素子を6アームで構成する3相インバータを、1つのモジュールもしくはパッケージ内に収めた、又は1枚の回路基板上に搭載したパワー半導体装置において、第1相ブロック(21)、第2相ブロック(22)、第3相ブロック(23)をこの順に並べて配置し、外側にある第1相ブロック(21)および第3相ブロック(23)は、互いに同じ方向に向けて配置し、第1相ブロック(21)と第3相ブロック(23)との間にある第2相ブロック(22)は、第1ブロック(21)および第3相ブロック(23)のいずれに対してもそれぞれ互いに概略線対称になるように反転配置する。【選択図】図1

Description

本発明は、IGBTなどのパワー半導体素子を6アームで構成する3相インバータを、1つのモジュール又はパッケージ内に収めた、又は1枚の回路基板上に搭載したパワー半導体装置に関する。
図6に、IGBTなどのパワー半導体素子を用いた一般的な3相インバータシステムの主回路図を示す。1はバッテリなどの直流電源回路である。直流電源回路1は、これを交流電源から構成する場合、図示されていない整流器と大容量のコンデンサで実現できる。2は直流を交流に変換するIGBTおよびダイオードより構成された3相インバータ回路である。3は直流電源回路1とインバータ回路2との間の配線インダクタンスLs、4はモータなどの負荷である。3相インバータ回路2はブリッジ接続された6個のアームから成り、各相は直流電源回路1の正側直流端子(P)および負側直流端子(N)と当該相の交流端子(U,V,W)との間に接続された上アームおよび下アームを有する。各アームは、1つの相(例えばU相)についてのみ代表的に符号を付しているように、IGBT5と、これに逆並列に接続されたダイオード6と、IGBT5のゲート駆動回路7(実際には各IGBT素子に接続されている)とから構成されている。図示されていない制御回路からのIGBTのオンオフ指令信号8を各ゲート駆動回路7に入力することで、IGBT5がオンオフされ、交流端子9(U,V,W)に所望の電圧および周波数を出力することができる。
図7−1は、図6の3相インバータ回路を1つのパッケージ内に収めたパワー半導体装置の第1の従来例を示す回路図である(ゲート信号線の図示は省略されており、このことは以下に説明する他の図の例においても同様である)。この回路構造によれば、1つのパッケージもしくはモジュール10内に3つの交流端子U,V,Wと、1対の直流端子P,Nが設置されている。この構造の特徴は、パッケージ10の内部において、3相各相に対してP電位配線およびN電位配線が共通化されている点にある。この種の特徴点を有するパワー半導体装置として種々のモジュールが知られており(例えば特許文献1、特許文献2、特許文献3参照)、図8−1にそのモジュール例を平面図で示す。これによれば、モジュール10の第1辺をなす縁部に交流端子U,V,Wが配置され、それに隣接する第2辺をなす縁部に直流端子P,Nが配置されている(ブレーキ端子であるB端子も図示されているが、本発明に直接関係がないので、このB端子はないものとして説明する)。
図7−2は、図6の3相インバータ回路を1つのパッケージ内に収めたパワー半導体装置の第2の従来例を示す回路図である。この回路構造によれば、1つのパッケージ10内に3つの交流端子U,V,Wと、2対の直流端子P1,N1およびP2,N2が設置されている。この種のモジュールは公知であり(例えば、非特許文献1、特許文献4、特許文献5、特許文献6参照)、図8−2に実際のモジュール例を平面図で示す。これによれば、モジュールの第1辺をなす縁部に交流端子U,V,Wが配置され、その第1辺に隣接する2つの辺をなす縁部に直流端子P1,N1およびP2,N2が対向配置されている(ここでも、ブレーキ端子であるB端子も図示されているが、本発明に直接関係がないので、このB端子はないものとして説明する)。
図9は、図6の3相インバータ回路を1つのモジュール内に収めたパワー半導体装置の第3の従来例を示す回路図である。その模式図を図10に、実際のモジュール例の平面図を図11に示す。このように、モジュール内の回路を各相に分割し、構造上も1つのパッケージ10を3つの相ブロック21,22,23に分け、各相ブロックそれぞれに、上下アーム1相分のIGBTおよびダイオードのほかに1対の直流端子を設けた構成は公知である(例えば、特許文献7、特許文献8、非特許文献1参照)。直流端子として、各相ブロックそれぞれに1つの正側直流端子と1つの負側直流端子が設けられている。すなわち、U相ブロックにP1,N1、V相ブロックにP2,N2、W相ブロックにP3,N3の如く、計6端子が設けられている。交流端子として、U相にU,U、V相にV,V、W相にW,Wが設けられている。各相の2つの交流端子は、図10の模式図から分るように、モジュール内部で短絡されている。従って、交流端子を各相2端子とすることは必ずしも必要でない。交流端子U,U,V,V,W,Wはモジュール10の第1辺をなす縁部に配置され、その第1辺に対向する第2辺をなす縁部には6個の直流端子P1,N1,P2,N2,P3,N3が配置されている。
図12は、図8による従来のパワー半導体装置についてモジュール内部の実際の部品、部材の配置例を示す。モジュール10は、図示平面において縦方向に、全く同一構成のU相ブロック21,V相ブロック22およびW相ブロック23が、この順で隣接して並べられている。各相ブロックは、U相を代表として符号を付して示しているように、上アームIGBTチップ34、上アームダイオードチップ35、下アームIGBTチップ36、下アームダイオードチップ37、各DCBパターン(正側電位パターン31、負側電位パターン32、相電位パターン33)、各チップと各DCBパターンとの間を配線するワイヤ配線などで構成されている。各相ブロック21,22,23において、正側電位パターン31は、それぞれ当該相に属する正側直流端子P1,P2もしくはP3に接続され、負側電位パターン31は、それぞれ当該相に属する負側直流端子N1,N2もしくはN3に接続され、相電位パターン33は、それぞれ当該相に属する交流端子U(U,U),V(V,V)もしくはW(W,W)に接続されている。
図13は、IGBTが電流遮断(ターンオフ)する際のIGBTのコレクタ・エミッタ間電圧波形VCEとコレクタ電流波形iを時間tに対する経過として例示する。配線インダクタLsと遮断時の電流変化率di/dtによって、直流電圧Edに対して、
ΔVCE=Ls・di/dt ・・・(1)
分のサージ電圧が発生する。システムの設計上,IGBTが必要とする耐圧は、上記サージ電圧値を考慮して、Ed+ΔVCEの最高到達値以上のものとする必要がある。つまり、要求されるIGBTの耐圧を必要以上に上げないためには、配線インダクタンスLsを小さくする必要がある。
このような課題に対し、図7−1、図8−1のように直流端子が1対のシステムでは、モジュール内で正側電位と負側電位用の配線長が延びてしまうため、配線インダクタンスLsが大きくなるという問題点があり、遮断時のdi/dtが大きい大電流システムには不向きとなる。また、直流部の配線が1対しかないため、他相のスイッチングが自相に影響を及ぼす共通インピーダンス構造となる問題点もある。
上記課題に対し、図7−2、図8−2のような構成とすれば、上記問題点がある程度解消するが、2対の直流端子は、モジュールの両側に配置されているため、直流コンデンサとの配線が複雑になるといった課題がある。
また、図7−1又は図7−2においては、図16に点線で示す領域25などのように,モジュール内部(基板内)の配線が交差する箇所が発生するため、必然的にこの箇所はモジュール内部の配線構造によって(基板構成の場合は多層基板構成によって)立体交差を行う必要がある。
一方、図9〜図12のように直流配線を相ごとに個別に行うシステムでは、上記問題点は大幅に解消される。図14は、モジュール10から各相に付設された外部の直流大容量コンデンサ41,42,43まで、相ごとにそれぞれ1対の配線導体44,45、46,47もしくは48,49を介して個別に配線した例を示す。この構造の場合、各相の正側直流配線と負側直流配線とが近接されるため、相互インダクタンス発生により低インダクタンス化が図れる。また、図15のように、各相共通の1つの正側直流配線板441と各相共通の1つの負側直流配線板442とをラミネート化することで、さらに低インダクタンス化を図ることができる。また、モジュール内部(または基板内)で配線が交差することなく構成することが可能である。しかしながら、この構成の場合、端子数が多いことによるコストアップや、外部配線数が多くなる、あるいは複雑になるなどの課題がある。
特開2001−237369号公報 特開2005−191233号公報 特開2005−347561号公報 特開2001−144251号公報 特開平7−111310号公報 特開2008−166421号公報 特開2009−219273号公報 特開2003−31738号公報
本発明の課題は、配線インダクタンスの低減および立体交差配線の回避を実現すると共に、装置の小形化、低コスト化を可能にするパワー半導体装置を提供することにある。
この課題は、本発明によれば、パワー半導体素子を6アームで構成する3相インバータを、1つのモジュールもしくはパッケージ内に収めた、又は1枚の回路基板上に搭載したパワー半導体装置において、第1相ブロック、第2相ブロック、第3相ブロックをこの順に並べて配置し、外側の第1相ブロックおよび第3相ブロックは互いに同じ方向に向けて配置し、第1相ブロックと第3相ブロックとの間にある第2相ブロックは、第1相ブロックおよび第3相ブロックのいずれに対しても互いに概略線対称になるように反転配置したことを特徴とするパワー半導体装置によって解決される。
本発明は、第1相ブロック、第2相ブロック、第3相ブロックをこの順に互いに同じ方向に向けて並べて配置する従来の直流6端子構造から出発して、第2相ブロックのみが逆向きになるよう配置を変更するならば、つまり第2相ブロックが第1相ブロックおよび第3相ブロックのいずれに対しても互いに線対称になるように第2相ブロックを反転配置するならば、配線インダクタンスの低減および立体交差配線の回避という従来の直流6端子構成の利点を損なうことなく、直流端子数の低減を図ることができるという発想に基づいている。
この発想を具体的に説明すると、従来の直流6端子構成の場合には、6つの直流端子の順当な並びは、例えば、第1相正側端子→第1相負側端子→第2相正側端子→第2相負側端子→第3相正側端子→第3相負側端子となるのに対して、本発明の場合には、第1相正側端子→第1相負側端子→第2相負側端子→第2相正側端子→第3相正側端子→第3相負側端子となる。これから分かるように、第1相負側端子と第2相負側端子とは互いに隣接しており、しかも同じ負電位にあるので、難なく共通な1つの負側直流端子に統合することができる。同様に、第2相正側端子と第3相正側端子とは互いに隣接しており、しかも同じ正電位にあるので、難なく共通な1つの正側直流端子に統合することができる。この統合により、配線インダクタンスの低減および立体交差配線の回避という従来の直流6端子構成の利点を損なうことなく、直流端子数を4に低減することができる。
それゆえ、本発明によるパワー半導体装置の実施形態によれば、直流端子として2つの正側直流端子と2つの負側直流端子とを設け、第1相ブロックに第1の正側直流端子および第1の負側直流端子を割り当て、第2相ブロックに第1の負側直流端子および第2の正側直流端子を割り当て、第3相ブロックに第2の正側直流端子および第2の負側直流端子を割り当てることによって、有利に直流4端子構成を実現することができる。
さらに、本発明によるパワー半導体装置の実施形態によれば、第1の正側直流端子と第1の負側直流端子、第1の負側直流端子と第2の正側直流端子、ならびに第2の正側直流端子と第2の負側直流端子をそれぞれ互いに近接させて配置し、かつ前記4端子をモジュールもしくはパッケージ又は回路基板の1辺をなす縁部に沿って並べて配置することによって、配線インダクタンスの低減および立体交差配線の回避という利点を有利に実現することができる。
本発明の他の有利な実施形態によれば、モジュール内の各相ブロックが、それぞれ正電位パターンと、負電位パターンと相電位パターンとを含み、第1相ブロックの正電位パターンが第1の正側直流端子に接続され、第1相ブロックの負電位パターンと第2相ブロックの負電位パターンとが共通に第1の負側直流端子に接続され、第2相ブロックの正電位パターンと第3相ブロックの正電位パターンとが共通に第2の正側直流端子に接続され、第3相ブロックの負電位パターンが第2の負側直流端子に接続されている。それにより、有利に装置の小形化、低コスト化を図ることができる。この場合に、第1相ブロックの負電位パターンと第2相ブロックの負電位パターンとが1つの共通な負電位パターンに一体形成され、第2相ブロックの正電位パターンと第3相ブロックの正電位パターンとが1つの共通な正電位パターンに一体形成されていると格別に有利である。
さらに、モジュール内の各相ブロックにおいてそれぞれ上アームおよび下アームをなすパワー半導体チッブのうち、一方のパワー半導体チップが該当する相ブロック内の正電位パターン又は負電位パターン上に搭載され、他方のパワー半導体チップが該当する相ブロック内の相電位パターン上に搭載され、パワー半導体チップと各電位パターンとの間の必要な配線がワイヤ配線によって行われているとよい。この場合にパワー半導体チップがIGBTチップとダイオードチップとからなるとよい。
本発明によれば、第1相ブロック、第2相ブロック、第3相ブロックをこの順に並べて配置し、外側の第1相ブロックおよび第3相ブロックは互いに同じ方向に向けて配置し、第1相ブロックと第3相ブロックとの間にある第2相ブロックは、第1相ブロックおよび第3相ブロックに対してそれぞれ互いに概略線対称になるように反転配置することによって、配線インダクタンス低減および立体交差配線回避という直流6端子構成の利点を損なうことなく、装置の小形化、低コスト化にとって有利な4端子構成とすることができる。また、直流端子を正側および負側それぞれ1端子又は2端子とする従来の構成と比べて、配線インダクタンス低減や、立体交差配線回避等の配線構造の容易化を図ることができ、システムとして小型化や低コスト化が可能となる。
本発明によるパワー半導体装置の第1の実施例を示す模式図 本発明によるパワー半導体装置の第2の実施例を示す模式図 本発明によるパワー半導体装置と直流コンデンサ間の配線例を示す模式図 本発明によるパワー半導体装置のモジュール内部の部品、部材の第1の配置例を示す配置図 本発明によるパワー半導体装置のモジュール内部の部品、部材の第2の配置例を示す配置図 パワー半導体素子を用いた一般的な3相インバータを示す回路図 3相インバータを含むパワー半導体装置の第1の従来例を示す回路図 3相インバータを含むパワー半導体装置の第2の従来例を示す回路図 図7−1によるパワー半導体装置の実際のモジュール例を示す平面図 図7−2によるパワー半導体装置の実際のモジュール例を示す平面図 3相インバータを含むパワー半導体装置の第3の従来例を示す回路図 図9によるパワー半導体装置の模式図 図9によるパワー半導体装置の実際のモジュール例を示す平面図 図9によるパワー半導体装置のモジュール内部の部品、部材の配置図 IGBTターンオフ時の電圧、電流波形図 図10に示すモジュールと直流コンデンサ間の配線例を示す模式図 図10に示すモジュールと直流コンデンサ間の他の配線例を示す模式図 図16は従来技術における問題点の1つを説明するための回路図
図1および図2は本発明によって構成された電力変換回路を有する半導体装置の互いに異なる実施例を示す模式図である。図1がモジュールで構成した第1の実施例を示し、図2が基板で構成した第2の実施例である。
図1のモジュール10もしくは図2の回路基板10内のインバータ回路は、全体として6アームからなる3相ブリッジ回路として構成され、各相U,V,Wに付属した相ブロックに区分されている。各相ブロックは正(P)側の上アームと負(N)側の下アームとの直列接続回路からなり、個々のアームをなすパワー半導体は、例えばIGBTとフリーホイールダイオードとの並列回路として構成されている。なお、バワー半導体としては、MOSFETでも可能である。
図1および図2に示されたパワー半導体装置では、ここに示された図平面において縦方向に少なくともほぼ同間隔にて、第1相ブロック(ここではU相ブロック)21、第2相ブロック(ここではV相ブロック)22、第3相ブロック(ここではW相ブロック)23が、この順に並べて配置されている。外側にある2つの相ブロック、すなわちU相ブロック21およびW相ブロック23は、構造的に互いに同方向に向けられている。これに対して、U相ブロック21とW相ブロック23との間にあるV相ブロック22は、U相ブロック21およびW相ブロック23に対して構造的に逆方向に向けられている。すなわち、V相ブロック23は、U相ブロック21およびV相ブロック23のいずれに対しても線対称になるように反転配置されている。
モジュール内のインバータ回路を外部要素と接続するために、モジュールもしくは基板10の第1辺をなす図示の左側縁部には、各相1対の交流端子U,U、V,V、W,W(図1)、又は各相1つの交流端子U,V,W(図2)が設けられている。図1の実施例の場合に、各相2つの交流端子は、モジュール内部で互いに短絡されており、従って各相2端子とすることは必ずしも必要でない。各相の交流端子は、各相ブロック21,22,23内において上下アームの共通接続部、すなわちU相電位部、V相電位部、W相電位部に接続されている。
さらに、モジュールもしくは基板10の第1辺に対向する第2辺をなす図示の右側縁部に、全ての直流端子が然るべき順序で近接配置されている。すなわち、第1の正側直流端子(P端子)、第2の負側直流端子(N12端子)、第2の正側直流端子(P23端子)、第2の負側直流端子(N端子)がこの順で近接配置されている。すなわち、第1の正側直流端子Pと第1の負側直流端子N12とが近接配置され、第1の負側直流端子N12と第2の正側直流端子P23とが近接配置され、第2の正側直流端子P23と第2の負側直流端子Nが近接配置されている。P端子はU相ブロック21の正側電位部に、N12端子はU相ブロック21とV相ブロック22の負側電位部に、P23端子はV相ブロック22とW相ブロック23の正側電位部に、そしてN端子はW相ブロック23の負側電位部に接続されている。従って、N12端子はU相ブロック21とV相ブロック22とに共用され、P23端子はV相ブロック22とW相ブロック23とに共用される。かくして、隣接する相ブロック同士の線対称配置のおかげで、正側と負側を交互に並べて近接配置した4端子構成が可能となる。これによって、配線インダクタンスの低減および内部の立体交差接続の回避という6端子構成の利点を損なうことなく、直流端子数を6端子(図10参照)から、4端子に低減することができる。
直流端子のこのような配置により外部の直流コンデンサとの配線を行う場合に配線導体は図3に示すように4本ですむ。すなわち、第1のコンデンサ51の正極が配線導体53を介してP端子に接続され、第1のコンデンサ51の負極が配線導体54を介してN12端子に接続され、第2のコンデンサ52の正極が配線導体55を介してP23端子に接続され、第2のコンデンサ52の負極が配線導体56を介してN端子に接続される。P配線導体とN12配線導体とを、N12配線導体とP23配線導体とを、P23配線導体とN配線導体とをそれぞれ近接させることができるので、どの相がスイッチングされても低インダクタンススイッチングとなり、低サージ電圧化を図ることができる(図3は近接した配線導体同士の磁気結合によるインダクタンス低減作用を象徴的に描写している)。
図4および図5は、V相ブロックがU相ブロックおよびW相ブロックのいずれに対してもそれぞれ線対称に反転配置されている本発明によるパワー半導体素装置に関して、モジュール内部の実際の部品および部材の配置例を示す。モジュール10内では、図12で説明した従来技術と同様に、モジュール10の各相ブロックは、図示平面において縦方向に、全く同一構成のU相ブロック21,V相ブロック22およびW相ブロック23が、この順で隣接して並べられている。また、図12で説明した従来技術と同様に、各相ブロックは、U相を代表として符号を付して示しているように、上アームIGBTチップ34、上アームダイオードチップ35、下アームIGBTチップ36、下アームダイオードチップ37、各DCBパターン(正側電位パターン31、負側電位パターン32、相電位パターン33)、各チップと各DCBパターンとの間を配線するワイヤ配線などで構成されている。しかし、図12で説明した従来技術とは違って、V相ブロック22だけが他の2つの相ブロック21,23に対して逆向きに向けられている。すなわち、V相ブロック22がU相ブロック21およびW相ブロック23のいずれに対しても少なくともほぼ線対称になるように反転配置されている。
図4においては、相ブロックU,V,Wごとに1対の直流端子P,N、P,N、P,Nが設けられて、6端子の構成となっている。従来技術による6端子構成(図12参照)では、直流端子が、P1(正側電位)→N1(負側電位)→P2(正側電位)→N2(負側電位)→P3(正側電位)→N3(負側電位)の順に並んでいるのに対して、本発明によれば、V相ブロック22をU相ブロック21およびW相ブロック23に対して線対称になるように反転配置したことによって、図4に示されているように、直流端子が、P(正側電位)→N(負側電位)→N(負側電位)→P(正側電位)→P(正側電位)→N(負側電位)の順に並んでいる。
従って、隣接する直流端子NおよびNは、同じ負側電位ゆえに、図5に示すように1つの共用端子N12に統合することができ、これに応じてU相ブロック21の負電位パターン32およびV相ブロック22の負電位パターン32も1つの共通な負電位パターン32’に一体化することができる。また、隣接する直流端子PおよびPも、同じ正側電位ゆえに、図5に示すように1つの共用端子P23に統合することができ、これに応じてV相ブロック22の正電位パターン31およびW相ブロック23の正電位パターン31も1つの共通な負電位パターン31’に一体化することができる。それによって、パワー半導体装置の更なる小形化、低コスト化が可能となる。
以上のように、本発明によれば、パワー半導体素子(5,6,34,35)を6アームで構成する3相インバータ(2)を、1つのモジュールもしくはパッケージ(10)内に収めた、又は1枚の回路基板(10)上に搭載したパワー半導体装置において、第1相ブロック(21)、第2相ブロック(22)、第3相ブロック(23)をこの順に並べて配置し、外側の第1相ブロック(21)および第3相ブロック(23)は互いに同じ方向に向けて配置し、第1相ブロック(21)と第3相ブロック(23)との間にある第2相ブロック(22)は、第1相ブロック(21)および第3相ブロック(23)に対してそれぞれ互いに概略線対称になるように反転配置することによって、配線インダクタンス低減および立体交差配線回避という直流6端子構成の利点を損なうことなく、直流端子数を、6端子から、装置の小形化、低コスト化にとって有利な4端子に低減することができる。
1 直流電源回路
2 3相インバータ回路
3 配線インダクタンス
4 負荷
5 IGBT
6 ダイオード
7 ゲート駆動回路
8 オンオフ指令信号
9 交流出力端子
10 モジュールもしくはパッケージ、又は回路基板
21 第1相ブロック(U相ブロック)
22 第2相ブロック(V相ブロック)
23 第3相ブロック(W相ブロック)
31 P電位パターン
32 N電位パターン
33 相電位パターン
34 上アームIGBTチップ
35 上アームダイオードチップ
36 下アームIGBTチップ
37 下アームダイオードチップ
51,52 外部接続の直流コンデンサ
53〜56 接続用導体片
〜P,P23 正側直流端子
〜N,N12 負側直流端子
U,U,U U相交流端子
V,V,V V相交流端子
W,W,W W相交流端子

Claims (7)

  1. パワー半導体素子を6アームで構成する3相インバータを、1つのモジュールもしくはパッケージ内に収めた、又は1枚の回路基板上に搭載したパワー半導体装置において、第1相ブロック、第2相ブロック、第3相ブロックをこの順に並べて配置し、外側の第1相ブロックおよび第3相ブロックは互いに同じ方向に向けて配置し、第1相ブロックと第3相ブロックとの間にある第2相ブロックは、第1相ブロックおよび第3相ブロックのいずれに対してもそれぞれ互いに概略線対称になるように反転配置したことを特徴とするパワー半導体装置。
  2. 直流端子として2つの正側直流端子と2つの負側直流端子とを設け、第1相ブロックに第1の正側直流端子および第1の負側直流端子を割り当て、第2相ブロックに第1の負側直流端子および第2の正側直流端子を割り当て、第3相ブロックに第2の正側直流端子および第2の負側直流端子を割り当てたことを特徴とする請求項1記載のパワー半導体装置.
  3. 第1の正側直流端子と第1の負側直流端子、第1の負側直流端子と第2の正側直流端子、ならびに第2の正側直流端子と第2の負側直流端子をそれぞれ互いに近接させて配置し、かつ前記4端子をモジュールもしくはパッケージ又は回路基板の1辺をなす縁部に沿って並べて配置したことを特徴とする請求項2記載のパワー半導体装置。
  4. モジュール内の各相ブロックが、それぞれ正電位パターンと負電位パターンと相電位パターンとを含み、第1相ブロックの正電位パターンが第1の正側直流端子に接続され、第1相ブロックの負電位パターンと第2相ブロックの負電位パターンとが第1の負側直流端子に接続され、第2相ブロックの正電位パターンと第3相ブロックの正電位パターンとが第2の正側直流端子に接続され、第3相ブロックの負電位パターンが第2の負側直流端子に接続され、各相の相電位パターンが該当相の交流端子に接続されていることを特徴とする請求項2又は3記載のパワー半導体装置。
  5. 第1相ブロックの負電位パターンと第2相ブロックの負電位パターンとが1つの共通な負電位パターンに一体形成され、第2相ブロックの正電位パターンと第3相ブロックの正電位パターンとが1つの共通な正電位パターンに一体形成されていることを特徴とする請求項4記載のパワー半導体装置。
  6. モジュール内の各相ブロックにおいてそれぞれ上アームおよび下アームをなすパワー半導体チッブのうち、一方のパワー半導体チップが該当する相ブロック内の正電位パターン又は負電位パターン上に搭載され、他方のパワー半導体チップが該当する相ブロック内の相電位パターン上に搭載され、パワー半導体チップと各電位パターンとの間の必要な配線がワイヤ配線によって行われていることを特徴とする請求項4又は5記載のパワー半導体装置。
  7. パワー半導体チップがIGBTチップとダイオードチップとからなることを特徴とする請求項4乃至6の1つに記載のパワー半導体装置。
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