JP2017050175A - 圧電型memsスイッチ及び圧電型memsスイッチの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電型MEMSスイッチ100は、第1圧電駆動素子における電圧駆動により変形する可撓性部材である第1ビーム13と、第1ビーム13に設けられ、第1ビームの変形により信号線間の接続と切断とを切り替える接点部15bを備えた接触端子15と、接触端子を補強する補強部材31と、を備える。第1ビーム13に設けられた接触端子15が補強部材31によって補強されていることで、接点部15bが第2信号線24と接触する際に生じる力を分散させることができる。
【選択図】図5
Description
図5は、第1補強例に係る第1ビーム13及び第2ビーム23の周辺の拡大図である。
図9は、第1補強例に係る第1ビーム13及び第2ビーム23の周辺の拡大図である。
図12は、第3補強例に係る第1ビーム13及び第2ビーム23の周辺の拡大図である。
Claims (6)
- 圧電駆動素子における電圧印加により変形する可撓性部材と、
前記可撓性部材に設けられ、前記可撓性部材の変形により信号線間の接続と切断とを切り替える接点部を備えた接触端子と、
前記接触端子を補強する補強部材と、
を備える圧電型MEMSスイッチ。 - 前記接触端子は、接触端子本体と、前記接触端子本体における前記信号線に対向した位置に設けられる接点部と、を備え、前記補強部材は、前記接触端子本体において、前記接点部が設けられた側とは逆側に設けられる請求項1に記載の圧電型MEMSスイッチ。
- 前記接触端子は、接触端子本体と、前記接触端子本体における前記信号線に対向した位置に設けられる接点部と、を備え、前記補強部材は、前記接触端子本体において、前記接点部が設けられた側と同じ側に設けられる請求項1又は2に記載の圧電型MEMSスイッチ。
- 前記可撓性部材を補強する第2の補強部材をさらに備える請求項1〜3のいずれか一項に記載の圧電型MEMSスイッチ。
- 請求項2に記載の圧電型MEMSスイッチの製造方法であって、
前記可撓性部材となる可撓性部材層上に、犠牲層を形成する工程と、
前記犠牲層上に前記接触端子となる接触端子層を形成する工程と、
前記接触端子層上に前記補強部材となる補強部材層を形成する工程と、
前記犠牲層を除去する工程と、
を有する圧電型MEMSスイッチの製造方法。 - 請求項3に記載の圧電型MEMSスイッチの製造方法であって、
前記可撓性部材となる可撓性部材層上に、犠牲層を形成する工程と、
前記犠牲層上に前記補強部材となる補強部材層を形成する工程と、
前記補強部材層上に前記接触端子となる接触端子層を形成する工程と、
前記犠牲層を除去する工程と、
を有する圧電型MEMSスイッチの製造方法。
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