JP2012086315A - 微細可動構造体の製造方法および微細可動構造体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第2電極103の上部の後述する接点部が形成される接点部形成領域において、第2開口部105aを有する密着膜105を犠牲膜104の上に形成し、次に、第2開口部105aを覆って密着膜105の上に接点電極膜106を形成する。密着膜105は、例えば、チタン、クロム、ジルコニウム、タンタルなどの遷移金属、およびこれらの酸化物から構成することができる。接点電極膜106は、例えば、ルテニウム,ロジウム,パラジウム,オスミウム,イリジウム,および白金などの白金属の金属および金などから構成することができる。
【選択図】 図1D
Description
はじめに、本発明の実施の形態1について説明する。図1A〜図1Gは、本発明の実施の形態1における微細可動構造体の製造方法を説明する各工程における状態を示す断面図である。
次に、本発明の実施の形態2について説明する。図2A〜図2Jは、本発明の実施の形態2における微細可動構造体の製造方法を説明する各工程における状態を示す断面図である。
接点電極膜210は、凹部206bも覆うように形成する。接点電極膜210は、例えば、蒸着法およびスパッタ法などにより、金を堆積して形成すればよい。接点電極膜210は、金に限るものではなく、ルテニウム,ロジウム,パラジウム,オスミウム,イリジウム,および白金などの白金属などの金属材料を用いればよい。また、接点電極膜210は、膜厚0.1μm程度に形成すればよい。
次に、本発明の実施の形態3について説明する。図3A〜図3Cは、本発明の実施の形態3における微細可動構造体の製造方法を説明する各工程における状態を示す断面図である。本実施の形態は、図2E,図2F,図2Gを用いて説明した実施の形態2における工程を他の方法で実施した変形例である。
Claims (8)
- 基板の上に犠牲膜を形成する犠牲膜形成工程と、
接点部が形成される接点部形成領域の外側の前記犠牲膜の上に密着膜を形成する密着膜形成工程と、
前記接点部形成領域および前記密着膜の上に接点電極膜を形成する接点電極膜形成工程と、
前記接点部形成領域を含む前記犠牲膜の上に離間電極構造体を形成する離間電極構造体形成工程と、
前記犠牲膜を除去し、前記基板の上に支持部で支持された前記離間電極,および前記接点部を備える前記離間電極構造体が形成され、前記接点部に前記密着膜および前記接点電極膜が配置され、露出する前記接点電極膜からなる接点電極が前記基板の側に向いて形成された状態とする接点電極形成工程と、
前記接点電極に対向して配置される対向電極を形成する対向電極形成工程と
を少なくとも備えることを特徴とする微細可動構造体の製造方法。 - 請求項1記載の微細可動構造体の製造方法において、
前記接点電極膜を形成する前に、前記接点部形成領域における前記犠牲膜に凹部を形成する工程を備えることを特徴とする微細可動構造体の製造方法。 - 請求項1または2記載の微細可動構造体の製造方法において、
前記密着膜は、リフトオフ法により形成することを特徴とする微細可動構造体の製造方法。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の微細可動構造体の製造方法において、
前記密着膜の形成では、
前記密着膜である第1密着膜を形成し、
加えて、前記第1密着膜の上に第2密着膜を形成し、
前記接点電極膜は、前記第2密着膜の上に形成する
ことを特徴とする微細可動構造体の製造方法。 - 請求項4記載の微細可動構造体の製造方法において、
前記第1密着膜および前記第2密着膜は、真空中で連続して形成することを特徴とする微細可動構造体の製造方法。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の微細可動構造体の製造方法において、
前記密着膜は、遷移金属およびこれらの酸化物の中より選択された材料から構成し、
前記接点電極膜は、白金属および金の中より選択された材料から構成することを特徴とする微細可動構造体の製造方法。 - 請求項4または5記載の微細可動構造体の製造方法において、
前記第1密着膜は、遷移金属およびこれらの酸化物の中より選択された材料から構成し、
前記第2密着膜は、白金属および金の中より選択された材料から構成し、
前記接点電極膜は、白金属および金の中より選択された材料から構成することを特徴とする微細可動構造体の製造方法。 - 基板の上に支持部により支持されて前記基板と離間して配置される離間電極および接点部を備える離間電極構造体と、
前記接点部に形成された接点電極膜と、
前記接点電極膜に少なくとも一部が接触して形成された密着膜と、
露出する前記接点電極膜からなる接点電極と、
前記接点電極に対向して配置される対向電極と
を少なくとも備えることを特徴とする微細可動構造体。
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