JP6551070B2 - 圧電型ｍｅｍｓスイッチ - Google Patents

Description

本発明は、圧電型ＭＥＭＳスイッチに関する。

高周波信号が通過する信号線のオン・オフを切り替えるスイッチング装置として、電気式微小機械装置（Micro Electromechanical System：ＭＥＭＳ）を用いたものが知られている（例えば、特許文献１、２参照）。このようなスイッチング装置では、圧電駆動素子によって移動する可撓性部材からなるビーム（梁）に取り付けられた接触端子を用いて２つの信号線間の接続及び切断を行っている（例えば、特許文献１、２参照）。

米国特許第７５３２０９３号 米国特許第７５１８４７４号

高周波信号用のスイッチング装置においては、特性インピーダンスの設定等を目的として、当該信号線に沿って延びるように当該信号線と離間してグラウンドが設けられている。そして、上記特許文献１及び特許文献２に記載の圧電型ＭＥＭＳスイッチにおいては、平面視で信号線とグラウンドとの間の領域に、信号線のオン・オフを切り替えるための圧電駆動素子が設けられている。

しかしながら、圧電型ＭＥＭＳスイッチの小型化を図る場合、信号線の幅を小さくする必要がある。そして、信号線の幅を小さくすると、信号線とグランドとの間の適切な離間幅が小さくなる。そのため、上述のような信号線とグラウンドとの間の領域に圧電駆動素子が設けられている従来の圧電型ＭＥＭＳスイッチにおいては、小型化を図ると圧電駆動素子の幅も小さくする必要がある。その結果、圧電駆動素子の大きさを十分に確保することが難しくなるため、信号線のオン・オフを切り替えるための駆動力が不足する。そのため、従来の圧電型ＭＥＭＳスイッチにおいては、小型化することが困難であるという問題点があった。

本発明は上述の課題に鑑みてなされたものであり、小型化することが容易な圧電型ＭＥＭＳスイッチを提供することを目的とする。

上述の課題を解決するため、本発明に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチは、一端部が基板に片持ち支持され、これにより当該基板と離間する離間部を有する可撓性部材と、上記可撓性部材又は上記基板に設けられた第１信号線と、第１信号線と離間して設けられた第２信号線と、上記基板に設けられた一対のグラウンドと、上記可撓性部材に設けられた上記可撓性部材を変形させるための圧電駆動素子と、上記圧電駆動素子による上記可撓性部材の変形によって第１信号線と第２信号線との間の電気的な接続と切断とを切り替える接触端子と、を備え、平面視で、上記一対のグラウンドは、第１信号線を挟むように設けられており、平面視で、上記圧電駆動素子の少なくとも一部は、一対のグラウンドの少なくとも一方よりも第１信号線側とは反対側に設けられている。

本発明に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチにおいては、平面視で、上記圧電駆動素子の少なくとも一部は、一対のグラウンドの少なくとも一方よりも第１信号線側とは反対側に設けられているため、圧電駆動素子を、平面視で一対のグラウンドと第１信号線との間の領域に設けなくてもよい。そのため、信号線の幅を小さくし、信号線とグラインドとの離間距離を小さくしても、圧電駆動素子を小さくする必要は無い。その結果、圧電駆動素子の大きさを十分に確保することが可能であるため、小型化を図っても信号線間のオン・オフを切り替えるための駆動力が不足する問題は生じない。そのため、本発明に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチによれば、小型化することが容易となる。

さらに、本発明に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチにおいては、平面視で、第１信号線の少なくとも一部は、上記圧電駆動素子と重複していないことが好ましい。平面視で第１信号線と上記圧電駆動素子とが重複していると、第１信号線の下に、浮遊電位となっていない電位を有する上記圧電駆動素子の電極部が存在することになる。そのような電極部が存在すると、第１信号線を通過する高周波信号の伝送損失が増加してしまう。そのため、上記のような構成とすることにより、上記圧電駆動素子の電極部に起因する伝送損失の増加を抑制することができる。

さらに、本発明に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチは、上記圧電駆動素子の電極と電気的に接続されるように上記可撓性部材に設けられた追加電極をさらに備え、当該追加電極の少なくとも一部が上記一対のグラウンドの少なくとも一部と離間して対向することが好ましい。これにより、可撓性部材を変形させて２つの信号線間の接続及び切断を行うために上記圧電駆動素子の電極に電圧が印加されると同時に、当該電圧は当該追加電極にも印加される。その結果、当該追加電極と、当該追加電極と離間して対向する上記一対のグラウンドの少なくとも一部との間に静電気力が働く。その結果、可撓性部材を変形させるための駆動力が増加するため、２つの信号線間の接続及び切断をより安定して行うことが可能となる。

本発明によれば、小型化することが容易な圧電型ＭＥＭＳスイッチが提供される。

ＭＥＭＳスイッチの概略構成を説明するブロック図である。 圧電駆動素子の構成について説明する概略断面図である。 ＭＥＭＳスイッチにおける接点部材の機能について説明する概略断面図である。 本実施形態に係るＭＥＭＳスイッチが適用される電子機器の一例の概略構成図である。 第１構成例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチを示す平面図である。 図５のＶＩ−ＶＩ線に沿った圧電型ＭＥＭＳスイッチの端面図である。 図７（Ａ）は、図５のＶＩＩＡ−ＶＩＩＡ線に沿った圧電型ＭＥＭＳスイッチの端面図であり、図７（Ｂ）は、図５のＶＩＩＢ−ＶＩＩＢ線及び図６のＶＩＩＢ−ＶＩＩＢ線に沿った圧電型ＭＥＭＳスイッチの端面図である。 図８（Ａ）は、図５のＶＩＩＩＡ−ＶＩＩＩＡ線に沿った圧電型ＭＥＭＳスイッチの端面図であり、図８（Ｂ）は、図５のＶＩＩＩＢ−ＶＩＩＩＢ線に沿った圧電型ＭＥＭＳスイッチの端面図である。 第１構成例の変形例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチを示す平面図である。 第２構成例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチ２２０を示す平面図である。 図１１（Ａ）は、図１０のＸＩＡ−ＸＩＡ線に沿った圧電型ＭＥＭＳスイッチの端面図であり、図１１（Ｂ）は、図１０のＸＩＢ−ＸＩＢ線に沿った圧電型ＭＥＭＳスイッチの端面図である。 、図１２（Ａ）は、図１０のＸＩＩＡ−ＸＩＩＡ線に沿った圧電型ＭＥＭＳスイッチの端面図であり、図１２（Ｂ）は、図１０のＸＩＩＢ−ＸＩＩＢ線に沿った圧電型ＭＥＭＳスイッチの端面図である。 第２構成例の変形例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチを示す平面図である。 第１構成例の変形態様を示す端面図である。

以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態を詳細に説明する。なお、各図面において、可能な場合には同一要素には同一符号を用いる。また、図面中の構成要素内及び構成要素間の寸法比は、図面の見易さのため、それぞれ任意となっている。

図１は、圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００の概略構成を示す図である。

圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００は、所謂高周波スイッチ（ＲＦスイッチ）の１つであり、圧電アクチュエータによって機械的にスイッチングを行う装置である。

図１に示すように、圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００は、第１駆動部ＳＰ１と、第１信号線１４と、接触端子１５と、第１グランド（第１ＧＮＤ）１６と、第２駆動部ＳＰ２と、第２信号線２４と、第２グランド（第２ＧＮＤ）２６と、を含んで構成される。第１駆動部ＳＰ１は、第１駆動素子１１（圧電駆動素子）と、第１駆動回路１２と、第１ビーム１３（梁）とを含んで構成される。また、第２駆動部ＳＰ２は、第２駆動素子２１と、第２駆動回路２２と、第２ビーム２３（梁）とを含んで構成される。また、圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００を構成する上述の要素は、例えば筐体等の固定部材ＰＫによって覆われた状態とされる。

第１信号線１４及び第２信号線２４はそれぞれＣｕ等の導体から構成される。また、接触端子１５は、例えばＡｕ等の導体から構成される。圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００では、外部からの入力信号を第１信号線１４及び第２信号線２４を介して導き、第２信号線２４から出力信号として外部へ出力する。第１信号線１４と第２信号線２４との間は、接触端子１５により接続及び切断が切り換えられる。

接触端子１５が、第１信号線１４に固定されている場合は、接触端子１５が第２信号線２４に対して接触することで、第１信号線１４と第２信号線２４との間が電気的に接続（ＯＮ）され、接触端子１５が第２信号線２４から離間することで、第１信号線１４と第２信号線２４との間が電気的に切断（ＯＦＦ）される。接触端子１５は、第１信号線１４ではなく、第２信号線２４に固定することもできる。

接触端子１５が、第１信号線１４及び第２信号線２４の双方から離間している構造の場合、接触端子１５の移動によって、接触端子１５が第１信号線１４及び第２信号線２４の双方に対して接触することで、第１信号線１４と第２信号線２４との間が電気的に接続（ＯＮ）され、接触端子１５が第１信号線１４及び第２信号線２４から離間することで、第１信号線１４と第２信号線２４との間が電気的に切断（ＯＦＦ）される。

なお、第１信号線１４と第１ＧＮＤ１６とは、電磁気学的な影響が生じる程度に近接配置されており、したがって、これらの間には容量Ｃ１が介在する。また、第２信号線２４と第２ＧＮＤ２６とは、電磁気学的な影響が生じる程度に近接配置されており、したがって、これらの間には容量Ｃ２が介在する。第１ＧＮＤ１６と、第２ＧＮＤ２６とは、電気的に接続されており、同電位に固定されていることが好ましい。これらのグランドは、第１信号線１４と第２信号線２４と相まって所定の特性インピーダンスのコプレナ線路を形成する。

接触端子１５による第１信号線１４と第２信号線２４との間の接続及び切断の切り替えは、第１信号線１４、接触端子１５及び第２信号線２４のうちの一部の物理的な移動によって行われる。第１駆動部ＳＰ１は、第１駆動素子１１によって、第１ビーム１３を変形させ、第１信号線１４に接触端子１５が固定されている場合には、これら双方を移動させ、第１信号線１４に接触端子１５が固定されていな場合には、接触端子１５を移動させる機能を有している。

第２駆動部ＳＰ２は、第２駆動素子２１によって、第２ビーム２３を変形させることができるので、第２ビーム２３に固定された第２信号線２４は、必要に応じて、接触端子１５の方向へ移動したり、離間したりすることができる。なお、第２ビーム２３を変形する必要が無い場合には、第２駆動素子２１には第２駆動回路２２から駆動信号は与えられず、第２ビーム２３の変形が不要である場合は、第２駆動回路２２は無くてもよい。

第１駆動部ＳＰ１では、制御回路ＣＯＮＴからの信号に基づいて第１駆動回路１２からの電圧印加により、第１駆動素子１１が変形する。第１ビーム１３（可撓性部材）は、可撓性を有する部材により構成され第１駆動素子１１の変形に伴って変形する。

同様に、第２駆動部ＳＰ２では、制御回路ＣＯＮＴからの信号に基づいて第２駆動回路２２からの電圧印加により、第２駆動素子２１が変形する。第２ビーム２３は、可撓性を有する部材により構成され第２駆動素子２１の変形に伴って変形する。

図２は、圧電駆動素子の構成について説明する概略断面図である。

以下では、ＸＹＺ三次元直交座標系を設定する。図１に示した第１ビーム１３の厚み方向をＺ軸方向とし、長手方向をＸ軸方向として、Ｚ軸及びＸ軸の双方に垂直な幅方向をＹ軸方向とする。

図２に示すように、第１駆動部ＳＰ１の第１駆動素子１１は、Ｐｔ等の下部電極１１ａ、圧電体１１ｂ、及びＰｔなどの上部電極１１ｃをＺ方向に積層配置した構成を有する。この第１駆動素子１１の下部電極１１ａと上部電極１１ｃとの間に電圧を印加することにより、圧電体１１ｂの厚さが増加し、面内寸法が減少する（面内方向では縮む）。

第１駆動素子１１が、圧電素子である場合の材料について、補足説明する。

圧電体の材料としては、電気機械結合係数が大きく、伝搬損失およびパワーフロー角が小さく、遅延時間温度係数が小さい材料が好ましい。例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）などが好適である。各層の形成には、従来公知の成膜方法を適宜用いることができ、例えば、蒸着法、スパッタリング法、化学的気相成長（ＣＶＤ）法、プラズマアシスト気相成膜（ＰＣＶＤ）法、めっき等を用いることができる。その他、圧電体の材料としては、ニオブ酸カリウムナトリウム（ＫＮＮ）、ニオブ酸カリウム（ＫＮｂＯ_３）、チタン酸ビスマスナトリウム（ＢＮＴ）、窒化アルミ（ＡｌＮ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、ビスマス鉄酸化物（例えば、ＢｉＦｅＯ_３）、チタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ_３）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ_３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ_３）等を用いることができる。

第１駆動素子１１の寸法について説明する。

第１駆動素子１１のＸ軸方向の寸法は２００μｍ（５０〜５００μｍ）、Ｙ軸方向の寸法は２５０μｍ（５０〜５００μｍ）、Ｚ軸方向の寸法は２μｍ（０．３〜３μｍ）である。なお、括弧内は、好適範囲を示している。この場合、第１駆動素子１１の形態的なバランスが、小型化された圧電型ＭＥＭＳスイッチに要求される駆動素子の微小変位（サブミクロンから数ミクロン）を制御しやすいものとなるという効果がある。

第２駆動部ＳＰ２の第２駆動素子２１についても、第１駆動素子１１と同様に、下部電極２１ａ、圧電体２１ｂ、及び上部電極２１ｃを含んで構成される。また、第２駆動素子２１の構造、材料及び作用効果は、第１駆動素子１１の場合と同一である。さらに、第２駆動素子２１のＸＹ平面内の形状は、第２ビーム２３のＸＹ平面内の形状と同一であり、これらが固着しているため、第２駆動素子２１の変形の通りに、第２ビーム２３は変形する。

図３は、第１ビーム１３及び第２ビーム２３の周辺構造を説明する概略構造図である。

本実施形態に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００では、第１ビーム１３及び第２ビーム２３はそれぞれＸ軸方向に延びる平板状の可撓性部材であり、長手方向がＸ軸方向に沿って整列し、同一のＸＹ平面内に配置されている。第１ビーム１３の−Ｘ方向の一端側及び第２ビーム２３の＋Ｘ方向の一端側がそれぞれ固定部材ＰＫに対して固定されていて、第１ビーム１３及び第２ビーム２３において、互いに対向する先端部分は、自由端とされている。すなわち、第１ビーム１３及び第２ビーム２３は所謂片持ち梁構造を有する。

第１ビーム１３には第１信号線１４が取り付けられていると共に、第２ビーム２３には第２信号線２４が取り付けられている。第１信号線１４及び第２信号線２４は、それぞれ第１ビーム１３及び第２ビーム２３の延在方向（Ｘ軸方向）に沿って配置されている。また、第１ビーム１３における自由端側の端部には接触端子１５が取り付けられる。接触端子１５は、第１信号線１４と接続している。接触端子１５は、第１ビーム１３から接続する本体部１５ａ（接触端子本体）と、本体部１５ａから突出する接点部１５ｂとを含んで構成される。接点部１５ｂは、本体部１５ａにおいて、第２信号線２４と対向する位置に設けられる。接触端子１５は導体により構成されて、第１駆動素子１１及び第２駆動素子２１が駆動していない状態では、本体部１５ａにおいて第１信号線１４に対して接続する側の端部とは逆側の端部に設けられ、第２信号線２４側へ突出する接点部１５ｂが第２信号線２４に対して離間した状態に配置される。なお、接触端子１５の接点部１５ｂは、接触端子１５の本体部１５ａと同一の材料であってもよいし、本体部１５ａとは別の材料であってもよい。

第１駆動素子１１は、第１ビーム１３と固着しているため、第１駆動素子１１の変形の通りに、第１ビーム１３は変形する。また、第２駆動素子２１は、第２ビーム２３と固着しているため、第２駆動素子２１の変形の通りに、第２ビーム２３は変形する。

第１駆動素子１１に対して電圧を印加することによって第１駆動素子１１と連動して変形すると、第１ビーム１３が変形し、接点部１５ｂが下方へ移動する。同様に、第２駆動素子２１に対して電圧を印加することによって第２駆動素子２１と連動して変形すると、第２ビーム２３が変形する。第１ビーム１３の変形および／または第２駆動素子２１の変形により、接点部１５ｂが第２ビーム上の第２信号線２４と接触する。これにより、接触端子１５を介して第１信号線１４と第２信号線２４との間が電気的に接続される。

なお、接触端子１５による第１信号線１４と第２信号線２４との間の接続及び切断の切り替えができる構成であれば、第１駆動部ＳＰ１及び第２駆動部ＳＰ２の構成は特に限定されない。例えば、第１駆動部ＳＰ１及び第２駆動部ＳＰ２の一方は駆動回路を備えず、駆動素子の圧電駆動によってビームが移動しない（すなわち、固定部材ＰＫに対して固定される）構成であってもよい。この場合であっても、一方側のビームの変形によって、第１信号線１４、第２信号線２４、及び接触端子１５の位置関係を変更することによって、接触端子１５による第１信号線１４と第２信号線２４との間の接続及び切断の切り替えを実現することができる。

第１ビーム１３及び第２ビーム２３の材料について、補足説明する。

第１ビーム１３及び第２ビーム２３の材料は特に限定はされないが、歪応力曲線において線形性を示す材料、すなわち弾性を有する材料が好ましい。例えば、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｒ合金、Ｃｕ−Ｓｎ−Ｐ合金、単結晶Ｓｉ等を適宜用いることができる。なかでも単結晶Ｓｉは、歪応力曲線において広い線形領域を有するため、特に好適に用いることができる。第１ビーム１３及び第２ビーム２３の材質は、上述のように、可撓性を有する材料から適宜選択することができるが、上述の材料の他に、ＳｉＮｘ（窒化シリコン）、Ａｌ_２Ｏ_３（アルミナ）、ＴｉＮｘ（窒化チタン）、ＳｉＯ_２（酸化ケイ素）、ＡｌＮ（窒化アルミ）、多結晶Ｓｉ、アモルファスシリコン、ダイアモンド、ＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）等を用いることができる。

第１ビーム１３及び第２ビーム２３の寸法について説明する。

第１ビーム１３のＸ軸方向の寸法は２５０μｍ（５０〜５００μｍ）、Ｙ軸方向の寸法は２５０μｍ（５０〜５００μｍ）、Ｚ軸方向の寸法は３μｍ（０．５〜５μｍ）である。なお、括弧内は、好適範囲を示している。この場合、第１ビーム１３の形態的なバランスが、小型化された圧電型ＭＥＭＳスイッチに要求されるビームの微小変位（サブミクロンから数ミクロン）を制御しやすいものとなるという効果がある。また、第１ビーム１３のＸＹ平面内の形状は、偏向可能な可動領域（固定部材ＰＫに固定された部分よりも先端側の領域）に関しては、概ね長方形であるが、この可動領域の形状としては、例えば、半円形状、フォーク状形状、三角形状が考えられる。

なお、上記の圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００は、例えば、図４に示す電子機器に適用することができる。

図４は、本実施形態に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチが適用される電子機器の一例の概略構成図である。

図４に示す電子機器２００は、無線通信を行う電子機器であり、ハウジングＨに収容された複数の圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００と、複数の圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００に対してそれぞれ直列に接続されたフィルタ１０２と、アンテナ１０３と、スイッチ１０４と、処理回路１０５と、入力装置１０６と、ディスプレイ１０７と、制御回路ＣＯＮＴと、を含んで構成される。

アンテナ１０３からは、変調された高周波信号（ＲＦ信号）が入力される。電子機器２００では、制御回路ＣＯＮＴからの制御によって複数の圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００におけるＯＮ／ＯＦＦが切り替えられる。例えば、アンテナから供給される信号を特定のフィルタ１０２に接続し、複数の周波数帯域の信号から、単一の周波数帯域の信号を選択することができる。アンテナ１０３により受信された入力信号は、必要に応じて、アンプで増幅された後、ＯＮ状態が選択された圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００、及び、当該圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００に接続されたフィルタ１０２を通り、スイッチ１０４を経て処理回路１０５に入力し、処理回路１０５において入力信号に係る処理が行われる。それぞれのフィルタ１０２は、通過帯域の異なる周波数フィルタであり、選択された周波数の信号が、処理回路１０５に入力されることとなる。

処理回路１０５は、変調されていた入力信号を復調し、復調された信号から、文字又は画像情報を抽出し、制御回路ＣＯＮＴは、処理回路１０５から得られた文字又は画像情報をディスプレイ１０７上に表示することができる。なお、アンテナ１０３への入力信号は、映像信号又は音声信号とすることもできる。

また、入力装置１０６からユーザにより入力される情報が、制御回路ＣＯＮＴに対して送られて制御回路ＣＯＮＴによる複数の圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００の制御に反映されると共に、処理回路１０５による処理の結果等が制御回路ＣＯＮＴを介して、ディスプレイ１０７に対して出力されて、ユーザに通知される。なお、電子機器は、携帯電子機器とすることができる。

以下、本実施形態に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチのより具体的な構成例について説明する。

（第１構成例）
図５は、第１構成例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチを示す平面図であり、図６は、図５のＶＩ−ＶＩ線に沿った圧電型ＭＥＭＳスイッチの端面図であり、図７（Ａ）は、図５のＶＩＩＡ−ＶＩＩＡ線に沿った圧電型ＭＥＭＳスイッチの端面図であり、図７（Ｂ）は、図５のＶＩＩＢ−ＶＩＩＢ線及び図６のＶＩＩＢ−ＶＩＩＢ線に沿った圧電型ＭＥＭＳスイッチの端面図であり、図８（Ａ）は、図５のＶＩＩＩＡ−ＶＩＩＩＡ線に沿った圧電型ＭＥＭＳスイッチの端面図であり、図８（Ｂ）は、図５のＶＩＩＩＢ−ＶＩＩＩＢ線に沿った圧電型ＭＥＭＳスイッチの端面図である。これらの図は、第１信号線１４と第２信号線２４との間が電気的に切断された状態（ＯＦＦ状態）にある圧電型ＭＥＭＳスイッチの構成を示している。

図５〜図８に示すように、本構成例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００は、基板３と、第１の一対の駆動素子１１ｘ、１１ｙと、第１ビーム１３と、第１信号線１４と、信号線用の接触端子１５と、一対のグラウンド（ＧＮＤ）１６ａ、１６ｂと、第２ビーム２３と、第２の一対の駆動素子２１ｘ、２１ｙと、第２信号線２４と、を備える。基板３は、固定部材ＰＫ（図１参照）の一部又は全部に対応する。第１の一対の駆動素子１１ｘ、１１ｙは、第１駆動素子１１（図１参照）に対応し、第２の一対の駆動素子２１ｘ、２１ｙは、第２駆動素子２１（図１参照）に対応する。一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂは、いずれも図１における第１ＧＮＤ１６と第２ＧＮＤ２６とを接続したものに対応する。

第１ビーム１３及び第２ビーム２３は、片持ち梁構造を有するように、一端部が基板３に片持ち支持されている。具体的には、第１ビーム１３は、端部１３ｂと離間部１３ｆとを有する。端部１３ｂは、基板３の−Ｘ方向の端部３ｅ上に固定されている。離間部１３ｆは、端部１３ｂに固定されていると共に、基板３の主面３ｍと＋Ｚ方向に離間している。これにより、第１ビーム１３の＋Ｘ方向の先端部は自由端となっている。主面３ｍは、ＸＹ平面に沿って（例えば平行に）延びる面である。同様に、第２ビーム２３は、端部２３ｂと離間部２３ｆとを有する。端部２３ｂは、基板３の＋Ｘ方向の端部３ｅ上に固定されている。離間部２３ｆは、端部２３ｂに固定されていると共に、基板３の主面３ｍと＋Ｚ方向に離間している。これにより、第２ビーム２３の−Ｘ方向の先端部は自由端となっている。ＯＦＦ状態においては、第１ビーム１３の先端部と第２ビーム２３の先端部はＸ軸方向に沿って離間して対向するため、第１ビーム１３及び第２ビーム２３に設けられた第１信号線１４及び第２信号線２４も、Ｘ軸方向に沿って離間して対向する。

第１信号線１４は、Ｘ方向に沿って延びるように第１ビーム１３上に設けられ、第２信号線２４は、Ｘ方向に沿って延びるように第２ビーム２３上に設けられている。第１信号線１４と第２信号線２４は、互いにＸ方向に離間している。

一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂは、基板３上に設けられている。平面視で（即ち、＋Ｚ方向から−Ｚ方向に向かって見て）、一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂは、第１信号線１４及び第２信号線２４とＹ方向に沿って離間すると共に、当該第１信号線１４及び第２信号線２４をＹ方向に沿って挟むように設けられており、第１信号線１４及び第２信号線２４に沿って延びている。

第１の一対の駆動素子１１ｘ、１１ｙ、及び、第２の一対の駆動素子２１ｘ、２１ｙは、それぞれ圧電材料を利用した圧電駆動素子である。第１の一対の駆動素子１１ｘ、１１ｙは、第１ビーム１３の離間部１３ｆ内に設けられており、第２の一対の駆動素子２１ｘ、２１ｙは、第２ビーム２３の離間部２３ｆ内に設けられている。駆動素子１１ｘ及び駆動素子２１ｘは、ＧＮＤ１６ａに沿って延びており、駆動素子１１ｙ及び駆動素子２１ｙは、ＧＮＤ１６ｂに沿って延びている。平面視で、第１信号線１４及び第２信号線２４は、第１の一対の駆動素子１１ｘ、１１ｙ及び第２の一対の駆動素子２１ｘ、２１ｙと重複していない。

平面視で、駆動素子１１ｘは、ＧＮＤ１６ａよりも第１信号線１４側とは反対側に設けられ、駆動素子１１ｙは、ＧＮＤ１６ｂよりも第１信号線１４側とは反対側に設けられ、駆動素子２１ｘは、ＧＮＤ１６ａよりも第２信号線２４側とは反対側に設けられ、駆動素子２１ｙは、ＧＮＤ１６ｂよりも第２信号線２４側とは反対側に設けられている。そのため、平面視で、第１の一対の駆動素子１１ｘ、１１ｙは、第１信号線１４及び一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂをＹ方向に沿って挟み、第２の一対の駆動素子２１ｘ、２１ｙは、第２信号線２４及び一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂをＹ方向に沿って挟む。

ＧＮＤ１６ａと基板３との間、及び、ＧＮＤ１６ｂと基板３との間には、それぞれ絶縁部１８ａ、１８ｂが介在している。絶縁部１８ａ、１８ｂは、第１ビーム１３及び第２ビーム２３を構成する材料と同じ絶縁材料からなってもよいし、異なる材料からなってもよい。絶縁部１８ａ、１８ｂの厚さは、第１信号線１４、第２信号線２４、及び、一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂが、ほぼ同一のＺ方向の高さ位置に設けられるように調節される。これにより、第１信号線１４及び第２信号線２４は、一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂによってほぼ同一面内において挟まれるため、一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂと第１信号線１４及び第２信号線２４によってコプレナ導波路（Ｃｏｐｌａｎａｒ Ｗａｖｅ Ｇｕｉｄｅ）構造が形成され、信号伝搬機能を安定化させることができる。第１信号線１４、第２信号線２４、及び、一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂの一部又は全部は、互いにＺ方向の異なる高さ位置に設けられていてもよい。

駆動素子１１ｘと駆動素子１１ｙは、第１ビーム１３の離間部１３ｆ内において、ほぼ同一のＺ軸方向の高さ位置に設けられている。駆動素子２１ｘと駆動素子２１ｙは、第２ビーム２３の離間部２３ｆ内において、ほぼ同一のＺ軸方向の高さ位置に設けられている。
第１ビーム１３の上面、第１信号線１４の上面及び側面、並びに、接触端子１５の本体部１５ａの上面及び側面には、絶縁層１７が設けられており、第２ビーム２３の上面及び第２信号線２４の上面及び側面には、絶縁層２７が設けられている。平面視で、絶縁層１７と絶縁層２７は、Ｘ方向に沿って離間するように設けられている。絶縁層１７及び絶縁層２７は、第１ビーム１３及び第２ビーム２３と同じ絶縁材料からなるが、異なる材料からなってもよい。接触端子１５は、絶縁層１７によって、Ｘ方向及びＹ方向に沿った方向から補強されると共に支持される。

圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００をＯＦＦ状態からＯＮ状態に変化させる際には、第１の一対の駆動素子１１ｘ、１１ｙを変形させることによって第１ビーム１３を撓ませるように変形させることにより、及び／又は、第２の一対の駆動素子２１ｘ、２１ｙを変形させることによって第２ビーム２３を撓ませるように変形させることにより、接触端子１５の接点部１５ｂと第２信号線２４とを、互いに接触するまでＺ方向に沿って近づける。ＯＮ状態から再びＯＦＦ状態に変化させる際には、変形させた第１の一対の駆動素子１１ｘ、１１ｙ及び第２の一対の駆動素子２１ｘ、２１ｙを元の形状に戻すことによって、接触端子１５の接点部１５ｂと第２信号線２４とを互いに離間させる。このようにして、接触端子１５によって圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００のＯＦＦ状態とＯＮ状態とを可逆的に切り替えることができる。

上述のような本構成例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００においては、平面視で、駆動素子１１ｘは、ＧＮＤ１６ａよりも第１信号線１４側とは反対側に設けられ、駆動素子１１ｙは、ＧＮＤ１６ｂよりも第１信号線１４側とは反対側に設けられ、駆動素子２１ｘは、ＧＮＤ１６ａよりも第２信号線２４側とは反対側に設けられ、駆動素子２１ｙは、ＧＮＤ１６ｂよりも第２信号線２４側とは反対側に設けられている（図５参照）。

そのため、圧電駆動素子を、平面視で一対のグラウンドと第１信号線との間の領域に設けなくてもよい。そのため、第１信号線１４及び第２信号線２４並びに一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂの幅を小さくし、第１信号線１４と一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂとの離間距離、及び、第２信号線２４と一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂとの離間距離を小さくしても、圧電駆動素子を小さくする必要は無い。その結果、圧電駆動素子の大きさを十分に確保することが可能であるため、小型化を図っても第１信号線１４及び第２信号線２４間のオン・オフを切り替えるための駆動力が不足する問題は生じない。そのため、本構成例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００によれば、小型化することが容易となる。

さらに、本構成例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００においては、平面視で、第１信号線１４は、第１の一対の駆動素子１１ｘ、１１ｙと重複しておらず、第２信号線２４は、第２の一対の駆動素子２１ｘ、２１ｙと重複していない（図５参照）。平面視でこれらの要素が重複していると、第１信号線１４及び第２信号線２４の下に、浮遊電位となっていない電位を有する圧電駆動素子の電極部が存在することになる。そのような電極部が存在すると、第１信号線１４及び第２信号線２４を通過する高周波信号の伝送損失が増加してしまう。そのため、上記のような構成とすることにより、圧電駆動素子の電極部に起因する伝送損失の増加を抑制することができる。

図９は、本構成例の変形例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチを示す平面図であり、本構成例の基本例に関する図５に対応している。本変形例に係るＭＥＭＳスイッチ１００ｘは、主として、第１ビームの離間部の形状、及び、第２ビームの離間部２３ｆの形状の点において、基本例の上記圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００と相違する。図９に示すように、圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００ｘは、第１ビーム１３ｘと第２ビーム２３ｘとを有する。

第１ビーム１３ｘは、基板３に片持ち支持された一端部（−Ｘ方向の端部）から、第２ビーム２３ｘと対向する側の他端部（Ｘ方向の端部）に向かって、平面視で幅が漸次減少する先細り形状を有している。また、第１ビーム１３ｘの形状に対応して、第１の一対の駆動素子１１ｘｘ、１１ｙｘ（基本例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００の第１の一対の駆動素子１１ｘ、１１ｙに対応、図５参照）、及び、絶縁層１７ｘ（基本例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００の絶縁層１７に対応、図５参照）も、平面視で幅が漸次減少する先細り形状を有している。また、絶縁層１７ｘは、第１ビーム１３ｘの一部、及び、ＧＮＤ１６ａ及びＧＮＤ１６ｂの一部のみを覆っている。

同様に、第２ビーム２３ｘは、基板３に片持ち支持された一端部（Ｘ方向の端部）から、第１ビーム１３ｘと対向する側の他端部（−Ｘ方向の端部）に向かって、平面視で幅が漸次減少する先細り形状を有している。また、第２ビーム２３ｘの形状に対応して、第２の一対の駆動素子２１ｘｘ、２１ｙｘ（基本例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００の第２の一対の駆動素子２１ｘ、２１ｙに対応、図５参照）、及び、絶縁層２７ｘ（基本例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００の絶縁層２７に対応、図５参照）も、平面視で幅が漸次減少する先細り形状を有している。また、絶縁層２７ｘは、ＧＮＤ１６ａ及びＧＮＤ１６ｂの一部のみを覆っている。

本変形例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００ｘによれば、基本例の上記圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００と同様の理由に基づき、小型化することが容易である。さらに、本変形例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００ｘによれば、上述のように第１ビーム１３ｘ及び第２ビーム２３ｘ等が先細り形状を有するため、第１の一対の駆動素子１１ｘｘ、１１ｙｘ及び第２の一対の駆動素子２１ｘｘ、２１ｙｘによって第１ビーム１３ｘ及び第２ビーム２３ｘの先端部を高速で変形させることができるため、ＯＮ状態とＯＦＦ状態との切り替えを高速で行うことができると共に、圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００ｘをより小型化することが可能となる。

（第２構成例）
続いて、第２構成例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチについて説明する。図１０は、第２構成例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチ２２０を示す平面図であり、図１１（Ａ）は、図１０のＸＩＡ−ＸＩＡ線に沿った圧電型ＭＥＭＳスイッチの端面図であり、図１１（Ｂ）は、図１０のＸＩＢ−ＸＩＢ線に沿った圧電型ＭＥＭＳスイッチの端面図であり、図１２（Ａ）は、図１０のＸＩＩＡ−ＸＩＩＡ線に沿った圧電型ＭＥＭＳスイッチの端面図であり、図１２（Ｂ）は、図１０のＸＩＩＢ−ＸＩＩＢ線に沿った圧電型ＭＥＭＳスイッチの端面図である。これらの図は、第１信号線と第２信号線との間が電気的に切断された状態（ＯＦＦ状態）にある圧電型ＭＥＭＳスイッチの構成を示している。

図１０〜図１２に示すように、本構成例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ２２０は、主として第２ビーム２３を備えていない点、第２の一対の駆動素子２１ｘ、２１ｙを備えていない点、及び、第１信号線１４及び第２信号線２４が設けられている場所の点において、第１構成例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００と異なる。

圧電型ＭＥＭＳスイッチ２２０は、第２ビーム２３を備えていない。また、第１信号線１４及び第２信号線２４は、第１ビーム１３上ではなく、絶縁部１８を介して基板３上に設けられている。絶縁部１８は、第１ビーム１３を構成する材料と同じ絶縁材料からなってもよいし、異なる材料からなってもよい。一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂも、絶縁部１８を介して基板３上に設けられている。絶縁部１８の厚さは、第１信号線１４、第２信号線２４、及び、一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂが、ほぼ同一のＺ軸方向の高さ位置に設けられるように調節される。第１信号線１４、第２信号線２４、及び、一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂの一部又は全部は、互いにＺ方向の異なる高さ位置に設けられていてもよい。

接触端子２１５は、Ａｕ等の導体から構成され、本体部２１５ａと２つの接点部２１５ｂとを有している。ＯＦＦ状態においては、接触端子１５は、第１信号線１４及び第２信号線２４の双方と離間している。２つの接点部２１５ｂは、それぞれ、第１信号線１４及び第２信号線２４と対向するように本体部２１５ａに固定されている。

絶縁層２１７は、第１構成例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００における絶縁層１７に対応する要素であり、第２構成例においては、第１ビーム１３の上面の一部、第１信号線１４の上面及び側面の一部、並びに、接触端子２１５の本体部１５ａの上面及び側面に設けられている。絶縁層２１７によって、接触端子２１５は第１信号線１４と第２信号線２４とが対向する領域の上方に支持される。

第１構成例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００における場合と同様に、圧電型ＭＥＭＳスイッチ２２０においては、一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂは、基板３上に設けられており、平面視で、第１信号線１４及び第２信号線２４とＹ方向に沿って離間すると共に、当該第１信号線１４及び第２信号線２４をＹ方向に沿って挟むように設けられており、第１信号線１４及び第２信号線２４に沿って延びている。

また、第１構成例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００における場合と同様に、圧電型ＭＥＭＳスイッチ２２０においては、平面視で、駆動素子１１ｘは、ＧＮＤ１６ａよりも第１信号線１４側とは反対側に設けられ、駆動素子１１ｙは、ＧＮＤ１６ｂよりも第１信号線１４側とは反対側に設けられている。そのため、平面視で、第１の一対の駆動素子１１ｘ、１１ｙは、第１信号線１４及び一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂをＹ方向に沿って挟む。

第２構成例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチ２２０によれば、第１構成例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００と同様の理由に基づき、小型化することが容易となる。

図１３は、第２構成例の変形例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチを示す平面図であり、第２構成例の基本例に関する図１０に対応している。本変形例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチ２２０ｘは、主として、第１ビームの離間部の形状の点において、基本例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ２２０と相違する。図１３に示すように、ＭＥＭＳスイッチ２２０ｘは、第１ビーム２１３ｘを有する。

第１ビーム２１３ｘは、基板３に片持ち支持された一端部（−Ｘ方向の端部）から、反対側の他端部（Ｘ方向の端部）に向かって、平面視で幅が漸次減少する先細り形状を有している。また、第１ビーム２１３ｘの形状に対応して、第１の一対の駆動素子１１ｘｘ、１１ｙｘ（基本例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ２２０の第１の一対の駆動素子１１ｘ、１１ｙに対応、図１０参照）、及び、絶縁層２１７ｘ（基本例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ２２０の絶縁層２１７に対応、図１０参照）も、平面視で幅が漸次減少する先細り形状を有している。また、絶縁層２１７ｘは、第１ビーム２１３ｘの一部、及び、ＧＮＤ１６ａ及びＧＮＤ１６ｂの一部のみを覆っている。

本変形例に係るＭＥＭＳスイッチ２２０ｘによれば、基本例の上記圧電型ＭＥＭＳスイッチ２２０と同様の理由に基づき、小型化することが容易である。さらに、本変形例に係るＭＥＭＳスイッチ２２０ｘによれば、上述のように第１ビーム２１３ｘ等が先細り形状を有するため、第１の一対の駆動素子１１ｘｘ、１１ｙｘ及び第２の一対の駆動素子２１ｘｘ、２１ｙｘによって第１ビーム１３ｘ及び第２ビーム２３ｘの先端部を高速で変形させることができるため、ＯＮ状態とＯＦＦ状態との切り替えを高速で行うことができると共に、ＭＥＭＳスイッチ２２０ｘをより小型化することが可能となる。

本発明は上述の実施形態に限定されず、様々な変形態様が可能である。

例えば、上記第１構成例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００及び上記第２構成例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ２２０においては、平面視で、駆動素子１１ｘ（１１ｘｘ）の全体が、ＧＮＤ１６ａよりも第１信号線１４側とは反対側に設けられ、駆動素子１１ｙ（１１ｙｘ）の全体が、ＧＮＤ１６ｂよりも第１信号線１４側とは反対側に設けられ、駆動素子２１ｘ（２１ｘｘ）の全体が、ＧＮＤ１６ａよりも第２信号線２４側とは反対側に設けられ、駆動素子２１ｙ（２１ｙｘ）の全体が、ＧＮＤ１６ｂよりも第２信号線２４側とは反対側に設けられているが（図５、図１０参照）、駆動素子１１ｘ（１１ｘｘ）の一部、駆動素子１１ｙ（１１ｙｘ）の一部、駆動素子２１ｘ（２１ｘｘ）の一部、及び、駆動素子２１ｙ（２１ｙｘ）が、ＧＮＤ１６ａ、ＧＮＤ１６ｂよりも第１の信号線１４、第２の信号線２４に近い位置になければよく、これらの要素の他の一部は、平面視で上述のような条件を満たさない位置（例えば、第１信号線１４、第２信号線２４、一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂの一部又は全部と重複する位置）に設けられていてもよい。

また、上記第１構成例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００及び上記第２構成例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ２２０においては、第１ビーム１３の離間部１３ｆには、第１の一対の駆動素子１１ｘ、１１ｙ及び第１の一対の駆動素子１１ｘｘ、１１ｙｘが設けられているが（図５、図１０参照）、一つの駆動素子のみが離間部１３ｆに設けられており、当該一つの駆動素子の一部が、平面視で一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂの少なくとも一方よりも第１信号線１４側とは反対側に設けられていてもよく、その場合、当該一つの駆動素子の他の一部は、平面視で第１信号線１４の一部、一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂの一部又は全部と重複する位置に設けられていてもよい。

同様に、上記第１構成例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００においては、第２ビーム２３の離間部２３ｆには、第２の一対の駆動素子２１ｘ、２１ｙが設けられているが（図５参照）、一つの駆動素子のみが離間部２３ｆに設けられており、当該一つの駆動素子の一部が、平面視で一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂの少なくとも一方よりも第２信号線２４側とは反対側に設けられていてもよく、その場合、当該一つの駆動素子の他の一部は、平面視で第２信号線２４の一部、一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂの一部又は全部と重複する位置に設けられていてもよい。

また、第１構成例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００においては、図１４に示すような変形態様も可能である。図１４は、当該変形態様を示す端面図であり、第１構成例の圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００に関する図７（Ｂ）に対応している。図１４に示すように、当該変形態様に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチ３００は、圧電型ＭＥＭＳスイッチ１００と比較して、追加電極としての一対の導電部３１０、３２０をさらに備えている点において異なる。導電部３１０は、駆動素子１１ｘの上部電極１１ｃ（又は下部電極１１ａ）と電気的に接続されるように離間部１３ｆに設けられている。導電部３１０は、第１信号線１４と接していない。導電部３１０の一部は、ＧＮＤ１６ａの少なくとも一部とＺ軸方向に離間して対向する。即ち、導電部３１０の当該一部は、平面視でＧＮＤ１６ａの当該少なくとも一部と重複する。導電部３１０の当該一部とＧＮＤ１６ａの当該少なくとも一部とが接触しないように、これらの間に絶縁層３１１が介在している。絶縁層３１１は空気ギャップであってもよい。同様に、導電部３２０は、駆動素子１１ｙの上部電極１１ｃ（又は下部電極１１ａ）と電気的に接続されるように離間部１３ｆに設けられている。導電部３２０は、第１信号線１４と接していない。導電部３２０の一部は、ＧＮＤ１６ｂの少なくとも一部とＺ軸方向に離間して対向する。即ち、導電部３２０の当該一部は、平面視でＧＮＤ１６ｂの当該少なくとも一部と重複する。また、導電部３２０の当該一部とＧＮＤ１６ｂの当該少なくとも一部とが接触しないように、これらの間に絶縁層３１２が介在している。絶縁層３１２は空気ギャップであってもよい。

このような変形態様の圧電型ＭＥＭＳスイッチ３００においては、第１ビーム１３を変形させて第１信号線１４及び第２信号線２４間の接続及び切断を行うために駆動素子１１ｘ及び駆動素子１１ｙの上部電極１１ｃ（又は下部電極１１ａ）に電圧が印加されると、当該電圧は追加電極としての一対の導電部３１０、３２０にも印加される。その結果、一対の導電部３１０、３２０と、一対の導電部３１０、３２０とＺ軸方向に離間して対向する一対のＧＮＤ１６ａ、１６ｂの少なくとも一部との間に静電気力が働く。その結果、第１信号線１４及び第２信号線２４間の接続及び切断を行うために第１ビーム１３を変形させる際に、第１ビーム１３を変形させるための駆動力を増加させることができるため、第１信号線１４及び第２信号線２４間の接続及び切断をより安定して行うことが可能となる。

なお、当該変形態様は、第１信号線１４が基板３上に設けられている第２構成例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチに適用することも可能である。即ち、第２構成例に係る圧電型ＭＥＭＳスイッチは、上述のような追加電極としての一対の導電部３１０、３２０をさらに備えていてもよい。この場合であっても、上述した理由と同様の理由に基づき、第１信号線１４及び第２信号線２４間の接続及び切断をより安定して行うことが可能となる。

３…基板、１３…第１ビーム（可撓性部材）、１３ｆ…第１ビームの離間部、１４…第１信号線、２４…第２信号線、１６ａ、１６ｂ…グラウンド、１１ｘ、１１ｙ…駆動素子、１５…接触端子、１００…ＭＥＭＳスイッチ。

Claims (2)

1. 一端部が基板に片持ち支持され、これにより前記基板と離間する離間部を有する可撓性部材と、
   前記可撓性部材又は前記基板に設けられた第１信号線と、
   前記第１信号線と離間して設けられた第２信号線と、
   前記基板に設けられた一対のグラウンドと、
   前記可撓性部材に設けられた前記可撓性部材を変形させるための圧電駆動素子と、
   前記圧電駆動素子による前記可撓性部材の変形によって前記第１信号線と前記第２信号線との間の電気的な接続と切断とを切り替える接触端子と、
   前記圧電駆動素子の電極と電気的に接続されるように前記離間部に設けられた追加電極と、
   を備え、
   平面視で、前記一対のグラウンドは、前記第１信号線を挟むように設けられており、
   平面視で、前記圧電駆動素子の少なくとも一部は、前記一対のグラウンドの少なくとも一方よりも前記第１信号線側とは反対側に設けられており、
   前記追加電極の少なくとも一部が前記一対のグラウンドの少なくとも一部と離間して対向する、圧電型ＭＥＭＳスイッチ。
2. 平面視で、前記第１信号線の少なくとも一部は、前記圧電駆動素子と重複していない請求項１に記載の圧電型ＭＥＭＳスイッチ。

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