JP2017038019A - 半導体装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】マイグレーションによる影響を抑制して、信頼性を向上させる。【解決手段】半導体装置1は、半導体素子20,21を収納する樹脂ケース30と、樹脂ケース30の底面の主面に隙間を設けて配置された複数のリードフレーム31と、隣接するリードフレーム31間の隙間に、当該隣接するリードフレーム31に沿って配置されたブロック部35とを有する。半導体装置1は、ブロック部35を配置することで、ブロック部35を配置せずリードフレーム31間が平らな場合と比較して、沿面距離を長くできる。このため、マイグレーションによりリードフレーム31等を構成する金属原子が絶縁物の上や界面を移動してもリードフレーム31間に導通パスが形成されにくくなり、ブロック部35を挟んで隣接するリードフレーム31は、短絡しにくくなる。その結果、半導体装置1は、信頼性を向上させることができる。【選択図】図1

Description

本発明は、半導体装置に関する。
半導体素子が上面に配置された回路基板がケースに収納されている半導体装置が知られている。このような、半導体装置では、銅等の金属からなる複数の配線パターンが絶縁性のケースに設けられている。また、配線パターン上には、導電性接着剤により、電子部品が接合されている。
特開2013−258321号公報
半導体装置では、電界によって配線パターンや導電性接着剤等を構成する金属原子が、絶縁物の上や界面を移動するマイグレーションが発生することがある。
そして、マイグレーションにより金属原子が絶縁物の上や界面を移動すると、隣接する配線パターン間に導通パスが形成され、短絡し、半導体装置は、信頼性が低下する場合があった。
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、マイグレーションによる影響を抑制し、信頼性を向上可能な半導体装置の提供を目的とする。
本発明の一観点によれば、半導体素子を収納するケースと、ケースの底面の主面に配置された第1配線パターンと、主面に、第1配線パターンと隙間を設けて隣接して配置された第2配線パターンと、主面の隙間に第1配線パターンと第2配線パターンとに沿って配置されたブロック部と、を有する半導体装置が提供される。
また本発明の一観点によれば、半導体素子を収納するケースと、ケースの底面の主面に配置された第1配線パターンと、主面に、第1配線パターンと隙間を設けて隣接して配置された第2配線パターンと、主面の隙間に第1配線パターンと第2配線パターンとに沿って配置された溝部と、を有する半導体装置が提供される。
半導体装置によれば、マイグレーションによる影響を抑制して信頼性を向上できる。
第1の実施の形態における半導体装置を示す平面図である。 第1の実施の形態における半導体装置を示す断面図である。 第1の実施の形態における半導体装置のブロック部の変形例を示す図である。 第2の実施の形態における半導体装置を示す平面図である。 第2の実施の形態における半導体装置の要部断面図である。 第2の実施の形態における半導体装置の溝部の変形例を示す図(その1)である。 第2の実施の形態における半導体装置の溝部の変形例を示す図(その2)である。
以下、図面を参照して実施の形態について説明する。
[第1の実施の形態]
第1の実施の形態の半導体装置について、図1,2を用いて説明する。
図1は、第1の実施の形態における半導体装置を示す平面図である。図2は、第1の実施の形態における半導体装置を示す断面図であり、図1の半導体装置1をAA’線で切断した断面図である。
半導体装置1は、半導体素子20,21が複数配置された回路基板10と、回路基板10を収納する樹脂ケース30とを有する。
回路基板10は、絶縁板11と、絶縁板11のおもて面に形成された回路層12と、絶縁板11の裏面に形成された第2金属層13とを有する。
絶縁板11は、例えば、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化シリコン等のセラミックにより構成されている。回路層12は、電気伝導性に優れた材料(例えば、銅等の材料)により構成されている。第2金属層13は、熱伝導性に優れた材料(例えば、銅等の材料)により構成されている。
半導体素子20,21は、例えば、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)、MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)、FWD(Free Wheeling Diode)等である。このような半導体素子20,21は、回路基板10の回路層12上に銀等の金属からなる導電性接着剤14により接合されている。
樹脂ケース30は、絶縁性の樹脂で構成され、半導体素子20,21が複数配置された回路基板10を収納する矩形型の開口が底面の中央部に形成されている。また、樹脂ケース30の底面の主面(おもて面)には、外部接続用の複数のリードフレーム31が隙間を設けて配置されている。リードフレーム31は、例えば、銅等の金属からなる配線パターンである。
リードフレーム31a,31b,31cには、銀等の金属からなる導電性接着剤34により電子部品32が接合されている。リードフレーム31gには、銀等の金属からなる導電性接着剤34により電子部品33が接合されている。電子部品32,33は、例えば、BSD(Boot Strap Diode)、IC(Integrated Circuit)等である。
また、樹脂ケース30には、底面の主面に、断面視で矩形の絶縁性のブロック部(凸部)35が隣接するリードフレーム31の隙間に、当該隣接するリードフレーム31に沿って配置されている。具体的には、ブロック部35は、リードフレーム31aとリードフレーム31bとの隙間、リードフレーム31bとリードフレーム31cとの隙間に沿って配置されている。また、ブロック部35は、リードフレーム31aとリードフレーム31dとの隙間、リードフレーム31bとリードフレーム31dとの隙間、リードフレーム31cとリードフレーム31dとの隙間に沿って配置されている。
また、ブロック部35は、リードフレーム31a,31b,31cの角部では、当該角部の上方まで延在した状態で配置されている。なお、ブロック部35は、角部以外の部分の上方においても延在した状態で配置されていてもよい。
ブロック部35は、例えば、樹脂ケース30と同じ材質であり、樹脂ケース30と一体形成されている。ブロック部35の高さは、ブロック部35が配置された場所に隣接するリードフレーム31間の空間距離(リードフレーム31間の、空間を通る最短距離)の0.1倍から1.0倍である。例えば、リードフレーム31bとリードフレーム31d間の空間距離は、0.6mmであり、ブロック部35の高さは、0.3mmである。この時、ブロック部35が配置された場所に隣接するリードフレーム31間の沿面距離(リードフレーム31間の、絶縁物の表面に沿った最短距離)は、1.2mm(0.3mm+0.6mm+0.3mm)である。なお、ブロック部35を配置する場所は、一例であってこれに限らない。他のリードフレーム31間に配置することもできる。
また、半導体装置1は、半導体素子20,21の電極(図示を省略)が、リードフレーム31または電子部品32,33とワイヤ(図示を省略)により電気的に接続されている。さらに、半導体装置1は、樹脂ケース30に収納された回路基板10と半導体素子20,21とが封止樹脂40により封止されて構成されている。
このように、半導体装置1は、隣接するリードフレーム31間に絶縁性のブロック部35を配置することで、ブロック部35を配置せず隣接するリードフレーム31間が平らな場合と比較して、当該隣接するリードフレーム31間の沿面距離を長くできる。
そして、沿面距離を長くすると、マイグレーションによって導電性接着剤34やリードフレーム31を構成する金属原子が絶縁物の上や界面を移動した場合であっても、ブロック部35を挟んで隣接するリードフレーム31間に、導通パスが形成されにくくなる。
すなわち、半導体装置1は、ブロック部35を配置することで、ブロック部35を挟んで隣接するリードフレーム31がマイグレーションによって短絡することを抑制し、半導体装置1の信頼性を向上させることができる。
例えば、ブロック部35は、複数のリードフレーム31のうち、電圧差が所定以上の大きさである隣接するリードフレーム31間の隙間に、当該隣接するリードフレーム31に沿って配置される。マイグレーションは、電界強度が強くなるほど生じるため、隣接するリードフレーム31間の電圧差が大きくなるほど生じやすい。したがって、電圧差が所定以上の大きさである隣接するリードフレーム31間の隙間に、当該隣接するリードフレーム31に沿ってブロック部35を配置することで、半導体装置1は、効果的にマイグレーションによる影響を抑制できる。
また、半導体装置1は、小型化等のために隣接するリードフレーム31間の空間距離を短くする場合でも、ブロック部35を配置することで、沿面距離を長くすることができるため、要求される耐電圧に応じた沿面距離以上の距離を取ることができる。すなわち、半導体装置1は、ブロック部35を配置することで、絶縁性を維持しつつ、小型化することができる。
また、半導体装置1は、ブロック部35を隣接するリードフレーム31間に、当該隣接するリードフレーム31に沿って配置することで、導電性接着剤34を、塗布する際、導電性接着剤34がリードフレーム31外にはみ出る(飛散する)のを抑制できる。これにより、半導体装置1は、組立性を向上できる。
また、半導体装置1は、ブロック部35を、リードフレーム31の上方まで延在した状態で配置することで、当該延在している部分において沿面距離を長くすることができるとともに、リードフレーム31の浮き上がり(ばたつき)を抑えることができる。
[変形例]
ここでブロック部35の形状の変形例について図3を用いて説明する。図3は、第1の実施の形態における半導体装置のブロック部の変形例を示す図であり、半導体装置1の断面図の要部である。
図3(A)に示したブロック部45は、断面視で樹脂ケース30の底面と対向する側の幅が狭くなる傾斜(テーパー)を有する。このように、底面と対向する側の幅が狭くなる傾斜を有するブロック部45を配置することで、ブロック部35を配置する場合よりも、ブロック部45と、電子部品32と、導電性接着剤34と、リードフレーム31bとの隙間まで封止樹脂40が入り込み、密着しやすくなる。すなわち、ブロック部45を用いることで、ブロック部35を用いる場合と比較して、封止樹脂40による封止力が、向上する。また、半導体装置1は、傾斜を有するブロック部45を配置することで、ブロック部35を配置する場合よりも、応力を分散でき、封止樹脂40が剥離するのを抑止できる。
ところで、封止樹脂40で封止されている半導体装置1において、封止樹脂40内の水分が剥離部分(密着していない部分)まで浸透することが知られている。また、マイグレーションは、水分(湿度)が多いほど生じやすいことが知られている。
以上から、半導体装置1は、ブロック部45を用いることで、ブロック部35を用いる場合と比較して、封止樹脂40による封止力を向上させ、剥離を抑止し、水分がリードフレーム31b,31dや導電性接着剤34まで浸透するのを抑制できる。これにより、半導体装置1は、マイグレーションを抑制し、信頼性をより向上させることができる。
図3(B)に示したブロック部55は、断面視で樹脂ケース30の底面と対向する側に凸状の楕円弧形状(円弧形状)を有する。このように、底面と対向する側に凸状の楕円弧形状を有するブロック部55を配置することで、ブロック部35を配置する場合よりも、ブロック部55と、電子部品32と、導電性接着剤34と、リードフレーム31bとの隙間まで封止樹脂40が入り込み、密着しやすくなる。すなわち、ブロック部55を用いることで、ブロック部35を用いる場合と比較して、封止樹脂40による封止力が、向上する。また、半導体装置1は、底面と対向する側に凸状の楕円弧形状を有するブロック部55を配置することで、ブロック部35を配置する場合よりも、応力を分散でき、封止樹脂40が剥離するのを抑止できる。
したがって、半導体装置1は、ブロック部55を用いることで、ブロック部35を用いる場合と比較して、封止樹脂40による封止力を向上させ、剥離を抑止し、水分がリードフレーム31b,31dや導電性接着剤34まで浸透するのを抑制できる。これにより、半導体装置1は、マイグレーションを抑制し、信頼性をより向上させることができる。
図3(C)に示したブロック部65は、断面視で楕円弧形状である。このように、楕円弧形状のブロック部65を配置することで、ブロック部35を配置する場合よりも、ブロック部65と、電子部品32と、導電性接着剤34と、リードフレーム31bとの隙間まで封止樹脂40が入り込み、密着しやすくなる。すなわち、ブロック部65を用いることで、ブロック部35を用いる場合と比較して、封止樹脂40による封止力が、向上する。また、半導体装置1は、楕円弧形状に形成したブロック部65を配置することで、ブロック部35を配置する場合よりも、応力を分散でき、封止樹脂40が剥離するのを抑止できる。
したがって、半導体装置1は、ブロック部65を用いることで、ブロック部35を用いる場合と比較して、封止樹脂40による封止力を向上させ、剥離を抑止し、水分がリードフレーム31b,31dや導電性接着剤34まで浸透するのを抑制できる。これにより、半導体装置1は、マイグレーションを抑制し、信頼性をより向上させることができる。
図3(D)に示したブロック部75は、断面視で樹脂ケース30の底面と対向する側に凹状の楕円弧形状を有する。半導体装置1は、底面と対向する側を凹状の楕円弧形状を有するブロック部75を配置することで、先端が平らなブロック部35を配置する場合よりも、沿面距離を長くすることができる。また、半導体装置1は、底面と対向する側を凹状の楕円弧形状を有するブロック部75を配置することで、ブロック部35を配置する場合よりも、応力を分散でき、封止樹脂40が剥離するのを抑止できる。
したがって、半導体装置1は、ブロック部75を用いることで、ブロック部35を用いる場合と比較して、封止樹脂40の剥離を抑止し、水分がリードフレーム31b,31dや導電性接着剤34まで浸透するのを抑制できる。
したがって、半導体装置1は、ブロック部75を用いることで、マイグレーションを抑制するとともに、マイグレーションによる短絡をより抑制して、信頼性をより向上させることができる。
[第2の実施の形態]
第1の実施の形態では、ブロック部を隣接するリードフレームの間に配置することで、当該隣接するリードフレーム間の沿面距離を長くした。一方、第2の実施の形態では、ブロック部に替えて、溝部(凹部)を隣接するリードフレームの間に設けることで、当該隣接するリードフレーム間の沿面距離を長くする。
第2の実施の形態について図4,5を用いて説明する。図4は、第2の実施の形態における半導体装置を示す平面図である。図5は、第2の実施の形態における半導体装置を示す要部断面図であり、図4の半導体装置100をBB’線で切断した断面の要部を示す図である。
半導体装置100の樹脂ケース30には、底面の主面に、断面視で矩形の溝部105が、隣接するリードフレーム31が露出しないように当該隣接するリードフレーム31の隙間の一部に、当該隣接するリードフレーム31に沿って設けられている。
具体的には、溝部105は、リードフレーム31aとリードフレーム31bとの隙間、リードフレーム31bとリードフレーム31cとの隙間に沿って設けられている。また、溝部105は、リードフレーム31aとリードフレーム31dとの隙間、リードフレーム31bとリードフレーム31dとの隙間、リードフレーム31cとリードフレーム31dとの隙間に沿って設けられている。
溝部105の樹脂ケース30の底面(底面の主面)からの深さは、溝部105が設けられた場所に隣接するリードフレーム31間の空間距離の0.1倍から1.0倍である。例えば、リードフレーム31bとリードフレーム31d間の空間距離は、0.6mmであり、溝部105の底面からの深さは、0.3mmである。この時、溝部105が配置された場所に隣接するリードフレーム31間の沿面距離は、1.2mm(0.3mm+0.6mm+0.3mm)である。
なお、溝部105を配置する場所は、一例であってこれに限らない。他のリードフレーム31間に配置することもできる。なお、溝部105以外については、半導体装置100の構成は、第1の実施の形態の半導体装置1の構成と同様である。
このように、半導体装置100は、隣接するリードフレーム31間の隙間の一部に溝部105を設けることで、溝部105を設けず隣接するリードフレーム31間が平らな場合と比較して、当該隣接するリードフレーム31間の沿面距離を長くできる。
そして、沿面距離を長くすると、マイグレーションによって導電性接着剤34やリードフレーム31を構成する金属原子が絶縁物の上や界面を移動した場合であっても、溝部105を挟んで隣接するリードフレーム31間に、導通パスが形成されにくくなる。
すなわち、半導体装置1は、溝部105を設けることで、溝部105を挟んで隣接するリードフレーム31がマイグレーションによって短絡することを抑制し、半導体装置100の信頼性を向上させることができる。
例えば、溝部105は、複数のリードフレーム31のうち、電圧差が所定以上の大きさである隣接するリードフレーム31間の隙間の一部に、当該隣接するリードフレーム31に沿って配置される。マイグレーションは、電界強度が強くなるほど生じるため、隣接するリードフレーム31間の電圧差が大きくなるほど生じやすい。したがって、電圧差が所定以上の大きさである隣接するリードフレーム31間の隙間の一部に、当該隣接するリードフレーム31に沿って溝部105を設けることで、半導体装置100は、効果的にマイグレーションによる影響を抑制できる。
また、半導体装置100は、溝部105を用いることで隙間が広くなるため、ブロック部35(45,55,65,75)を用いる場合よりも、電子部品32と、導電性接着剤34と、リードフレーム31bとが、封止樹脂40と密着しやすくなる。すなわち、溝部105を用いることで、第1の実施の形態で用いたブロック部35(45,55,65,75)を用いる場合と比較して、封止樹脂40による封止力が、向上する。
以上から、半導体装置100は、溝部105を用いることで、ブロック部35(45,55,65,75)を用いる場合と比較して、封止樹脂40による封止力を向上させ、剥離を抑止し、水分がリードフレーム31b,31dや導電性接着剤34まで浸透するのを抑制できる。これにより、半導体装置100は、マイグレーションを抑制し、信頼性をより向上させることができる。
また、半導体装置100は、小型化等のために隣接するリードフレーム31間の空間距離を短くする場合でも、溝部105を設けることで、沿面距離を長くすることができるため、要求される耐電圧に応じた沿面距離以上の距離を取ることができる。すなわち、半導体装置100は、溝部105を設けることで、絶縁性を維持しつつ、小型化することができる。
[変形例]
ここで、溝部の変形例について、図6,7を用いて説明する。図6,7は、第2の実施の形態の半導体装置の溝部の変形例を示す図である。
図6(A)に示した溝部115は、断面視で、リードフレーム31bとリードフレーム31dとの隙間全域に設けられる。溝部115は、樹脂ケース30の底面と対向する側(溝部115の底部側)の幅が狭くなる傾斜を有する。
半導体装置100は、このような溝部115を設けることで、溝部115を設けずリードフレーム31b,31d間が平らな場合と比較して、傾斜の分だけリードフレーム31b,31d間の沿面距離を長くできる。
また、このように底面と対向する側の幅が狭くなる傾斜を有する溝部115を設けることで、溝部105を設けた場合よりも、溝部115の端まで封止樹脂40が入り込み、樹脂ケース30と封止樹脂40とが密着しやすくなる。すなわち、溝部115を用いることで、溝部105を用いる場合と比較して、封止樹脂40による封止力が、向上する。また、半導体装置100は、傾斜を有する溝部115を設けることで、溝部105を設ける場合よりも、応力を分散でき、封止樹脂40が剥離するのを抑止できる。
以上から、半導体装置1は、溝部115を用いることで、溝部105を用いる場合と比較して、封止樹脂40による封止力を向上させ、剥離を抑止し、水分がリードフレーム31b,31dや導電性接着剤34まで浸透するのを抑制できる。これにより、半導体装置100は、マイグレーションを抑制し、信頼性をより向上させることができる。
図6(B)に示した溝部125は、図6(A)に示した溝部115を、リードフレーム31dとリードフレーム31bとが露出しないように幅を狭めて、リードフレーム31bとリードフレーム31dとの隙間の一部に、設けたものである。
半導体装置100は、溝部125を用いることで、溝部115と同様に、溝部105を用いた場合よりも封止樹脂40による封止力を向上させマイグレーションを抑制できるとともに、溝部115を用いた場合よりも、沿面距離を長くすることができる。
図6(C)に示した溝部135は、断面視で、リードフレーム31bとリードフレーム31dとの隙間全域に設けられ、樹脂ケース30の底面と対向する側(溝部135の底部)に凹状の楕円弧形状を有する。
半導体装置100は、このような溝部135を設けることで、溝部135を設けずリードフレーム31b,31d間が平らな場合と比較して、楕円弧形状の分だけリードフレーム31b,31d間の沿面距離を長くできる。
また、このように底面と対向する側に凹状の楕円弧形状を有する溝部135を設けることで、溝部105を設けた場合よりも、溝部135の端まで封止樹脂40が入り込み、樹脂ケース30と封止樹脂40とが密着しやすくなる。すなわち、溝部135を用いることで、溝部105を用いる場合と比較して、封止樹脂40による封止力が、向上する。また、半導体装置100は、楕円弧形状を有する溝部135を設けることで、溝部105を設ける場合よりも、応力を分散でき、封止樹脂40が剥離するのを抑止できる。
以上から、半導体装置100は、溝部135を用いることで、溝部105を用いる場合と比較して、封止樹脂40による封止力を向上させ、剥離を抑止し、水分がリードフレーム31b,31dや導電性接着剤34まで浸透するのを抑制できる。これにより、半導体装置100は、マイグレーションを抑制し、信頼性をより向上させることができる。
図6(D)に示した溝部145は、図6(C)に示した溝部135を、リードフレーム31dとリードフレーム31bとが露出しないように幅を狭めて、リードフレーム31bとリードフレーム31dとの隙間の一部に、設けたものである。
半導体装置100は、溝部145を用いることで、溝部135と同様に、溝部105を用いた場合よりも封止樹脂40による封止力を向上させマイグレーションを抑制できるとともに、溝部135を用いた場合よりも、沿面距離を長くすることができる。
図7(A)に示した溝部155は、断面視で楕円弧形状であり、リードフレーム31bとリードフレーム31dとの隙間全域に設けられる。半導体装置100は、このような溝部155を設けることで、溝部155を設けずリードフレーム31b,31d間が平らな場合と比較して、楕円弧形状の分だけリードフレーム31b,31d間の沿面距離を長くできる。
また、このように楕円弧形状の溝部155を設けることで、溝部105を設けた場合よりも、溝部155の端まで封止樹脂40が入り込み、樹脂ケース30と封止樹脂40とが密着しやすくなる。すなわち、溝部155を用いることで、溝部105を用いる場合と比較して、封止樹脂40による封止力が、向上する。また、半導体装置100は、楕円弧形状の溝部155を設けることで、溝部105を設ける場合よりも、応力を分散でき、封止樹脂40が剥離するのを抑止できる。
以上から、半導体装置100は、溝部155を用いることで、溝部105を用いる場合と比較して、封止樹脂40による封止力を向上させ、剥離を抑止し、水分がリードフレーム31b,31dや導電性接着剤34まで浸透するのを抑制できる。これにより、半導体装置100は、マイグレーションを抑制し、信頼性をより向上させることができる。
図7(B)に示した溝部165は、図7(A)に示した溝部155を、幅を狭めて、リードフレーム31bとリードフレーム31dとの隙間の一部に、設けたものである。半導体装置100は、溝部165を用いることで、溝部155と同様に、溝部105を用いた場合よりもマイグレーションを抑制できる。
図7(C)に示した溝部175は、断面視で、リードフレーム31bとリードフレーム31dとの隙間全域に設けられ、樹脂ケース30の底面と対向する側(溝部17の底部)に凸状の楕円弧形状を有する。半導体装置100は、このような溝部175を設けることで、溝部175を設けずリードフレーム31b,31d間が平らな場合と比較して、楕円弧形状の分だけリードフレーム31b,31d間の沿面距離を長くできる。
また、半導体装置100は、楕円弧形状を有する溝部175を設けることで、溝部105を設ける場合よりも、応力を分散でき、封止樹脂40が剥離するのを抑止できる。
以上から、半導体装置1は、溝部175を用いることで、溝部105を用いる場合と比較して、封止樹脂40による封止力を向上させ、剥離を抑止し、水分がリードフレーム31b,31dや導電性接着剤34まで浸透するのを抑制できる。これにより、半導体装置100は、マイグレーションを抑制し、信頼性をより向上させることができる。
図7(D)に示した溝部185は、図7(C)に示した溝部175を、リードフレーム31dとリードフレーム31bとが露出しないように幅を狭めて、リードフレーム31bとリードフレーム31dとの隙間の一部に、設けたものである。
半導体装置100は、溝部185を用いることで、溝部175と同様に、溝部105を用いた場合よりも封止樹脂40による封止力を向上させマイグレーションを抑制できるとともに、溝部175を用いた場合よりも、沿面距離を長くすることができる。
また、半導体装置100は、溝部175を用いることで、深さが同じ溝部105を用いた場合よりも、沿面距離を長くすることができる。
1,100 半導体装置
10 回路基板
11 絶縁版
12 回路層
13 第2金属層
14,34 導電性接着剤
20,21 半導体素子
30 樹脂ケース
31 リードフレーム
32,33 電子部品
35,45,55,65,75 ブロック部
40 封止樹脂
105,115,125,135,145,155,165,175,185 溝部

Claims (17)

  1. 半導体素子を収納するケースと、
    前記ケースの底面の主面に配置された第1配線パターンと、
    前記主面に、前記第1配線パターンと隙間を設けて隣接して配置された第2配線パターンと、
    前記主面の前記隙間に前記第1配線パターンと前記第2配線パターンとに沿って配置されたブロック部と、
    を有する半導体装置。
  2. 前記ブロック部は、前記ケースと同じ材質で構成されている、
    請求項1に記載の半導体装置。
  3. 前記ブロック部の高さは、前記第1配線パターンと前記第2配線パターンとの空間距離の0.1倍から1.0倍である、
    請求項1に記載の半導体装置。
  4. 前記ブロック部は、断面視で、矩形状である、
    請求項1に記載の半導体装置。
  5. 前記ブロック部は、断面視で、前記底面と対向する側の幅が狭くなる傾斜を有する、
    請求項1に記載の半導体装置。
  6. 前記ブロック部は、断面視で、前記底面と対向する側に凸状の楕円弧形状を有する、
    請求項1に記載の半導体装置。
  7. 前記ブロック部は、断面視で、楕円弧形状である、
    請求項1に記載の半導体装置。
  8. 前記ブロック部は、断面視で、前記底面と対向する側に凹状の楕円弧形状を有する、
    請求項1に記載の半導体装置。
  9. 半導体素子を収納するケースと、
    前記ケースの底面の主面に配置された第1配線パターンと、
    前記主面に、前記第1配線パターンと隙間を設けて隣接して配置された第2配線パターンと、
    前記主面の前記隙間に前記第1配線パターンと前記第2配線パターンとに沿って配置された溝部と、
    を有する半導体装置。
  10. 前記底面から前記溝部の深さは、前記第1配線パターンと前記第2配線パターンとの空間距離の0.1倍から1.0倍である、
    請求項9に記載の半導体装置。
  11. 前記溝部は、断面視で、矩形状である、
    請求項9に記載の半導体装置。
  12. 前記溝部の底部には、断面視で、前記底面側より前記溝部の底部の幅が狭くなる傾斜を有する、
    請求項9に記載の半導体装置。
  13. 前記溝部の底部には、断面視で、凸状の楕円弧形状を有する、
    請求項9に記載の半導体装置。
  14. 前記溝部は、断面視で、楕円弧状である、
    請求項9に記載の半導体装置。
  15. 前記溝部の底部には、断面視で、凸状の楕円弧形状を有する、
    請求項9に記載の半導体装置。
  16. 前記第1配線パターンまたは前記第2配線パターン上に、導電性接着剤を介して、電子部品が配置されている、
    請求項1または9に記載の半導体装置。
  17. 前記ケース内が封止樹脂で封止されている、
    請求項1または9に記載の半導体装置。
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