JP2017135144A - 半導体モジュール - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、より安価に絶縁破壊電圧を向上させた半導体モジュールの提供を目的とする。
【解決手段】本発明に係る半導体モジュールは、表面と裏面とを有し、表面及び裏面上に回路パターンを有する絶縁基板と、表面上の回路パターンに接合される半導体素子と、裏面上の回路パターンに接合されるベース板とを備えている。絶縁基板とベース板との距離は、表面上の回路パターンの厚さよりも長い。これにより、より安価に半導体モジュールの絶縁破壊電圧を向上させることができる。
【選択図】図1
【解決手段】本発明に係る半導体モジュールは、表面と裏面とを有し、表面及び裏面上に回路パターンを有する絶縁基板と、表面上の回路パターンに接合される半導体素子と、裏面上の回路パターンに接合されるベース板とを備えている。絶縁基板とベース板との距離は、表面上の回路パターンの厚さよりも長い。これにより、より安価に半導体モジュールの絶縁破壊電圧を向上させることができる。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体素子を用いたモジュール、より具体的にはパワー半導体素子を用いたパワーモジュールに関する。
高電圧、大電流に対応するために半導体素子として、パワー半導体素子が一般に知られている。パワー半導体素子には、例えば縦型MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)等がある。
従来のパワー半導体素子を用いたパワーモジュールのパッケージ構造は、主としてケース構造を有している。ケース構造を有するパワー半導体モジュールは、絶縁基板と、パワー半導体素子と、ベース板と、主電極とを有している。
絶縁基板は、その表面及び裏面上に回路パターンを有している。パワー半導体素子の裏面電極は、絶縁基板の表面上の回路パターンに接合されている。パワー半導体素子の表面電極は、ボンディングワイヤ等により、主電極に接合されている。ベース板は、絶縁基板の裏面上の回路パターンに接合されている(例えば、特許文献1)。
パワーモジュールの絶縁破壊電圧は、絶縁基板端部とベース板との距離が長くなるにつれて高くなる。特許文献1記載のパワーモジュールにおいては、ベース板上の絶縁基板端部の下方の位置に、溝を形成する加工が行われている。これにより、特許文献1記載のパワーモジュールは、絶縁基板端部とベース板との距離を確保している。
ベース板には、通常、熱伝導性、重量、強度等の観点から、例えばアルミニウム等の金属と、炭化珪素(SiC)等のセラミックスの複合材が用いられる。このような材料により構成されるベース板は加工性が乏しい。そのため、上記のような溝を設けることは、コスト高につながる。
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑みてなされたものである。具体的には、本発明は、より安価に絶縁破壊電圧を向上させた半導体モジュールの提供を目的とする。
本発明に係る半導体モジュールは、表面と裏面とを有し、表面及び裏面上に回路パターンを有する絶縁基板と、表面上の回路パターンに接合される半導体素子と、裏面上の回路パターンに接合されるベース板とを備えている。絶縁基板とベース板の距離は、表面上の回路パターンの厚さよりも長い。
本発明に係る半導体モジュールは、より安価に絶縁破壊電圧を向上させることが可能となる。
以下、実施形態について、図を参照して説明する。なお、各図中同一または相当部分には同一符号を付している。また、以下に記載する実施の形態の少なくとも一部を任意に組み合わせてもよい。
(第1の実施形態)
以下に、第1の実施形態に係る半導体モジュールの構造について説明する。
以下に、第1の実施形態に係る半導体モジュールの構造について説明する。
図1は、第1の実施形態に係る半導体モジュールの断面図である。図1に示すように、第1の実施形態に係る半導体モジュールは、絶縁基板1と、半導体素子2と、ベース板3とを主として有している。
絶縁基板1は、絶縁層11を有している。絶縁層11は、例えば酸化アルミニウム(Al2O3)、窒化珪素(SiN)、窒化アルミニウム(AlN)等のセラミックス、エポキシ樹脂等の絶縁性の材料である。
絶縁層11は、表面1a及び裏面1bを有している。絶縁基板1は、表面1a及び裏面1b上に回路パターン12を有している。回路パターン12には、例えば、アルミニウム(Al)、銅(Cu)等の導電性が高い金属材料が用いられる。表面1a側の回路パターン12は、厚さT1を有している。裏面1b側の回路パターン12は、厚さT2を有している。好ましくは、厚さT2は、厚さT1よりも大きい。厚さT2は、好ましくは0.5mm以上である。
半導体素子2は、例えば縦型MOSFET、IGBT等のパワー半導体素子である。半導体素子2は、例えばシリコン(Si)、炭化珪素(SiC)等の半導体材料を用いて形成されている。
半導体素子2は、表面電極21と、裏面電極22とを有している。裏面電極22は、絶縁基板1の表面1a側の回路パターン12に、第1の接合部材23を用いて接合されている。第1の接合部材23は、例えばはんだ、焼結銀、導電性接着材等である。なお、裏面電極22は、液相拡散接合法により、絶縁基板1の裏面1b側の回路パターン12に接合されていてもよい。
ベース板3は、放熱性を有する部材である。ベース板3は、表面3a及び裏面3bを有している。ベース板3の表面3aは、平坦な形状を有していることが好ましい。換言すれば、ベース板3の表面3aには、溝等は形成されていない。ベース板3は、例えばアルミニウム等の金属と、炭化珪素等のセラミックスの複合材である。ベース板3は、第2の接合部材31を介して、絶縁基板1の裏面1b側の回路パターン12と接合されている。第2の接合部材31は、例えばはんだ、焼結銀、導電性接着材等である。なお、ベース板3は、液相拡散接合法により、絶縁基板1の裏面1b側の回路パターン12に接合されていてもよい。
第2の接合部材31は、厚さT3を有している。すなわち、絶縁基板1とベース板3との距離Lは、厚さT2と厚さT3の和となる。好ましくは、距離Lは、厚さT1よりも大きい。好ましくは、距離Lは、0.5mm以上である。厚さT3を増加させることで距離Lを確保する場合には、第2の接合部材31として熱伝導性の高い焼結銀を用いることが好ましい。
第1の実施形態に係る半導体モジュールは、好ましくは、ケース4と、封止樹脂5と、蓋6とをさらに有していてもよい。
ケース4は、絶縁基板1と半導体素子とを取り囲む形状を有している。ケース4の底面には、接着剤等を用いてベース板3が接合されている。ケース4の材質は、例えばPPS(Polyphenylenesulfide)樹脂、PBT(polybutyleneterephthalate)樹脂である。
ケース4は、その内部に、端子41を有している。端子41は、例えばケース4にインサート成型又はアウトサート成型されている。端子41は、配線部材42を介して、半導体素子2の表面電極21に接続している。配線部材42は、例えばボンディングワイヤである。ボンディングワイヤの材質は、例えばアルミニウム合金、銅合金等である。ボンディングワイヤの線径は、例えば0.1mm以上0.5mm以下である。なお、配線部材42としては、ボンディングリボンを用いることも可能である。
封止樹脂5は、ベース板3及びケース4により画される領域の内部に充填されている。封止樹脂5は、例えばシリコーンゲルである。封止樹脂5は、好ましくは、絶縁基板1、半導体素子2及び配線部材42が覆われる高さまでに充填されている。これにより、半導体モジュール内部の絶縁性が向上する。
蓋6は、半導体モジュールの内部と外部を分離している。蓋6は、例えば接着剤、ネジ等を用いてケース4の上面に固定されている。これにより、半導体モジュール内部への粉塵等の侵入が抑制される。
以下に、第1の実施形態に係る半導体モジュールの効果について説明する。
第1に、比較例に係る半導体モジュールの構造について説明する。図2は、比較例に係る半導体モジュールの断面図である。図2に示すように、比較例に係る半導体モジュールは、第1の実施形態に係る半導体モジュールと同様に、回路パターン12を有する絶縁基板1と、絶縁基板1の表面1a側の回路パターン12に第1の接合部材23を介して接合されている半導体素子2と、絶縁基板1の裏面1b側の回路パターン12に第2の接合部材31を介して接合されているベース板3とを有している。
第1に、比較例に係る半導体モジュールの構造について説明する。図2は、比較例に係る半導体モジュールの断面図である。図2に示すように、比較例に係る半導体モジュールは、第1の実施形態に係る半導体モジュールと同様に、回路パターン12を有する絶縁基板1と、絶縁基板1の表面1a側の回路パターン12に第1の接合部材23を介して接合されている半導体素子2と、絶縁基板1の裏面1b側の回路パターン12に第2の接合部材31を介して接合されているベース板3とを有している。
しかしながら、比較例に係る半導体モジュールは、第1の実施形態に係る半導体モジュールと異なり、厚さT2>T1、距離L>T1との関係を満たしていない。また、比較例に係る半導体モジュールにおいては、厚さT1、距離Lは、0.5mm未満である。
第2に、比較例に係る半導体モジュールの絶縁破壊のメカニズムについて説明する。図3は、比較例に係る半導体モジュールの絶縁破壊のメカニズムを示す模式図である。半導体モジュール、特にパワーモジュールは、高温で動作する。シリコーンゲル等の封止樹脂5の線膨張係数は、比較例に係る半導体モジュールの他の構成部材よりもはるかに大きいため、封止樹脂5は、動作中に大きく熱膨張する。
このような熱膨張に起因して、封止樹脂5と絶縁基板1との界面において、気泡、剥離等の絶縁不良が発生する。これにより、図3に示すように、絶縁破壊Bはかかる絶縁不良箇所に沿って進展する。
絶縁破壊Bが絶縁基板1の側面まで進展すると、絶縁破壊Bは、ベース板3に向かって進展する。かかる絶縁破壊Bは、絶縁基板1とベース板3との距離が大きくなるほど、また絶縁基板1とベース板3の間における気泡等の絶縁不良が少ないほど、進展しにくくなる。
第1の実施形態に係る半導体モジュールにおいては、厚さT2>厚さT1又は距離L>厚さT1との関係を満たしている。また、第1の実施形態に係る半導体モジュールにおいては、好ましくは厚さT1又は距離Lが0.5mm以上である。
そのため、第1の実施形態に係る半導体モジュールにおいては、絶縁基板1とベース板3との距離を確保することができ、また封止樹脂5が絶縁基板1とベース板3との間に気泡を巻き込むことなく充填できる。すなわち、第1の実施形態に係る半導体モジュールにおいては、絶縁破壊電圧を確保することが可能となる。
他方、比較例に係る半導体モジュールは、厚さT2>厚さT1、距離L>厚さT1との関係を満たしていない。さらに、絶縁基板1とベース板3との距離Lは、0.5mm未満である。距離Lが0.5mm未満であると、絶縁基板1とベース板3との間に、封止樹脂5が回り込みにくい。すなわち、絶縁基板1とベース板3との間に、封止樹脂5を気泡なく充填することは困難である。
そのため、比較例に係る半導体モジュールにおいては、高い絶縁破壊電圧を確保することが困難である。
(第2の実施形態)
以下に、第2の実施形態に係る半導体モジュールの構造について説明する。なお、ここでは、第1の実施形態と異なる点について主に説明する。
以下に、第2の実施形態に係る半導体モジュールの構造について説明する。なお、ここでは、第1の実施形態と異なる点について主に説明する。
図4は、第2の実施形態に係る半導体モジュールの断面図である。図4に示すように、第2の実施形態に係る半導体モジュールは、第1の実施形態に係る半導体モジュールと同様に、絶縁基板1と、半導体素子2と、ベース板3と、ケース4と、封止樹脂5と、蓋6とを有している。これに加え、第2の実施形態に係る半導体モジュールは、コーティング部材7をさらに有している。
コーティング部材7は、好ましくは、絶縁基板1の裏面1bとベース板3の間に充填されている。換言すれば、コーティング部材7は、絶縁基板1とベース板3の間における絶縁破壊Bの進展経路上に充填されている。
コーティング部材7は、封止樹脂5よりも、絶縁破壊電圧が高い材料であることが好ましい。また、コーティング部材7は、封止樹脂5よりも、絶縁基板1から剥離しにくい材料であることが好ましい。さらに、コーティング部材7は、絶縁基板1とベース板3との間に充填される際に気泡を巻き込みにくい材料であることが好ましい。コーティング部材7に用いられる材質は、例えば、シリコーンゲルと同等以上の絶縁特性を有するシリコーンゴム、ポリイミド等の有機絶縁材料である。
以下に、第2の実施形態に係る半導体モジュールの効果について説明する。第2の実施形態に係る半導体モジュールにおいては、コーティング部材7が、絶縁基板1とベース板3の間における絶縁破壊Bの進展経路上に充填されている。コーティング部材7は、封止樹脂5よりも、絶縁破壊電圧が高い。また、コーティング部材7は、封止樹脂5よりも、絶縁基板1とベース板3との間において、絶縁不良が発生させにくい。そのため、第2の実施形態に係る半導体モジュールは、第1の実施形態に係る半導体モジュールよりも、高い絶縁破壊電圧を確保することが可能になる。
(第3の実施形態)
以下に、第3の実施形態に係る半導体モジュールの構造について説明する。なお、ここでは、第1の実施形態と異なる点について主に説明する。
以下に、第3の実施形態に係る半導体モジュールの構造について説明する。なお、ここでは、第1の実施形態と異なる点について主に説明する。
図5は、第3の実施形態に係る半導体モジュールの断面図である。図5に示すように、第3の実施形態に係る半導体モジュールは、第1の実施形態に係る半導体モジュールと同様に、絶縁基板1と、半導体素子2と、ベース板3と、ケース4と、封止樹脂5と、蓋6とを有している。
しかしながら、第3の実施形態に係る半導体モジュールにおいては、第1の実施形態に係る半導体モジュールと異なり、絶縁基板1の裏面1b側における回路パターン12の端部は、絶縁基板1の表面1a側における回路パターン12の端部よりも内側に位置している。換言すれば、絶縁基板1の裏面1b側における回路パターン12の端部は、絶縁基板1の表面1a側における回路パターン12の端部よりも絶縁基板1の端部との距離が長くなっている。
以下に、第3の実施形態に係る半導体モジュールの効果について説明する。
図6は、第1の実施形態に係る半導体モジュールにおける絶縁破壊のメカニズムを示す模式図である。図6に示すように、第1の実施形態に係る半導体モジュールにおいては、絶縁破壊Bが、絶縁基板1の裏面1bと封止樹脂5の界面に沿って進展する場合がある。
図6は、第1の実施形態に係る半導体モジュールにおける絶縁破壊のメカニズムを示す模式図である。図6に示すように、第1の実施形態に係る半導体モジュールにおいては、絶縁破壊Bが、絶縁基板1の裏面1bと封止樹脂5の界面に沿って進展する場合がある。
このような場合の絶縁破壊電圧は、絶縁基板1の端部と絶縁基板1の裏面1b側における回路パターン12の端部との距離が大きくなるにつれて高くなる。
第3の実施形態においては、絶縁基板1の裏面1b側における回路パターン12の端部は、絶縁基板1の表面1a側における回路パターン12の端部より内側に位置している。すなわち、第3の実施形態に係る半導体モジュールにおいては、絶縁基板1の端部と絶縁基板1の裏面1b側における回路パターン12の端部との距離が確保されている。そのため、第3の実施形態に係る半導体モジュールの構成によると、第1の実施形態に係る半導体モジュールと比較して、より絶縁破壊電圧を高めることが可能となる。
(第4の実施形態)
以下に、第4の実施形態に係る半導体モジュールの構造について説明する。なお、ここでは、第3の実施形態と異なる点について主に説明する。
以下に、第4の実施形態に係る半導体モジュールの構造について説明する。なお、ここでは、第3の実施形態と異なる点について主に説明する。
図7は、第4の実施形態に係る半導体モジュールの断面図である。図7に示すように、第4の実施形態に係る半導体モジュールは、第3の実施形態に係る半導体モジュールと同様に、絶縁基板1と、半導体素子2と、ベース板3と、ケース4と、封止樹脂5と、蓋6とを有している。
また、第4の実施形態に係る半導体モジュールは、第3の実施形態に係る半導体モジュールと同様に、絶縁基板1の裏面1b側における回路パターン12の端部が、絶縁基板1の表面1a側における回路パターン12の端部より内側に位置している。
しかしながら、第4の実施形態に係る半導体モジュールにおいては、第3の実施形態に係る半導体モジュールと異なり、コーティング部材7をさらに有している。コーティング部材7は、好ましくは、絶縁基板1の裏面1bとベース板3の間に充填されている。
以下に、第4の実施形態に係る半導体モジュールの効果について説明する。
第4の実施形態に係る半導体モジュールにおいては、コーティング部材7が、絶縁基板1とベース板3の間における絶縁破壊Bの進展経路上に充填されている。コーティング部材7は、封止樹脂5よりも、絶縁破壊電圧が高い。また、コーティング部材7は、封止樹脂5よりも、絶縁基板1とベース板3との間において、絶縁不良が発生させにくい。そのため、第4の実施形態に係る半導体モジュールは、第3の実施形態に係る半導体モジュールよりも、より高い絶縁破壊電圧を確保することが可能になる。
第4の実施形態に係る半導体モジュールにおいては、コーティング部材7が、絶縁基板1とベース板3の間における絶縁破壊Bの進展経路上に充填されている。コーティング部材7は、封止樹脂5よりも、絶縁破壊電圧が高い。また、コーティング部材7は、封止樹脂5よりも、絶縁基板1とベース板3との間において、絶縁不良が発生させにくい。そのため、第4の実施形態に係る半導体モジュールは、第3の実施形態に係る半導体モジュールよりも、より高い絶縁破壊電圧を確保することが可能になる。
(第5の実施形態)
以下に、第5の実施形態に係る半導体モジュールの構造について説明する。なお、ここでは、第1の実施形態と異なる点について主に説明する。
以下に、第5の実施形態に係る半導体モジュールの構造について説明する。なお、ここでは、第1の実施形態と異なる点について主に説明する。
図8は、第5の実施形態に係る半導体モジュールの断面図である。図8に示すように、第5の実施形態に係る半導体モジュールは、第1の実施形態に係る半導体モジュールと同様に、絶縁基板1と、半導体素子2と、ベース板3と、ケース4と、封止樹脂5と、蓋6とを有している。
これに加え、第5の実施形態に係る半導体モジュールにおけるベース板3は、第1の実施形態に係る半導体モジュールと異なり、凸状段差部32を有している。凸状段差部32は、その周囲に対して、凸状の段差となる形状を有している。凸状段差部32は、第2の接合部材31を介して、絶縁基板1の裏面1b側の回路パターン12と接合されている。好ましくは、凸状段差部32は、絶縁基板1の裏面1b側の回路パターン12と、平面視において同一の形状を有している。
凸状段差部32は、ベース板3を加工することにより形成してもよい。また、凸状段差部32は、低コスト化の観点から、ベース板3と別の部材を、ベース板3に接合することにより形成してもよい。なお、この場合、凸状段差部32に用いられる材料として、例えば銅が用いられる。
以下に、第5の実施形態に係る半導体モジュールの効果について説明する。
上記のとおり、絶縁破壊Bが絶縁基板1の側面まで進展すると、絶縁破壊Bは、ベース板3に向かって進展する。かかる絶縁破壊Bは、絶縁基板1とベース板3との距離が大きくなるほど進展しにくくなる。
上記のとおり、絶縁破壊Bが絶縁基板1の側面まで進展すると、絶縁破壊Bは、ベース板3に向かって進展する。かかる絶縁破壊Bは、絶縁基板1とベース板3との距離が大きくなるほど進展しにくくなる。
第5の実施形態に係る半導体モジュールにおいては、第1の実施形態に係る半導体モジュールと比較して、絶縁基板1とベース板3との距離Lが長くなる。そのため、第5の実施形態に係る半導体モジュールにおいては、第1の実施形態に係る半導体モジュールよりも、より絶縁破壊電圧を高めることが可能となる。
(第6の実施形態)
以下に、第6の実施形態に係る半導体モジュールの構造について説明する。なお、ここでは、第5の実施形態と異なる点について主に説明する。
以下に、第6の実施形態に係る半導体モジュールの構造について説明する。なお、ここでは、第5の実施形態と異なる点について主に説明する。
図9は、第6の実施形態に係る半導体モジュールの断面図である。図9に示すように、第6の実施形態に係る半導体モジュールは、第5の実施形態に係る半導体モジュールと同様に、絶縁基板1と、半導体素子2と、ベース板3と、ケース4と、封止樹脂5と、蓋6とを有している。また、第6の実施形態に係る半導体モジュールにおけるベース板3は、第5の実施形態における半導体モジュールと同様に、凸状段差部32を有している。
しかしながら、第6の実施形態に係る半導体モジュールにおいては、第5の実施形態に係る半導体モジュールと異なり、コーティング部材7をさらに有している。コーティング部材7は、好ましくは、絶縁基板1の裏面1bとベース板3の間に充填されている。
以下に、第6の実施形態に係る半導体モジュールの効果について説明する。
第6の実施形態に係る半導体モジュールにおいては、コーティング部材7が、絶縁基板1とベース板3の間における絶縁破壊Bの進展経路上に充填されている。コーティング部材7は、封止樹脂5よりも、絶縁破壊電圧が高い。また、コーティング部材7は、封止樹脂5よりも、絶縁基板1とベース板3との間において、絶縁不良が発生させにくい。そのため、第6の実施形態に係る半導体モジュールは、第5の実施形態に係る半導体モジュールよりも、より高い絶縁破壊電圧を確保することが可能になる。
第6の実施形態に係る半導体モジュールにおいては、コーティング部材7が、絶縁基板1とベース板3の間における絶縁破壊Bの進展経路上に充填されている。コーティング部材7は、封止樹脂5よりも、絶縁破壊電圧が高い。また、コーティング部材7は、封止樹脂5よりも、絶縁基板1とベース板3との間において、絶縁不良が発生させにくい。そのため、第6の実施形態に係る半導体モジュールは、第5の実施形態に係る半導体モジュールよりも、より高い絶縁破壊電圧を確保することが可能になる。
今回開示された実施形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した実施の形態ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 絶縁基板、1a 表面、1b 裏面、11 絶縁層、12 回路パターン、2 半導体素子、21 表面電極、22 裏面電極 23 第1の接合部材、3 ベース板、3a 表面、3b 裏面、31 第2の接合部材、32 凸状段差部、4 ケース、41 端子、42 配線部材、5 封止樹脂、6 蓋、7 コーティング部材、B 絶縁破壊、L 絶縁部材とベース板の距離、T1 絶縁基板の表面側の回路パターンの厚さ、T2 絶縁基板の裏面側の回路パターンの厚さ、T3 第2の接合部材の厚さ。
Claims (8)
- 表面と裏面とを有し、前記表面上及び前記裏面上に回路パターンを有する絶縁基板と、
前記表面上の前記回路パターンに接合された半導体素子と、
前記裏面上の前記回路パターンに接合されたベース板とを備え、
前記裏面と前記ベース板との距離が、前記表面上の前記回路パターンの厚さよりも大きい、半導体モジュール。 - 表面と裏面とを有し、前記表面上及び前記裏面上に回路パターンを有する絶縁基板と、
前記表面上の前記回路パターンに接合された半導体素子と、
前記裏面上の前記回路パターンに接合されたベース板とを備え、
前記裏面上の前記回路パターンは、前記表面上の前記回路パターンよりも厚い、半導体モジュール。 - 前記裏面と前記ベース板との距離が、0.5mm以上である、請求項1記載の半導体モジュール。
- 前記裏面上の前記回路パターンの厚さが0.5mm以上である、請求項2記載の半導体モジュール。
- 前記ベース板は、凸状段差部を有しており、
前記ベース板は前記凸状段差部において前記裏面上の前記回路パターンと接合されている、請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体モジュール。 - 前記ベース板と接合され、前記絶縁基板及び前記半導体素子を取り囲むケースと、
前記ケース及び前記ベース板により画される領域の内部を充填する封止樹脂とをさらに備えている、請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体モジュール。 - 前記裏面と前記ベース板との間に充填されたコーティング材をさらに備える、請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体モジュール。
- 前記裏面上の前記回路パターンの端は、前記表面上の前記回路パターンの端よりも内側に位置している、請求項1〜7のいずれか1項に記載の半導体モジュール。
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