JP6701926B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
[第1の実施の形態]
第1の実施の形態の半導体装置について、図1〜図5を用いて説明する。
図2は、第1の実施の形態の半導体装置の断面図である。
なお、図2は、図1の一点鎖線Y−Yにおける断面図である。
なお、図3は、図1の一点鎖線X1−X1の、図4は、図1の一点鎖線X2−X2の、図5は、図1の一点鎖線X3−X3のそれぞれにおける断面図である。
絶縁板111は、アルミナ、窒化アルミニウム、窒化シリコン等のセラミックスの絶縁性の材質により構成されている。
金属板113は、銅、アルミニウム等の熱伝導性を有する材質により構成されている。
また、このような積層基板110の回路板112a上には、はんだ(図示を省略)を介して、IGBT、パワーMOSFET、FWD(Free Wheeling Diode)等の半導体素子120a,120bが配置されている。また、回路板112e上には、所定の機能を有する制御素子120cが配置されている。半導体素子120a,120b及び制御素子120cは、ワイヤ(図示を省略)によって回路板112a〜112dに電気的に接続されてもよく、半導体素子120a,120b及び制御素子120cのそれぞれの表面電極が互いにワイヤによって接続されてもよい。
外部接続端子130a〜130eは、銅等の導電性を有する材質により構成されており、この厚さは、例えば、0.5mm程度であり、幅は、2.0mm以上、3.0mm以下程度である。このような外部接続端子130a〜130eは、まず、底面部151上に積層基板110の周縁に対して平行に設けられ、回路板112a〜112eとワイヤ140a〜140eで電気的に接続される内部接続部130a1〜130e1を有する。さらに、外部接続端子130a〜130eは、内部接続部130a1〜130e1に接続され、側面部154から外部に延出する外部接続部130a2〜130e2を有する。なお、外部接続端子130a〜130eでは、外部接続部130a2〜130e2は、内部接続部130a1〜130e1に対してそれぞれ直角を成すように接続されている。
図6は、第1の実施の形態の半導体装置の外部接続端子に対するワイヤの接合強度を示すグラフである。
この結果、参考例の半導体装置の場合には、外部接続端子130a〜130eに対するワイヤ140a〜140eの接合強度の最大値がおよそ1960、最小値がおよそ1080であって、平均値がおよそ1660であった。
このため、外部接続端子130a〜130eの内部接続部130a1〜130e1にワイヤ140a〜140eを超音波接合により接合する際、超音波の振動に伴う外部接続端子130a〜130eの振動が抑制されるようになる。これにより、外部接続端子130a〜130eの内部接続部130a1〜130e1にワイヤ140a〜140eを確実に接合することができる。
[第2の実施の形態]
第2の実施の形態では、半導体装置において、溝部の、外部接続端子の内部接続部に隣接する各範囲内に、振動抑制部を複数配置した場合について、図7を用いて説明する。
図7に示す半導体装置200は、振動抑制部以外は半導体装置100と同様の構成を成している。
半導体装置200では、溝部152fの、外部接続端子130dの内部接続部130d1に隣接する範囲内に、複数の振動抑制部153da〜153dfが配置されている。なお、この場合の振動抑制部153da〜153dfの上面の位置は、第1の実施の形態の振動抑制部153a〜153eと同様に、底面部151に配置された内部接続部130d1の上面以上、側面部154の上面以下である。
なお、外部接続端子130a〜130dの厚さは0.5mmとする。
このように半導体装置200では、複数の振動抑制部が、溝部152a,152b,152d,152f,152gの、外部接続端子130a〜130eの内部接続部130a1〜130e1に隣接する範囲内に、少なくとも、0.5mm程度以上の間隔Iを空けてそれぞれ備えられる。
110 積層基板
111 絶縁板
112a,112b,112c,112d,112e 回路板
113 金属板
120a,120b 半導体素子
120c 制御素子
130a,130b,130c,130d,130e 外部接続端子
130a1,130b1,130c1,130d1,130e1 内部接続部
130a2,130b2,130c2,130d2,130e2 外部接続部
140a,140b,140c,140d,140e ワイヤ
150 樹脂ケース
151 底面部
152a,152b,152c,152d,152e,152f,152g 溝部
153a,153b,153c,153d,153e,153da,153db,153dc,153dd,153de,153df 振動抑制部
154 側面部
155 開口部
156 スペース
160 封止樹脂
D 深さ
W 幅
I 間隔
Claims (7)
- 絶縁板と、前記絶縁板上に配置された回路板と、を有する積層基板と、
中央部に形成された開口部に前記積層基板が配置された底面部と、前記底面部の周囲に沿って設けられた側面部と、前記底面部上に前記積層基板の周縁に対して平行に設けられ、前記回路板とワイヤで接続される内部接続部及び前記内部接続部に接続され、前記側面部から外部に延出する外部接続部を有する外部接続端子と、を備え、前記底面部の周縁に沿って前記外部接続部の両側に溝部が形成されたケースと、
前記溝部の、前記内部接続部に隣接する範囲内に形成された振動抑制部と、
を有する半導体装置。 - 前記ケース内に充填されて、前記積層基板、前記ワイヤ、前記外部接続端子の前記内部接続部を封止する封止樹脂、
をさらに有する請求項1記載の半導体装置。 - 前記振動抑制部は、前記範囲内の、前記内部接続部に接続された前記ワイヤの接合箇所に対向する位置に備えられている、
請求項1または2に記載の半導体装置。 - 前記振動抑制部は、前記底面部に一体成形されている、
請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体装置。 - 前記振動抑制部の上面は、前記内部接続部の上面以上、前記側面部の上面以下である、
請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体装置。 - 複数の前記振動抑制部が、前記範囲内に第1間隔を空けてそれぞれ備えられている、
請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体装置。 - 複数の前記振動抑制部のうち前記外部接続部から最も近くに備えられた前記振動抑制部は、前記外部接続部から第2間隔を空けて前記範囲内に備えられている、
請求項6記載の半導体装置。
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