JP2017025359A - 長尺導電性基板の電気めっき方法及び電気めっき装置、並びに該電気めっき方法を用いた金属化ポリイミドフィルムの製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に示すようなロールツーロール方式の連続電気めっき装置を用いて、金属薄膜層付ポリイミドフィルムFに銅層の膜厚が8μmとなるように銅電気めっきを行った。尚、金属薄膜層付ポリイミドフィルムFは、めっき槽1内のめっき液Eの液面から最深1mの深さまで浸漬させた。アノード7a〜dには溶解性の陽極(リン脱酸素銅)を用いた。めっき液Eの組成は、硫酸濃度180g/L、硫酸銅濃度23g/L、塩素濃度50mg/Lとし、更に銅めっき層の平滑性等を確保する目的で市販の有機系添加剤を所定量添加した。めっき液Eの温度は27℃とした。
洗浄ノズルから噴射させる純水の温度を20℃とした以外は上記実施例1と同様にして金属薄膜層付ポリイミドフィルムに銅電解めっきを行った。得られた金属化ポリイミドフィルムの外観を目視で観察したところ、全体に亘ってほぼ均一な銅色を呈しており外観上は問題なかった。更に、得られた金属化ポリイミドフィルム表面の微小凹凸欠陥個数をカウントしたところ、測定サンプル50シートで、微小欠陥の平均個数は20μm以下の個数が2.0個、20〜50μmの個数が0.5個であった。
全ての洗浄ノズルから水の噴射を行わなかったこと以外は上記実施例1と同様にして、金属薄膜層付ポリイミドフィルムに銅電気めっきを行った。その結果、銅めっきの表面が変色したので電気めっきを中止した。
接触部洗浄ノズル9a〜dから噴射された水の到達位置を給電ロールと給電ロールブラシとの接触部分ではなく給電ロールブラシの下方に変更した以外は実施例1と同様にして金属薄膜層付ポリイミドフィルムに銅電気めっきを行った。得られた金属化ポリイミドフィルムの外観を目視で観察したところ、全体に亘ってほぼ均一な銅色を呈しており外観上は問題なかった。しかし、得られた金属化ポリイミドフィルムの微小欠陥個数をカウントしたところ、測定サンプル50シートで、微小凹凸欠陥の平均個数は20μm以下の個数が3.2個、20〜50μmの個数が0.8個であった。
上記した実施例1〜2及び比較例1〜2の結果から分るように、本発明による実施例1及び2で得られた金属化ポリイミドフィルムは電気めっき面に変色がなく且つ微小凹凸欠陥の少ない銅薄膜を得ることができた。一方、水の噴射を行わない比較例1では良好な銅の電気めっきができなかった。また、接触部洗浄ノズルによる洗浄位置を給電ロールの清掃部分から給電ロールブラシへ変更した比較例2では電気めっき面の変色はなかったものの、微小凹凸欠陥平均個数を3個以下にすることができず、微小凹凸欠陥の少ない基板を製造することができなかった。
S 金属化ポリイミドフィルム
E めっき液
1 めっき槽
2 巻出ロール
3 巻取ロール
4a、4b、4c、4d、4e ガイドロール
5a、5b、5c、5d 給電ロール
6a、6b、6c、6d 反転ロール
7a、7b、7c、7d アノード
8a、8b、8c、8d 給電ロールブラシ
9a、9b、9c、9d 接触部洗浄ノズル
10a、10b、10c、10d 被めっき面洗浄ノズル
11a、11b、11c、11d ニップロール
12a、12b、12c、12d 受水皿
Claims (5)
- ロールツーロール方式で搬送される長尺導電性基板に対してめっき液の液面より上方に位置する給電ロールとの接触による給電と、該給電後にめっき液に浸漬させて行う電気めっきと、該電気めっき後のめっき液からの引き上げとからなる一連の操作を複数回繰り返すことによって電気めっきを行う長尺導電性基板の電気めっき方法であって、
前記複数回の操作の各々において、前記給電ロールの回転軸より斜め下方にあってその外周面に接触して清掃する清掃手段の該接触部分、及び該給電ロールの外周面に接する直前の長尺導電性基板の被めっき面にそれぞれ10〜32℃の温度範囲内の水を吹き付けることを特徴とする長尺導電性基板の電気めっき方法。 - 前記長尺導電性基板の搬送方向に関して前記給電ロールよりも上流側であって且つ前記給電ロールの中心高さと前記清掃手段の設置高さとの間の高さの位置から、前記接触部分に向けて仰俯角−45°〜+45°の範囲内の角度で前記水を噴射することを特徴とする、請求項1に記載の長尺導電性基板の電気めっき方法。
- 前記電気めっきが銅電気めっきであることを特徴とする、請求項1又は2に記載の長尺導電性基板の電気めっき方法。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の電気めっき方法を用いて、長尺ポリイミドフィルムの少なくとも片面に接着剤を介することなく乾式めっき法で金属薄膜層が成膜された前記長尺導電性基板としての金属薄膜層付ポリイミドフィルムに対して、その金属薄膜層の表面に銅電気めっきを行うことを特徴とする金属化ポリイミドフィルムの製造方法。
- めっき液が貯められためっき槽と、ロールツーロール方式で搬送される長尺導電性基板を該めっき液に複数回に分けて浸漬させる搬送機構と、該めっき液に浸漬した長尺導電性基板に対向するように配置された陽極とからなる長尺導電性基板の連続電気めっき装置であって、
該搬送機構は該長尺導電性基板を該めっき液内に導くと同時に該該長尺導電性基板に給電を行う複数の給電ロールを有しており、これら複数の給電ロールの各々は、その回転軸より斜め下方に位置し且つその外周面に接触して清掃する清掃手段が設けられており、該給電ロールと該清掃手段との該接触部分、及び該給電ロールの外周面に接する直前の長尺導電性基板の被めっき面にそれぞれ10〜32℃の温度範囲内の水を吹き付ける噴射手段が設けられていることを特徴とする長尺導電性基板の連続電気めっき装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Country | Link |
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JP (1) | JP6493051B2 (ja) |
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