JP6859850B2 - 銅張積層樹脂フィルムの製造方法及び製造装置 - Google Patents
銅張積層樹脂フィルムの製造方法及び製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6859850B2 JP6859850B2 JP2017107356A JP2017107356A JP6859850B2 JP 6859850 B2 JP6859850 B2 JP 6859850B2 JP 2017107356 A JP2017107356 A JP 2017107356A JP 2017107356 A JP2017107356 A JP 2017107356A JP 6859850 B2 JP6859850 B2 JP 6859850B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- copper
- roll
- thin film
- copper thin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Description
先ず被めっき材としての銅薄膜付長尺フィルムFについて説明する。銅薄膜付長尺フィルムFは、長尺帯状のポリイミドフィルムの表面に接着剤層を介することなく下地金属層および銅薄膜層が直接積層されたものである。この銅薄膜付長尺フィルムFは一般的には乾式めっき法で作製することができる。具体的には、まずスパッタリング法によりポリイミドフィルムの表面にニッケル、クロム、ニッケル系合金等からなる下地金属層を形成する。ニッケル系合金としては、ニッケル−クロム合金、ニッケル−クロム−モリブデン合金、ニッケル−バナジウム−モリブデン合金等が挙げられる。下地金属層の厚みは特に限定されないが、5〜50nm程度が一般的である。
上記したような乾式めっき法で作製された銅薄膜付長尺フィルムFは、その表面に銅薄膜層を構成する金属の酸化物や有機物等の異物が一般的に存在している。これら異物が存在した状態のまま電気めっき処理を施すと、電気的特性上の問題が生じることがある。そこで、このような品質上の問題を生じにくい銅張積層樹脂フィルムSを得るために前処理ユニット3が設けられており、これにより異物の除去を行ってから電気めっき処理が行われる。この前処理ユニット3は、例えばロールツーロールで搬送される長尺樹脂フィルムを薬液に浸漬させる薬液処理工程、洗浄水を吹き付けて洗浄する水洗工程、エアーの吹き付けや1対のロールによるフィルムの挟み込みなどによる脱水工程、及びヒーター等の乾燥器を用いた乾燥工程をこの順で行うのが好ましい。
上記の前処理ユニット3の後段に位置する電気めっきユニット4は、硫酸と硫酸銅とを主成分とする酸性水溶液からなるめっき液を貯留するめっき槽10と、このめっき液中への銅薄膜付長尺フィルムFの浸漬とめっき液からの引き上げとを1又は複数回行うべく配設されているロール群と、めっき液中の銅薄膜付長尺フィルムFに対向する位置に設けられたアノード群とから主に構成されている。具体的には、めっき液の液面より上方に、樹脂フィルムFをめっき液中又は巻取ロール2にガイドする4個のガイドロール11a〜11dと、樹脂フィルムFをめっき液中から引き上げると共に液切りを行う3個の液切ロール12a〜12cが設けられている。また、めっき液中には樹脂フィルムFの走行方向を下向きから上向きに反転させる3個の反転ロール14a〜14cが設けられている。
図1に示すように、本発明の実施形態の製造装置Aは、第1液切手段5a、第2液切手段5b、及び第3液切手段5cを有しており、これらはいずれも同様の構造を有している。よって、以降は代表として第1液切手段5aをとり挙げて説明する。第1液切手段5aは、図2に示すように互いに平行な回転中心軸を有する下側の液切ロール12a及び上側のニップロール13aで構成されており、液切ロール12aの外周面に巻き付いている銅薄膜付長尺フィルムFをニップロール13aで上側から挟み込むことで、当該銅薄膜付長尺フィルムFに付着しためっき液の液切りが行われる。
上記した本発明の実施形態の電気めっき装置Aを用いることで、銅薄膜付長尺フィルムFの銅薄膜層上に銅めっき皮膜層を積層することができ、これにより長尺帯状のポリイミドフィルムの表面に下地金属層、銅薄膜層、および銅めっき皮膜層が積層された銅張積層樹脂フィルムSを作製することができる。この場合の銅めっき皮膜層の厚みには特に限定はないが、例えばサブトラクティブ法によって回路パターンを形成することでフレキシブル配線基板を製造する場合は、一般的に厚みを5〜18μm程度にするのが好ましい。
つぎに、上記の電気めっき装置Aを用いた銅張積層樹脂フィルムSの製造方法について説明する。銅薄膜付長尺フィルムFは、水平状態で巻出ロール1から巻き出され、前処理ユニット3で前処理された後、電気めっきユニット4に送られる。電気めっきユニット4では、銅薄膜付長尺フィルムFはその銅薄膜層側の面が第1の電気めっき回路の給電ロールの役割を担うガイドロール11aの外周面に巻き付くことで給電されるとともに、搬送方向を鉛直下向きに変えられてめっき槽10内のめっき液中に浸漬される。めっき液中には、銅薄膜付長尺フィルムFの銅薄膜層側の面に対向するように第1の電気めっき回路のアノード15aが配置されており、銅薄膜付長尺フィルムFの銅薄膜層とアノード15aとの間に電流が流れることで銅薄膜層上に電気めっきが施される。
第1〜第3液切手段5a〜5cの液切ロール12a〜12cのロール部に、ステンレス製の円筒部材の外周面にテフロン熱収縮チューブを施したものを用いた以外は上記の実施例と同様にして、長さの合計が20000mを超えるまで銅薄膜付長尺フィルムにめっき処理を行った。ロットの切れ目では、電気めっき装置Aを毎回停止させた。
F 銅薄膜付長尺フィルム
S 銅張積層樹脂フィルム
C 被膜領域
1 巻出ロール
2 巻取ロール
3 前処理ユニット
4 電気めっきユニット
5a〜5c 液切手段
10 めっき槽
11a〜11d ガイドロール
12a〜12c 液切ロール
13a〜13c ニップロール
14a〜14c 反転ロール
15a〜15f アノード
Claims (2)
- ロールツーロール方式で搬送される銅薄膜付長尺フィルムをめっき液に浸漬して電気めっき処理することで銅張積層樹脂フィルムを製造する装置であって、前記銅薄膜付長尺フィルムを前記めっき液の液面上に引き上げると共にニップロールとの間で該引き上げた銅薄膜付長尺フィルムを挟み込んで液切りする液切ロールが設けられており、前記液切ロールのローラー部は電気絶縁性を有する金属酸化物皮膜としての酸化クロム皮膜が外周面に形成されたステンレス鋼で形成されていることを特徴とする銅張積層樹脂フィルムの製造装置。
- ロールツーロール方式で搬送される銅薄膜付長尺フィルムをめっき液に浸漬して電気めっきすることで銅張積層樹脂フィルムを製造する方法であって、電気絶縁性を有する金属酸化物皮膜としての酸化クロム皮膜が外周面に形成されたステンレス鋼製のローラー部を備えたロールを用いて銅薄膜付長尺フィルムを前記めっき液の液面上に引き上げると共に該引き上げた銅張積層樹脂フィルムを前記ロールとニップロールとで挟み込んで液切りすることを特徴とする銅張積層樹脂フィルムの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017107356A JP6859850B2 (ja) | 2017-05-31 | 2017-05-31 | 銅張積層樹脂フィルムの製造方法及び製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017107356A JP6859850B2 (ja) | 2017-05-31 | 2017-05-31 | 銅張積層樹脂フィルムの製造方法及び製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018204049A JP2018204049A (ja) | 2018-12-27 |
JP6859850B2 true JP6859850B2 (ja) | 2021-04-14 |
Family
ID=64956477
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017107356A Active JP6859850B2 (ja) | 2017-05-31 | 2017-05-31 | 銅張積層樹脂フィルムの製造方法及び製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6859850B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7215211B2 (ja) * | 2019-02-21 | 2023-01-31 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板の製造方法 |
JP7409151B2 (ja) * | 2020-02-26 | 2024-01-09 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板の製造方法 |
CN114232060B (zh) * | 2021-11-22 | 2024-01-12 | 重庆金美新材料科技有限公司 | 一种多功能复合薄膜的制备设备和制备系统 |
CN114481080A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-05-13 | 重庆金美新材料科技有限公司 | 一种真空镀、水镀一体化设备和超薄铜箔的生产方法 |
CN114852407B (zh) * | 2022-05-24 | 2024-03-29 | 东莞阿尔泰显示技术有限公司 | 一种用于led显示屏的贴膜设备 |
CN115787038A (zh) * | 2023-01-05 | 2023-03-14 | 昆山元天电子有限公司 | 一种新型流体喷镀设备及其工艺 |
KR102641962B1 (ko) * | 2023-09-18 | 2024-02-28 | (주)아이케이텍 | 이차전지용 동박 연속도금라인의 액절롤러 조립체 |
-
2017
- 2017-05-31 JP JP2017107356A patent/JP6859850B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018204049A (ja) | 2018-12-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6859850B2 (ja) | 銅張積層樹脂フィルムの製造方法及び製造装置 | |
JP5673582B2 (ja) | 電気めっきの前処理方法及び該前処理方法を含んだ電気めっき方法による銅張積層樹脂フィルムの製造方法 | |
JP4781371B2 (ja) | めっき装置及びめっき方法 | |
KR101669745B1 (ko) | 2층 플렉시블 배선용 기판 및 플렉시블 배선판 및 이들의 제조 방법 | |
WO2001016402A1 (fr) | Feuille de cuivre electrolytique avec feuille support et son procede de fabrication et lamine a gaine de cuivre utilisant la feuille de cuivre electrolytique | |
EP1143038A1 (en) | Electrolytic copper foil with carrier foil and method for manufacturing the same and copper-clad laminate using the electrolytic copper foil with carrier foil | |
KR101626214B1 (ko) | 2층 플렉시블 배선용 기판 및 그것을 이용한 플렉시블 배선판 | |
TWI553163B (zh) | Method for manufacturing metal foil and manufacturing device thereof | |
JP6493051B2 (ja) | 長尺導電性基板の電気めっき方法及び電気めっき装置、並びに該電気めっき方法を用いた金属化ポリイミドフィルムの製造方法 | |
US8893648B2 (en) | Electroless plating apparatus, method of electroless plating, and manufacturing method of printed circuit board | |
KR100665481B1 (ko) | 필름 연속 도금 장치 및 방법 | |
JP5858286B2 (ja) | 長尺導電性基板の電解めっき方法および銅張積層板の製造方法 | |
JP5440386B2 (ja) | 金属化樹脂フィルム基板の製造方法 | |
JP5751530B2 (ja) | 長尺導電性基板の電解めっき方法および銅張積層板の製造方法 | |
JP6365937B2 (ja) | 2層銅張積層板及びその製造方法 | |
JP5293664B2 (ja) | 長尺導電性基板の電気めっき方法及びその装置、金属化ポリイミドフィルム及びその製造方法 | |
JP6337825B2 (ja) | ポリイミドフィルムの良否判定方法、並びにそのポリイミドフィルムを用いた銅張積層板及びフレキシブル配線板の製造方法 | |
JP6403095B2 (ja) | フレキシブル配線用基板およびフレキシブル配線板 | |
JP2015199989A (ja) | 液切り装置、電気めっき装置、および銅張積層樹脂フィルムの製造方法 | |
JP6531708B2 (ja) | 液切り装置、電気めっき装置、および銅張積層樹脂フィルムの製造方法 | |
JP2016004843A (ja) | フレキシブル配線板の製造方法 | |
JP6252987B2 (ja) | 2層銅張積層板及びその製造方法 | |
JP4098567B2 (ja) | めっき被膜付きフィルムの製造方法 | |
JP6115311B2 (ja) | 表面処理方法およびそれを用いた金属化樹脂フィルムの製造方法 | |
JP2008075113A (ja) | めっき装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200323 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201216 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210224 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210309 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6859850 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |