JP2011246754A - 金属化樹脂フィルム基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 金属薄膜付樹脂フィルムFをめっき液4への浸漬を繰り返して搬送させながら、複数の給電ロール6a〜6dから給電して金属薄膜表面に電気めっきする際に、各給電ロール6a〜6dとめっき液4の液面の間で、金属薄膜付樹脂フィルムFのアノード8a−1〜2、8b−1〜2、8c−1〜2、8d−1〜2に対向しない表面に、10℃〜32℃の温度のめっき液又は水を吹き付ける。
【選択図】 図1
Description
金属薄膜付ポリイミドフィルムにロールツーロール連続めっき装置を用いて銅電気めっきを行う際に、電気めっき槽内のめっき液を温度27℃にして、給電ロールと電気めっき槽のめっき液面との間で、ノズルから金属薄膜付ポリイミドフィルムのカソードに対向しない表面(非めっき面)に俯角30°で噴射しながら、厚さ8μmの銅層を成膜して金属化樹脂フィルム基板フィルムを製造した。
金属薄膜付ポリイミドフィルムに噴射するめっき液の温度を30℃とした以外は上記実施例1と同様にして、12ロットの金属化樹脂フィルム基板を製造した。ロットごとに寸法変化率を測定した結果、12ロット間での寸法変化率の標準偏差σは0.0056%であり、微細配線のために必要とされる0.01%内の良好な結果が得られた。
金属薄膜付ポリイミドフィルムに噴射するめっき液の温度を20℃とした以外は上記実施例1と同様にして、12ロットの金属化樹脂フィルム基板を製造した。ロットごとに寸法変化率を測定した結果、12ロット間での寸法変化率の標準偏差σは0.0047%であり、微細配線のために必要とされる0.01%内の良好な結果が得られた。
金属薄膜付ポリイミドフィルムにめっき液あるいは水を噴射しなかった以外は上記実施例1と同様にして、19ロットの金属化樹脂フィルム基板フィルムを製造した。ロットごとに寸法変化率を測定した結果、19ロット間での寸法変化率の標準偏差σは0.0189%であり、微細配線のために必要とされる0.01%を超える値となった。
金属薄膜付ポリイミドフィルムに噴射するめっき液の温度を40℃とした以外は上記実施例1と同様にして、12ロットの金属化樹脂フィルム基板を製造した。ロットごとに寸法変化率を測定した結果、12ロット間での寸法変化率の標準偏差σは0.0194%であり、微細配線のために必要とされる0.01%を超える値となった。
金属薄膜付ポリイミドフィルムの電気めっきを施す面(金属薄膜の表面)に向けてめっき液を噴射した以外は上記実施例1と同様にして、金属化樹脂フィルム基板を製造した。しかし、1ロット目の金属化樹脂フィルム基板の表面に目視で確認できるシミが発生したため、以後の試験を中止した。
2 巻取ロール
3 電気めっき槽
4 めっき液
5a、5b、5c、5d、5e ガイドロール
6a、6b、6c、6d 給電ロール
7a、7b、7c、7d 反転ロール
8a−1〜2、8b−1〜2、8c−1〜2、8d−1〜2 アノード
9a、9b、9c、9d ノズル
F 金属薄膜付樹脂フィルム
S 金属化樹脂フィルム基板
Claims (5)
- 長尺樹脂フィルムの少なくとも片面に接着剤を介さず金属薄膜を成膜した金属薄膜付樹脂フィルムを、複数のアノードを配置した電気めっき槽でめっき液への浸漬を繰り返して連続的に搬送させながら、電気めっき槽の外部に設けた複数の給電ロールから金属薄膜に給電して、各アノードとの間で金属薄膜の表面に電気めっきを行う金属化樹脂フィルム基板の製造方法において、
めっき液への浸漬を繰り返す金属薄膜付樹脂フィルムのアノードに対向しない表面に、各給電ロールとめっき液の液面との間で、10℃〜32℃の温度範囲にあるめっき液又は水を吹き付けることを特徴とする金属化樹脂フィルム基板の製造方法。 - 前記電気めっき槽内のめっき液の温度が25℃〜30℃の範囲にあることを特徴とする、請求項1に記載の金属化樹脂フィルム基板の製造方法。
- 前記金属薄膜付樹脂フィルムのアノードに対向しない表面に前記めっき液又は水を吹き付ける角度が俯角20°〜40°の範囲にあることを特徴とする、請求項1又は2に記載の金属化樹脂フィルム基板の製造方法。
- 前記電気めっきが銅めっきであることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の金属化樹脂フィルム基板の製造方法。
- 前記長尺樹脂フィルムがポリイミドフィルムであって、前記金属薄膜が乾式めっき法で成膜されたニッケル合金の下地金属薄膜と、該下地金属薄膜の表面に乾式めっき法で成膜された銅薄膜とからなることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の金属化樹脂フィルム基板の製造方法。
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