JP5774669B2 - フレキシブルプリント回路基板を製造するめっき設備 - Google Patents

Description

本発明は、フレキシブルプリント回路基板を製造するめっき設備に関し、特に、分離タンクを有するめっき設備に関する。

フレキシブルプリント回路基板を製造するための従来のめっき設備は、通常、ロールツーロール（ｒｏｌｌ‐ｔｏ‐ｒｏｌｌ）構造を有し、被めっき物は、上記めっき設備において、複数のガイドロールによって水平又は垂直に連続的に搬送される。めっき槽体内に注ぎ込まれるめっき溶液は、めっき時間が長くなるほど、めっき溶液における金属イオンの濃度が低下するため、連続的にめっき処理が可能となるように、新しいめっき溶液をめっき槽体の中に続けて注ぐ必要がある。

例えば、一般的に、従来の銅めっき線は、ほとんどフレキシブル回路基板に作製される。水平又は垂直に搬送するめっき設備に関わらず、止まり穴又は厚み付け銅膜を形成する際に、通常、槽内には１つ又は、２つのめっき用陽極のみを有し、フレキシブル回路基板の片面のみをめっきし、又はフレキシブル回路基板の両面を同時にめっきする。ところが、上記めっきでは、めっき時間が長いので、時間と設備のコストが増大する。

さらに、一般的には、フレキシブルな被めっき物として、ポリエチレンテレフタレート（ｐｏｌｙｅｔｈｙｌｅｎｅ ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ；ＰＥＴ）又はポリイミド（ｐｏｌｙｉｍｉｄｅ；ＰＩ）に、蒸着（ｅｖａｐｏｒａｔｉｏｎ）、スパッタリング（ｓｐｕｔｔｅｒｉｎｇ）又は化学堆積法（ｃｈｅｍｉｃａｌ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）によって、めっきの導電先端材料として使用する導電層を形成する。しかしながら、導電層が超薄型金属層（例えば、銅膜）であるため、従来の工程のように治具で被めっき物を固定することができず、コンベヤーを形成し且つ陰イオンを提供するために、陰極ロールを使用する必要がある。

従来のめっき設備では、古いめっき溶液と新しいめっき溶液の間で、金属イオン濃度の差異が発生することがある。攪拌手段によって上記問題を解決する効果は限られる。一方、攪拌手段によって新しい溶液、及び古いめっき溶液を混合する際に、めっき溶液における金属イオンの正しい濃度を制御しにくく、また被めっき物の両側が高電流領域に属し、異なるバッチによってめっき層の厚みが不均一になる恐れがあるため、金属イオンの濃度の均一性の向上がさらに重要になる。

したがって、従来のめっき設備による欠陥を解決した新しいフレキシブルプリント回路基板を製造するめっき設備が、現在、望まれている。

本発明は、従来のめっき設備の欠陥を解決し、且つめっき溶液の均一な混合及びめっき効率の向上の目的を達成するためのめっき設備を提供する。

本発明の一態様は、めっき設備を提供することにある。このめっき設備は、槽体と、複数のガイドロールと、少なくとも１つの陰極ロールと、少なくとも１つのめっき用陽極と、分離タンクと、を備える。槽体は、めっき溶液を貯めることに用いられ、且つめっき溶液は槽体の中に注ぎ込まれる際に液面を有する。

前記ガイドロールは、槽体の中に設けられ、搬送経路によって連続的に被めっき物を搬送する。被めっき物は、搬送経路の少なくとも一部で、めっき溶液の液面下に浸される。

陰極ロールは、めっき溶液に接触せずに、槽体の中且つめっき溶液の液面上に設けられる。陰極ロールは、該被めっき物に陰イオンを提供し、めっき溶液における金属イオンを還元し、被めっき物に金属層を形成する。

めっき用陽極は、めっき溶液の液面下に浸されるように、搬送経路の上に設けられる。めっき用陽極は、被めっき物の平面に平行又は垂直となるように設けられる。めっき用陽極は、酸化して金属イオンをめっき溶液の中に生成し、金属イオンが陰イオンを有する被めっき物によって還元され、金属層を形成する。

分離タンクは、槽体の中に設けられ、且つ分離タンクの少なくとも１つの側面に複数の貫通孔を有する。めっき溶液は、分離タンクを通して槽体の中に流れ込み、且つ実際にめっき用陽極に近づく被測物へ噴射される。

本発明の一実施例によると、上記搬送経路は、Ｕ字型、Ｖ字形又は三角形を含む。

本発明の一実施例によると、上記搬送経路は、Ｕ字型である。

本発明の一実施例によると、上記ガイドロールは、水平、垂直、又は液面と夾角をなす。

本発明の一実施例によると、上記陰極ロールの材料は、金属、又は金属と非金属からなる複合材料である。

本発明の一実施例によると、上記陰極ロールの材料は、ステンレス鋼、銅、チタン、又は上記金属と非金属からなる複合材料である。

本発明の一実施例によると、上記陰極ロールは、水平、垂直、又は液面と夾角をなす。

本発明の一実施例によると、上記めっき設備は、槽体の中に設けられて、被めっき物がめっき溶液に流体衝撃されて擾乱が発生することで鍍膜層の厚みの均一性に影響を及ぼすことを減少するための、少なくとも１つの圧力逃がし溝をさらに備える。

本発明の一実施例によると、上記圧力逃がし溝は、複数の貫通孔を有する。

本発明の一実施例によると、上記圧力逃がし溝の前記貫通孔は、めっき溶液を槽体の中に流れ込ませて、被めっき物がめっき溶液に流体衝撃されて擾乱が発生することで鍍膜層の厚みの均一性に影響を及ぼすことを減少することに用いられる。

本発明の一実施例によると、上記圧力逃がし溝の前記貫通孔は、めっき溶液の中に複数の気泡を形成して、めっき溶液を均一に混合することに用いられる。

本発明の一実施例によると、上記圧力逃がし溝の材料は、耐酸・耐アルカリ材料である。

本発明の一実施例によると、上記圧力逃がし溝の材料は、ポリ塩化ビニル（ｐｏｌｙ ｖｉｎｙｌ ｃｈｌｏｒｉｄｅ；ＰＶＣ）、ポリプロピレン（ｐｏｌｙｐｒｏｐｙｌｅｎｅ；ＰＰ）又はポリエチレン（ＰＥ）を含む。

本発明の一実施例によると、上記めっき用陽極は、金属である。

本発明の一実施例によると、上記めっき用陽極は、銅、ステンレス鋼又はチタンである。

本発明の一実施例によると、上記めっき用陽極は、チタンメッシュ又はチタン板である。

本発明の一実施例によると、上記めっき用陽極の表面は、酸化イリジウム、酸化タンタル又はその組み合せを含む。

本発明の一実施例によると、上記めっき用陽極は、めっき溶液の該液面下に浸すように、それぞれ搬送経路の両側に設けられた２つのめっき用陽極である。

本発明の一実施例によると、上記めっき用陽極ペアは、めっき溶液の液面下に浸すように、それぞれＵ字型搬送経路の両側に設けられる。

本発明の一実施例によると、上記分離タンクの断面は、四角形、逆三角形、三角形、又は複数の管状構造である。

本発明の一実施例によると、上記分離タンクの前記貫通孔は、円孔状又はハニカム状である。

本発明の一実施例によると、上記被めっき物は、フレキシブルプリント回路基板を含む。

本発明の一実施例によるめっき設備を示す断面模式図である。 本発明の一実施例によるめっき設備を示す断面模式図であり、圧力逃がし溝が含まれる。 本発明の一実施例によるめっき設備を示す断面模式図であり、圧力逃がし溝が含まれる。 図１のめっき設備を示す上面図である。 本発明の一実施例によるめっき設備を示す上面図である。 本発明の一実施例によるめっき設備を示す断面模式図であり、分離タンクの断面が逆三角形を呈する。 本発明の一実施例によるめっき設備を示す断面模式図であり、分離タンクの断面が三角形を呈する。 本発明の一実施例による分離タンクの貫通孔の形状を示す。 本発明の一実施例による分離タンクの貫通孔の形状を示す。

次に、実施例と図面を合わせて、本発明を詳しく説明するが、図面又は記述において、類似又は同様な部分に対して同じ符号又は番号を用いる。図面では、簡素化又は便宜に示すように、実施例の形状又は厚みは拡大することがあり、図面における素子の部分については文字で説明する。示されていない又は説明していない素子は、当業者の公知の各種仕様であってよいことは、理解すべきである。

図１は、本発明の一実施例によるめっき設備１００を示す断面模式図である。図１において、めっき設備１００は、槽体１１０と、複数のガイドロール１２０と、少なくとも１つの陰極ロール１２１と、少なくとも１つのめっき用陽極１３０と、分離タンク１４０と、を備える。

槽体１１０は、めっき溶液１５０を貯めることに用いられる。めっき溶液１５０は、槽体１１０に注ぎ込まれる際に液面１５１を有する。本発明の一実施例において、槽体は、底板、２つの側板、及び２つの越流板（overflow plate）からなる。本発明の一実施例において、めっき溶液は、金属イオンを含む。金属イオンは、銅イオン、コバルトイオン、ニッケルイオン、亜鉛イオン、スズイオン又は銀イオンであってよいが、これらに限定されない。

ガイドロール１２０は、槽体１１０の中に設けられる。ガイドロール１２０は、槽体の中に並列して搬送経路を形成し、且つ搬送経路によって連続的に被めっき物１６０を搬送する。本発明の一実施例において、ガイドロールは、水平、垂直、又は液面と夾角をなす。

被めっき物１６０は、搬送経路の少なくとも一部で、めっき溶液１５０の液面１５１下に浸される。本発明の一実施例において、搬送経路は、例えば、Ｕ字型、Ｖ字形又は三角形であってよいが、これらに限定されない。本発明の別の実施例において、搬送経路は、Ｕ字型であり、図１に示すように、一部の搬送経路は、めっき溶液の液面下に浸たされる。本発明の一実施例において、被めっき物は、フレキシブルプリント回路基板（ＦＰＣ）又は、フレキシブル銅箔基板（ＦＣＣＬ）を含むが、これらに限定されない。

陰極ロール１２１は、めっき溶液１５０に接触せずに、槽体１１０の中且つめっき溶液１５０の液面１５１上に設けられる。陰極ロール１２１は陰イオンを被めっき物１６０に提供し、めっき溶液１５０における金属イオンを還元し、且つ金属層を被めっき物１６０に生成する。本発明の一実施例において、陰極ロールの材料は、金属であり、例えば、ステンレス鋼、銅、チタン又は上記金属と非金属からなる複合材料であってよいが、これらに限定されない。本発明の別の実施例において、陰極ロールの表面が研磨つや出し処理をされる。

めっき用陽極１３０は、めっき溶液１５０の液面１５１下に浸されるように、搬送経路に設けられる。めっき用陽極１３０は、被めっき物１６０の平面上に平行に設けられる。めっき用陽極１３０は、陽イオンを提供し、且つ酸化して金属イオンをめっき溶液１５０の中に生成する。本発明の一実施例において、めっき用陽極は、めっき溶液の液面下に浸されるように、それぞれ搬送経路の異なる両側に設けられた２つのめっき用陽極である。本発明の別の実施例において、２つのめっき用陽極は、図１に示すように、めっき溶液の液面下に浸されるように、それぞれＵ字型搬送経路の異なる両側に設けられる。本発明のさらに他の実施例において、めっき用陽極は、金属であり、例えば、銅、ステンレス鋼又はチタンであってよいが、これらに限定されない。本発明の一実施例において、めっき用陽極は、チタンメッシュ又はチタン板であり、その上に酸化イリジウム、酸化タンタル又はその組み合せをさらに含む。

分離タンク１４０は、槽体１１０の中に設けられ、且つ分離タンク１４０の少なくとも１つの側面に複数の貫通孔１４１を有する。めっき溶液１５０は、分離タンク１４０を通して槽体１１０の中に流れ込み、且つ実際にめっき用陽極１３０に近づく被めっき物１６０へ噴射される。本発明の一実施例において、分離タンクの断面は、四角形、逆三角形、三角形、又は複数の管状構造を呈する。

図１において、めっき溶液１５０は、矢印Ａの方向に沿って分離タンク１４０の中に注入され、且つ矢印Ｂの方向に沿って貫通孔１４１からめっき用陽極１３０に近づく被めっき物１６０へ噴射される。過剰のめっき溶液１５０の液面１５１は、槽体１１０を超え、矢印Ｃに示すように、槽体１１０から越流することになる。

図２Ａは、本発明の一実施例によるめっき設備２００ａを示す断面模式図であり、圧力逃がし溝２１０ａが含まれる。図２Ａにおいて、図１との主な相違点は、めっき設備２００ａの構造組成は、めっき設備２００ａの中に圧力逃がし溝２１０ａ、２つの陰極ロール１２１及び２つのめっき用陽極１３０を設ける点である。

圧力逃がし溝２１０ａは、槽体１１０の底部に設けられる。圧力逃がし溝２１０ａは開口２１１を有し、新しいめっき溶液を注ぎ込むことに用いられる。圧力逃がし溝２１０ａも複数の貫通孔２１２を有し槽体１１０の内部に向かって、槽体１１０内のめっき溶液を均一に混合することに用いられる。

被めっき物１６０の両側には、それぞれ２つの陰極ロール１２１及び２つのめっき用陽極１３０を有する。このように、同時に被めっき物１６０の異なる２つの表面をめっきでき、めっき効率を増速し、生産性を向上させるようにする。

図２Ｂは、本発明の一実施例によるめっき設備２００ｂを示す断面模式図であり、圧力逃がし溝２１０ｂが含まれる。図２Ｂにおいて、めっき設備２００ｂの構造組成は、圧力逃がし溝２１０ｂは、槽体１１０の両側まで延伸される以外、図２Ａと同様である。

圧力逃がし溝２１０ｂは、槽体１１０の両側まで延伸されるため、圧力逃がし溝２１０ｂ上の貫通孔２１２によって、新しいめっき溶液をめっき用陽極に近づく被めっき物へ噴射し、被めっき物がめっき溶液に流体衝撃されて擾乱が発生することで鍍膜層の厚みの均一性に影響を及ぼすことを減少することに用いられる。本発明の一実施例において、圧力逃がし溝の材料は、耐酸・耐アルカリ材料を含む。本発明の別の実施例において、圧力逃がし溝の材料は、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）又はポリエチレン（ＰＥ）を含む。

本発明の一実施例において、被めっき物の両側に設けられる陰極ロールとめっき用陽極の組み合せによって、めっき効率を増速でき、且つ生産性を大幅に向上させる。本発明の一実施例において、被めっき物のめっき速率は、２００％向上することができる。

一方、本発明の実施例によって提供されためっき設備はともに分離タンクを有し、新しく且つ濃度が正しいめっき溶液を槽体の中に提供することに用いられる。めっき溶液は、めっき時間が長くなるほど、めっき溶液における金属イオンの濃度が低くなる。従って、本発明の実施例において、分離タンク上の貫通孔によって、新しく且つ濃度が正しいめっき溶液をめっき用陽極に近づく被めっき物へ噴射することができ、効果的に被めっき物のコーティングの品質を向上させるようにする。

他方、本発明の実施例によって提供されためっき設備はともに２つのめっき用陽極を有し、めっき効率を増加し、生産性を向上させることに用いられる。めっき設備において、被めっき物は、めっき用陽極に近づかないとめっき効果がない。従って、本発明の実施例において、２つのめっき用陽極を搬送経路の異なる両側に設けることによって、電場の相互干渉を回避する一方で、同じコーティング厚みのめっき時間を短縮でき、生産性を向上させるようにする。

図３Ａは、図１のめっき設備１００を示す上面図である。図３Ａにおいて、被めっき物１６０は、槽体１１０の両側に位置するガイドロール１２０に沿ってめっき溶液１５０の中に浸される。分離タンク１４０は、槽体１１０の中央に位置し、分離タンク１４０両側の貫通孔１４１は、矢印Ｂの方向に沿って、新しいめっき溶液１５０を被めっき物１６０に噴射する。

図３Ｂは、本発明の一実施例によるめっき設備３００を示す上面図である。図３Ｂにおいて、めっき設備３００は、槽体３１０と、複数のガイドロール３２０と、少なくとも１つの陰極ロール３２１と、少なくとも１つのめっき用陽極３３０と、分離タンク３４０と、を備える。槽体３１０は、めっき溶液３５０を貯めることに用いられる。ガイドロール３２０は、槽体の中に並列して搬送経路を形成し、且つ搬送経路によって連続的に被めっき物３６０を搬送する。めっき用陽極３３０は、搬送経路に設けられ、且つ被めっき物３６０の平面に平行に設けられる。

分離タンク３４０は、槽体３１０の中央に位置し、分離タンク３４０両側の貫通孔は、矢印Ｂの方向に沿って、新しいめっき溶液３５０を被めっき物３６０に噴射する。

図３Ｂにおいて、めっき設備３００のガイドロール３２０及び陰極ロール３２１はともにめっき溶液３５０の液面に対して垂直となる点が図３Ａと異なる。ガイドロール３２０は、槽体３１０の中に設けられ、且つめっき溶液３５０の液面下に位置し、陰極ロール３２１は、めっき溶液３５０に接触せずに、槽体３１０の外に設けられる。被めっき物３６０が、搬送経路上にある場合に、被めっき物３６０は、めっき溶液３５０の液面下に位置し、且つめっき溶液３５０の液面に対して垂直である。

図４Ａは、本発明の一実施例によるめっき設備４００ａを示す断面模式図であり、分離タンク４４０ａの断面が逆三角形を呈する。図４Ａにおいて、めっき設備４００ａは、槽体４１０と、複数のガイドロール４２０と、少なくとも１つの陰極ロール４２１と、少なくとも１つのめっき用陽極４３０と、分離タンク４４０ａと、を備える。

めっき設備４００ａのガイドロール４２０はＶ字型搬送経路となり、且つＶ字型搬送経路によって連続的に被めっき物４６０を搬送する。搬送経路はＶ字型を呈するため、分離タンク４４０ａの断面が逆三角形を呈する。新しいめっき溶液４５０は、矢印Ａの方向に沿って分離タンク４４０ａに注ぎ込まれ、分離タンク４４０ａ上の貫通孔４４１によって、めっき溶液４５０を矢印Ｂの方向に沿って、めっき用陽極４３０に近づく被めっき物４６０に噴射する。過剰のめっき溶液４５０の液面４５１は、矢印Ｃの方向に沿って、槽体４１０から越流することになる。

その中、陰極ロール４２１は陰イオンを被めっき物４６０に提供し、めっき溶液４５０における金属イオンを還元し、且つ金属層を被めっき物４６０に生成することに用いられる。めっき用陽極４３０は、陽イオンを提供し、且つ酸化して金属イオンをめっき溶液４５０の中に生成する。

本発明の一実施例において、陰極ロールの材料は、金属であり、例えばステンレス鋼、銅又はチタンであってよいが、これらに限定されない。本発明の別の実施例において、陰極ロールの表面が研磨つや出し処理をされる。本発明のさらに他の実施例において、めっき用陽極は、金属であり、例えば、銅、ステンレス鋼又はチタンであってよいが、これらに限定されない。本発明の一実施例において、めっき用陽極は、チタンメッシュ又はチタン板であり、その上に酸化イリジウム、酸化タンタル又はその組み合せをさらに含む。

図４Ｂは、本発明の一実施例によるめっき設備４００ｂを示す断面模式図であり、分離タンク４４０ｂの断面は、三角形を呈する。第４Ｂにおいて、めっき設備４００ｂは、槽体４１０と、複数のガイドロール４２０と、少なくとも１つのめっき用陽極４３０と、分離タンク４４０ｂと、を備える。

めっき設備４００ａのガイドロール４２０は三角形搬送経路となり、且つ三角形搬送経路によって連続的に被めっき物４６０を搬送する。搬送経路は三角形を呈するため、分離タンク４４０ｂの断面は三角形を呈する。新しいめっき溶液４５０は、矢印Ａの方向に沿って分離タンク４４０ｂに注ぎ込まれ、分離タンク４４０ｂ上の貫通孔４４１によって、めっき溶液４５０を矢印Ｂの方向に沿って、めっき用陽極４３０に近づく被めっき物４６０に噴射する。過剰のめっき溶液４５０の液面４５１は、矢印Ｃの方向に沿って、槽体４１０から越流することになる。

その中、陰極ロール４２１は陰イオンを被めっき物４６０に提供し、めっき溶液４５０における金属イオンを還元し、且つ金属層を被めっき物４６０に生成することに用いられる。めっき用陽極４３０は、陽イオンを提供し、且つ酸化して金属イオンをめっき溶液４５０の中に生成する。

本発明の一実施例において、陰極ロールの材料は、金属であり、例えばステンレス鋼、銅又はチタンであってよいが、これらに限定されない。本発明の別の実施例において、陰極ロールの表面が研磨つや出し処理をされる。本発明のさらに他の実施例において、めっき用陽極は、金属であり、例えば、銅、ステンレス鋼又はチタンであってよいが、これらに限定されない。本発明の一実施例において、めっき用陽極は、チタンメッシュ又はチタン板であり、その上に酸化イリジウム、酸化タンタル又はその組み合せをさらに含む。

図５Ａ、図５Ｂは本発明の一実施例による分離タンク５００ａ及び５００ｂの貫通孔５１０ａ及び５１０ｂの形状を示す。一般的に、分離タンク上の貫通孔の形状は、例えば、円孔状、ハニカム状、三角形、四角形、又はその他の幾何形状であってよいが、これらに限定されない。本発明の一実施例において、分離タンク５００ａ上の貫通孔５１０ａの形状は、円孔状であり、図５Ａに示すようなものである。本発明の別の実施例において、分離タンク５００ｂ上の貫通孔５１０ｂの形状は、ハニカム状であり、図５Ｂに示すようなものである。

本発明の実施例において、分離タンクは直接に新しく且つ濃度が正しいめっき溶液をめっき用陽極に近づく被めっき物に供給することができるため、コーティングの品質を顕著に向上させることができる。また、圧力逃がし溝をめっき設備に設けることで、従来の攪拌による混合方法と取り替えることができ、迅速且つ均一に混合する効果を達成し、且つ新しいめっき溶液を槽体の中に補充することもできる。一方、２つのめっき用陽極を被めっき物の搬送経路に設けることによって、同じコーティングの厚みのめっき時間を短縮でき、めっき設備の生産性を大幅に向上させる。

本発明の実施例を前述の通りに開示したが、これは本発明を限定するものではなく、当業者なら誰でも、本発明の精神と範囲から逸脱しない限り、多様の変更や修正を加えることができ、したがって、本発明の保護範囲は、後の特許請求の範囲で指定した内容を基準とする。

１００、２００ａ、２００ｂ、３００、４００ａ、４００ｂ めっき設備
１１０、３１０、４１０ 槽体
１２０、３２０、４２０ ガイドロール
１２１、３２１、４２１ 陰極ロール
１３０、３３０、４３０ めっき用陽極
１４０、３４０、４４０ａ、４４０ｂ、５００ａ、５００ｂ 分離タンク
１４１、２１２、４４１、５１０ａ、５１０ｂ 貫通孔
１５０、３５０、４５０ めっき溶液
１５１、４５１ 液面
１６０、３６０、４６０ 被めっき物
２１０ａ、２１０ｂ 圧力逃がし溝
２１１ 開口
Ａ、Ｂ、Ｃ 矢印

Claims (17)

1. 液面を有するめっき溶液を貯めることに用いられる槽体と、
   該槽体の中に設けられる少なくとも２つのガイドロールと、
   該めっき溶液に接触せずに、該槽体の中で、且つ該めっき溶液の液面上に設けられ、前記ガイドロールにより搬送経路を形成して連続的に被めっき物を搬送し、該搬送経路の少なくとも一部には該被めっき物を該めっき溶液の該液面下に浸す少なくとも２つの陰極ロールと、
   該搬送経路の異なる両側に設けられ、且つ該めっき溶液の該液面下に浸たされ、該被めっき物の平面と平行に設けられる少なくとも２つのめっき用陽極と、
   該槽体の中に設けられ、該めっき用陽極と平行な２つの側面に複数の貫通孔を有する分離タンクと、を備え、
   前記被めっき物を搬送する前記搬送経路はガイドロールの配置により、Ｕ字形、Ｖ字形、又は三角形の搬送経路を形成するとともに、前記何れかの搬送経路は液面との間に夾角を形成し、
   前記少なくとも２つのガイドロールは、水平、垂直、又は液面と夾角をなし、
   前記めっき溶液が分離タンクを通して該槽体の中に流れ込み、且つ、前記分離タンクの２つの側面に形成された貫通孔を通して、該めっき用陽極に近づく該被めっき物へ該めっき溶液を噴射することを特徴とするめっき設備。
2. 該陰極ロールの材料は、金属、又は金属と非金属からなる複合材料である請求項１に記載のめっき設備。
3. 該陰極ロールの材料は、ステンレス鋼、銅、チタン、又は前記金属と非金属からなる複合材料である請求項２に記載のめっき設備。
4. 該陰極ロールは、水平、垂直、又は液面と夾角をなす請求項１に記載のめっき設備。
5. 該槽体の中に設けられ、被めっき物が被めっき溶液に流体衝撃されて発生した擾乱を減少するための、少なくとも１つの圧力逃がし溝をさらに備える請求項１に記載のめっき設備。
6. 該圧力逃がし溝は、複数の貫通孔を有する請求項５に記載のめっき設備。
7. 該圧力逃がし溝の前記貫通孔は、該めっき溶液を該槽体の中に流れ込ませて、被めっき物が被めっき溶液に流体衝撃されて発生した擾乱を減少することに用いられる請求項６に記載のめっき設備。
8. 該圧力逃がし溝の材料は、耐酸、耐アルカリ材料を含む請求項５に記載のめっき設備。
9. 該耐酸、耐アルカリ材料は、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、或ポリエチレン（ＰＥ）を含む請求項８に記載のめっき設備。
10. 該めっき用陽極は、金属である請求項１に記載のめっき設備。
11. 該めっき用陽極は、銅、ステンレス鋼又はチタンである請求項１に記載のめっき設備。
12. 該めっき用陽極は、チタンメッシュ又はチタン板である請求項１１に記載のめっき設備。
13. 該めっき用陽極の表面に、酸化イリジウム、酸化タンタル又はその組み合わせを有する請求項１２に記載のめっき設備。
14. 該めっき用陽極は、該めっき溶液の該液面下に浸すように、それぞれ該搬送経路の両側に設けられた２つのめっき用陽極である請求項１に記載のめっき設備。
15. 該分離タンクの断面は、四角形、逆三角形、三角形、又は複数の管状構造を呈する請求項１に記載のめっき設備。
16. 該分離タンクの前記貫通孔は、円孔状又はハニカム状である請求項１に記載のめっき設備。
17. 前記被めっき物は、フレキシブルプリント回路基板を含む請求項１に記載のめっき設備。

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