JP5304664B2 - 連続電解めっき装置、連続電解めっき方法及び金属化樹脂フィルムの製造方法 - Google Patents
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図1の連続電解めっき装置において、各電解めっきセルの電流密度を下記表1のように設定した。金属薄膜付ポリイミドフィルムに直角方向に当てられるめっき液の流速が液面で0.01m/秒となるように、第1ノズルからのめっき液の噴出速度を0.01m/秒に調整した。また、第2ノズルからは、めっき液を0.004m/秒の噴出速度で噴出させた。
上記実施例1と同様にして金属化ポリイミドフィルムを製造したが、各電解めっきセルの電流密度を上記表1のように設定すると共に、アノード15i、15j、15k、15lを含む各電解めっきセルでは金属薄膜付ポリイミドフィルムに直角方向に当てられるめっき液の流速が液面で0.1m/秒となるように、各第1ノズルからのめっき液の噴出速度を0.1m/秒に調整し、第2ノズルの噴出速度は0.03m/秒とした。
上記実施例1と同様にして金属化ポリイミドフィルムを製造したが、金属薄膜付ポリイミドフィルムに直角方向に当てられるめっき液の流速が液面で1m/秒となるように、各第1ノズルからのめっき液の噴出速度を1m/秒に調整し、第2ノズルの噴出速度は0.3m/秒とした。
上記実施例1と同様にして金属化ポリイミドフィルムを製造したが、金属薄膜付ポリイミドフィルムに直角方向に当てられるめっき液の流速が液面で0.1m/秒となるように、各第1ノズルからのめっき液の噴出速度を0.1m/秒に調整し、第2ノズルの噴出速度は0.03m/秒とした。
上記実施例1と同様にして金属化ポリイミドフィルムを製造したが、金属薄膜付ポリイミドフィルムに直角方向に当てられるめっき液の流速が液面で0.003m/秒となるように、各第1ノズルからのめっき液の噴出速度を0.003m/秒に調整し、第2ノズルの噴出速度は0.001m/秒とした。
上記実施例1と同様にして金属化ポリイミドフィルムを製造したが、金属薄膜付ポリイミドフィルムに直角方向に当てられるめっき液の流速が液面で0.001m/秒となるように、各第1ノズルからのめっき液の噴出速度を0.001m/秒に調整し、第2ノズルの噴出速度は0.0003m/秒とした。
12 巻取ロール
13 めっき槽
14 めっき液
15a、15b、15c、15d、15e、15f、15g、15h、15i、15j、15k、15l アノード
16a、16b、16c、16d、16e、16f、16g 給電ロール
17a、17b、17c、17d、17e、17f 搬送ロール
18g、18h 第1ノズル
20g、20h 第2ノズル
19g、19h、21g、21h 給液パイプ
F1 長尺基板
F2 金属化長尺基板
Claims (10)
- ロール・ツー・ロールにより幅方向を略水平方向に保って搬送される長尺基板を、複数のアノードを備えためっき槽内で、めっき液に浸漬され且つ各アノードと略平行に対向させて搬送しながら、長尺基板に電解めっきを行う連続電解めっき装置において、めっき槽内の長尺基板と少なくとも1つのアノードとの間に、めっき液の液面から10cmまでの深さに配置され、長尺基板に向かってめっき液を噴出する少なくとも1つの第1ノズルを備えることを特徴とする連続電解めっき装置。
- 前記第1ノズルと共に、めっき槽内の長尺基板と少なくとも1つのアノードとの間に、めっき液の液面より40cmを超えて深く且つ長尺基板が浸漬される最大深さよりも浅い位置に配置され、長尺基板に向かってめっき液を噴出する少なくとも1つの第2ノズルを備え、前記第1ノズルからのめっき液の噴出速度が前記第2ノズルからのめっき液の噴出速度よりも早くなるように制御されることを特徴とする、請求項1に記載の連続電解めっき装置。
- 前記長尺基板と各アノードとの間にそれぞれ形成される各電解めっきセルの電流密度が、長尺基板の搬送方向に沿って段階的に上昇するように制御され、該電流密度が0.1A/dm2以上となる電解めっきセルに前記第1ノズルが配置されていることを特徴とする、請求項1に記載の連続電解めっき装置。
- 前記長尺基板と各アノードとの間にそれぞれ形成される各電解めっきセルの電流密度が、長尺基板の搬送方向に沿って段階的に上昇するように制御され、該電流密度が0.1A/dm2以上となる電解めっきセルに、前記第1ノズルと共に、前記第2ノルズが配置されていることを特徴とする、請求項2に記載の連続電解めっき装置。
- 前記第1ノズルは、液面から略同じ深さで且つ長尺基板の幅方向に該長尺基板と略平行に並んだ複数のノズルで構成されたノズル群からなることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の連続電解めっき装置。
- ロール・ツー・ロールにより幅方向を略水平方向に保って搬送される長尺基板を、複数のアノードを備えためっき槽内で、めっき液に浸漬され且つ各アノードと略平行に対向させて搬送しながら、長尺基板に電解めっきを行う連続電解めっき方法において、めっき槽内の長尺基板と少なくとも1つのアノードとの間で、少なくともめっき液の液面において、長尺基板の電解めっき面にめっき液の流れを連続的に当てることによってめっき液を撹拌することを特徴とする連続電解めっき方法。
- 前記長尺基板の電解めっき面に当てられるめっき液の流速が、長尺基板表面の直角方向の流速として、液面では0.01m/秒〜1m/秒であり、液面から40cmより深く且つ長尺基板が浸漬される最大深さまでの範囲では前記液面での流速より遅いことを特徴とする、請求項6に記載の連続電解めっき方法。
- 前記めっき槽内の長尺基板と各アノードとの間にそれぞれ形成される各電解めっきセルについて、その電流密度を長尺基板の搬送方向に沿って段階的に上昇するように制御すると共に、該電流密度が0.1A/dm2以上となる電解めっきセルでは、長尺基板の電解めっき面にめっき液の流れを当てることによってめっき液を撹拌することを特徴とする、請求項6又は7に記載の連続電解めっき方法。
- 前記電解めっきが銅電解めっきであることを特徴とする、請求項6〜8のいずれかに記載の連続電解めっき方法。
- 請求項6〜9のいずれかに記載の連続電解めっき方法を用い、前記長尺基板として長尺樹脂フィルムの少なくとも片面に接着剤を介することなく金属薄膜が積層された金属薄膜付長尺樹脂フィルムを使用し、該金属薄膜付長尺樹脂フィルムの表面に金属層を成膜することを特徴とする金属化樹脂フィルムの製造方法。
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JP2010011115A JP5304664B2 (ja) | 2010-01-21 | 2010-01-21 | 連続電解めっき装置、連続電解めっき方法及び金属化樹脂フィルムの製造方法 |
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