JP2016502393A5 - - Google Patents
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第2ステータ146Sは、下部隔壁143の外側部分、及び/又は、下部ロータキャップ146LCの外側部分によって支持されるか、又は、それらと一体化されうる、ステータハウジング146SHに固定されるか、或いは、それによって支持されうる。ロータ146Rは、ロータハウジングとして機能する下部ロータキャップ146LC、及び/又は下部隔壁143の外側部分によって支持されうる。上部と下部の隔壁142、143は、モータハウジング136に固定されるか、又はその一部でありうる。モータハウジング136は、第1、第2、及び第3のモータモジュール137、139、141にそれぞれ対応する、モータハウジング部分136A、136B、136Cを含みうる。真空バリア172Bは、ロータ146Rとステータ146Sとの間に位置付けられうる。真空バリア172Bは、前述のように環状スリーブであり、かつ、多軸モータ駆動アセンブリ111の一定の内側部分に真空を維持するよう機能しうる。
ロータアセンブリ367は、ロータハウジング340RH、駆動シャフト338、ロータハウジング340RHに対して駆動シャフト338を支持する軸受アセンブリ370、及び、駆動シャフト338に結合されたロータ340Rを含む。図示されている実施形態では、ロータアセンブリ367は、ロータ340Rに結合されたロータ支持体340RSを備える。ロータ支持体340RSは、駆動シャフト338の端部に結合し、かつ、ロータ340Rを駆動シャフト338に結合させるよう機能しうる。ロータ支持体340RSはまた、軸受アセンブリ370の内側起動輪を駆動シャフト338に固定するよう機能しうる。軸受支持体340BSは、軸受アセンブリ370の外側起動輪をロータハウジング340RHに固定するために提供されうる。この実施形態では、ロータアセンブリ367は単一駆動シャフトから成る。駆動シャフト338の長さは、多軸モータ駆動アセンブリの内部でのそれの場所、及び、それが駆動している特定のロボット装置に基づいて、選択されうる。
図示されている実施形態では、ステータアセンブリ465は、ステータハウジング480SH、及び、ステータハウジング480SH内に受容された第1ステータ480Aと第2ステータ480Bとを含む。第2ステータ480Bは、ステータハウジング480SH内で第1ステータ480Aに隣接して受容される。第1と第2のステータ480A、480Bは、各々、図3Dの断面に示すものと同じ、円形配向に配設された(ステータ要素340Eのような)複数の巻線型ステータ要素340Eを含みうる。
ロータアセンブリ467A、467Bの各々は、ロータハウジング481A、481Bに結合された第1エンコーダ要素468A、468B、及び、駆動シャフト438A、438Bに結合された第2エンコーダ要素469A、469Bを含みうる。
図5Aと図5Bは、多軸モータ駆動アセンブリ585を示す。この特定の実施形態は、三軸のモータを作製するために組み立てられる、第1モータモジュール327と第2モータモジュール478で作り出された多軸モータ駆動アセンブリ585である。三軸のモータの各軸は、ロボット装置のロボットアームのそれぞれに結合され、かつ、様々なアーム動作を駆動するために、使用されうる。図示されている実施形態では、第1モータモジュール327は一軸性能から成り、かつ、第2モータモジュール478は二軸性能から成る。
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Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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JP2015545192A Active JP6382213B2 (ja) | 2012-11-30 | 2013-11-26 | モータモジュール、多軸モータ駆動アセンブリ、多軸ロボット装置、並びに、電子デバイス製造のシステム及び方法 |
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---|---|---|---|
JP2015545190A Active JP6336467B2 (ja) | 2012-11-30 | 2013-11-26 | 不等長の前腕部を備えた多軸ロボット装置、電子デバイス製造システム、及び、電子デバイス製造において基板を搬送するための方法 |
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Families Citing this family (70)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10086511B2 (en) * | 2003-11-10 | 2018-10-02 | Brooks Automation, Inc. | Semiconductor manufacturing systems |
USD723239S1 (en) * | 2012-08-30 | 2015-02-24 | Entegris, Inc. | Wafer carrier ring |
US9190306B2 (en) * | 2012-11-30 | 2015-11-17 | Lam Research Corporation | Dual arm vacuum robot |
US9149936B2 (en) | 2013-01-18 | 2015-10-06 | Persimmon Technologies, Corp. | Robot having arm with unequal link lengths |
US10224232B2 (en) | 2013-01-18 | 2019-03-05 | Persimmon Technologies Corporation | Robot having two arms with unequal link lengths |
CN103192384B (zh) * | 2013-03-11 | 2015-08-19 | 上海交通大学 | 一种集成旋转变压器的静态真空轴系装置 |
TWI614102B (zh) * | 2013-03-15 | 2018-02-11 | 應用材料股份有限公司 | 基板沉積系統、機械手臂運輸設備及用於電子裝置製造之方法 |
WO2014152380A1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-09-25 | Electro Scientific Industries, Inc. | Laser systems and methods for aod rout processing |
JP6337432B2 (ja) | 2013-09-10 | 2018-06-06 | セイコーエプソン株式会社 | 関節駆動装置及びロボット |
US20150068350A1 (en) * | 2013-09-10 | 2015-03-12 | Seiko Epson Corporation | Robot arm and robot |
ES2714526T3 (es) | 2013-10-23 | 2019-05-28 | Prysmian Spa | Cable de de transporte de energía con una capa reticulada aislante eléctricamente, y procedimiento para la extracción de subproductos reticulados de esta |
WO2015073658A1 (en) | 2013-11-13 | 2015-05-21 | Brooks Automation, Inc. | Sealed switched reluctance motor |
KR102224756B1 (ko) | 2013-11-13 | 2021-03-08 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 씰링된 로봇 드라이브 |
US10564221B2 (en) | 2013-11-13 | 2020-02-18 | Brooks Automation, Inc. | Method and apparatus for brushless electrical machine control |
TWI695447B (zh) | 2013-11-13 | 2020-06-01 | 布魯克斯自動機械公司 | 運送設備 |
WO2015103089A1 (en) | 2014-01-05 | 2015-07-09 | Applied Materials, Inc | Robot apparatus, drive assemblies, and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing |
JP6474971B2 (ja) * | 2014-07-03 | 2019-02-27 | 株式会社ダイヘン | ワーク搬送装置 |
DE102014009892B4 (de) * | 2014-07-04 | 2018-05-30 | gomtec GmbH | Antriebseinheit mit magnetischer Schnittstelle |
KR102451144B1 (ko) * | 2015-02-06 | 2022-10-05 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 동등하지 않은 링크 길이를 가진 아암을 구비한 로봇 |
USD767234S1 (en) * | 2015-03-02 | 2016-09-20 | Entegris, Inc. | Wafer support ring |
KR102567510B1 (ko) | 2015-03-12 | 2023-08-17 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 종속화된 엔드 이펙터 움직임을 가진 로봇 |
WO2017011367A1 (en) * | 2015-07-13 | 2017-01-19 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus |
JP6918770B2 (ja) | 2015-07-13 | 2021-08-11 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | オンザフライ方式の自動ウェハセンタリング方法および装置 |
CN105108387A (zh) * | 2015-08-31 | 2015-12-02 | 苏州斯尔特微电子有限公司 | 一种电子焊接机上的翻转臂 |
US9799544B2 (en) | 2015-10-23 | 2017-10-24 | Applied Materials, Inc. | Robot assemblies, substrate processing apparatus, and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing |
CN105391210B (zh) * | 2015-12-28 | 2017-11-21 | 苏州大学 | 内转子电机 |
CN105702607B (zh) * | 2016-03-17 | 2018-09-25 | 东方晶源微电子科技(北京)有限公司 | 机械臂和检查系统 |
CN106003134B (zh) * | 2016-05-26 | 2020-09-29 | 中国科学院等离子体物理研究所 | 一种用于真空高温环境下的转动关节 |
CN106003027B (zh) * | 2016-06-03 | 2019-03-01 | 广州视源电子科技股份有限公司 | 机械臂运动路径的设置方法和系统 |
TWI707754B (zh) * | 2016-06-28 | 2020-10-21 | 美商應用材料股份有限公司 | 包括間隔上臂與交錯腕部的雙機器人以及包括該者之方法 |
CN106041919A (zh) * | 2016-07-11 | 2016-10-26 | 深圳众为兴技术股份有限公司 | 一种吊装式机器人结构 |
US20180308728A1 (en) * | 2017-02-07 | 2018-10-25 | Brooks Automation, Inc. | Method and apparatus for substrate transport |
TW202412162A (zh) * | 2017-02-07 | 2024-03-16 | 美商布魯克斯自動機械美國公司 | 基材運送方法及設備 |
US10312770B2 (en) * | 2017-02-25 | 2019-06-04 | Applied Motion Products, Inc. | Motor with integrated connector enclosure |
JP6862233B2 (ja) * | 2017-03-27 | 2021-04-21 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
CN107953363B (zh) * | 2017-05-10 | 2021-09-07 | Abb瑞士股份有限公司 | 一种用于多关节机器人的臂及多关节机器人 |
EP3410577A1 (de) * | 2017-06-02 | 2018-12-05 | Siemens Aktiengesellschaft | Leitungsdurchführung |
US10629472B2 (en) | 2017-08-17 | 2020-04-21 | Persimmon Technologies Corporation | Material handling robot |
US10453725B2 (en) | 2017-09-19 | 2019-10-22 | Applied Materials, Inc. | Dual-blade robot including vertically offset horizontally overlapping frog-leg linkages and systems and methods including same |
JP6873881B2 (ja) * | 2017-10-13 | 2021-05-19 | 日本電産サンキョー株式会社 | 産業用ロボット |
TW202425214A (zh) | 2017-10-27 | 2024-06-16 | 美商應用材料股份有限公司 | 具有空間分離的單個晶圓處理環境 |
JP6962790B2 (ja) * | 2017-11-09 | 2021-11-05 | 日本電産サンキョー株式会社 | ワーク搬送システム及びその制御方法 |
US10155309B1 (en) * | 2017-11-16 | 2018-12-18 | Lam Research Corporation | Wafer handling robots with rotational joint encoders |
KR101956617B1 (ko) * | 2017-11-23 | 2019-03-12 | (주)한국미래기술 | 병렬형 집적 구동장치 |
KR101983563B1 (ko) * | 2017-11-23 | 2019-05-29 | (주)한국미래기술 | 병렬형 집적 구동장치 |
US10943805B2 (en) | 2018-05-18 | 2021-03-09 | Applied Materials, Inc. | Multi-blade robot apparatus, electronic device manufacturing apparatus, and methods adapted to transport multiple substrates in electronic device manufacturing |
JP7078479B2 (ja) * | 2018-07-13 | 2022-05-31 | 株式会社安川電機 | 搬送ロボットおよびロボットシステム |
CN109018783A (zh) * | 2018-07-20 | 2018-12-18 | 湖南瑭桥科技发展有限公司 | 一种新型垃圾车机械手折叠臂定向控制器 |
WO2020060715A1 (en) | 2018-09-21 | 2020-03-26 | Applied Materials, Inc. | Portion of layer removal at substrate edge |
US20200161162A1 (en) * | 2018-11-19 | 2020-05-21 | Mattson Technology, Inc. | Systems and methods for workpiece processing |
TWM579415U (zh) | 2019-03-08 | 2019-06-11 | 華碩電腦股份有限公司 | 功能組件以及包含其之電子裝置 |
WO2020185841A1 (en) * | 2019-03-11 | 2020-09-17 | Persimmon Technologies Corporation | Asymmetric dual end effector robot arm |
US11850742B2 (en) | 2019-06-07 | 2023-12-26 | Applied Materials, Inc. | Dual robot including splayed end effectors and systems and methods including same |
US11117265B2 (en) * | 2019-07-12 | 2021-09-14 | Applied Materials, Inc. | Robot for simultaneous substrate transfer |
WO2021011229A1 (en) | 2019-07-12 | 2021-01-21 | Applied Materials, Inc. | Robot for simultaneous substrate transfer |
CN114097069A (zh) * | 2019-07-12 | 2022-02-25 | 应用材料公司 | 用于同步基板传送的机械手 |
US11443973B2 (en) * | 2019-07-12 | 2022-09-13 | Applied Materials, Inc. | Robot for simultaneous substrate transfer |
US11574826B2 (en) | 2019-07-12 | 2023-02-07 | Applied Materials, Inc. | High-density substrate processing systems and methods |
TWI797461B (zh) * | 2019-07-26 | 2023-04-01 | 日商新川股份有限公司 | 封裝裝置 |
CN111546321A (zh) * | 2020-06-15 | 2020-08-18 | 含山县大力精密机械有限公司 | 一种适用于高负载的横向搬运机器臂及方法 |
US20210407837A1 (en) * | 2020-06-30 | 2021-12-30 | Applied Materials, Inc. | Robot apparatus and systems, and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing |
US20220005726A1 (en) * | 2020-07-02 | 2022-01-06 | Applied Materials, Inc. | Robot apparatus, systems, and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing |
US11602064B2 (en) * | 2020-09-01 | 2023-03-07 | Applied Materials, Inc. | Dynamic electrical and fluid delivery system with indexing motion for batch processing chambers |
US12076859B2 (en) * | 2020-10-14 | 2024-09-03 | Applied Materials, Inc. | Infinite rotation of vacuum robot linkage through timing belt with isolated environment |
TW202218831A (zh) * | 2020-11-06 | 2022-05-16 | 日商發那科股份有限公司 | 水平多關節機器人 |
CN112563178B (zh) * | 2021-02-23 | 2021-06-29 | 宁波群芯微电子有限责任公司 | 芯片转移机械手 |
TWI782507B (zh) * | 2021-04-28 | 2022-11-01 | 富力特科技股份有限公司 | 具薄型脆性基材擦碰震盪感測器的入匣機械臂及感測器 |
KR102552870B1 (ko) * | 2021-10-29 | 2023-07-10 | 주식회사 라온테크 | 직접구동 모터 기반의 웨이퍼 이송 로봇 장치 |
EP4441779A1 (en) * | 2021-12-03 | 2024-10-09 | Lam Research Corporation | Direct-pick robot for multi station semiconductor processing chambers |
KR102686013B1 (ko) | 2024-04-23 | 2024-07-17 | 주식회사 진성산업 | 반전이송 가능한 구조를 갖는 로봇암 장치 |
Family Cites Families (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03154791A (ja) | 1989-11-14 | 1991-07-02 | Sumitomo Eaton Noba Kk | ロボット用多関節アーム |
JPH0536809A (ja) | 1991-07-31 | 1993-02-12 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体基板処理装置に於ける半導体基板搬送アーム |
JPH05109866A (ja) * | 1991-10-16 | 1993-04-30 | Nec Corp | ウエハ移載ロボツト |
US5765444A (en) | 1995-07-10 | 1998-06-16 | Kensington Laboratories, Inc. | Dual end effector, multiple link robot arm system with corner reacharound and extended reach capabilities |
US6102164A (en) | 1996-02-28 | 2000-08-15 | Applied Materials, Inc. | Multiple independent robot assembly and apparatus for processing and transferring semiconductor wafers |
JP3495903B2 (ja) * | 1998-01-30 | 2004-02-09 | 多摩川精機株式会社 | 真空モータ |
JP2000069741A (ja) * | 1998-08-19 | 2000-03-03 | Komatsu Ltd | 真空用アクチュエータ |
US6543306B1 (en) * | 1998-12-04 | 2003-04-08 | Daihen Corporation | Conveying device |
US6485250B2 (en) * | 1998-12-30 | 2002-11-26 | Brooks Automation Inc. | Substrate transport apparatus with multiple arms on a common axis of rotation |
JP4445075B2 (ja) * | 1999-10-06 | 2010-04-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空モータ及び搬送装置 |
US6601468B2 (en) * | 2000-10-24 | 2003-08-05 | Innovative Robotic Solutions | Drive system for multiple axis robot arm |
JP2002158272A (ja) * | 2000-11-17 | 2002-05-31 | Tatsumo Kk | ダブルアーム基板搬送装置 |
JP2002166376A (ja) | 2000-11-30 | 2002-06-11 | Hirata Corp | 基板搬送用ロボット |
JP3890896B2 (ja) * | 2001-01-24 | 2007-03-07 | 株式会社明電舎 | 基板搬送用ロボット |
CN1369948A (zh) * | 2001-02-13 | 2002-09-18 | 许俊甫 | 内齿轮外旋转的轮鼓式马达 |
AU2002327249A1 (en) | 2001-07-13 | 2003-01-29 | Brooks Automation, Inc. | Substrate transport apparatus with multiple independent end effectors |
JP2003170384A (ja) | 2001-12-04 | 2003-06-17 | Rorze Corp | 平板状物の搬送用スカラ型ロボットおよび平板状物の処理システム |
US7891935B2 (en) * | 2002-05-09 | 2011-02-22 | Brooks Automation, Inc. | Dual arm robot |
JP3825024B2 (ja) * | 2003-09-02 | 2006-09-20 | ミネベア株式会社 | クローポール型ステッピングモータ |
JP2006014578A (ja) * | 2004-05-24 | 2006-01-12 | Minebea Co Ltd | ステッピングモータ |
JP4303162B2 (ja) * | 2004-05-25 | 2009-07-29 | ミネベア株式会社 | アクチュエータ |
JP4274473B2 (ja) * | 2004-06-14 | 2009-06-10 | ミネベア株式会社 | アクチュエータ |
CN1942288B (zh) * | 2005-02-12 | 2010-12-22 | 应用材料公司 | 一种多轴真空电机组件 |
JP4766955B2 (ja) * | 2005-08-23 | 2011-09-07 | 株式会社デンソー | シフトレンジ切替装置 |
TWI342597B (en) | 2005-11-21 | 2011-05-21 | Applied Materials Inc | Methods and apparatus for transferring substrates during electronic device manufacturing |
US8061232B2 (en) | 2006-08-11 | 2011-11-22 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for a robot wrist assembly |
US8016542B2 (en) | 2007-05-31 | 2011-09-13 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for extending the reach of a dual scara robot linkage |
JP5172225B2 (ja) * | 2007-06-21 | 2013-03-27 | ミネベア株式会社 | Pm型ステッピングモータ |
KR20100052525A (ko) * | 2007-09-10 | 2010-05-19 | 가부시키가이샤 알박 | 기판 반송 로봇, 진공 처리 장치 |
US7975568B2 (en) * | 2008-04-24 | 2011-07-12 | Asm Technology Singapore Pte Ltd | Robotic arm driving mechanism |
KR101778519B1 (ko) * | 2009-01-11 | 2017-09-15 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 전자 디바이스 제조시에 기판을 이송하기 위한 로봇 시스템, 장치 및 방법 |
US8777547B2 (en) | 2009-01-11 | 2014-07-15 | Applied Materials, Inc. | Systems, apparatus and methods for transporting substrates |
JP5501375B2 (ja) | 2009-01-11 | 2014-05-21 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | ロボットおよびロボットの電気エンドエフェクタに電気的に接続するシステム、装置、および方法 |
GB0902394D0 (en) * | 2009-02-13 | 2009-04-01 | Isis Innovation | Electric machine- cooling |
JP2011199121A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Ulvac Japan Ltd | 搬送装置 |
TWI586500B (zh) | 2010-10-08 | 2017-06-11 | 布魯克斯自動機械公司 | 機器人運送裝置及基板處理裝置 |
US9076829B2 (en) | 2011-08-08 | 2015-07-07 | Applied Materials, Inc. | Robot systems, apparatus, and methods adapted to transport substrates in electronic device manufacturing |
US9076830B2 (en) | 2011-11-03 | 2015-07-07 | Applied Materials, Inc. | Robot systems and apparatus adapted to transport dual substrates in electronic device manufacturing with wrist drive motors mounted to upper arm |
US9202733B2 (en) | 2011-11-07 | 2015-12-01 | Persimmon Technologies Corporation | Robot system with independent arms |
WO2013090181A1 (en) | 2011-12-12 | 2013-06-20 | Applied Materials, Inc | Fully-independent robot systems, apparatus, and methods adapted to transport multiple substrates in electronic device manufacturing |
US9245783B2 (en) * | 2013-05-24 | 2016-01-26 | Novellus Systems, Inc. | Vacuum robot with linear translation carriage |
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