JP6819078B2 - エンコーダー、ロボット、及びエンコーダー一体型モーター - Google Patents

Description

この発明は、エンコーダー、ロボット、及びエンコーダー一体型モーターに関する。

光学式エンコーダー装置と磁気式エンコーダー装置とを備えたアブソリュートエンコーダーの研究や開発が行われている。

これに関し、歯車機構を備えた位置検出装置と、光学式エンコーダー装置とがハウジング内に収納されているエンコーダーであって、ハウジングが歯車機構と光学式エンコーダー装置とを隔離するように構成されているエンコーダーが知られている（特許文献１参照）。具体的には、当該エンコーダーでは、ハウジング内において歯車機構の歯車の上方に配置されたベアリングによって歯車機構と光学式エンコーダー装置との間が隔離される。これにより、当該エンコーダーは、歯車機構から光学式エンコーダー装置へのグリースや摩耗粉等の侵入を遮蔽することができる。

特開２０１３−２４５７２号公報

しかしながら、このようなエンコーダーは、ベアリングを備えていない場合と比較して、ベアリングの分だけ大きさが大きくなってしまい、小型化することが困難な場合があった。

上記課題の少なくとも一つを解決するために本発明の一態様は、歯車を有する第１位置検出器と、光学検出器を有する第２位置検出器と、前記歯車と前記光学検出器との間を、シール部を介して隔離する第１筐体と、を備えるエンコーダーである。
この構成により、エンコーダーは、シール部を介して歯車と光学検出器との間を隔離する。これにより、エンコーダーは、シール部を介して歯車と光学検出器との間を隔離しつつ小型化することができる。

また、本発明の他の態様は、エンコーダーにおいて、前記シール部は、オイルシールである、構成が用いられてもよい。
この構成により、エンコーダーでは、シール部は、オイルシールである。これにより、エンコーダーは、オイルシールを介して歯車と光学検出器との間を隔離しつつ小型化することができる。

また、本発明の他の態様は、エンコーダーにおいて、前記光学検出器は、光学素子が設けられ、第１貫通孔を有する光学基板と、第２貫通孔を有する光学ディスクとを有し、前記第１貫通孔と前記第２貫通孔を用いて、前記光学基板と前記光学ディスクとが位置決め可能である、構成が用いられてもよい。
この構成により、エンコーダーでは、第１貫通孔と第２貫通孔を用いて、光学基板と光学ディスクとが位置決め可能である。これにより、エンコーダーは、組み立て時において光学基板と光学ディスクとの相対的な位置がずれてしまうことによる誤差を抑制することができる。

また、本発明の他の態様は、エンコーダーにおいて、前記第１位置検出器は、第１歯車と、前記第１歯車に設けられた第１シャフトと、を有し、前記シール部は、前記第１シャフトと前記第１筐体との間に位置する、構成が用いられてもよい。
この構成により、エンコーダーでは、シール部は、第１シャフトと第１筐体との間に位置する。これにより、エンコーダーは、第１シャフトと第１筐体との間に位置するシール部によって歯車と光学検出器との間を隔離しつつ小型化することができる。

また、本発明の他の態様は、エンコーダーにおいて、前記第１位置検出器は、前記第１シャフトに設けられた第１磁石と、前記第１磁石から出る磁束を検出する第１磁束検出素子と、を有する、構成が用いられてもよい。
この構成により、エンコーダーでは、第１位置検出器は、第１シャフトに設けられた第１磁石と、第１磁石から出る磁束を検出する第１磁束検出素子と、を有する。これにより、エンコーダーは、第１位置検出器によって第１シャフトの角度位置を検出することができる。

また、本発明の他の態様は、エンコーダーにおいて、前記第１位置検出器は、前記第１歯車と噛み合う第２歯車と、前記第２歯車に設けられた第２磁石と、を有し、前記第２磁石と前記シール部は同一平面上に位置する、構成が用いられてもよい。
この構成により、エンコーダーでは、第１位置検出器は、第１歯車と噛み合う第２歯車と、第２歯車に設けられた第２磁石と、を有し、第２磁石とシール部は同一平面上に位置する。これにより、エンコーダーは、第２磁石と同一平面上に位置するシール部によって歯車と光学検出器との間を隔離しつつ小型化することができる。

また、本発明の他の態様は、エンコーダーにおいて、前記第１位置検出器は、前記第２磁石から出る磁束を検出する第２磁束検出素子を有し、前記第１筐体は、前記第２磁石と前記第２磁束検出素子との間に位置する第１部分を有する、構成が用いられてもよい。
この構成により、エンコーダーでは、第１位置検出器は、第２磁石から出る磁束を検出する第２磁束検出素子を有し、第１筐体は、第２磁石と第２磁束検出素子との間に位置する第１部分を有する。これにより、エンコーダーは、第２磁石と第２磁束検出素子との相対的な距離が変化してしまうことを抑制することができる。

また、本発明の他の態様は、エンコーダーにおいて、前記第１位置検出器は、前記第２磁束検出素子が設けられた磁気基板を有し、前記第１筐体に設けられた挿入部材又は前記第１筐体に形成された突起部により、前記第１筐体と前記磁気基板とが位置決め可能である、構成が用いられてもよい。
この構成により、エンコーダーでは、第１位置検出器は、第２磁束検出素子が設けられた磁気基板を有し、第１筐体に設けられた挿入部材又は第１筐体に形成された突起部により、第１筐体と磁気基板とが位置決め可能である。これにより、エンコーダーは、第１筐体と磁気基板との相対的な位置がずれてしまうことを抑制することができる。

また、本発明の他の態様は、エンコーダーにおいて、前記第１位置検出器は、前記第２歯車に挿通された第２シャフトを有し、前記第２シャフトは、モーターの筐体に形成された凹部に挿通されている、構成が用いられてもよい。
この構成により、エンコーダーでは、第２シャフトは、モーターの筐体に形成された凹部に挿通されている。これにより、エンコーダーは、第２シャフトを挿通するための他の部材を必要としないため、第２シャフトの軸方向におけるエンコーダーの大きさを小さくすることができる。

また、本発明の他の態様は、エンコーダーにおいて、前記第１シャフトの端部に凹部が形成され、前記第１シャフトの軸方向において、前記凹部を用いて、前記第２位置検出器が有する光学ディスクと前記第１シャフトとの位置決め可能である、構成が用いられてもよい。
この構成により、エンコーダーでは、第１シャフトの軸方向において、第１シャフトの凹部を用いて、第２位置検出器が有する光学ディスクと第１シャフトとの位置決め可能である。これにより、エンコーダーは、第１シャフトと光学ディスクとの相対的な位置がずれてしまうことを抑制することができる。

また、本発明の他の態様は、エンコーダーにおいて、前記第１筐体は、樹脂を含む、構成が用いられてもよい。
この構成により、エンコーダーでは、第１筐体は、樹脂を含む。これにより、エンコーダーは、エンコーダー３に熱を伝える物体からの光学検出器への伝熱を抑制し、光学検出器の熱膨張を抑制することができる。

また、本発明の他の態様は、上記に記載のエンコーダーを備える、モーターである。
この構成により、モーターは、エンコーダーにおいて、シール部を介して歯車と光学検出器との間を隔離する。これにより、モーターは、エンコーダーを含む全体の大きさを小型化することができる。

また、本発明の他の態様は、上記に記載のモーターを備える、ロボットである。
この構成により、ロボットは、モーターが備えるエンコーダーにおいて、シール部を介して歯車と光学検出器との間を隔離する。これにより、ロボットは、エンコーダーを備えるモーターを含む全体の大きさを小型化することができる。

以上により、エンコーダーは、シール部を介して歯車と光学検出器との間を隔離する。これにより、エンコーダーは、シール部を介して歯車と光学検出器との間を隔離しつつ小型化することができる。
また、モーターは、エンコーダーにおいて、シール部を介して歯車と光学検出器との間を隔離する。これにより、モーターは、エンコーダーを含む全体の大きさを小型化することができる。
また、ロボットは、モーターが備えるエンコーダーにおいて、シール部を介して歯車と光学検出器との間を隔離する。これにより、ロボットは、エンコーダーを備えるモーターを含む全体の大きさを小型化することができる。

実施形態に係るロボット１の構成の一例を示す図である。 エンコーダー３の構成の一例を示す分解斜視図である。 図２に示したエンコーダー３を他の角度から見た場合の分解斜視図である。 図２に示したエンコーダー３の分解側面図である。 図４に示したエンコーダー３を他の側面から見た場合の分解側面図である。 図４に示したエンコーダー３を組み立てた場合の断面図である。 シール部ＳＤの断面構造の一例を示す図である。 図６に示したエンコーダー３を他の方向から切断した場合の断面図である。 図６に示したエンコーダー３を更に他の方向から切断した場合の断面図である。 図６に示したエンコーダー３を更に他の方向から切断した場合の断面図である。

＜実施形態＞
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。

＜ロボットの構成＞
まず、ロボット１の構成について説明する。
図１は、実施形態に係るロボット１の構成の一例を示す図である。ロボット１は、床面や壁面等の設置面に設置される支持台Ｂと、支持台Ｂにより第１軸ＡＸ１周りに回動可能に支持された第１アームＡ１と、第１アームＡ１により第２軸ＡＸ２周りに回動可能に支持された第２アームＡ２と、第２アームＡ２により第３軸ＡＸ３周りに回動可能且つ第３軸ＡＸ３の軸方向に並進可能に支持されたシャフトＳを備えるスカラロボットである。

なお、ロボット１は、スカラロボットに代えて、垂直多関節ロボットや直角座標ロボット等の他のロボットであってもよい。なお、垂直多関節ロボットは、１つの腕を備える単腕ロボットであってもよく、２つの腕を備える双腕ロボット（２つの腕を備える複腕ロボット）であってもよく、３以上の腕を備える複腕ロボットであってもよい。また、直角座標ロボットは、例えば、ガントリロボットである。

シャフトＳは、円柱形状の軸体である。シャフトＳの周表面には、図示しないボールねじ溝とスプライン溝とがそれぞれ形成されている。シャフトＳは、この一例において、第２アームＡ２の端部のうちの第１アームＡ１と反対側の端部を、支持台Ｂが設置された設置面に対して垂直な方向である第１方向に貫通し、設けられる。また、シャフトＳの端部のうちの当該設置面側の端部は、エンドエフェクターを取り付け可能である。当該エンドエフェクターは、物体を把持可能なエンドエフェクターであってもよく、空気や磁気等によって物体を吸着可能なエンドエフェクターであってもよく、他のエンドエフェクターであってもよい。

第１アームＡ１は、この一例において、第１軸ＡＸ１周りに回動するので、第２方向に移動する。第２方向は、前述の第１方向に直交する方向である。第２方向は、例えば、ワールド座標系やロボット座標系ＲＣにおけるＸＹ平面に沿った方向である。第１アームＡ１は、支持台Ｂが備えるモーター２１によって第１軸ＡＸ１周りに回動させられる。すなわち、第１軸ＡＸ１は、モーター２１の回動軸である。

第２アームＡ２は、この一例において、第２軸ＡＸ２周りに回動するので、第２方向に移動する。第２アームＡ２は、第２アームＡ２が備えるモーター２２によって第２軸ＡＸ２周りに回動させられる。すなわち、第２軸ＡＸ２は、モーター２２の回動軸である。また、第２アームＡ２は、図示しないモーター２３及び図示しないモーター２４を備え、シャフトＳを支持する。モーター２３は、シャフトＳのボールねじ溝の外周部に設けられたボールねじナットをタイミングベルト等で回動させることにより、シャフトＳを第１方向に移動（昇降）させる。モーター２４は、シャフトＳのスプライン溝の外周部に設けられたボールスプラインナットをタイミングベルト等で回動させることにより、シャフトＳを第３軸ＡＸ３周りに回動させる。

以下では、一例として、モーター２１〜モーター２４のそれぞれが、すべて同じ構成を有している場合について説明する。なお、モーター２１〜モーター２４のうちの一部又は全部は、互いに異なる構成を有するモーターであってもよい。以下では、モーター２１〜モーター２４のそれぞれを区別する必要がない限り、これらをまとめてモーター２と称して説明する。

モーター２は、回動軸の回動角をロボット制御装置や他の装置に出力するエンコーダー３を備える。当該ロボット制御装置は、ロボット１を制御する装置である。なお、当該ロボット制御装置は、ロボット１に内蔵される構成であってもよく、ロボット１と別体の外付けである構成であってもよい。ロボット１と別体の外付けである場合、当該ロボット制御装置は、ロボット１と有線又は無線によって通信可能に接続される。

ここで、エンコーダー３の概要について説明する。エンコーダー３は、歯車を有する第１位置検出器１１と、光学検出器１３を有する第２位置検出器１２と、当該歯車と光学検出器１３との間を、シール部ＳＤを介して隔離する第１筐体４１と、を備える。これにより、エンコーダー３は、シール部ＳＤを介して当該歯車と光学検出器１３との間を隔離しつつ小型化することができる。エンコーダー３を小型化した場合、エンコーダー３を備えるモーター２１〜モーター２４のそれぞれも小型化可能である。また、モーター２１〜モーター２４のそれぞれが小型化された場合、ロボット１も小型化可能である。以下では、このようにロボット１の小型化を可能にするエンコーダー３について詳しく説明する。

＜エンコーダーの構成＞
以下、図２〜図６を参照し、エンコーダー３の構成について説明する。
図２は、エンコーダー３の構成の一例を示す分解斜視図である。また、図３は、図２に示したエンコーダー３を他の角度から見た場合の分解斜視図である。また、図４は、図２に示したエンコーダー３の分解側面図である。また、図５は、図４に示したエンコーダー３を他の側面から見た場合の分解側面図である。また、図６は、図４に示したエンコーダー３を組み立てた場合の断面図である。なお、図２〜図６には、エンコーダー３を構成する主要な部品のみを図示してあり、一部の部品については、図示を省略している。

図２〜６に示したように、エンコーダー３は、ハウジングＨＧ内に第１位置検出器１１と、第２位置検出器１２とが収納された構造を有している。第１位置検出器１１は、歯車を有する磁気式エンコーダー装置である。第２位置検出器１２は、光学検出器１３を有する光学式エンコーダー装置である。ハウジングＨＧは、２つの収納部である第１収納部３１と、第２収納部３２とから構成される。ハウジングＨＧは、第１収納部３１の内部に歯車部Ｇが収納され、第２収納部３２の内部に磁気基板ＣＢ１と、光学ディスクＤが設けられた台座Ｈと、光学基板ＣＢ２とが収納された構造を有している。

第１収納部３１は、第１収納部３１において隔壁部を構成するモータートップケースＭＴＣと、モータートップケースＭＴＣに固定された第１筐体４１とから構成される。また、第１筐体４１は、絶縁樹脂により一体成型された成形体からなり、ボルトＢＴによってモータートップケースＭＴＣに固定されている。これにより、エンコーダー３は、エンコーダー３に熱を伝える物体（この一例において、モーター２）からの光学検出器への伝熱を抑制し、光学検出器の熱膨張を抑制することができる。この一例において、第１筐体４１の材質は、ＰＯＭ（ポリアセタール）であるが、これに代えて、他の樹脂であってもよい。

モータートップケースＭＴＣは、第１シャフトＳ１の軸方向に沿ったモーター２の端部のうちのエンコーダー３側の端部を構成する部材である。第１シャフトＳ１は、モーター２の回動軸としてモーター２が有する軸体である。なお、図２〜図６には、モーター２を構成する部品について、モータートップケースＭＴＣと、第１シャフトＳ１との２つのみを図示してあり、他の部品については、図示を省略している。以下では、説明の便宜上、第１シャフトＳ１の軸方向のうちのエンコーダー３からモーター２に向かう方向を下方向と称し、モーター２からエンコーダー３に向かう方向を上方向と称して説明する。

第２収納部３２は、第２収納部３２において隔壁部を構成する第１筐体４１の上端部と、当該上端部に固定された第２筐体４２と、蓋部材ＥＣとから構成される。第２筐体４２は、導電性を有する金属により一体成型された成形体からなり、ボルトＢＴによって当該上端部に固定されている。また、蓋部材ＥＣは、ボルトＢＴによって第２筐体４２に固定されている。

ここで、ハウジングＨＧの構造について簡単にまとめると、ハウジングＨＧは、上から下に向かって蓋部材ＥＣ、第２筐体４２、第１筐体４１、モータートップケースＭＴＣの順に組み付けられ、蓋部材ＥＣ、第２筐体４２、第１筐体４１、モータートップケースＭＴＣの順に上から下に向かって挿通されたボルトＢＴ（この一例において、４本のボルトＢＴ）によって固定されている。また、第２収納部３２の内部では、光学基板ＣＢ２、台座Ｈ、磁気基板ＣＢ１のそれぞれが、上から下に向かって、光学基板ＣＢ２、台座Ｈ、磁気基板ＣＢ１の順に収納されている。

第１位置検出器１１が有する複数の部材の一部は、第１収納部３１に収納されており、当該一部と異なる他の部材は、第２収納部３２に収納されている。具体的には、第１位置検出器１１は、歯車部Ｇと、第１シャフトＳ１と、第１磁石Ｍ１と、第１磁束検出素子ＭＤ１と、第２シャフトＳ２と、第２磁石Ｍ２と、第２磁束検出素子ＭＤ２と、第３シャフトＳ３と、第３磁石Ｍ３と、第３磁束検出素子ＭＤ３と、磁気基板ＣＢ１と、光学基板ＣＢ２を有する。

歯車部Ｇは、互いに歯数や直径が異なる３つの歯車である第１歯車Ｇ１と、第２歯車Ｇ２と、第３歯車Ｇ３を有する。第１歯車Ｇ１は、第１シャフトＳ１に連結（固定）されて第１シャフトＳ１とともに回動する歯車である。すなわち、この一例において、第１歯車Ｇ１の回動軸となる軸体は、第１シャフトＳ１である。これにより、エンコーダー３は、第１シャフトＳ１と別体の軸体であって第１歯車Ｇ１の回動軸となる軸体を第１シャフトＳ１に設ける必要がないため、振動等によって第１シャフトＳ１と当該軸体との組み付けがずれてしまうことを抑制することができる。第２歯車Ｇ２と第３歯車Ｇ３はそれぞれ、第１歯車Ｇ１と噛み合う歯車である。また、第２歯車Ｇ２は、第３歯車Ｇ３と噛み合っていない。また、この一例において、エンコーダー３を上下方向と直交する方向から見た場合において、第１歯車Ｇ１と、第２歯車Ｇ２と、第３歯車Ｇ３とのそれぞれの回動軸は、第２歯車Ｇ２、第１歯車Ｇ１、第３歯車Ｇ３の順に一列に並んでいる。なお、第１歯車Ｇ１と、第２歯車Ｇ２と、第３歯車Ｇ３とのそれぞれの回動軸は、当該場合、第２歯車Ｇ２と第３歯車Ｇ３とが第１歯車Ｇ１と噛み合い、第２歯車Ｇ２と第３歯車Ｇ３とが互いに噛み合わなければ、一列に並んでいなくてもよい。

第１磁石Ｍ１は、第１シャフトＳ１に設けられた磁石である。第１磁石Ｍ１は、他の部材を介さずに第１シャフトＳ１に設けられる構成であってもよく、他の部材を介して第１シャフトＳ１に設けられる構成であってもよい。図２〜図６に示した例では、第１磁石Ｍ１は、当該他の部材として台座Ｈを介して第１シャフトＳ１の上端部に設けられている。第１磁石Ｍ１は、永久磁石であり、例えば、サマリウムコバルト磁石である。なお、第１磁石Ｍ１は、これに代えて、ネオジム磁石等の他の磁石であってもよい。第１磁束検出素子ＭＤ１は、第１磁石Ｍ１から出る磁束を検出し、検出した磁束を示す信号を出力するホール素子によって構成された磁束検出素子である。

第２シャフトＳ２は、図６に示したように、滑り軸受けとして加工された凹部ＤＣ２を有する第２歯車Ｇ２の凹部ＤＣ２に挿通された軸体である。このため、第２歯車Ｇ２は、第２シャフトＳ２を回動軸として第２シャフトＳ２周りをほぼ無負荷で回動する。また、第２シャフトＳ２は、モータートップケースＭＴＣ、すなわちモーター２の筐体に形成された凹部ＤＭ２に挿通されている。これにより、エンコーダー３は、第２シャフトＳ２を挿通するための他の部材を必要としないため、第２シャフトＳ２の軸方向におけるエンコーダー３の大きさを小さくすることができる。また、第２シャフトＳ２は、第２歯車Ｇ２を貫通せずに第２歯車Ｇ２に挿通している。第２磁石Ｍ２は、第２歯車Ｇ２の上端部に設けられた磁石である。第２磁石Ｍ２は、永久磁石であり、例えば、サマリウムコバルト磁石である。なお、第２磁石Ｍ２は、これに代えて、ネオジム磁石等の他の磁石であってもよい。第２磁束検出素子ＭＤ２は、第２磁石Ｍ２から出る磁束を検出し、検出した磁束を示す信号を出力するホール素子によって構成された磁束検出素子である。

第３シャフトＳ３は、図６に示したように、滑り軸受けとして加工された凹部ＤＣ３を有する第３歯車Ｇ３の凹部ＤＣ３に挿通された軸体である。このため、第３歯車Ｇ３は、第３シャフトＳ３を回動軸として第３シャフトＳ３周りをほぼ無負荷で回動する。また、第３シャフトＳ３は、モータートップケースＭＴＣ、すなわちモーター２の筐体に形成された凹部ＤＭ３に挿通されている。これにより、エンコーダー３は、第３シャフトＳ３を挿通するための他の部材を必要としないため、第３シャフトＳ３の軸方向におけるエンコーダー３の大きさを小さくすることができる。また、第３シャフトＳ３は、第３歯車Ｇ３を貫通せずに第３歯車Ｇ３に挿通している。第３磁石Ｍ３は、第３歯車Ｇ３の上端部に設けられた磁石である。第３磁石Ｍ３は、永久磁石であり、例えば、サマリウムコバルト磁石である。なお、第３磁石Ｍ３は、これに代えて、ネオジム磁石等の他の磁石であってもよい。第３磁束検出素子ＭＤ３は、第３磁石Ｍ３から出る磁束を検出し、検出した磁束を示す信号を出力するホール素子によって構成された磁束検出素子である。

磁気基板ＣＢ１は、第２磁束検出素子ＭＤ２及び第３磁束検出素子ＭＤ３が設けられた基板である。なお、磁気基板ＣＢ１は、２以上に分割された基板を組み合わせた基板であってもよい。
光学基板ＣＢ２は、第１磁束検出素子ＭＤ１が設けられた基板である。なお、光学基板ＣＢ２は、２以上に分割された基板を組み合わせた基板であってもよい。

第１位置検出器１１は、第１磁束検出素子ＭＤ１によって検出された第１磁石Ｍ１から出る磁束に基づいて、第１シャフトＳ１（又は第１シャフトＳ１とともに回動する第１歯車Ｇ１）の角度位置を検出する。また、第１位置検出器１１は、第２磁束検出素子ＭＤ２によって検出された第２磁石Ｍ２から出る磁束に基づいて、第２歯車Ｇ２の角度位置を検出する。また、第１位置検出器１１は、第３磁束検出素子ＭＤ３によって検出された第３磁石Ｍ３から出る磁束に基づいて、第３歯車Ｇ３の角度位置を検出する。

ここで、第１位置検出器１１では、第１筐体４１は、第２磁石Ｍ２と第２磁束検出素子ＭＤ２との間に位置する第１部分Ｐ１を有する。具体的には、図６に示したように、第２磁石Ｍ２は、第１筐体４１の上端部の一部（すなわち、第１部分Ｐ１）を挟んで第２磁束検出素子ＭＤ２と対向している。これにより、エンコーダー３は、第２磁石Ｍ２と第２磁束検出素子ＭＤ２との相対的な距離であって上下方向の距離が変化してしまうことを抑制することができる。その結果、エンコーダー３は、このような距離の変化に基づく第２歯車Ｇ２の角度位置の検出誤差を抑制することができる。

また、第１位置検出器１１では、第１筐体４１は、第３磁石Ｍ３と第３磁束検出素子ＭＤ３との間に位置する第２部分Ｐ２を有する。具体的には、図６に示したように、第３磁石Ｍ３は、第１筐体４１の上端部の一部（すなわち、第２部分Ｐ２）を挟んで第３磁束検出素子ＭＤ３と対向している。これにより、エンコーダー３は、第３磁石Ｍ３と第３磁束検出素子ＭＤ３との相対的な距離であって上下方向の距離が変化してしまうことを抑制することができる。その結果、エンコーダー３は、このような距離の変化に基づく第３歯車Ｇ３の角度位置の検出誤差を抑制することができる。

第２位置検出器１２は、光学検出器１３を有し、光を利用して第１シャフトＳ１の角度位置を検出する。光学検出器１３は、第１シャフトＳ１に固定された台座Ｈと、台座Ｈの上面に設けられた（固定された）光学ディスクＤと、光学基板ＣＢ２に設けられた（固定された）光学素子ＬＤと、図示しない発光素子を有する。

光学ディスクＤには、周方向に並ぶ複数のスリットからなる複数のスリット列が形成されている。ここで、第２位置検出器１２の構成は、公知であるため、説明を省略する。なお、光学ディスクＤのスリットは、透過型であってもよく、反射型であってもよい。前述した通り、この一例では、光学ディスクＤは、磁気基板ＣＢ１と光学基板ＣＢ２との間に配置されている。なお、磁気基板ＣＢ１と光学基板ＣＢ２とは、図示しない電気的接続部材によって電気的に接続されている。

また、第１シャフトＳ１は、図６に示したように、モータートップケースＭＴＣの下から上に向かってモータートップケースＭＴＣの上端部、第１歯車Ｇ１、第１筐体４１の上端部、磁気基板ＣＢ１の順にそれぞれを貫通している。すなわち、モータートップケースＭＴＣの上端部と、第１歯車Ｇ１と、第１筐体４１の上端部と、磁気基板ＣＢ１とのそれぞれには、第１シャフトＳ１が下から上に貫通する貫通孔が形成されている。

このようなエンコーダー３における第１筐体４１は、前述した通り、歯車部Ｇが有する歯車である第１歯車Ｇ１〜第３歯車Ｇ３のそれぞれと光学検出器１３との間を、シール部ＳＤを介して隔離する。これは、第１収納部３１に収納された当該歯車に塗布されたグリースや、当該歯車のうちの第１歯車Ｇ１と第２歯車Ｇ２及び第３歯車Ｇ３のそれぞれとの摩耗粉等のダストが、第２収納部３２の内側に含まれる物体に付着してしまうことを抑制するためである。シール部ＳＤは、例えば、オイルシールである。なお、シール部ＳＤは、オイルシールに代えて、ガスケット、パッキン、防水シール等の他のシール材であってもよい。シール部ＳＤを有するエンコーダー３は、シール部ＳＤの代わりにベアリングを有するエンコーダーと比較して、シール部ＳＤの大きさを小さくすることができるため、シール部ＳＤを介して当該歯車と光学検出器１３との間を隔離しつつ小型化することができる。

図６に示した例では、シール部ＳＤは、第１シャフトＳ１と第１筐体４１との間に位置している。具体的には、シール部ＳＤは、第１筐体４１を第１シャフトＳ１が貫通する貫通孔と、第１シャフトＳ１との間に配置される。これにより、エンコーダー３は、第１シャフトＳ１と第１筐体４１との間に位置するシール部ＳＤによって歯車部Ｇが有する歯車と光学検出器１３との間を隔離することができる。また、当該例では、シール部ＳＤは、第２磁石Ｍ２と第３磁石Ｍ３とのそれぞれと同一平面上に位置している。当該平面は、上下方向と直交する平面である。換言すると、上下方向と直交する方向であって第２磁石Ｍ２から第３磁石Ｍ３に向かう方向からエンコーダー３を見た場合において、シール部ＳＤは、第２磁石Ｍ２及び第３磁石Ｍ３の両方と重なる部分を有する。これにより、エンコーダー３は、第２磁石Ｍ２及び第３磁石Ｍ３と同一平面上に位置するシール部ＳＤによって歯車部Ｇが有する歯車と光学検出器１３との間を隔離することができる。なお、シール部ＳＤは、第２磁石Ｍ２と第３磁石Ｍ３とのうちいずれか一方のみと同一平面上に位置している構成であってもよい。この場合、エンコーダー３は、第２磁石Ｍ２と第３磁石Ｍ３のうちいずれか一方のみと同一平面上に位置するシール部ＳＤによって歯車部Ｇが有する歯車と光学検出器１３との間を隔離することができる。

また、シール部ＳＤは、図７に示した断面構造を有している。図７は、シール部ＳＤの断面構造の一例を示す図である。具体的には、図７は、シール部ＳＤの断面のうち図６に示した枠ＷＤによって囲まれた断面の一例を示す図である。図７に示したように、シール部ＳＤは、第１部材ＳＤＭが第２部材ＳＤＧによって覆われていることによって構成されている。

第１部材ＳＤＭは、材質が金属の部材であり、リング形状の部材である。図７に示した第１部材ＳＤＭの断面の形状は、Ｌ字型であるが、これに限られるわけではない。第１部材ＳＤＭは、第２部材ＳＤＧが変形し、シール部ＳＤと第１筐体４１との間に間隙ができてしまうことを抑制する。図７に示したように、第１部材ＳＤＭは、第２部材ＳＤＧに覆われている。

第２部材ＳＤＧは、材質がゴムの部材であり、第１筐体４１を第１シャフトＳ１が貫通する貫通孔と、第１シャフトＳ１との間の間隙を塞ぐ部材である。当該ゴムには、例えば、ニトリルゴム、フッ素ゴム、シリコーンゴム等が用いられるが、他の素材のゴムであってもよい。

ここで、エンコーダー３では、第１位置検出器１１が第１歯車Ｇ１〜第３歯車Ｇ３それぞれの角度位置（多回転データ）を検出し、第２位置検出器１２が第１シャフトＳ１（又は第１歯車Ｇ１）の１回転の角度位置を検出する。このため、エンコーダー３は、検出したこれらの角度位置に基づいて、第１シャフトＳ１の絶対位置を検出することができる。

また、エンコーダー３の第１位置検出器１１では、第１歯車Ｇ１〜第３歯車Ｇ３それぞれの歯数及び直径が異なるため、第１歯車Ｇ１〜第３歯車Ｇ３それぞれの回転比率が異なる。これにより、第１位置検出器１１は、第１歯車Ｇ１〜第３歯車Ｇ３それぞれの角度位置を検出し、検出した角度位置に基づく多回転データを算出することができる。また、第１位置検出器１１は、多回転データを記憶（保持）するためのバッテリーを必要としない。すなわち、エンコーダー３は、シール部ＳＤを介して歯車部Ｇが有する歯車と光学検出器１３との間を隔離しつつ小型化することができることに加えて、更にバッテリーの体積分の大きさを小さくすることができる。このような構成は、エンコーダー３を備えるモーター２、及びモーター２を備えるロボット１それぞれをより小型化するために有効である。

＜エンコーダーの組み立て時における第１シャフトへの光学ディスクの組み付け＞
以下、再び図６を参照し、エンコーダー３の組み立て時における第１シャフトＳ１への光学ディスクＤの組み付けについて説明する。

図６に示したように、第１シャフトＳ１の端部には、凹部ＤＣ１が形成されている。凹部ＤＣ１の内側には、ねじ溝が設けられている。また、台座Ｈに設けられた光学ディスクＤと、台座Ｈにはそれぞれ、光学ディスクＤ及び台座Ｈを上から見た場合における中心部分に、ねじが貫通する貫通孔が設けられている。また、台座Ｈには、第１シャフトＳ１の上端部が挿通される凹部ＤＨ１が形成されている。凹部ＤＨ１は、台座Ｈを下から見た場合における中心部分に形成されており、台座Ｈに設けられた貫通孔よりも直径が大きい。また、凹部ＤＨ１は、台座Ｈを貫通していない。

ここで、エンコーダー３は、凹部ＤＨ１を用いて、光学ディスクＤと第１シャフトＳ１との位置決め可能である。具体的には、組み立て時においてエンコーダー３では、光学ディスクＤが設けられた台座Ｈが第１シャフトＳ１に固定される際、光学ディスクＤに設けられた貫通孔、台座Ｈに設けられた貫通孔の順に、光学ディスクＤの上からこれらの貫通孔にねじが挿入される。そして、エンコーダー３では、挿入されたねじが締め付けられることにより、第１シャフトＳ１が凹部ＤＨ１の最深部まで挿通させられる。これにより、エンコーダー３では、台座Ｈと第１シャフトＳ１との相対的な位置がずれないように固定される。その結果、エンコーダー３は、第１シャフトＳ１と光学ディスクＤとの相対的な位置がずれてしまうことを抑制することができる。

なお、第１シャフトＳ１への光学ディスクＤの組み付けが終わった後、エンコーダー３では、凹部ＤＣ１に締め付けられたねじが取り外され、台座Ｈに形成された貫通孔を上から第１磁石Ｍ１によって塞ぐように第１磁石Ｍ１が台座Ｈの上端部に配置（固定）される。第１磁石Ｍ１は、例えば、台座Ｈに接着剤等によって固定される。なお、第１磁石Ｍ１は、接着剤に代えて、他の方法によって台座Ｈに固定される構成であってもよい。

＜エンコーダーの組み立て時における磁気基板と第１筐体との位置合わせ＞
以下、図８及び図９を参照し、エンコーダー３の組み立て時における磁気基板ＣＢ１と、第１筐体４１との位置合わせについて説明する。

図８は、図６に示したエンコーダー３を他の方向から切断した場合の断面図である。図８に示したように、エンコーダー３では、第１筐体４１の上端部には、上に向かって２以上の挿入部材ＬＧが設けられている（又は形成されている）。以下では、一例として、当該上端部に２つの挿入部材ＬＧが設けられている場合について説明する。

ここで、エンコーダー３は、挿入部材ＬＧにより、第１筐体４１と磁気基板ＣＢ１とが位置決め可能である。具体的には、エンコーダー３では、磁気基板ＣＢ１には、下から上に各挿入部材ＬＧに対応する貫通孔が形成されている。当該貫通孔は、挿入部材ＬＧが貫通する貫通孔である。これらの貫通孔は、挿入部材ＬＧのそれぞれが、それぞれの挿入部材ＬＧに対応する貫通孔に貫通された場合、第２磁石Ｍ２と第２磁束検出素子ＭＤ２とが前述の第１部分Ｐ１を挟んで対向し、第３磁石Ｍ３と第３磁束検出素子ＭＤ３とが前述の第２部分Ｐ２を挟んで対向するように磁気基板ＣＢ１に形成されている。

すなわち、組み立て時におけるエンコーダー３では、第１筐体４１に磁気基板ＣＢ１が配置（固定）される際、挿入部材ＬＧのそれぞれが、それぞれの挿入部材ＬＧに対応する貫通孔に貫通させられながら第１筐体４１に磁気基板ＣＢ１が配置される。これにより、エンコーダー３は、第１筐体４１と磁気基板ＣＢ１との相対的な位置がずれてしまうことを抑制することができる。

なお、第１筐体４１の上端部は、上に向かって２以上の挿入部材ＬＧが設けられた構成に代えて、図９に示したように、２以上の突起部ＬＨが形成されている構成であってもよい。図９は、図６に示したエンコーダー３を更に他の方向から切断した場合の断面図である。突起部ＬＨは、当該上端部において上に向かって形成されており、凹部ＬＨ１を有する。以下では、一例として、当該上端部に２つの突起部ＬＨが形成されている場合について説明する。

この場合、磁気基板ＣＢ１には、凹部ＬＨ１のそれぞれに対応する貫通孔が形成されている。ある凹部ＬＨ１に対応する貫通孔の輪郭は、第２磁石Ｍ２と第２磁束検出素子ＭＤ２とが第１部分Ｐ１を挟んで対向し、第３磁石Ｍ３と第３磁束検出素子ＭＤ３とが第２部分Ｐ２を挟んで対向する場合、磁気基板ＣＢ１を上から下に向かって見ると、当該凹部ＬＨ１の輪郭と重なる。

すなわち、エンコーダー３では、第１筐体４１に磁気基板ＣＢ１が配置（固定）される際、凹部ＬＨ１のそれぞれと、それぞれの凹部ＬＨ１に対応する貫通孔とにピン等の挿入部材が挿入されることによって、第１筐体４１と磁気基板ＣＢ１との相対的な位置が位置決めされ、第１筐体４１に磁気基板ＣＢ１が固定される。その結果、エンコーダー３は、第１筐体４１と磁気基板ＣＢ１との相対的な位置がずれてしまうことを抑制することができる。なお、当該挿入部材は、凹部ＬＨ１及び凹部ＬＨ１に対応する貫通孔を上から下に向かって見た場合の形状に応じた形状であれば如何なる形状であってもよい。

＜エンコーダーの組み立て時における光学基板と光学ディスクとの位置合わせ＞
以下、図１０を参照し、エンコーダー３の組み立て時における光学基板ＣＢ２と、光学ディスクＤとの位置合わせについて説明する。

図１０は、図６に示したエンコーダー３を更に他の方向から切断した場合の断面図である。図１０に示したように、エンコーダー３では、光学基板ＣＢ２は、２以上の第１貫通孔ＨＨ１を有し、光学ディスクＤは、２以上の第２貫通孔ＨＨ２を有する。以下では、一例として、光学基板ＣＢ２が２つの第１貫通孔ＨＨ１を有し、光学ディスクＤが第１貫通孔ＨＨ１のそれぞれに対応する２つの第２貫通孔ＨＨ２を有している場合について説明する。なお、光学ディスクＤが設けられた台座Ｈには、第２貫通孔ＨＨ２の真下に、第２貫通孔ＨＨ２の直径とほぼ同じ直径の凹部が設けられている。当該凹部は、台座Ｈを貫通していない。

ここで、エンコーダー３は、第１貫通孔ＨＨ１と第２貫通孔ＨＨ２とを用いて、光学基板ＣＢ２と光学ディスクＤとが位置決め可能である。具体的には、第１貫通孔ＨＨ１は、第１貫通孔ＨＨ１のそれぞれと、それぞれの第１貫通孔ＨＨ１に対応する第２貫通孔ＨＨ２とにピン等の挿入部材を挿入した場合、第１磁石Ｍ１と第１磁束検出素子ＭＤ１とが対向し、光学ディスクＤに対する光学素子ＬＤの相対的な位置が所定位置となるように光学基板ＣＢ２に形成されている。所定位置は、光学ディスクＤによって反射された光を光学素子ＬＤが検出可能な位置である。また、第１貫通孔ＨＨ１に対応する第２貫通孔ＨＨ２は、当該場合、第１磁石Ｍ１と第１磁束検出素子ＭＤ１とが対向し、光学ディスクＤに対する光学素子ＬＤの相対的な位置が所定位置となるように光学ディスクＤに形成されている。

すなわち、エンコーダー３では、第２収納部３２の内部に光学基板ＣＢ２と光学ディスクＤが設けられた台座Ｈとが配置（固定）される際、第１貫通孔ＨＨ１のそれぞれと、それぞれの第１貫通孔ＨＨ１に対応する第２貫通孔ＨＨ２とにピン等の挿入部材が挿入されながら光学基板ＣＢ２と光学ディスクＤとが当該内部に配置（固定）される。これにより、エンコーダー３は、組み立て時において光学基板ＣＢ２と光学ディスクＤとの相対的な位置がずれてしまうことによる誤差を抑制することができる。なお、当該挿入部材は、第１貫通孔ＨＨ１及び第２貫通孔ＨＨ２を上から下に向かって見た場合の形状に応じた形状であれば如何なる形状であってもよい。

なお、上記の実施形態において、エンコーダー３では、歯車部Ｇが３つの歯車である第１歯車Ｇ１〜第３歯車Ｇ３を有していたが、これに代えて、２つの歯車を有する構成であってもよく、４つ以上の歯車を有する構成であってもよい。この場合、エンコーダー３が４つ以上の歯車を有する構成の場合、エンコーダー３の角度分解能は、向上する。
また、第１位置検出器１１は、歯車部Ｇを有する磁気式エンコーダー装置であったが、これに代えて、歯車部Ｇを有するレゾルバや光学式エンコーダー装置等の歯車部Ｇを有する他のエンコーダー装置であってもよい。

以上のように、エンコーダー３は、シール部（この一例において、シール部ＳＤ）を介して歯車（この一例において、歯車部Ｇが有する歯車）と光学検出器（この一例において、光学検出器１３）との間を隔離する。これにより、エンコーダー３は、シール部を介して歯車と光学検出器との間を隔離しつつ小型化することができる。

また、エンコーダー３では、シール部は、オイルシールである。これにより、エンコーダー３は、オイルシールを介して歯車と光学検出器との間を隔離しつつ小型化することができる。

また、エンコーダー３では、第１貫通孔（この一例において、第１貫通孔ＨＨ１）と第２貫通孔（この一例において、第２貫通孔ＨＨ２）を用いて、光学基板（この一例において、光学基板ＣＢ２）と光学ディスク（この一例において、光学ディスクＤ）とが位置決め可能である。これにより、エンコーダー３は、組み立て時において光学基板と光学ディスクとの相対的な位置がずれてしまうことによる誤差を抑制することができる。

また、エンコーダー３では、シール部は、第１シャフト（この一例において、第１シャフトＳ１）と第１筐体（この一例において、第１筐体４１）との間に位置する。これにより、エンコーダー３は、第１シャフトと第１筐体との間に位置するシール部によって歯車と光学検出器との間を隔離しつつ小型化することができる。

また、エンコーダー３では、第１位置検出器（この一例において、第１位置検出器１１）は、第１シャフトに設けられた第１磁石（この一例において、第１磁石Ｍ１）と、第１磁石から出る磁束を検出する第１磁束検出素子（この一例において、第１磁束検出素子ＭＤ１）と、を有する。これにより、エンコーダー３は、第１シャフトに第１磁石を設けるための他の部材を必要としないため、振動等によって第１シャフトと当該部材との組み付けがずれてしまうことを抑制することができ、その結果、第１磁石と第１磁束検出素子との相対的な位置がずれてしまうことを抑制することができる。

また、エンコーダー３では、第１位置検出器は、第１歯車（この一例において、第１歯車Ｇ１）と噛み合う第２歯車（この一例において、第２歯車Ｇ２）と、第２歯車に設けられた第２磁石（この一例において、第２磁石Ｍ２）と、を有し、第２磁石とシール部は同一平面上に位置する。これにより、エンコーダー３は、第２磁石と同一平面上に位置するシール部によって歯車と光学検出器との間を隔離しつつ小型化することができる。

また、エンコーダー３では、第１位置検出器は、第２磁石から出る磁束を検出する第２磁束検出素子（この一例において、第２磁束検出素子ＭＤ２）を有し、第１筐体は、第２磁石と第２磁束検出素子との間に位置する第１部分（この一例において、第１部分Ｐ１）を有する。これにより、エンコーダー３は、第２磁石と第２磁束検出素子との相対的な距離が変化してしまうことを抑制することができる。

また、エンコーダー３では、第１位置検出器は、第２磁束検出素子が設けられた磁気基板（この一例において、磁気基板ＣＢ１）を有し、第１筐体に設けられた挿入部材（この一例において、挿入部材ＬＧ）又は第１筐体に形成された突起部（この一例において、突起部ＬＨ）により、第１筐体と磁気基板とが位置決め可能である。これにより、エンコーダー３は、第１筐体と磁気基板との相対的な位置がずれてしまうことを抑制することができる。

また、エンコーダー３では、第２シャフト（この一例において、第２シャフトＳ２）は、モーター（この一例において、モーター２）の筐体（この一例において、モータートップケースＭＴＣ）に形成された凹部（この一例において、凹部ＤＭ２）に挿通されている。これにより、エンコーダー３は、第２シャフトを挿通するための他の部材を必要としないため、第２シャフトの軸方向におけるエンコーダー３の大きさを小さくすることができる。

また、エンコーダー３では、第１シャフトの軸方向において、第１シャフトの凹部（この一例において、凹部ＤＣ１）を用いて、第２位置検出器（この一例において、第２位置検出器１２）が有する光学ディスクと第１シャフトとの位置決め可能である。これにより、エンコーダー３は、第１シャフトと光学ディスクとの相対的な位置がずれてしまうことを抑制することができる。

また、エンコーダー３では、第１筐体は、樹脂を含む。これにより、エンコーダー３は、エンコーダー３に熱を伝える物体（この一例において、モーター２）からの光学検出器への伝熱を抑制し、光学検出器の熱膨張を抑制することができる。

また、エンコーダー３を備えるモーター２は、シール部を介してエンコーダー３において歯車と光学検出器との間を隔離する。これにより、モーター２は、エンコーダー３を含む全体の大きさを小型化することができる。

また、モーター２を備えるロボット１は、モーター２が備えるエンコーダー３において、シール部を介して歯車と光学検出器との間を隔離する。これにより、ロボット１は、エンコーダー３を備えるモーター２を含む全体の大きさを小型化することができる。

以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない限り、変更、置換、削除等されてもよい。

１…ロボット、２、２１〜２４…モーター、３…エンコーダー、１１…第１位置検出器、１２…第２位置検出器、１３…光学検出器、３１…第１収納部、３２…第２収納部、４１…第１筐体、４２…第２筐体、Ａ１…第１アーム、Ａ２…第２アーム、ＡＸ１…第１軸、ＡＸ２…第２軸、ＡＸ３…第３軸、Ｂ…支持台、ＢＴ…ボルト、ＣＢ１…磁気基板、ＣＢ２…光学基板、Ｄ…光学ディスク、ＤＣ１〜ＤＣ３、ＤＨ１、ＤＭ１〜ＤＭ３、ＬＨ１…凹部、ＥＣ…蓋部材、Ｇ…歯車部、Ｇ１…第１歯車、Ｇ２…第２歯車、Ｇ３…第３歯車、Ｈ…台座、ＬＤ…光学素子、ＨＧ…ハウジング、ＨＨ１…第１貫通孔、ＨＨ２…第２貫通孔、ＬＧ…挿入部材、ＬＨ…突起部、Ｍ１…第１磁石、Ｍ２…第２磁石、Ｍ３…第３磁石、ＭＤ１…第１磁束検出素子、ＭＤ２…第２磁束検出素子、ＭＤ３…第３磁束検出素子、ＭＴＣ…モータートップケース、Ｓ…シャフト、Ｓ１…第１シャフト、Ｓ２…第２シャフト、Ｓ３…第３シャフト、ＳＤ…シール部

Claims (12)

1. 内部に第１空間を有し、前記第１空間と前記第１空間とは異なる第２空間との間に位置するシール部を有する、第１筐体と、
   前記第１空間に設けられた歯車を有する、第１位置検出器と、
   前記第２空間に設けられた光学検出器を有する、第２位置検出器と、
   を備え、
   前記歯車と前記光学検出器との間は、前記シール部を介して隔離されており、
   前記シール部は、オイルシール、ガスケット、パッキン、防水シールのうちのいずれかである、エンコーダー。
2. 前記光学検出器は、光学素子が設けられ、第１貫通孔を有する光学基板と、第２貫通孔を有する光学ディスクとを有し、
   前記第１貫通孔と前記第２貫通孔を用いて、前記光学基板と前記光学ディスクとが位置決めされる、
   請求項１に記載のエンコーダー。
3. 前記第１筐体は、樹脂を含む、
   請求項１又は２に記載のエンコーダー。
4. 内部に第１空間を有し、前記第１空間と前記第１空間とは異なる第２空間との間に位置する隔壁部及びシール部を有する、第１筐体と、
   前記第１空間に設けられた歯車を有する、第１位置検出器と、
   前記第２空間に設けられた光学検出器を有する、第２位置検出器と、
   を有するエンコーダーと、
   前記歯車が設けられた第１シャフトを有する 、ロボットアーム駆動用のモーターと、
   を、備え、
   前記隔壁部には、前記第１シャフトが貫通する貫通孔が設けられており、
   前記貫通孔における前記第１シャフトと前記隔壁部との間には、前記シール部が配置されており、
   前記第１空間と前記第２空間とは、前記第１シャフトの回転軸方向において、前記シール部を挟んで並んでおり、
   前記シール部は、オイルシール、ガスケット、パッキン、防水シールのうちのいずれかである、ロボット。
5. 前記第１位置検出器は、前記第１シャフトに設けられた第１磁石と、前記第１磁石から出る磁束を検出する第１磁束検出素子と、を有する、
   請求項４に記載のロボット。
6. 前記第１位置検出器は、前記第１歯車と噛み合う第２歯車と、前記第２歯車に設けられた第２磁石と、を有し、前記第２磁石と前記シール部は同一平面上に位置する、
   請求項４又は５に記載のロボット。
7. 前記第１位置検出器は、前記第２磁石から出る磁束を検出する第２磁束検出素子を有し、
   前記第１筐体は、前記第２磁石と前記第２磁束検出素子との間に位置する第１部分を有する、
   請求項６に記載のロボット。
8. 前記第１位置検出器は、前記第２磁束検出素子が設けられた磁気基板を有し、
   前記第１筐体に設けられた挿入部材又は前記第１筐体に形成された突起部により、前記第１筐体と前記磁気基板とが位置決めされる、
   請求項７に記載のロボット。
9. 前記第１位置検出器は、前記第２歯車に挿通された第２シャフトを有し、
   前記第２シャフトは、モーターの筐体に形成された凹部に挿通されている、
   請求項６から８のうちいずれか一項に記載のロボット。
10. 前記第１シャフトの端部に凹部が形成され、前記第１シャフトの軸方向において、前記凹部を用いて、前記第２位置検出器が有する光学ディスクと前記第１シャフトとが位置決めされる、
    請求項４から９のうちいずれか一項に記載のロボット。
11. 前記第１筐体は、樹脂を含む、
    請求項４から１０のうちいずれか一項に記載のロボット。
12. 内部に第１空間を有し、前記第１空間と前記第１空間とは異なる第２空間との間に位置するシール部を有する、第１筐体と、
    前記第１空間に設けられた歯車を有する、第１位置検出器と、
    前記第２空間に設けられた光学検出器を有する、第２位置検出器と、
    を有するエンコーダーと、
    前記歯車が設けられた第１シャフトと、
    を備えるロボットアーム駆動用のモーターであって、
    前記隔壁部には、前記第１シャフトが貫通する貫通孔が設けられており、
    前記貫通孔における前記第１シャフトと前記隔壁部との間には、前記シール部が配置されており、
    前記第１空間と前記第２空間とは、前記第１シャフトの回転軸方向において、前記シール部を挟んで並んでおり、
    前記シール部は、オイルシール、ガスケット、パッキン、防水シールのうちのいずれかである、エンコーダー一体型モーター。

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