JP2016215342A - ウェーハの回収方法及び両面研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】キャリアに保持されたウェーハを、該ウェーハの表面が前記上定盤側となるように上下定盤に貼付された研磨布で挟み込み、前記キャリアを自転及び公転させ、スラリーを供給しつつ前記ウェーハの両面を同時に研磨した後の前記ウェーハの回収方法であって、両面研磨後の前記ウェーハが前記上定盤に吸着されたまま前記上定盤を上昇させる工程と、前記上定盤に吸着された前記ウェーハの裏面又はエッジを保持して前記ウェーハを回収する工程を含むことを特徴とするウェーハの回収方法。
【選択図】 図1
Description
両面研磨後の前記ウェーハが前記上定盤に吸着されたまま前記上定盤を上昇させる工程と、前記上定盤に吸着された前記ウェーハの裏面又はエッジを保持して前記ウェーハを回収する工程を含むことを特徴とするウェーハの回収方法を提供する。
前記下定盤に貼付された前記研磨布は溝パターンが形成され、前記上定盤に貼付された研磨布は溝パターンが形成されておらず、
前記上定盤は、両面研磨後の前記ウェーハを吸着したまま上昇させることができ、
前記ハンドリング装置は、前記上定盤に吸着されたまま上昇した前記ウェーハの下から、該ウェーハの裏面又はエッジを保持して前記ウェーハを回収することができるものであることを特徴とする両面研磨装置を提供する。
まず、キャリア4に保持されたウェーハWを、ウェーハWの表面が上定盤3a側となるように上下定盤3a、3bに貼付された研磨布2a、2bで挟み込む。そして、キャリア4を自転及び公転させ、ノズル5a、5bからスラリーを供給しつつウェーハWの両面を同時に研磨する。この際、図2に示す蓋8を除去して、ノズル5aのラインを開けることにより、ノズル5aからスラリー10を供給することができるようになる。
次に、両面研磨後のウェーハWが上定盤3aに吸着されたまま上定盤3aを上昇させる。
そして、ハンドリング装置6で、上定盤3aに吸着されたウェーハWの裏面又はエッジを保持してウェーハWを回収する。
上定盤、下定盤、サンギア、インターナルギアの各駆動部を有する4way式の両面研磨装置の本体として、DSP−20B(不二越機械工業製)を用いて、直径300mmのP型シリコン単結晶ウェーハの両面研磨を行った。
まず、図6に示すような従来の両面研磨装置101を用いてウェーハWの両面研磨を行った。この両面研磨装置101の上定盤103aに貼付された研磨布102a及び、下定盤103bに貼付された研磨布102bには、共に溝パターンが形成されていない。
2b…(下定盤に貼付された)研磨布、 3a…上定盤、 3b…下定盤、
4…キャリア、 5a、5b…ノズル、 6…ハンドリング装置、 7…剥離水、
8…蓋、 9…溝パターン、 10…スラリー、 11…タンク、 W…ウェーハ。
Claims (6)
- キャリアに保持されたウェーハを、該ウェーハの表面が前記上定盤側となるように上下定盤に貼付された研磨布で挟み込み、前記キャリアを自転及び公転させ、スラリーを供給しつつ前記ウェーハの両面を同時に研磨した後の前記ウェーハの回収方法であって、
両面研磨後の前記ウェーハが前記上定盤に吸着されたまま前記上定盤を上昇させる工程と、前記上定盤に吸着された前記ウェーハの裏面又はエッジを保持して前記ウェーハを回収する工程を含むことを特徴とするウェーハの回収方法。 - 前記上定盤を上昇させる工程は、前記上定盤側から前記キャリアに剥離水を流して、前記ウェーハが前記上定盤に吸着されたまま、前記キャリアを前記上定盤から剥離させること含むことを特徴とする請求項1に記載のウェーハの回収方法。
- 前記下定盤に貼付する前記研磨布として、50mm以上200mm以下のピッチで形成された溝パターンを有するものを用いることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のウェーハの回収方法。
- 研磨布が貼付された上下定盤と、該上下定盤の間でウェーハを保持するためのキャリアと、スラリーを供給するためのノズルと、研磨後の前記ウェーハを保持して回収するためのハンドリング装置とを有する両面研磨装置であって、
前記下定盤に貼付された前記研磨布は溝パターンが形成され、前記上定盤に貼付された研磨布は溝パターンが形成されておらず、
前記上定盤は、両面研磨後の前記ウェーハを吸着したまま上昇させることができ、
前記ハンドリング装置は、前記上定盤に吸着されたまま上昇した前記ウェーハの下から、該ウェーハの裏面又はエッジを保持して前記ウェーハを回収することができるものであることを特徴とする両面研磨装置。 - 前記ノズルは、前記ウェーハの両面研磨後に、前記上定盤側から前記キャリアにのみ剥離水を流すことができるものであることを特徴とする請求項4に記載のウェーハの両面研磨装置。
- 前記下定盤に貼付された前記研磨布は、50mm以上200mm以下のピッチで形成された溝パターンが形成されたものであることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載の両面研磨装置。
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