JPH0966448A - 研磨装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 キャリアー６の薄肉化、径大化にも対応し得
て、研磨加工終了後に上昇される上側定盤３の研磨加工
面９ａから、これに吸着しようとするワークキャリアー
４を確実に剥離させることができる。 【解決手段】 上側定盤３の下面研磨加工面９ａに、研
磨加工動作終了時におけるワークキャリアー６のワーク
保持孔１０領域を除く中央側領域に対し高圧エアーＦを
吐出する吹出し口１１が設けられている。そして、研磨
加工動作終了後、上側定盤３がその吹出し口１１から高
圧エアーＦの吹出しを行ないながら上昇されていくよう
になされている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば磁気ディ
スク用アルミニウム基板等のワークの研磨加工に用いら
れる研磨装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば磁気ディスク用のアルミニ
ウム基板の研磨加工を行なう研磨加装置として、図７に
示されるような研磨装置（51）が用いられている。

【０００３】この研磨装置（51）は、太陽歯車（52）
と、該太陽歯車（52）の同心外方部に配置された内歯歯
車（53）と、太陽・内歯の両歯車（52）（53）間に両歯
車（52）（53）に噛合状態に配置された外歯歯車状の合
成樹脂製のワークキャリアー（54）と、上下の研磨用定
盤（55）（56）とが備えられている。そして、ワークキ
ャリアー（54）に設けられている各ワーク保持孔（57）
…にそれぞれ磁気ディスク用アルミニウム基板用のワー
ク（Ａ）を配置して、上下の研磨用定盤（55）（56）の
砥石による各研磨加工面（59）（60）をワーク（Ａ）…
の上下各面に加圧接触させた状態にし、水ないしは研磨
液を供給しながら、太陽歯車（52）を回転駆動せしめて
ワークキャリアー（54）を太陽歯車（52）の回りで自転
させながら公転させ、更に、上下の定盤（55）（56）も
回転させることによって、各ワーク（Ａ）の上下両面を
研磨加工するようになされている。

【０００４】ところで、例えばこの研磨研磨装置におい
て、ワーク（Ａ）…の研磨後、ワーク（Ａ）…の取出し
のために上側の研磨用定盤（56）を上昇させた際、ワー
クキャリアー（54）が、研磨加工中に使用した水ないし
は研磨液の表面張力作用等により、上側定盤（56）の研
磨加工面（60）に吸着して、上側定盤（56）とともに上
昇してしまい、該ワークキャリアー（54）が太陽・内歯
の両歯車（52）（53）から外れてしまうことがある。

【０００５】そこで、従来、このような事態の発生を防
ぐ目的において、図８に示されるように、太陽歯車（5
2）にその周端部から外方に若干量突出する吸着阻止片
（61）が設けられると共に、内歯歯車（53）にも内方に
若干量突出する吸着阻止片（62）が設けられ、上側定盤
（56）の上昇時に、ワークキャリアー（54）の周端部を
これら吸着阻止片（61）（61）に当接させ、それによっ
て、上側定盤（56）へのワークキャリアー（54）の吸着
を阻止するようになされた研磨装置が提案されている
（特開昭４−２５３７４号公報参照）。なお、吸着阻止
片（61）（62）の飛出し量を大きくしすぎると、本来の
研磨加工の妨げとなるので、飛出し量を余り大きくする
ことはできなかった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上側定
盤（56）へのワークキャリアー（54）の吸着を上記のよ
うな手段（60）（61）で阻止するのは、もはや困難な情
況を生じる場合が出てきている。

【０００７】即ち、最近の磁気ディスク用アルミニウム
基板（Ａ）は、製品の軽量化、集積化の要請から、その
肉厚が薄くされる傾向があり、そのため、それに応じ
て、ワークキャリアー（54）も肉薄化の傾向にある。の
みならず、量産研磨の要請から、一つのワークキャリア
ー（54）に保持せしめるワーク（Ａ）の数も増加させて
いくことが求められるようになってきており、それに伴
って、ワークキャリアー（54）の径サイズも大きくされ
ていく傾向にある。

【０００８】具体的には、磁気ディスクの場合、その肉
厚が０．６ｍｍとかなりの肉薄に設計されるようになっ
てきており、そのため、ワークキャリアー（54）はこれ
よりも更に肉薄に形成しなければならない情況となって
いる。また、３．５インチの磁気ディスク用アルミニウ
ム基板（Ａ）を１つのワークキャリアー（54）に１０枚
保持させ、ワークキャリアー（54）を太陽歯車（52）と
内歯歯車（53）との間に５枚配置させて、一度に５０枚
の基板（Ａ）の研磨加工を行なえるようにするため、キ
ャリアー（54）として直径１６インチのものや、直径１
７インチのものなど、サイズ的に大型のものが使用され
る傾向にある。

【０００９】従って、上記のようにワークキャリアー
（54）が薄肉化され、またその直径サイズが大型化して
きていることに起因して、ワークキャリアー（54）がそ
れ自体で非常に撓み易いものになってきており、そのた
め、上側定盤（56）にワークキャリアー（54）が吸着す
るのを、太陽歯車（52）及び内歯歯車（53）から突出せ
しめた吸着阻止片（61）（62）にワークキャリアー（5
4）の周端部を係合せしめるという上記のような浮き上
がり阻止手段では、もはや上側定盤（56）からのキャリ
アー（54）の剥離が困難な情況になってきている。

【００１０】この発明は、上記のような技術背景に鑑
み、キャリアーの薄肉化、径大化にも対応し得て、研磨
加工終了後に上昇される上側定盤の研磨加工面から、ワ
ークキャリアーを確実に剥離させることができる研磨装
置を提供することを課題とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題は、太陽歯車
と、該太陽歯車の同心外方部に配置された内歯歯車と、
複数のワーク保持部を有して、太陽・内歯の両歯車間に
両歯車に噛合状態に配置された外歯歯車状のワークキャ
リアーと、下面が研磨加工面とされ、回転駆動される上
側研磨用定盤とが備えられ、太陽・内歯の両歯車によっ
て前記ワークキャリアーが太陽歯車の回りで自転しなが
ら公転されると共に、上側定盤がその下面研磨加工面を
キャリアーのワーク保持部に保持されている複数のワー
クに接触状態で回転駆動されることにより、ワークの少
なくとも上面を研磨加工するようになされた研磨装置に
おいて、研磨加工動作終了時に、前記ワークキャリアー
が所定の定位置にて停止されると共に、該ワークキャリ
アーの各ワーク保持部も所定の定位置にて停止され、か
つ、上側研磨用定盤も所定の定位置にて回転停止される
ように動作制御され、上側定盤の下面研磨加工面には、
前記研磨加工動作終了時におけるワークキャリアーのワ
ーク保持部領域を除く中央側領域に対しキャリアー剥離
用流体を吐出するキャリアー剥離用流体吹出し口が設け
られ、研磨加工動作終了後、上側研磨用定盤がその吹出
し口からキャリアー剥離用流体の吹出しを行ないながら
上昇されていくようになされていることを特徴とする研
磨装置によって解決される。

【００１２】即ち、上記研磨装置では、上側定盤の下面
研磨加工面に、ワークキャリアーのワーク保持部領域を
除く中央側領域に対し、キャリアー剥離用流体を吐出す
るキャリアー剥離用流体吹出し口が設けられ、上側研磨
用定盤がその吹出し口からキャリアー剥離用流体の吹出
しを行ないながら上昇されていくようになされているこ
とにより、ワークキャリアーは、その肉厚が薄くても、
またサイズ的に大きくても、このキャリアー剥離用流体
の作用で、確実に上側定盤から剥離され、ワークキャリ
アーが太陽・内歯の両歯車から外れてしまうのが確実に
防止される。

【００１３】しかも、上側定盤の下面研磨加工面に設け
たこのキャリアー剥離用流体吹出し口が研磨加工動作の
妨げになることもない。

【００１４】また、上記課題は、太陽歯車と、該太陽歯
車の同心外方部に配置された内歯歯車と、複数のワーク
保持部を有して、太陽・内歯の両歯車間に両歯車に噛合
状態に配置された外歯歯車状のワークキャリアーと、下
面が研磨加工面とされ、回転駆動される上側研磨用定盤
とが備えられ、太陽・内歯の両歯車によって前記ワーク
キャリアーが太陽歯車の回りで自転しながら公転される
と共に、上側定盤がその下面研磨加工面をキャリアーの
ワーク保持部に保持されている複数のワークに接触状態
で回転駆動されることにより、ワークの少なくとも上面
を研磨加工するようになされた研磨装置において、研磨
加工動作終了時に、前記ワークキャリアーが所定の定位
置にて停止されると共に、該ワークキャリアーの各ワー
ク保持部も所定の定位置にて停止され、かつ、上側研磨
用定盤も所定の定位置にて回転停止されるように動作制
御され、上側定盤には、前記研磨加工動作終了時におけ
るワークキャリアーのワーク保持部領域を除く中央側領
域に対応して、該上側定盤の下面研磨加工面から下方に
突出可能なキャリアー剥離用突押し部材が進退可能に備
えられ、研磨加工動作終了後、上側研磨用定盤が、その
下面研磨加工面からキャリアー剥離用突押し部材を下方
に突出させていきながら上昇されていくようになされて
いることを特徴とする研磨装置によって解決される。

【００１５】即ち、上側定盤には、ワークキャリアーの
ワーク保持部領域を除く中央側領域に対応して、該上側
定盤の下面研磨加工面から下方に突出可能なキャリアー
剥離用突押し部材が進退可能に備えられ、上側研磨用定
盤が、その下面研磨加工面からキャリアー剥離用突押し
部材を下方に突出させていきながら上昇されていくよう
になされていることにより、ワークキャリアーは、その
肉厚が薄くても、またサイズ的に大きくても、このキャ
リアー剥離用突押し部材の突押し作用で、確実に上側定
盤から剥離され、ワークキャリアーが太陽・内歯の両歯
車から外れてしまうのが確実に防止される。

【００１６】しかも、上側定盤に設けたこのキャリアー
剥離用突押し部材が研磨加工動作の妨げになることもな
い。

【００１７】

【発明の実施の形態】次に、本発明の研磨装置を磁気デ
ィスク用アルミニウム基板の研磨加工を行なう研磨装置
に適用した場合の実施形態について、図面に基づいて説
明する。

【００１８】第１図ないし第３図に示される研磨装置
（１）において、（２）は下側定盤、（３）は上側定
盤、（４）は太陽歯車、（５）は内歯歯車、（６）はワ
ークキャリアーである。

【００１９】下側定盤（２）は、その上部に所定厚さの
環盤状の砥石（７）が取着されたもので、図示しない回
転駆動装置により自軸回りでの回転を行い、かつ、昇降
駆動装置により必要に応じて上下方向にも移動できるよ
うになされている。

【００２０】太陽歯車（４）は、下側定盤（２）の砥石
（７）の軸芯部空洞内に、その上部側を砥石（７）の上
面研磨加工面（7a）から上方に突出させた状態に配置さ
れ、図示しない回転駆動装置により自軸回りでの回転を
行いうるようになされている。この回転駆動装置は、設
定回転回数に応じた回数だけ、太陽歯車（４）を回転さ
せることができるようになされている。

【００２１】また、内歯歯車（５）は、太陽歯車（４）
の径方向外方でかつ砥石（７）の外方の位置に、太陽歯
車（４）との間に環状のスペースをおいてその上部側を
砥石（７）の上面から上方に突出させた状態で太陽歯車
（４）と同心状に固定状態に配設されている。

【００２２】ワークキャリアー（６）は、薄板状外歯歯
車によるもので、上記太陽歯車（４）と内歯歯車（５）
との間のドーナツ状のスペース内に１個ないしは複数個
配置され、太陽、内歯の両歯車（４）（５）に噛合され
ている。このワークキャリアー（６）には、磁気ディス
ク用基板（Ａ）の外周形状に沿う円形の保持孔（10）が
ワーク保持部として複数個設けられている。また、この
ワークキャリアー（６）の厚さは、磁気ディスク用基板
（Ａ）の厚さよりも薄く形成され、前記保持孔（10）内
に磁気ディスク用基板（Ａ）を配置した状態で該基板
（Ａ）の上下の面が保持孔（10）の外方に突出しうるよ
うになされている。

【００２３】上側定盤（３）は、その下部に所定厚さの
環盤状の砥石（９）が取着されたもので、下側定盤
（２）の上方位置に同軸状に対向配置され、回転駆動装
置により自軸回りでの回転を行い、昇降作動装置により
昇降されうるようになされている。

【００２４】ここに、上記研磨装置は、研磨加工動作終
了時に、前記ワークキャリアー（６）が所定の定位置に
て停止されると共に、該ワークキャリアー（６）の各ワ
ーク保持孔（10）…も所定の定位置にて停止され、か
つ、上側研磨用定盤（３）も所定の定位置にて回転停止
されるように動作制御されるようになされている。この
動作制御を容易なものとすべく、例えば、上記太陽歯車
（４）、内歯歯車（５）及びワークキャリアー（６）相
互間の歯数比は１：３：１に設定されると共に、太陽歯
車（４）がその回転駆動装置により研磨加工のために４
の整数倍数回回転されて回転停止されるように制御され
るものとなされ、それによって、キャリアー（６）がそ
の公転経路上の所定の定位置で自動停止され、かつ、そ
の保持孔（10）も自転公転開始時の所定の定位置で自動
停止されるようになされている。

【００２５】そして、上側定盤（３）の下面研磨加工面
（9a）には、キャリアー剥離用流体（Ｆ）を吐出するキ
ャリアー剥離用流体吹出し口（11）…が設けられてい
る。この吹出し口（11）…は、ワークキャリアー（６）
…の数に対応する数だけ備えられており、各吹出し口
（10）…の位置は、この研磨加工動作終了時における各
ワークキャリアー（６）…のワーク保持孔（10）…領域
を除く中央側領域に正対するように定められている。

【００２６】キャリアー剥離用流体（Ｆ）としては、高
圧空気がその制御上の簡便性から最も一般的であるが、
水、研磨液等の液体であってもよい。

【００２７】上記研磨装置（１）は、全体として次のよ
うに動作制御されて基板（Ａ）…の研磨加工を行なって
いく。

【００２８】即ち、上側定盤（３）は上方待機位置に位
置された状態で、磁気ディスク用基板（Ａ）…をワーク
キャリアー（６）…の保持孔（10）…内に配置してい
く。研磨装置（１）は、上記のように、研磨加工動作終
了時に、ワークキャリアー（６）…が所定の定位置にて
停止されると共に、該ワークキャリアー（６）…の各ワ
ーク保持孔（10）…も所定の定位置にて停止されるよう
になされているから、各キャリアー（６）…の保持孔
（10）…への基板（Ａ）…のローディング作業は、手作
業によらず、搬送装置等を用いて自動にて、すべての基
板（Ａ）…を一括して行なうようにすることができる。

【００２９】基板（Ａ）…の配置後、上側定盤（３）が
下降作動され、上下の砥石（７）（９）の研磨加工面
（7a）（9a）が基板（Ａ）…の両面に接触され、加圧状
態にされる。そして、水ないしは研磨液の供給下におい
て、図３（イ）に示されるように、太陽歯車（４）及び
上下の定盤（２）（３）が回転駆動され、それによりワ
ークキャリアー（６）が自転しながら太陽歯車（４）の
回りを公転し、磁気ディスク用基板（Ａ）…が砥石
（７）（９）の研磨加工面（7a）（9a）面上を摺動して
該基板（Ａ）…が両面研磨される。

【００３０】そして、太陽歯車（４）は予め設定された
４の整数倍数回の回転を行った時点で、また上側定盤
（３）は予め設定された整数回数の回転を行った時点
で、下側定盤（２）とともに回転停止される。この停止
状態で、キャリアー（６）は太陽歯車（４）の回転開始
時点における位置に復帰し、また、各ワーク保持孔（6
0）の位置も回転開始時の位置に復帰し、更に、上側定
盤（３）も最初の位置に復帰した状態となる。これによ
り、上側定盤（３）の研磨加工面（9a）に開口されてい
る各剥離用流体吹出し口（11）…が各キャリアー（６）
…の上面中央部にそれぞれ正対された状態となる。

【００３１】この研磨加工終了状態において、図３
（ロ）に示されるように、上側定盤（３）の研磨加工面
（9a）に開口されている各剥離用流体吹出し口（11）…
から高圧エアー（Ｆ）…が吹き出され、これが各キャリ
アー（６）…の上面中央部に吹き当てられ、各キャリア
ー（６）…は、下側定盤（２）の砥石（７）の上面研磨
加工面（7a）側に付勢される。

【００３２】この吹出し状態を維持しながら、図３
（ハ）に示されるように、上側定盤（３）が上昇作動さ
れていき、それによって、このエアー（Ｆ）の吹き付け
作用により、上側定盤（３）の研磨加工面（9a）からワ
ークキャリアー（６）…が剥離され、上側定盤（３）は
ワークキャリアー（６）…を吸着させることなく上方待
機位置まで復帰される。その結果、キャリアー（６）…
は、上側定盤（３）の上昇復帰動作によって、太陽、内
歯の両歯車（４）（５）から外れてしまうということが
確実に防がれ、両歯車（４）（５）との噛合状態をしっ
かりと保持する。なお、剥離用流体（Ｆ）の吹出しは、
上側定盤（３）の上昇作動と同時又は若干遅れて行われ
てもよい。

【００３３】そののちは、研磨済みの基板（Ａ）…が取
り出され、次の基板（Ａ）…がまたワークキャリアー
（６）…の保持孔（10）…内に配置されて上側定盤
（３）が下降作動され、上記と同様の動作が繰り返され
る。研磨装置（１）は、上記のように、研磨加工動作終
了時に、ワークキャリアー（６）…が所定の定位置にて
停止されると共に、該ワークキャリアー（６）…の各ワ
ーク保持孔（10）…も所定の定位置にて停止されるよう
になされているから、各キャリアー（６）…の保持孔
（10）…からの基板（Ａ）…のアンローディング作業
も、手作業によらず、搬送装置等を用いて自動にて、す
べての基板（Ａ）…を一括して行なうようにすることが
できる。

【００３４】上記研磨装置によれば、ワークキャリアー
（６）…が薄肉で、サイズ的に大型のものであっても、
上側定盤（３）へのキャリアー（６）の吸着を確実に防
止することができ、太陽歯車（４）及び内歯歯車（５）
からのキャリアー（６）の不本意な外れに伴う再配置に
起因した太陽歯車（４）、内歯歯車（５）及びキャリア
ー（６）相互間の噛合位置関係の狂いの発生を防止でき
て、基板（Ａ）のローデング、アンローデングの自動化
にとりわけ大きく寄与することができる。

【００３５】図４ないし図６には、本発明の他の実施形
態にかかる研磨装置を示す。本実施形態にかかる研磨装
置では、上側定盤（３）に、上記実施形態における剥離
用流体吹出し口（11）…が省略され、それに替えて、突
押し部材（15）…が備えられている。この突押し部材
（15）…はエアーシリンダー（16）のシリンダーロッド
に備えられたもので、エアーシリンダー（16）は上側定
盤（３）の上面側に取り付け装備され、このエアーシリ
ンダー（16）の駆動により、突押し部材（15）が、上側
定盤（３）の下面研磨加工面（9a）から下方に突出する
ように進退可能に備えられている。突押し部材（15）の
先端部は、常時は、上側定盤（３）の下面研磨加工面
（9a）から下方に突出しないように退入して待機されて
いる。この突押し部材（15）が、ワークキャリアー
（６）…の数に対応する数だけ上側定盤（３）に備えら
れており、各突押し部材（15）…の位置は、研磨加工動
作終了時における各ワークキャリアー（６）…のワーク
保持孔（10）…領域を除く中央側領域に正対するように
定められている。その他は、上記実施形態と同様の構成
である。

【００３６】本実施形態では、研磨加工終了後、図６
（イ）（ロ）（ハ）に示されるように、上側定盤（３）
が上昇作動されていき、それに伴って、各エアーシリン
ダー（16）…が作動され、各突押し部材（15）…が上側
定盤（３）の下面研磨加工面（9a）から下方に突出され
ていき、それによって、上側定盤（３）の研磨加工面
（9a）からワークキャリアー（６）…が剥離される。そ
の結果、上側定盤（３）はその研磨加工面（9a）にワー
クキャリアー（６）…を吸着させることなく上方待機位
置に復帰され、キャリアー（６）…は、上側定盤（３）
の上昇復帰動作によって、太陽、内歯の両歯車（４）
（５）から外れてしまうということが確実に防止され、
両歯車（４）（５）との噛合状態をしっかりと保持する
ことができる。各突押し部材（15）…は、この剥離動作
後、上側定盤（３）の研磨加工面（9a）から退入復帰さ
れる。

【００３７】本実施形態のように、突押し部材（15）…
にて上側定盤（３）からのワークキャリアー（６）…の
剥離を行なう構成をとることにより、より一層確実に、
キャリアー（６）…の剥離を遂行することができる。特
に、剥離用流体（Ｆ）では、ワーク保持孔（10）…の数
が多くなればなるほど、キャリアー（６）の上面への流
体の吹き付け圧力ないしはエアーフロー状態にアンバラ
ンスを生じやすくなり、キャリアー（６）の剥離性能の
低下の傾向が現れてくるのに対し、突押し部材（15）…
による剥離では、そのような不都合を生じることがな
く、従って、キャリアー（６）…がサイズ的に大きなも
のになればなるほど、突押し部材（15）…による剥離構
成は有利に作用することができるようになる。

【００３８】なお、上記各実施形態にかかる研磨装置で
は、磁気ディスク用アルミニウム基板（Ａ）を研磨加工
の対象としているが、これに限定されるものではなく、
各種ワークの研磨加工に用いられてよい。また、上記各
実施形態では、ワークの両面を研磨加工する構成となさ
れているが、いずれか一方の面を研磨加工する構成の片
面研磨装置であってもよい。また、上記の研磨装置
（１）は砥石にて研磨を行なう装置に構成されている
が、本発明の研磨装置は、砥粒を用いたラップ盤による
研磨装置、その他、研削装置等にも適用され得るもので
ある。即ち、本発明でいうところの「研磨装置」の語
は、少なくとも、太陽歯車（４）と、内歯歯車（５）
と、キャリアー（６）と、上側定盤（３）とを備え、ワ
ークの表面を摺擦によって加工する装置という広い概念
において使用しているものである。

【００３９】

【発明の効果】上述の次第で、本発明の一方の研磨装置
は、上側定盤の下面研磨加工面に、ワークキャリアーの
ワーク保持部領域を除く中央側領域に対し、キャリアー
剥離用流体を吐出するキャリアー剥離用流体吹出し口が
設けられ、上側研磨用定盤がその吹出し口からキャリア
ー剥離用流体の吹出しを行ないながら上昇されていくよ
うになされているから、ワークキャリアーは、その肉厚
が薄くても、またサイズ大きくても、このキャリアー剥
離用流体の作用で、確実に上側定盤から剥離され、ワー
クキャリアーが太陽・内歯の両歯車から外れてしまうの
を確実に防止することができる。

【００４０】しかも、上側定盤の下面研磨加工面に設け
たこのキャリアー剥離用流体吹出し口が研磨加工動作の
妨げになることもない。

【００４１】加えて、研磨装置は、研磨加工動作終了時
に、前記ワークキャリアーが所定の定位置にて停止され
ると共に、該ワークキャリアーの各ワーク保持部も所定
の定位置にて停止され、かつ、上側研磨用定盤も所定の
定位置にて回転停止されるように動作制御されるものと
なされているから、上記のように、キャリアー剥離用流
体吹出し口を、研磨加工動作終了時におけるワークキャ
リアーのワーク保持部領域を除く中央側領域に対してキ
ャリアー剥離用流体を吐出するように容易に設けること
ができて、研磨加工動作終了後の上側研磨用定盤の上昇
過程でキャリアー剥離用流体をワークキャリアーのワー
ク保持部領域を除く中央側領域に対し安定的に吹き付け
ることができ、キャリアーを上側定盤から力学的に安定
良く確実に剥離させることができる。

【００４２】のみならず、研磨装置は、研磨加工動作終
了時に、前記ワークキャリアーが所定の定位置にて停止
されると共に、該ワークキャリアーの各ワーク保持部も
所定の定位置にて停止され、かつ、上側研磨用定盤も所
定の定位置にて回転停止されるように動作制御されるも
のとなされていると共に、このように上側定盤に対する
キャリアーの吸着を確実に防止しうるから、ワークのロ
ーディング・アンローディングの自動化を効果的に達成
するのにとりわけ大きく寄与することができる。

【００４３】また、本発明のもう一方の研磨装置は、上
側定盤に、ワークキャリアーのワーク保持部領域を除く
中央側領域に対応して、該上側定盤の下面研磨加工面か
ら下方に突出可能なキャリアー剥離用突押し部材が進退
可能に備えられ、上側研磨用定盤が、その下面研磨加工
面からキャリアー剥離用突押し部材を下方に突出させて
いきながら上昇されていくようになされているから、ワ
ークキャリアーは、その肉厚が薄くても、またサイズ大
きくても、このキャリアー剥離用突押し部材の突押し作
用で、確実に上側定盤から剥離され、ワークキャリアー
が太陽・内歯の両歯車から外れてしまうのを確実に防止
することができる。

【００４４】しかも、上側定盤に設けたこのキャリアー
剥離用突押し部材が研磨加工動作の妨げになることもな
い。

【００４５】加えて、この研磨装置は、研磨加工動作終
了時に、前記ワークキャリアーが所定の定位置にて停止
されると共に、該ワークキャリアーの各ワーク保持部も
所定の定位置にて停止され、かつ、上側研磨用定盤も所
定の定位置にて回転停止されるように動作制御されるも
のとなされているから、上記のように、キャリアー剥離
用突押し部材を、研磨加工動作終了時におけるワークキ
ャリアーのワーク保持部領域を除く中央側領域に対して
突押しし得るように容易に設けることができて、研磨加
工動作終了後の上側研磨用定盤の上昇過程でキャリアー
剥離用突押し部材をワークキャリアーのワーク保持部領
域を除く中央側領域に対し安定的に突出させることがで
き、キャリアーを上側定盤から力学的に安定良く確実に
剥離させることができる。

【００４６】のみならず、研磨装置は、研磨加工動作終
了時に、前記ワークキャリアーが所定の定位置にて停止
されると共に、該ワークキャリアーの各ワーク保持部も
所定の定位置にて停止され、かつ、上側研磨用定盤も所
定の定位置にて回転停止されるように動作制御されるも
のとなされていると共に、このように上側定盤に対する
キャリアーの吸着を確実に防止しうるから、ワークのロ
ーディング・アンローディングの自動化を効果的に達成
するのに大きく寄与することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一実施形態にかかる研磨装置の垂直断面図であ
る。

【図２】図１のＩ−Ｉ線矢視図である。

【図３】図（イ）（ロ）（ハ）はそれぞれキャリアーの
剥離過程を示す垂直断面図である。

【図４】他の実施形態にかかる研磨装置の垂直断面図で
ある。

【図５】図４のＩＩ−ＩＩ線矢視図である。

【図６】図（イ）（ロ）（ハ）はそれぞれキャリアーの
剥離過程を示す垂直断面図である。

【図７】従来の研磨装置の斜視図である。

【図８】他の従来の研磨装置の一部断面斜視図である。

【符号の説明】

１…研磨装置 ３…上側定盤 ４…太陽歯車 ５…内歯歯車 ９ａ…研磨加工面 １１…吹出し口 １５…突押し部材

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 太陽歯車と、 該太陽歯車の同心外方部に配置された内歯歯車と、 複数のワーク保持部を有して、太陽・内歯の両歯車間に
   両歯車に噛合状態に配置された外歯歯車状のワークキャ
   リアーと、 下面が研磨加工面とされ、回転駆動される上側研磨用定
   盤とが備えられ、太陽・内歯の両歯車によって前記ワー
   クキャリアーが太陽歯車の回りで自転しながら公転され
   ると共に、上側定盤がその下面研磨加工面をキャリアー
   のワーク保持部に保持されている複数のワークに接触状
   態で回転駆動されることにより、ワークの少なくとも上
   面を研磨加工するようになされた研磨装置において、 研磨加工動作終了時に、前記ワークキャリアーが所定の
   定位置にて停止されると共に、該ワークキャリアーの各
   ワーク保持部も所定の定位置にて停止され、かつ、上側
   研磨用定盤も所定の定位置にて回転停止されるように動
   作制御され、 上側定盤の下面研磨加工面には、前記研磨加工動作終了
   時におけるワークキャリアーのワーク保持部領域を除く
   中央側領域に対しキャリアー剥離用流体を吐出するキャ
   リアー剥離用流体吹出し口が設けられ、研磨加工動作終
   了後、上側研磨用定盤がその吹出し口からキャリアー剥
   離用流体の吹出しを行ないながら上昇されていくように
   なされていることを特徴とする研磨装置。
2. 【請求項２】 太陽歯車と、 該太陽歯車の同心外方部に配置された内歯歯車と、 複数のワーク保持部を有して、太陽・内歯の両歯車間に
   両歯車に噛合状態に配置された外歯歯車状のワークキャ
   リアーと、 下面が研磨加工面とされ、回転駆動される上側研磨用定
   盤とが備えられ、太陽・内歯の両歯車によって前記ワー
   クキャリアーが太陽歯車の回りで自転しながら公転され
   ると共に、上側定盤がその下面研磨加工面をキャリアー
   のワーク保持部に保持されている複数のワークに接触状
   態で回転駆動されることにより、ワークの少なくとも上
   面を研磨加工するようになされた研磨装置において、 研磨加工動作終了時に、前記ワークキャリアーが所定の
   定位置にて停止されると共に、該ワークキャリアーの各
   ワーク保持部も所定の定位置にて停止され、かつ、上側
   研磨用定盤も所定の定位置にて回転停止されるように動
   作制御され、 上側定盤には、前記研磨加工動作終了時におけるワーク
   キャリアーのワーク保持部領域を除く中央側領域に対応
   して、該上側定盤の下面研磨加工面から下方に突出可能
   なキャリアー剥離用突押し部材が進退可能に備えられ、
   研磨加工動作終了後、上側研磨用定盤が、その下面研磨
   加工面からキャリアー剥離用突押し部材を下方に突出さ
   せていきながら上昇されていくようになされていること
   を特徴とする研磨装置。