JP2004146471A

JP2004146471A - 研磨装置、研磨ワークキャリア及びワークの研磨方法

Info

Publication number: JP2004146471A
Application number: JP2002307599A
Authority: JP
Inventors: Takanori Nishikido; 錦戸　孝則; Hideo Matachi; 間舘　秀雄; Takahiro Kushino; 久志野　高宏
Original assignee: Showa Denko KK
Current assignee: Resonac Holdings Corp
Priority date: 2002-10-22
Filing date: 2002-10-22
Publication date: 2004-05-20

Abstract

【課題】研磨ワークキャリアが研磨用定盤に貼り付くのを防止することのできる研磨装置を提供すること。
【解決手段】本発明の研磨装置１は、ワーク保持孔３３が上面に設けられたワークキャリア３０Ａと、下面が研磨加工面とされた研磨用定盤とを備えている。そして、この研磨装置１は、キャリア３０Ａのワーク保持孔３３内に装填保持されたワークの上面と研磨用定盤の下面とを摺擦させて、ワークの研磨を行い、研磨後、研磨用定盤がワークに対して上方に離間されるものとなされている。キャリア３３の上面には貼付き防止孔３４が設けられている。この貼付き防止孔３４は、研磨用定盤がワークに対して上方に離間される際にキャリア３０Ａが研磨用定盤の下面に貼り付くのを防止するためのものである。
【選択図】　　　図２

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、研磨装置、研磨ワークキャリア及びワークの研磨方法に関し、詳述すると、例えば、磁気ディスクや光ディスク等のディスク用基板、シリコンウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、または液晶ガラスを研磨ワークとし、このような研磨ワークの研磨加工に用いられる研磨装置、該研磨装置に好適に用いられる研磨ワークキャリア、及び該キャリアを用いたワークの研磨方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば磁気ディスク用のアルミニウム基板の研磨加工に用いられる研磨装置は、一般に、ワーク保持孔を有するワークキャリアと、上下一対の研磨用定盤とを備えている。そして、キャリアのワーク保持孔内に基板を装填保持したのち、この基板をキャリアと一緒に上下一対の研磨用定盤間に挟み込み、この挟み込み状態で、研磨液を供給しながら基板の上下両面と両研磨用定盤の上下両面とを摺擦させることにより、研磨を行うものとなされている。そして、研磨終了後に、研磨用上定盤を上昇させることで、基板の取り出しが行われている。
【０００３】
この種の研磨装置において、基板の取り出しを行うために、研磨用上定盤を上昇させた場合、ワークと上定盤との間に介在した研磨液の作用で基板が上定盤の下面に貼り付いてしまい、上定盤とともに基板が上昇してしまうことがある。このようになると、貼り付いた基板がその後自然落下して基板に傷が付いてしまったり、貼り付いた基板を人手により取り外す作業を行わなければならないなど、多くの問題が発生してしまう。
【０００４】
そこで、このような基板の貼付きを防止するため、従来の研磨装置では、上定盤の下面には基板剥離用流体の吐出口が設けられおり、上定盤を上昇させる際にこの吐出口から基板剥離用流体を基板に対して吐出することにより、基板を上定盤の下面から強制的に剥離させて基板の貼付きを防止するものとなされていた（例えば、特許文献１〜３参照。）。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−２２６８６４号公報（第３−４頁、第１−２図）
【０００６】
【特許文献２】
特開平９−２５３９９４号公報（第２−３頁、第１−２図）
【０００７】
【特許文献３】
特開平４−２５３７５号公報（第２−５頁、第１−２図）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
而して、上記従来の研磨装置には、更に次のような問題があった。すなわち、基板の取り出しを行うために、上定盤を上昇させた場合、基板とともにキャリアが上定盤の下面に貼り付いてしまい、上定盤とともにキャリアが上昇することがしばしば生じる。具体的に示すと、研磨液として、粘性の高い研磨液であるコロイダルシリカ研磨液を使用して研磨を行った場合には、研磨加工回数約５バッチにつき１回の割合でキャリアの貼付きが生じていた。このようにキャリアの貼付きが生じた場合には、貼り付いたキャリアがその後自然落下してキャリアが傷付いたり、またはワークを傷付けたりする。そのため、キャリアの貼付きが生じた場合には、研磨装置の運転を一旦停止し、わざわざ人手でキャリアを上定盤から取り外してから、研磨装置を再稼働しなければならず、研磨装置の自動運転に支障を来していた。
【０００９】
そこで、キャリアの貼付きを防止するために、定盤を上昇させる際に仮に基板剥離用流体を吐出口から吐出したとしても、基板についてはこれを剥離することができるが、キャリアについてはこれを確実に剥離することが困難であった。
【００１０】
本発明は、上述した技術背景に鑑みてなされたもので、その目的は、研磨用定盤をキャリアに対して上方に離間させる際に、研磨ワークキャリアが研磨用定盤に貼り付くのを防止することのできる研磨装置、該研磨装置に好適に用いられる研磨ワークキャリア、及び該キャリアを用いたワークの研磨方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、以下の手段を提供する。
【００１２】
（１）　ワーク保持孔を有するワークキャリアと、下面が研磨加工面とされた研磨用定盤とを備え、
前記キャリアのワーク保持孔内に装填保持されたワークの上面と前記研磨用定盤の下面とを摺擦させて、ワークの研磨を行い、研磨後、前記研磨用定盤がワークに対して上方に離間されるものとなされた研磨装置において、
前記キャリアに、前記研磨用定盤がワークに対して上方に離間される際に前記キャリアが前記研磨用定盤の下面に貼り付くのを防止する貼付き防止孔が設けられていることを特徴とする研磨装置。
【００１３】
（２）　前記貼付き防止孔及び前記ワーク保持孔の合計開口面積が、前記キャリアの上面の面積に対して４０〜５５％の範囲に設定されている前項１記載の研磨装置。
【００１４】
（３）　前記貼付き防止孔は、前記キャリアの中央部に設けられている前項１又は２記載の研磨装置。
【００１５】
（４）　前記貼付き防止孔は、その形状が円形又は楕円形状に形成されている前項１〜３のいずれか１項記載の研磨装置。
【００１６】
（５）　研磨ワークを装填保持するワーク保持孔を有してなり、
前記ワーク保持孔内に装着保持されたワークの上面と、研磨用定盤の研磨加工面とされた下面とを摺擦させて、ワークの研磨を行い、研磨後、前記研磨用定盤がワークに対して上方に離間されるものとなされた研磨装置に用いられる研磨ワークキャリアにおいて、
前記研磨用定盤がワークに対して上方に離間される際に前記研磨用定盤の下面に貼り付くのを防止する貼付き防止孔が設けられていることを特徴とする研磨ワークキャリア。
【００１７】
（６）　前記貼付き防止孔及び前記ワーク保持孔の合計開口面積が、上面の面積に対して４０〜５５％の範囲に設定されている前項５記載の研磨ワークキャリア。
【００１８】
（７）　前記貼付き防止孔は中央部に設けられている前項５又は６記載の研磨ワークキャリア。
【００１９】
（８）　前記貼付き防止孔は、その形状が円形又は楕円形状に形成されている前項５〜７いずれか１項記載の研磨ワークキャリア。
【００２０】
（９）　ワーク保持孔を有するワークキャリアと、下面が研磨加工面とされた研磨用定盤とを用い、
前記キャリアのワーク保持孔内に装填保持されたワークの上面と前記研磨用定盤の下面とを摺擦させて、ワークの研磨を行い、研磨後、前記研磨用定盤をワークに対して上方に離間させるワークの研磨方法において、
前記キャリアとして、前記研磨用定盤をワークに対して上方に離間させる際に前記研磨用定盤の下面に貼り付くのを防止する貼付き防止孔が設けられたキャリアを用いることを特徴とするワークの研磨方法。
【００２１】
（１０）　前記貼付き防止孔及び前記ワーク保持孔の合計開口面積が、前記キャリアの上面の面積に対して４０〜５５％の範囲に設定されている前項９記載のワークの研磨方法。
【００２２】
（１１）　前記貼付き防止孔は、前記キャリアの中央部に設けられている前項９又は１０記載のワークの研磨方法。
【００２３】
（１２）　前記貼付き防止孔は、その形状が円形又は楕円形状に形成されている前項９〜１１のいずれか１項記載のワークの研磨方法。
【００２４】
（１３）　前記研磨用定盤をワークに対して上方に離間させていく過程で、前記研磨用定盤の下面に設けられた流体吐出口からキャリア剥離用流体を前記キャリアの上面に吐出する前項９〜１２のいずれか１項記載のワークの研磨方法。
【００２５】
上記の各項の発明を以下に説明する。
【００２６】
（１）の発明では、キャリアに所定の貼付き防止孔が設けられていることにより、キャリアと研磨用定盤の下面との接触面積が減少し、これにより、研磨用定盤がワークに対して上方に離間される際に、キャリアが研磨用定盤の下面に貼り付くのが防止される。その結果、研磨装置の運転の自動化を確実に遂行し得るようになり、研磨装置の稼働率が向上する。
【００２７】
この研磨装置において、ワークとしては、コンピュータのハードディスクに用いられる磁気ディスクをはじめ、光ディスク等の情報記録ディスク用の基板、あるいはシリコンウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、液晶ガラスが例示される。但し、本発明は、ワークの種類や形状に限定されるものではなく、様々な種類や形状のワークについて適用可能である。
【００２８】
また、この研磨装置において、貼付き防止孔は、その形状が、後述するように円形又は楕円形状に形成されていることが望ましいが、本発明では、これに限定されず、貼付き防止孔の形状が凸多角形状（例えば矩形）や凹多角形状（例えば星形）に形成されていても良いし、これら以外の形状に形成されていても良い。また、貼付き防止孔の個数は１個であっても良いし、複数個（例えば２〜２０個）であっても良い。
【００２９】
（２）の発明では、貼付き防止孔及びワーク保持孔の合計開口面積が、キャリアの上面の面積に対して４０〜５５％の範囲に設定されていることにより、キャリアの貼付きが確実に防止されるし、またキャリアの剛性が確保される。すなわち、この割合が４０％未満では、キャリアと研磨用定盤の下面との接触面積がまだ大きく、そのためキャリアの貼付きを防止するのが困難になる。一方、この割合が５５％を超えると、キャリアの剛性が低下し、その結果、研磨時にキャリアが撓んだり曲がったりする等、キャリアの変形が生じ易くなるし、キャリアが破損し易くなるからである。なお、この割合の特に好ましい範囲は４３〜５０％である。
【００３０】
（３）の発明では、貼付き防止孔がキャリアの中央部に設けられることにより、複数個のワーク保持孔をキャリアの周縁部に配設することができる。そのため、貼付き防止孔の開口面積を広く設定することができる。さらには、キャリアの剛性の低下が少なくなり、そのためキャリアの剛性を確実に確保することができる。なお、この場合において、特に望ましくは、ワーク保持孔の個数は複数個であり、且つ該複数個のワーク保持孔が貼付き防止孔の周りに配設されることが良い。
【００３１】
（４）の発明では、貼付き防止孔は、その形状が円形又は楕円形状に形成されていることにより、キャリアの変形や破損が更に確実に防止される。
【００３２】
（５）の発明では、キャリアに所定の貼付き防止孔が設けられていることから、該キャリアを研磨装置に用いることにより、上記（１）の発明と同様の作用を奏し得る。
【００３３】
（６）の発明では、貼付き防止孔及びワーク保持孔の合計開口面積が、キャリアの上面の面積に対して４０〜５５％の範囲に設定されていることにより、上記（２）の発明と同様の作用を奏し得る。
【００３４】
（７）の発明では、貼付き防止孔がキャリアの中央部に設けられていることにより、上記（３）の発明と同様の作用を奏し得る。
【００３５】
（８）の発明では、貼付き防止孔は、その形状が円形又は楕円形状に形成されていることにより、上記（４）の発明と同様の作用を奏し得る。
【００３６】
（９）の発明では、キャリアとして、所定の貼付き防止孔が設けられたものを用いることにより、上記（１）の発明と同様の作用を奏し得る。
【００３７】
（１０）の発明では、貼付き防止孔及びワーク保持孔の合計開口面積が、キャリアの上面の面積に対して４０〜５５％の範囲に設定されていることにより、上記（２）の発明と同様の作用を奏し得る。
【００３８】
（１１）の発明では、貼付き防止孔がキャリアの中央部に設けられていることにより、上記（３）の発明と同様の作用を奏し得る。
【００３９】
（１２）の発明では、貼付き防止孔は、その形状が円形又は楕円形状に形成されていることにより、上記（４）の発明と同様の作用を奏し得る。
【００４０】
（１３）の発明では、研磨用定盤をワークに対して上方に離間させていく過程で、研磨用定盤の下面に設けられた流体吐出口からキャリヤ剥離用流体をキャリアの上面に吐出することにより、キャリアの貼付きをより一層確実に防止することができる。
【００４１】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の好ましい幾つかの実施形態について図面を参照して説明する。
【００４２】
図１及び図２において、（１）はこの実施形態に係る研磨装置である。（４０）は研磨ワークとしての磁気ディスク用アルミニウム（その合金を含む。）基板である。（３０Ａ）は第１実施形態の研磨ワークキャリアである。
【００４３】
基板（４０）は円板状のもので、その厚さは例えば０．６〜２ｍｍの範囲に設定されており、またその直径は例えば６５〜２００ｍｍの範囲に設定されている。また、この基板（４０）の上面（４１）及び下面（４２）には、ニッケル−リン合金メッキ層（図示せず）がそれぞれ形成されている。
【００４４】
研磨装置（１）は、基板（４０）の上下両面（４１）（４２）を研磨するために用いられるものであり、詳述すると、例えば基板（４０）を対象としたケミカルメカニカルポリッシュ（化学機械研磨、ＣＭＰ）工程で用いられるものである。
【００４５】
この研磨装置（１）は、図１及び図２示すように、互いに対向状に配置された上下一対の研磨用下定盤（１０）及び研磨用上定盤（２０）と、前記研磨ワークキャリア（３０Ａ）とを備えている。
【００４６】
下定盤（２０）は、円筒状の内歯歯車（２２）とその内側に配置された太陽歯車（２３）とを備えている。内歯歯車（２２）と太陽歯車（２３）との間の環状スペース内には、図２に示すように、遊星歯車としての複数個（同図では８個）の前記キャリア（３０Ａ）が噛合状態に周方向間隔的に配置されている。そして、太陽歯車（２３）が回転されることにより、キャリア（３０Ａ）が自転しながら太陽歯車（２３）の周りを公転するものとなされている。下定盤（２０）の上面（２１）には研磨布（図示せず）が貼着され、これにより該下定盤（２０）の上面（２１）が研磨加工面とされている。
【００４７】
上定盤（１０）は、その下面（１１）に研磨布（図示せず）が貼着され、これにより該上定盤（１０）の下面（１１）が研磨加工面とされている。さらに、この上定盤（１０）の下面（１１）には、図１に示すように、キャリア剥離用流体（４５）を吐出するための複数個の流体吐出口（１２）が設けられている。一方、上定盤（１０）の上面には、各流体吐出口（１２）と連通する複数個の接続口（１３）が設けられている。また、上定盤（１０）の上面中心側にはマニホールド（１５）が備えられている。そして、このマニホールド（１５）から複数本の分岐ホース（１４）が延ばされ、各分岐ホース（１４）の先端が接続口（１３）に接続されている。また、このマニホールド（１５）には、キャリア剥離用流体の供給パイプ（１６）が接続されている。この供給パイプ（１６）には、キャリア剥離用流体生成装置（図示せず）が接続されている。この生成装置は、キャリア剥離用流体（４５）として、水と空気とからなるミスト状流体を生成するためのものである。この生成装置により生成されたキャリア剥離用ミスト状流体（４５）は、供給パイプ（１６）を通ってマニホールド（１５）に供給され、このマニホールド（１５）から分岐パイプ（１４）を通って吐出口（１２）へと供給吐出される。
【００４８】
また、この上定盤（１０）には昇降装置（１８）が接続されている。この昇降装置（１８）は上定盤（１０）を上下方向に昇降移動させるためのものである。
【００４９】
キャリア（３０Ａ）は、図３及び図４に示すように板状（詳述すると円板状）のものであって、その周縁部には多数個の歯（３６）が全周に亘って設けられている。このキャリア（３０Ａ）はアラミド等のプラスチック製のものである。なお、この発明では、キャリア（３０Ａ）の材質は限定されず、例えば、ステンレス鋼等の金属製のものであっても良いし、セラミック製のものであっても良いし、ガラス繊維強化プラスチック等の繊維強化プラスチック製のものであっても良い。
【００５０】
このキャリア（３０Ａ）の直径は、例えば２４０〜４２０ｍｍの範囲に設定されている。このキャリア（３０Ａ）の厚さは、基板（４０）の厚さよりも小寸に設定されており、例えば０．４〜１．５ｍｍの範囲に設定されている。
【００５１】
このキャリア（３０Ａ）の中央部には、平面視で円形状の１個の貼付き防止孔（３４）が厚さ方向に貫通状に設けられている。この第１実施形態では、キャリア（３０Ａ）の上面（３１）の中心位置と貼付き防止孔（３４）の開口の中心位置とは一致している。なお、この発明では、貼付き防止孔（３４）の形状は平面視で楕円形状に形成されていても良い。
【００５２】
さらに、このキャリア（３０Ａ）における貼付き防止孔（３４）の周囲には、平面視で円形状の複数個（同図では５個）のワーク保持孔（３３）…が厚さ方向に貫通状に設けられている。該複数個のワーク保持孔（３３）は、貼付き防止孔（３４）を取り囲む態様にして貼付き防止孔（３４）の周方向に等間隔におきに並んで配置されている。
【００５３】
このキャリア（３０Ａ）において、貼付き防止孔（３４）の直径は、例えば１０〜１２０ｍｍの範囲に設定されている。一方、ワーク保持孔（３３）の直径は、基板（４０）の直径と同寸又は若干大寸に設定され、すなわちワーク保持孔（３３）は基板（４０）を適合状態に装填可能な大きさに設定されており、詳述すると、このワーク保持孔（３３）の直径は、例えば６７〜９７ｍｍの範囲に設定されている。貼付き防止孔（３４）及びワーク保持孔（３３）…の合計開口面積は、キャリア（３０Ａ）の上面（３１）の面積に対して４０〜５５％の範囲に設定されている。
【００５４】
一方、図１に示すように、上定盤（１０）の下面（１１）において、キャリア（３０Ａ）の上面（３１）に対するキャリア剥離用流体（４５）の吐出口（１２）の位置は、キャリア（３０Ａ）の上面（３１）における、貼付き防止孔（３４）及びワーク保持孔（３３）が存在していない部分に設定されている。なお、本発明では、吐出口（１２）の位置はこれに限定されず、吐出口（１２）の一部が、キャリア（３０Ａ）の上面（３１）における両方の孔（３４）及び（３３）が存在している部分に設定されていても良い。特に、本発明では、吐出口（１２）の位置は、キャリア（３０Ａ）の上面（３１）における、両方の孔（３４）及び（３３）が存在しない部分であって且つ貼付き防止孔（３４）の近傍部分に設定されていることが望ましい。
【００５５】
而して、上記研磨装置（１）により基板（３０Ａ）の研磨を行う場合には、まず、図１及び図２に示すように、下定盤（２０）の内歯歯車（２２）と太陽歯車（２３）との間の環状スペース内に複数個のキャリア（３０Ａ）を噛合状態に配置するとともに、キャリア（３０Ａ）の各ワーク保持孔（３３）内に基板（４０）を装填保持する。この保持状態において、基材（４０）は下定盤（２０）の上面（２１）上に載置されている。
【００５６】
次いで、昇降装置（１８）を作動させて上定盤（１０）を下降させ、上定盤（１０）の下面（１１）と下定盤（２０）の上面（２１）との間に基板（４０）及びキャリア（３０Ａ）を挟み付ける。これにより、上定盤（１０）の下面（１１）が基板（４０）の上面（４１）に圧接するとともに、下定盤（２０）の上面（２１）が基板（４０）の下面（４２）に圧接する。
【００５７】
この挟み付け状態のままで、研磨液（図示せず）を上下両定盤（１０）（２０）間に供給しながら、下定盤（２０）の太陽歯車（２３）を回転させるとともに、上下両定盤（１０）（２０）のうち少なくとも一方の定盤（例えば下定盤（２０））を回転させる。これにより、上定盤（１０）の下面（１１）と基板（４０）の上面（４１）とが摺擦されると同時に、下定盤（２０）の上面（２１）と基板（４０）の下面（４２）とが摺擦されて、基板（４０）の研磨が行われる。なお、研磨液としては、その種類に限定されず、粘性の高い研磨液であるコロイダルシリカ研磨液をはじめ、様々な種類の研磨液を使用することができる。
【００５８】
基板（４０）の研磨が終了した後、基板（４０）を取り出すために、昇降装置（１８）を作動させて上定盤（１０）を上昇させ、これにより上定盤（１０）を基板（４０）に対して上方に離間させる。このとき、キャリア（３０Ａ）が上定盤（１０）の下面（１１）に貼り付いて上定盤（１０）と一緒に上昇するのを防止するため、上定盤（１０）を基板（４０）に対して上方に離間させていく過程、すなわち上定盤（１０）を上昇させていく過程で、流体吐出口（１２）からキャリア剥離用ミスト状流体（４５）をキャリア（３０Ａ）の上面（３１）に吐出する。
【００５９】
このキャリア剥離用流体（４５）の吐出圧力は、例えば０．３Ｍ〜０．８ＭＰａの範囲に設定されていることが望ましい。
【００６０】
而して、本発明では、キャリア（３０Ａ）には上述したように貼付き防止孔（３４）が貫通状に設けられていることから、上定盤（１０）を上昇させる際にキャリア（３０Ａ）が上定盤（１０）の下面（１１）に貼り付く不具合を防止することができる。したがって、上定盤（１０）を上昇させても、キャリア（３０Ａ）は、上定盤（１０）の下面（１１）に貼り付かないで、下定盤（２０）の上面（２１）上に載置されたままの状態になる。
【００６１】
特に、このキャリア（３０Ａ）によれば、貼付き防止孔（３４）及びワーク保持孔（３３）…の合計開口面積が、キャリア（３０Ａ）の上面（３１）の面積に対して４０〜５５％に設定されているので、キャリア（３０Ａ）の貼付きを確実に防止することができ、またキャリア（３０Ａ）の剛性を確保することができる。すなわち、この割合が４０％未満では、キャリア（３０Ａ）の上面（３１）と上定盤（１０）の下面（１１）との接触面積が大きく、そのためキャリア（３０Ａ）の貼付きを防止するのが困難になる。また、この割合が５５％を超えると、キャリア（３０Ａ）の剛性が低下し、その結果、研磨時にキャリア（３０Ａ）が曲がる等、キャリア（３０Ａ）の変形が生じ易くなるし、キャリア（３０Ａ）が破損し易くなる。なお、この割合の特に好ましい範囲は４３〜５０％である。
【００６２】
その上、貼付き防止孔（３４）はキャリア（３０Ａ）の中央部に設けられているので、複数個のワーク保持孔（３３）…をキャリア（３０Ａ）の周縁部に配設することができる。そのため、貼付き防止孔（３４）の開口面積を広く設定することができる。さらには、キャリア（３０Ａ）の剛性の低下を少なくすることができて、キャリア（３０Ａ）の剛性を確実に確保することができる。
【００６３】
さらに、貼付き防止孔（３４）が円形状に形成されているので、キャリア（３０Ａ）の変形や破損を更に確実に防止することができる。
【００６４】
加えて、上定盤（１０）を上昇させていく過程で、キャリア剥離用流体（４５）をキャリア（３０Ａ）の上面（３１）に吐出することによって、キャリア（３０Ａ）の貼付きをより一層確実に防止することができる。この実施形態では、キャリア剥離用流体（４５）を吐出することにより、キャリア（３０Ａ）と一緒に基板（４０）も上定盤（１０）の下面（１１）から剥離されるものとなされている。そのため、キャリア（３０Ａ）はもとより基板（４０）についてもこれに傷や欠陥を生じさせないで、基板（４０）を剥離することができる。
【００６５】
以上のように、この実施形態の研磨装置（１）によれば、研磨液として、粘性の低い研磨液はもとより、粘性の高い研磨液であるコロイダルシリカ研磨液を使用した場合であっても、キャリア（３０Ａ）の貼付きを確実に防止することができる。そのため、研磨装置（１）の運転の自動化を確実に遂行できて、研磨装置（１）の稼働率を向上させることができる。
【００６６】
図５及び図６において、（３０Ｂ）は第２実施形態の研磨ワークキャリアである。このキャリア（３０Ｂ）では、該キャリア（３０Ｂ）の周縁部に、平面視で円形状の複数個（同図では５個）の貼付き防止孔（３５）が厚さ方向に貫通状に設けられている。この貼付き防止孔（３５）の直径は、キャリア（３０Ｂ）の中央部に設けられた貼付き防止孔（３４）の直径よりも小寸に設定されている。このキャリア（３０Ｂ）の他の構成は、上記第１実施形態のキャリア（３０Ａ）と同じであり、重複する説明を省略する。
【００６７】
以上、この発明の好ましい幾つかの実施形態について説明したが、この発明は上記実施形態に示したものに限定されるものではなく、様々に設定変更可能である。
【００６８】
例えば、上記実施形態では、研磨ワークとして、磁気ディスク用アルミニウム基板（４０）が用いられているが、この発明では、研磨ワークの材質や形状に限定されるものではなく、研磨ワークは、光ディスク用基板、シリコンウエハ、化合物半導体ウエハ、液晶ガラス等であっても良いし、これら以外のワークであっても良い。
【００６９】
また、上記実施形態では、キャリア剥離用流体（４５）として、ミスト状流体が用いられているが、この発明では、キャリア剥離用流体（４５）の種類に限定されるものではない。例えば、キャリア剥離用流体（４５）は、水等の液体であっても良いし、空気等の気体であっても良いし、液体と気体との混合流体であっても良いし、これら以外の流体であっても良い。
【００７０】
また、上記実施形態では、研磨装置（１）は、研磨用上下両定盤（１０）（２０）のうち上定盤（１０）が上昇されることにより、上定盤（１０）がワーク（４０）に対して上方に離間されるものとなされているが、この発明では、下定盤（２０）が下降されることにより、上定盤（１０）がワーク（４０）に対して上方に離間されるものとなされていても良い。
【００７１】
【実施例】
次に、この発明の具体的実施例及び比較例を示す。
【００７２】
＜実施例１＞
この実施例１では、キャリアとして、上記第１実施形態のキャリア（３０Ａ）を準備した。このキャリア（３０Ａ）はアラミド等のプラスチック製のものである。このキャリア（３０Ａ）の直径は約３２０ｍｍであり、したがって該キャリア（３０Ａ）の上面（３１）の面積は８０４００ｍｍ^２に設定されている。このキャリア（３０Ａ）は、遊星歯車として機能するもので、その周縁部には多数個の歯（３６）が全周に亘って設けられている。さらに、キャリア（３０Ａ）の中央部には、１個の円形状の貼付き防止孔（３４）が貫通状に設けられている。この貼付き防止孔（３４）の直径は６０ｍｍである。また、キャリア（３０Ａ）における貼付き防止孔（３４）の周りには、５個の円形状のワーク保持孔（３３）が、貼付き防止孔（３４）を取り囲む態様にして貼付き防止孔（３４）の周方向に等間隔おきに並んで、貫通状に設けられている。各ワーク保持孔（３３）の直径は８６ｍｍである。
【００７３】
したがって、この実施例１のキャリア（３０Ａ）では、貼付き防止孔（３４）及びワーク保持孔（３３）の合計開口面積は３１８７１ｍｍ^２であって、この合計開口面積はキャリア（３０Ａ）の上面（３１）の面積に対して４０％に設定されている。
【００７４】
＜実施例２＞
この実施例２では、キャリアとして、上記第１実施形態のキャリア（３０Ａ）を準備した。このキャリア（３０Ａ）においては、該キャリア（３０Ａ）の中央部に設けられた貼付き防止孔（３４）の直径は８６ｍｍである。この実施例２のキャリア（３０Ａ）の他の構成は、実施例１のものと同じである。
【００７５】
この実施例２のキャリア（３０Ａ）では、貼付き防止孔（３４）及びワーク保持孔（３３）の合計開口面積は３４８５３ｍｍ^２であって、この開口面積はキャリア（３０Ａ）の上面（３１）の面積に対して４３％に設定されている。
【００７６】
＜実施例３＞
この実施例３では、キャリアとして、上記第２実施形態のキャリア（３０Ｂ）を準備した。このキャリア（３０Ｂ）においては、該キャリア（３０Ｂ）の中央部に設けられた貼付き防止孔（３４）の直径は８６ｍｍである。また、キャリア（３０Ｂ）の周縁部に設けられた貼付き防止孔（３５）の個数は５個であり、その直径は３６ｍｍである。この実施例３のキャリア（３０Ｂ）の他の構成は、実施例１のものと同じである。
【００７７】
この実施例３のキャリア（３０Ｂ）では、中央部の貼付き防止孔（３４）、周縁部の貼付き防止孔（３５）及びワーク保持孔（３３）の合計開口面積は３９９４２ｍｍ^２であって、この開口面積はキャリア（３０Ｂ）の上面（３１）の面積に対して５０％に設定されている。
【００７８】
＜比較例１＞
貼付き防止孔を全く有していないキャリアを準備した。このキャリアの他の形状及び構成は、実施例１のキャリアと同一である。
【００７９】
［評価結果］
実施例１〜３のキャリアと比較例１のキャリアをそれぞれ用いて、上記実施形態に示した研磨装置（１）及び研磨方法により、アルミニウム基板（４０）の研磨を４００回行い、キャリアの貼付き回数について調べた。その結果を表１に示す。
【００８０】
【表１】

【００８１】
なお、同表において、開口率とは、貼付き防止孔及びワーク保持孔の合計開口面積をキャリアの上面の面積で割った値（単位：％）である。
【００８２】
同表に示すように、実施例１〜３のキャリアを用いて研磨を行った場合には、比較例１のキャリアを用いて研磨を行った場合に比べて、キャリアの貼付き回数を１／９以下に低減できることを確認し得た。特に実施例２及び３のキャリアを用いて研磨を行った場合には、キャリアの貼付き回数を約１／２０〜１／３０に大幅に低減できることを確認し得た。
【００８３】
【発明の効果】
上述の次第で、本発明は次の効果を奏し得る。
【００８４】
（１）の発明では、キャリアに所定の貼付き防止孔が設けられているので、研磨用定盤がワークに対して上方に離間される際に、キャリアが研磨用定盤の下面に貼り付く不具合を防止することができる。そのため、研磨装置の稼働率を向上させることができる。
【００８５】
（２）の発明では、貼付き防止孔及びワーク保持孔の合計開口面積が、キャリアの上面の面積に対して所定の範囲に設定されているので、キャリアの貼付きを確実に防止することができる。さらに、キャリアの剛性を確保することができ、そのため、研磨時に生じることのあるキャリアの変形や破損を防止することができる。
【００８６】
（３）の発明では、貼付き防止孔がキャリアの中央部に設けられているので、、複数個のワーク保持孔をキャリアの周縁部に配設することができる。そのため、貼付き防止孔の開口面積を広く設定することができる。さらには、キャリアの剛性の低下が少なくなり、そのためキャリアの剛性を確実に確保することができる。
【００８７】
（４）の発明では、貼付き防止孔は、その形状が円形又は楕円形状に形成されているので、キャリアの変形や破損を更に確実に防止することができる。
【００８８】
（５）の発明では、キャリアに所定の貼付き防止孔が設けられているので、該キャリアを研磨装置に用いることにより、上記（１）の発明と同様の効果を奏し得る。
【００８９】
（６）の発明では、貼付き防止孔及びワーク保持孔の合計開口面積が、キャリアの上面の面積に対して所定の範囲に設定されているから、上記（２）の発明と同様の効果を奏し得る。
【００９０】
（７）の発明では、貼付き防止孔がキャリアの中央部に設けられているので、上記（３）の発明と同様の効果を奏し得る。
【００９１】
（８）の発明では、貼付き防止孔は、その形状が円形又は楕円形状に形成されているので、上記（４）の発明と同様の効果を奏し得る。
【００９２】
（９）の発明では、キャリアとして、所定の貼付き防止孔が設けられたものを用いるので、上記（１）の発明と同様の効果を奏し得る。
【００９３】
（１０）の発明では、貼付き防止孔及びワーク保持孔の合計開口面積が、キャリアの上面の面積に対して所定の範囲に設定されているので、上記（２）の発明と同様の効果を奏し得る。
【００９４】
（１１）の発明では、貼付き防止孔がキャリアの中央部に設けられているので、上記（３）の発明と同様の効果を奏し得る。
【００９５】
（１２）の発明では、貼付き防止孔は、その形状が円形又は楕円形状に形成されているので、上記（４）の発明と同様の効果を奏し得る。
【００９６】
（１３）の発明では、研磨用定盤をワークに対して上方に離間させていく過程で、研磨用定盤の下面に設けられた流体吐出口からキャリア剥離用流体をキャリアの上面に吐出するから、キャリアの貼付きをより一層確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態の研磨装置の一部切欠き側面図である。
【図２】図２中のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】本発明の第１実施形態の研磨ワークキャリアの平面図である。
【図４】図３中のＢ−Ｂ線断面図である。
【図５】本発明の第２実施形態の研磨ワークキャリアの平面図である。
【図６】図３中のＣ−Ｃ線断面図である。
【符号の説明】
１…研磨装置
１０…研磨用上定盤（研磨用定盤）
１１…下面（研磨加工面）
２０…研磨用下定盤
１２…上面
３０Ａ、３０Ｂ…研磨ワークキャリア
３３…貼付き防止孔
３４、３５…ワーク保持孔
４０…基板（ワーク）
４５…キャリア剥離用流体

Claims

ワーク保持孔を有するワークキャリアと、下面が研磨加工面とされた研磨用定盤とを備え、
前記キャリアのワーク保持孔内に装填保持されたワークの上面と前記研磨用定盤の下面とを摺擦させて、ワークの研磨を行い、研磨後、前記研磨用定盤がワークに対して上方に離間されるものとなされた研磨装置において、
前記キャリアに、前記研磨用定盤がワークに対して上方に離間される際に前記キャリアが前記研磨用定盤の下面に貼り付くのを防止する貼付き防止孔が設けられていることを特徴とする研磨装置。
前記貼付き防止孔及び前記ワーク保持孔の合計開口面積が、前記キャリアの上面の面積に対して４０〜５５％の範囲に設定されている請求項１記載の研磨装置。
前記貼付き防止孔は、前記キャリアの中央部に設けられている請求項１又は２記載の研磨装置。
前記貼付き防止孔は、その形状が円形又は楕円形状に形成されている請求項１〜３のいずれか１項記載の研磨装置。
研磨ワークを装填保持するワーク保持孔を有してなり、
前記ワーク保持孔内に装着保持されたワークの上面と研磨用定盤の研磨加工面とされた下面とを摺擦させて、ワークの研磨を行い、研磨後、前記研磨用定盤がワークに対して上方に離間されるものとなされた研磨装置に用いられる研磨ワークキャリアにおいて、
前記研磨用定盤がワークに対して上方に離間される際に前記研磨用定盤の下面に貼り付くのを防止する貼付き防止孔が設けられていることを特徴とする研磨ワークキャリア。
前記貼付き防止孔及び前記ワーク保持孔の合計開口面積が、上面の面積に対して４０〜５５％の範囲に設定されている請求項５記載の研磨ワークキャリア。
前記貼付き防止孔は中央部に設けられている請求項５又は６記載の研磨ワークキャリア。
前記貼付き防止孔は、その形状が円形又は楕円形状に形成されている請求項５〜７いずれか１項記載の研磨ワークキャリア。
ワーク保持孔を有するワークキャリアと、下面が研磨加工面とされた研磨用定盤とを用い、
前記キャリアのワーク保持孔内に装填保持されたワークの上面と前記研磨用定盤の下面とを摺擦させて、ワークの研磨を行い、研磨後、前記研磨用定盤をワークに対して上方に離間させるワークの研磨方法において、
前記キャリアとして、前記研磨用定盤をワークに対して上方に離間させる際に前記研磨用定盤の下面に貼り付くのを防止する貼付き防止孔が設けられたキャリアを用いることを特徴とするワークの研磨方法。
前記貼付き防止孔及び前記ワーク保持孔の合計開口面積が、前記キャリアの上面の面積に対して４０〜５５％の範囲に設定されている請求項９記載のワークの研磨方法。
前記貼付き防止孔は、前記キャリアの中央部に設けられている請求項９又は１０記載のワークの研磨方法。
前記貼付き防止孔は、その形状が円形又は楕円形状に形成されている請求項９〜１１のいずれか１項記載のワークの研磨方法。
前記研磨用定盤をワークに対して上方に離間させていく過程で、前記研磨用定盤の下面に設けられた流体吐出口からキャリア剥離用流体を前記キャリアの上面に吐出する請求項９〜１２のいずれか１項記載のワークの研磨方法。