JP2016201488A - テープ剥離装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】テープ剥離装置1において、テープ剥離装置1に備える回収ボックス5を、被粘着性低減手段を内周面51aに備えた側壁51と、内周面51aから回収ボックス5の中央に向かってエアを噴出させるエア噴出手段6とを備えるものとし、剥離手段4で剥離した保護テープT1が、回収ボックス5の内周面51aに貼着されることを防止できるようにした。
【選択図】図1
Description
30:保持テーブル 300:吸着部 300a:保持面 301:枠体
31:回転手段 32:テーブル移動手段
4:剥離手段 40:掴持クランプ 41:アーム部
5:回収ボックス 50:底板
51:側壁 51a:内周面 51b:外周面 51c:エア噴出孔 51d:凸部
52:透過型光電センサ 520:投光器 521:受光器
54:金網 55:パンチングプレート
56:側壁 56a:内周面 56b:外周面 56e:エア噴出孔
56f:エア供給口
6:エア噴出手段 60:エア分配器 61:エア供給源 62:送風管 63:配管
W:板状ワーク Wa:板状ワークの上面 Wb:板状ワークの下面
T1:保護テープ T1a:保護テープの露出面 T1b:保護テープの粘着面
T2:ダイシングテープ F:リングフレーム
T3:剥離用テープ T3a:剥離用テープの露出面 T3b:剥離用テープの粘着面
T3c:はみ出し部
G:エア
Claims (1)
- 板状ワークの下面を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持される板状ワークの上面に貼着された保護テープを剥離する剥離手段と、該剥離手段が剥離した該保護テープを回収する回収ボックスと、を備えるテープ剥離装置であって、
該回収ボックスは、被粘着性低減手段を内周面に備えた側壁と、該内周面から回収ボックスの中央に向かってエアを噴出させるエア噴出手段と、を備え、
該剥離手段が剥離した該保護テープが、該回収ボックスの該内周面に貼着されることを防止することを特徴とするテープ剥離装置。
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