JP2016176126A5 - - Google Patents

Description

より具体的に本発明に係る銅層とモリブデン層を含む多層膜用エッチング液は、
過酸化水素と、
無機酸と、
酸性有機酸と、
中性有機酸と、
アミン化合物と、
過酸化水素分解抑制剤を含み、アゾール化合物と、リン化合物と、フッ素化合物を含まないことを特徴とする。

Claims (10)

1. 過酸化水素と、
   無機酸と、
   酸性有機酸と、
   中性有機酸と、
   アミン化合物と、
   過酸化水素分解抑制剤を含み、アゾール化合物と、リン化合物と、フッ素化合物を含まないことを特徴とする銅層とモリブデン層を含む多層膜用エッチング液。
2. 前記無機酸は硝酸であることを特徴とする請求項１に記載された銅層とモリブデン層を含む多層膜用エッチング液。
3. 前記酸性有機酸は、グリコール酸、リンゴ酸の２種を含むことを特徴とする請求項１または２の何れかの請求項に記載された銅層とモリブデン層を含む多層膜用エッチング液。
4. 前記中性有機酸は、βアラニンであることを特徴とする請求項１乃至３の何れか１の請求項に記載された銅層とモリブデン層を含む多層膜用エッチング液。
5. 前記アミン化合物が、１−アミノ−２−プロパノールであることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１の請求項に記載された銅層とモリブデン層を含む多層膜用エッチング液。
6. 前記過酸化水素分解抑制剤は少なくとも低級アルコールとエーテルの何れかを含むことを特徴とする請求項１乃至５の何れか１の請求項に記載された銅層とモリブデン層を含む多層膜用エッチング液。
7. さらに銅イオンを５００ｐｐｍ以上７０００ｐｐｍ以下含むことを特徴とする請求項１乃至６の何れか１の請求項に記載された銅層とモリブデン層を含む多層膜用エッチング液。
8. 無機酸と、
   酸性有機酸と、
   中性有機酸と、
   アミン化合物と、
   過酸化水素分解抑制剤と、
   水を含むことを特徴とする銅層とモリブデン層を含む多層膜用エッチング濃縮液。
9. 無機酸と、
   酸性有機酸と、
   中性有機酸と、
   アミン化合物と、
   過酸化水素分解抑制剤と
   水を含むエッチング濃縮液と水と過酸化水素を調合し多層膜用エッチング液を調合する工程と、
   前記多層膜用エッチング液を被処理基板に接触させる工程を含むことを特徴とする銅層とモリブデン層を含む多層膜のエッチング方法。
10. 前記多層膜用エッチング液を被処理基板に接触させる工程では、
    前記多層膜用エッチング液のｐＨが２から５の範囲であり、液温が１８℃から３５℃の条件で行なわれることを特徴とする請求項９に記載された銅層とモリブデン層を含む多層膜のエッチング方法。