JP2016157778A - 荷重測定装置および荷重測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】荷重測定装置は、基板Wの直径と同じ長さの荷重測定面30aを有する防水型ロードセル30と、防水型ロードセル30を支持する基台プレート31とを備える。この荷重測定装置は、基板Wと同じように基板洗浄装置にセットされ、基板洗浄装置のロール洗浄具7から受ける荷重を防水型ロードセル30で測定する。
【選択図】図2
Description
本発明の好ましい態様は、前記基台プレートの縁部には、複数の円弧状の切り欠き部が形成されており、前記基台プレートの中心点から前記円弧状の切り欠き部までの距離は、前記基板の半径に等しいことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ロール洗浄具を前記防水型ロードセルに押し付ける力を変えながら、前記荷重の測定と前記ロール洗浄具の潰れ量の測定を繰り返して、前記荷重の複数の測定値と前記潰れ量の複数の測定値を取得し、前記荷重の複数の測定値と前記潰れ量の複数の測定値から、前記荷重と前記ロール洗浄具の潰れ量との関係を導き出すことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ロール洗浄具の回転速度を変えながら、前記荷重の測定を繰り返して、前記荷重の複数の測定値を取得し、前記荷重の複数の測定値と前記ロール洗浄具の対応する回転速度から、前記荷重と前記ロール洗浄具の回転速度との関係を導き出すことを特徴とする。
図1は、基板洗浄装置を示す斜視図である。図1に示すように、基板洗浄装置は、基板の一例であるウェハWの周縁部を保持してウェハWをその軸心まわりに回転させる4つの保持ローラー1,2,3,4を備えた基板保持機構5と、ウェハWの上下面に接触する円筒状のロールスポンジ(ロール洗浄具)7,8と、これらのロールスポンジ7,8をその軸心まわりに回転させるロール回転機構11,12と、ウェハWの上面に純水を供給する上側純水供給ノズル15,16と、ウェハWの上面に洗浄液(薬液)を供給する上側洗浄液供給ノズル20,21とを備えている。図示しないが、ウェハWの下面に純水を供給する下側純水供給ノズルと、ウェハWの下面に洗浄液(薬液)を供給する下側洗浄液供給ノズルが設けられている。
5 基板保持機構
7,8 ロールスポンジ(ロール洗浄具)
11,12 ロール回転機構
15,16 上側純水供給ノズル
20,21 上側洗浄液供給ノズル
27 荷重発生機構
30 ロードセル
30a 荷重測定面
31 基台プレート
35 ケーブル
38 荷重表示器
40 薄肉部
41 切り欠き部
50 ロール軸
52 ばね
55 変位センサ
66 動作コントローラ
67 圧力レギュレータ
Claims (7)
- ロール洗浄具から基板に加えられる荷重を測定するための荷重測定装置であって、
前記基板の直径と同じ長さの荷重測定面を有する防水型ロードセルと、
前記防水型ロードセルを支持する基台プレートとを備えたことを特徴とする荷重測定装置。 - 前記荷重測定面は、平坦な面であることを特徴とする請求項1に記載の荷重測定装置。
- 前記基台プレートの縁部には、複数の円弧状の切り欠き部が形成されており、前記基台プレートの中心点から前記円弧状の切り欠き部までの距離は、前記基板の半径に等しいことを特徴とする請求項1または2に記載の荷重測定装置。
- ロール洗浄具から基板に加えられる荷重を測定する荷重測定方法であって、
前記基板の直径と同じ長さの荷重測定面を有する防水型ロードセルを備えた荷重測定装置を基板保持機構で保持し、
前記ロール洗浄具をその軸心まわりに回転させながら、該ロール洗浄具を前記防水型ローロセルに押し付け、
回転する前記ロール洗浄具に洗浄液を供給しながら、該ロール洗浄具から前記防水型ロードセルに加えられる荷重を測定することを特徴とする荷重測定方法。 - 回転する前記ロール洗浄具が前記防水型ロードセルに押し付けられているときの該ロール洗浄具の潰れ量を測定する工程をさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の荷重測定方法。
- 前記ロール洗浄具を前記防水型ロードセルに押し付ける力を変えながら、前記荷重の測定と前記ロール洗浄具の潰れ量の測定を繰り返して、前記荷重の複数の測定値と前記潰れ量の複数の測定値を取得し、
前記荷重の複数の測定値と前記潰れ量の複数の測定値から、前記荷重と前記ロール洗浄具の潰れ量との関係を導き出すことを特徴とする請求項5に記載の荷重測定方法。 - 前記ロール洗浄具の回転速度を変えながら、前記荷重の測定を繰り返して、前記荷重の複数の測定値を取得し、
前記荷重の複数の測定値と前記ロール洗浄具の対応する回転速度から、前記荷重と前記ロール洗浄具の回転速度との関係を導き出すことを特徴とする請求項5に記載の荷重測定方法。
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