JP2016179513A - 研磨パッドの調整方法 - Google Patents
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Abstract
Description
4 基台
4a 開口
6 支持壁
8 X軸移動機構
10 X軸ガイドレール
12 X軸移動テーブル
14 X軸ボールネジ
16 X軸パルスモータ
18 支持テーブル
20 チャックテーブル
20a 保持面
22 ドレッシングボード保持ユニット(ドレッシング手段)
24 防塵防滴カバー
25 操作パネル
26 Z軸移動機構
27 Z軸ガイドレール
28 Z軸移動プレート
29 Z軸ボールネジ
30 Z軸パルスモータ
34 支持構造
36 研磨ユニット(研磨手段)
38 スピンドルハウジング
40 スピンドル
42 マウント
44 研磨パッド
44a 作用面
44b 開口
46 昇降機構
48 ガイドロッド
50 昇降板
50a 貫通穴
52 ボールネジ
54 パルスモータ
56 水平度調整ユニット
58 支持板
58a 螺子穴
60 螺子
62 厚み測定器
64 テーブル
66 ハイトゲージ
68 研磨パッド
68a 作用面
68b 供給穴
11 被加工物
11a 表面
11b 裏面(被作用面)
13 分割予定ライン(ストリート)
15 デバイス
21 保護部材
31 ドレッシングボード
33 基材
33a 貫通穴
35 砥石材
A1 凸領域
A2 凹領域
A3,A4 領域
O 中心点
Claims (2)
- 板状の被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を覆う研磨パッドで被加工物を研磨する研磨手段と、該研磨パッドの被加工物に作用する作用面をドレッシングするドレッシングボードを備えたドレッシング手段と、を備える研磨装置で使用される研磨パッドの調整方法であって、
該ドレッシングボードを該研磨パッドの作用面に接触させて該研磨パッドをドレッシングし、該研摩パッドの該作用面を所定の形状に加工する初期化ステップと、
該チャックテーブルの該保持面で被加工物を保持し、該チャックテーブルと該研磨パッドとをそれぞれ回転させつつ被加工物の被作用面に該研磨パッドの該作用面を作用させて被加工物を研磨する研磨ステップと、
該研磨ステップで研磨された被加工物の厚みを径方向に複数の点で計測し、被加工物の凹凸を該径方向に沿って測定する測定ステップと、
該測定ステップを実施した後、該ドレッシングボードで該研磨パッドをドレッシングして、被加工物を均一な厚みに研磨できるよう該研磨パッドの該作用面の形状を調整する調整ステップと、を備え、
該調整ステップでは、被加工物の凸領域に対応する該作用面の領域が、被加工物の凹領域に対応する該作用面の領域より突出する形状に該作用面を調整することを特徴とする研磨パッドの調整方法。 - 該測定ステップでは、該研磨装置に配設された測定器を用いることを特徴とする請求項1記載の研磨パッドの調整方法。
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
CN107139067A (zh) * | 2017-07-14 | 2017-09-08 | 青岛嘉星晶电科技股份有限公司 | 一种控制蓝宝石晶片抛光ttv/ltv的方法及装置 |
CN109848855A (zh) * | 2017-11-30 | 2019-06-07 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 调节研磨垫的方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11170155A (ja) * | 1997-12-09 | 1999-06-29 | Hitachi Ltd | 研磨装置 |
JP2004047876A (ja) * | 2002-07-15 | 2004-02-12 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 研磨装置及び研磨方法 |
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2015
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11170155A (ja) * | 1997-12-09 | 1999-06-29 | Hitachi Ltd | 研磨装置 |
JP2004047876A (ja) * | 2002-07-15 | 2004-02-12 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 研磨装置及び研磨方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107139067A (zh) * | 2017-07-14 | 2017-09-08 | 青岛嘉星晶电科技股份有限公司 | 一种控制蓝宝石晶片抛光ttv/ltv的方法及装置 |
CN109848855A (zh) * | 2017-11-30 | 2019-06-07 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 调节研磨垫的方法 |
CN109848855B (zh) * | 2017-11-30 | 2021-04-20 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 调节研磨垫的方法 |
US11389928B2 (en) | 2017-11-30 | 2022-07-19 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method for conditioning polishing pad |
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