JP2016157778A5 - - Google Patents

Description

上述した目的を達成するために、本発明の一態様は、基板洗浄装置のロール洗浄具から基板に加えられる荷重を測定するための荷重測定装置であって、前記基板洗浄装置の前記ロール洗浄具から荷重が加えられる前記基板の直径と同じ長さの長方形の荷重測定面を有する防水型ロードセルと、前記防水型ロードセルが配置された凹部を有する基台プレートとを備え、前記凹部は前記基台プレートの中央部に形成されており、前記基板の洗浄に使用される前記基板洗浄装置の前記ロール洗浄具に洗浄液を供給しながら、前記ロール洗浄具を前記長方形の荷重測定面に直接押し付けることで、前記ロール洗浄具から前記防水型ロードセルに加えられる荷重を測定するように構成されていることを特徴とする。

本発明の好ましい態様は、前記荷重測定面は、平坦な面であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基台プレートの縁部には、複数の円弧状の切り欠き部が形成されており、前記基台プレートの中心点から前記円弧状の切り欠き部までの距離は、前記基板の半径に等しいことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ロール洗浄具から前記防水型ロードセルに加えられた荷重を表示する荷重表示器をさらに備え、前記荷重表示器はケーブルを介して前記防水型ロードセルに接続されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板洗浄装置は、前記ロール洗浄具から前記防水型ロードセルに加えられる荷重を測定するために前記ロール洗浄具を前記防水型ロードセルに押し付けているときの前記ロール洗浄具の変形量を測定する変位センサを備えていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基台プレートは金属から構成されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基台プレートには肉抜き穴が形成されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ケーブルは前記基台プレートに固定されていることを特徴とする。
本発明の一態様は、ロール洗浄具から基板に加えられる荷重を測定するための荷重測定装置であって、前記基板の直径と同じ長さの荷重測定面を有する防水型ロードセルと、前記防水型ロードセルを支持する基台プレートとを備え、前記基台プレートの縁部には、複数の円弧状の切り欠き部が形成されており、前記基台プレートの中心点から前記円弧状の切り欠き部までの距離は、前記基板の半径に等しいことを特徴とする。

Claims (13)

1. 基板洗浄装置のロール洗浄具から基板に加えられる荷重を測定するための荷重測定装置であって、
   前記基板洗浄装置の前記ロール洗浄具から荷重が加えられる前記基板の直径と同じ長さの長方形の荷重測定面を有する防水型ロードセルと、
   前記防水型ロードセルが配置された凹部を有する基台プレートとを備え、
   前記凹部は前記基台プレートの中央部に形成されており、
   前記基板の洗浄に使用される前記基板洗浄装置の前記ロール洗浄具に洗浄液を供給しながら、前記ロール洗浄具を前記長方形の荷重測定面に直接押し付けることで、前記ロール洗浄具から前記防水型ロードセルに加えられる荷重を測定するように構成されていることを特徴とする荷重測定装置。
2. 前記荷重測定面は、平坦な面であることを特徴とする請求項１に記載の荷重測定装置。
3. 前記基台プレートの縁部には、複数の円弧状の切り欠き部が形成されており、前記基台プレートの中心点から前記円弧状の切り欠き部までの距離は、前記基板の半径に等しいことを特徴とする請求項１または２に記載の荷重測定装置。
4. 前記ロール洗浄具から前記防水型ロードセルに加えられた荷重を表示する荷重表示器をさらに備え、前記荷重表示器はケーブルを介して前記防水型ロードセルに接続されていることを特徴とする請求項１に記載の荷重測定装置。
5. 前記基板洗浄装置は、前記ロール洗浄具から前記防水型ロードセルに加えられる荷重を測定するために前記ロール洗浄具を前記防水型ロードセルに押し付けているときの前記ロール洗浄具の変形量を測定する変位センサを備えていることを特徴とする請求項１に記載の荷重測定装置。
6. 前記基台プレートは金属から構成されていることを特徴とする請求項１に記載の荷重測定装置。
7. 前記基台プレートには肉抜き穴が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の荷重測定装置。
8. 前記ケーブルは前記基台プレートに固定されていることを特徴とする請求項４に記載の荷重測定装置。
9. ロール洗浄具から基板に加えられる荷重を測定するための荷重測定装置であって、
   前記基板の直径と同じ長さの荷重測定面を有する防水型ロードセルと、
   前記防水型ロードセルを支持する基台プレートとを備え、
   前記基台プレートの縁部には、複数の円弧状の切り欠き部が形成されており、前記基台プレートの中心点から前記円弧状の切り欠き部までの距離は、前記基板の半径に等しいことを特徴とする荷重測定装置。
10. ロール洗浄具から基板に加えられる荷重を測定する荷重測定方法であって、
    前記基板の直径と同じ長さの荷重測定面を有する防水型ロードセルを備えた荷重測定装置を基板保持機構で保持し、
    前記ロール洗浄具をその軸心まわりに回転させながら、該ロール洗浄具を前記防水型ローロセルに押し付け、
    回転する前記ロール洗浄具に洗浄液を供給しながら、該ロール洗浄具から前記防水型ロードセルに加えられる荷重を測定することを特徴とする荷重測定方法。
11. 回転する前記ロール洗浄具が前記防水型ロードセルに押し付けられているときの該ロール洗浄具の潰れ量を測定する工程をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の荷重測定方法。
12. 前記ロール洗浄具を前記防水型ロードセルに押し付ける力を変えながら、前記荷重の測定と前記ロール洗浄具の潰れ量の測定を繰り返して、前記荷重の複数の測定値と前記潰れ量の複数の測定値を取得し、
    前記荷重の複数の測定値と前記潰れ量の複数の測定値から、前記荷重と前記ロール洗浄具の潰れ量との関係を導き出すことを特徴とする請求項１１に記載の荷重測定方法。
13. 前記ロール洗浄具の回転速度を変えながら、前記荷重の測定を繰り返して、前記荷重の複数の測定値を取得し、
    前記荷重の複数の測定値と前記ロール洗浄具の対応する回転速度から、前記荷重と前記ロール洗浄具の回転速度との関係を導き出すことを特徴とする請求項１１に記載の荷重測定方法。