JP2016145996A - 移動体装置、用力伝達装置、及び露光装置、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 マスクMを保持するメインステージ40の+Y側、−Y側それぞれに、スキャン方向であるX軸方向に長ストロークで移動可能なサブステージ50,70を配置する。メインステージ40に設けられた磁石ユニットを含むY可動子44と、サブステージ50に設けられたコイルユニットを含むY固定子88と、から成るボイスコイルモータを用いて、メインステージ40をサブステージ50,70に対してクロススキャン方向であるY軸方向に微少駆動する。一方、ロック装置100a〜100dを用いてメインステージ40をサブステージ50,70それぞれに接触(又は非接触)状態で接続する。サブステージ50,70を駆動するだけで、メインステージ40をX軸方向に移動させる。
【選択図】図2
Description
以下、本発明の第1の実施形態について、図1〜図5(B)に基づいて説明する。
次に、第2の実施形態の液晶露光装置について説明する。第2の実施形態の液晶露光装置は、マスクの一部を照明光から遮光するためのマスキングブレード装置(マスキングシステム)がマスクステージ装置に設けられている点を除き、第1の実施形態の液晶露光装置10と同様の構成を有しているため、以下では、マスクステージ装置の構成についてのみ説明する。なお、上記第1の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、第1の実施形態と同一の符号を用いるとともに、その説明を省略する。
図8には、第1の変形例に係る液晶露光装置10aが一部省略され、且つ一部断面図にて示されている。液晶露光装置10aは、床面(図1参照)上に設置されたチャンバ200内にマスクステージ装置MSTb、ボディBDa、図示しない基板ステージ装置(図1参照)などが収容されている。そして、第1の変形例に係るマスクステージ装置MSTbでは、サブステージ50,70それぞれを支持するガイド部38a、38bが、それぞれチャンバ200の天井に吊り下げ部材239a、239bを介して吊り下げ状態で固定されている点が上記第1及び第2実施形態と異なる。なお、ガイド部38bは、鏡筒定盤31aの上面に形成された上方(+Z方向)に開口する凹部231内に収容されている。また、図8では、その図示が省略されているが、吊り下げ部材239a、239bそれぞれは、X軸方向に離間して一対設けられており、ガイド部38a、38bのX軸方向の両端部を天井から吊り下げ支持している。
次に上記第1、第2の実施形態の第2の変形例について説明する。図9には、第2の変形例に係るマスクステージ装置MSTcの一部省略された斜視図が示されている。図9に示されるマスクステージ装置MSTcは、メインステージ340に固定された一対のX移動鏡48xの位置が上記第1、第2の実施形態とは異なる。メインステージ340の本体部341の下面には、−X側に開口した一対の凹部347がY軸方向に離間して形成されている。そして、一対のX移動鏡48xそれぞれは、一対の凹部347それぞれ内に収容されて本体部341に固定されている。この第2の変形例に係るマスクステージ装置MSTcでは、一対のX移動鏡48xが本体部341の内部側に配置されているので、例えば、仮に本体部341がθy方向に揺れたとしても反射面の角度変化を抑制できるので、高精度でメインステージ340の位置制御を行うことができる。また、上記第1、第2の実施形態のX移動鏡取付位置よりも、取付位置の剛性を高められるので、X移動鏡部の固有振動数を上げられ、制御性能を高めることができる。
次に、第3の実施形態の液晶露光装置について、図10〜図13に基づいて説明する。ここで、前述した第1の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一若しくは類似の符号を用いると共に、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第4の実施形態の露光装置について、図15〜図19に基づいて説明する。
ここで、前述した第1、第3の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一若しくは類似の符号を用いると共に、その説明を簡略若しくは省略する。
ストッパ部材121は、不図示のアクチュエータによって回転軸122を中心として回動される。図17(A)に示されるように、ストッパ部材121の開口部内には、前述の支持部材106が収容されている。支持部材106には、ストッパ部材121との対向面(すなわち+X側、−X側、+Y側、−Y側の4つの側面)に、例えばゴム系の材料により形成された緩衝パッド123(−X側の緩衝パッドは図示省略)が固定されている。支持部材106の+X側、−X側、+Y側,−Y側それぞれに固定された緩衝パッド123のそれぞれとストッパ部材121との間には、所定のクリアランス(隙間)が形成されている。
’のそれぞれは、前述のストッパ装置120a〜120dとは異なり、ストッパ部材121が固定ではなく、メインステージ40とサブステージ50、70それぞれとの相対移動を制限する位置(制限位置)と、その相対移動を制限しない位置(解除位置)との間を移動可能に構成されている。このため、ストッパ部材121を上記解除位置に配置することで、メインステージ40とサブステージ50,70とを、分離させることもできる。なお、ストッパ装置120a’〜120d ’では、上述の場合とは逆に、可動式のストッパ部材がメインステージに、ストッパ部材に当接する部材がサブステージ側にそれぞれ設けられていても良い。ただし、上述したように可動部材であるストッパ部材をサブステージに設ける方が、メインステージを軽量化できるので有利である。
次に、第5の実施形態の液晶露光装置について説明する。第5の実施形態の液晶露光装置は、メインステージとの間でマスクの受け渡しを行うマスクローダ装置がマスクステージ装置に設けられている点、及び一対のサブステージそれぞれを支持する一対のガイド部が第4の実施形態(及び第1ないし第3の実施形態)よりもX軸方向に長い点を除き、第4の実施形態の液晶露光装置2000と同様の構成を有している。以下では、マスクローダ装置の構成についてのみ説明する。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、上記第1、第4の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一の符号を用いると共に、その説明を省略する。
次に、第6の実施形態の液晶露光装置について説明する。第6の実施形態の液晶露光装置は、マスクステージ装置が備えるマスクローダ装置の構成が異なる点、及び一対のサブステージを支持するガイド部が第5の実施形態に比べてX軸方向に長い点を除き、第5の実施形態の液晶露光装置と同様の構成を有している。以下では、マスクローダ装置の構成について説明する。なお、上記第4及び第5の実施形態と同様の構成を有するものについては、上記第4及び第5の実施形態と同じ符号を付して、その説明を省略する。
次に、第7の実施形態について、図28〜図31に基づいて説明する。ここで、前述した第1の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、第1の実施形態と同一若しくは類似の符号を用いるとともに、その説明を簡略若しくは省略する。
次に第8の実施形態の液晶露光装置が有するマスクステージ装置について説明する。本第8の実施形態の液晶露光装置は、上記第7の実施形態と比べマスクステージ装置の構成が異なるのみなので、以下、マスクステージ装置の構成についてのみ説明する。図32には、第8の実施形態に係るマスクステージ装置MSTjを−Y側から見た側面図が示されている。第8の実施形態に係るマスクステージ装置MSTjは、上記第7の実施形態に係るマスクステージ装置MSTiと比べ、ケーブルユニットの構成が異なる。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、前述した第7の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、第1の実施形態と同一の符号を用いるとともに、その説明を省略する。
次に第9の実施形態に係るマスクステージ装置MSTkについて説明する。図34には、第9の実施形態に係るマスクステージ装置MSTkを−Y側から見た側面図が示されている。第9の実施形態に係るマスクステージ装置MSTkは、上記第8の実施形態に係るマスクステージ装置MSTjと比べ、一対のローラ213の支持構造が異なる。なお、説明の簡略化及び図示の便宜上から、前述した第7、第8の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、第7、第8の実施形態と同一の符号を用いるとともに、その説明を省略する。
また、シリコンウエハなどに回路パターンを転写する露光装置として、例えば米国特許出願公開第2005/0259234号明細書などに開示される、投影光学系とウエハとの間に液体が満たされる液浸型露光装置などに適用しても良い。
次に、上記各実施形態の露光装置をリソグラフィ工程で使用したマイクロデバイスの製造方法について説明する。上記各実施形態の露光装置では、プレート(ガラス基板)上に所定のパターン(回路パターン、電極パターン等)を形成することによって、マイクロデバイスとしての液晶表示素子を得ることができる。
〈パターン形成工程〉
まず、上述した各実施形態の露光装置を用いて、パターン像を感光性基板(レジストが塗布されたガラス基板等)に形成する、いわゆる光リソグラフィ工程が実行される。この光リソグラフィ工程によって、感光性基板上には多数の電極等を含む所定パターンが形成される。その後、露光された基板は、現像工程、エッチング工程、レジスト剥離工程等の各工程を経ることによって、基板上に所定のパターンが形成される。
〈カラーフィルタ形成工程〉
次に、R(Red)、G(Green)、B(Blue)に対応した3つのドットの組がマトリックス状に多数配列された、又はR、G、Bの3本のストライプのフィルタの組を複数水平走査線方向に配列したカラーフィルタを形成する。
〈セル組み立て工程〉
次に、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板、及びカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタ等を用いて液晶パネル(液晶セル)を組み立てる。例えば、パターン形成工程にて得られた所定パターンを有する基板とカラーフィルタ形成工程にて得られたカラーフィルタとの間に液晶を注入して、液晶パネル(液晶セル)を製造する。
〈モジュール組立工程〉
その後、組み立てられた液晶パネル(液晶セル)の表示動作を行わせる電気回路、バックライト等の各部品を取り付けて液晶表示素子として完成させる。
Claims (93)
- 互いに直交する第1軸及び第2軸を含む二次元平面に沿って移動可能な第1移動体と、
前記第1軸に平行な方向に関して前記第1移動体の一側に配置され、少なくとも前記第2軸に平行な方向に所定のストロークで移動可能な第2移動体と、
前記第1軸に平行な方向に関して前記第1移動体の他側に配置され、少なくとも前記第2軸に平行な方向に所定のストロークで移動可能な第3移動体と、
前記第2及び第3移動体を共に前記第2軸に平行な方向に駆動する第1駆動系と、
前記第1〜第3移動体を一体的に駆動可能な第1の状態と、前記第1〜第3移動体を一体的に駆動不可能な第2の状態と、を切り替え設定する状態設定装置と、を備える移動体装置。 - 前記状態設定装置は、前記第1移動体を前記第2及び第3移動体それぞれに非接触状態で連結する連結装置を含む請求項1に記載の移動体装置。
- 前記第1移動体を前記第2及び第3移動体に対して前記第1軸に平行な方向に非接触状態で駆動する非接触駆動系をさらに備える請求項2に記載の移動体装置。
- 前記非接触駆動系は、前記第1移動体を該第2及び第3移動体と同方向に誘導する請求項3に記載の移動体装置。
- 前記第2及び第3移動体を共に前記第1軸に平行な方向に駆動する第2駆動系を更に備える請求項4に記載の移動体装置。
- 前記非接触駆動系は、前記第2移動体に設けられた固定子と、前記第1移動体に設けられた可動子とを含み、電磁力により前記第1軸に平行な方向の駆動力を生成して、前記第1移動体を駆動する第1電磁アクチュエータを有する請求項3〜5のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第1電磁アクチュエータは、前記固定子がコイルを含むコイルユニットを有し、前記可動子が磁石を含む磁石ユニットを有する請求項6に記載の移動体装置。
- 前記第1電磁アクチュエータは、前記第1移動体の重心位置を含む前記二次元平面に平行な平面内で、前記第1移動体に駆動力を作用させる請求項6又は7に記載の移動体装置。
- 前記連結装置は、前記第2及び第3移動体それぞれに設けられた固定子と、前記第1移動体に設けられた可動子とを有する第2電磁アクチュエータを含み、電磁力により前記第2軸に平行な方向の駆動力を生成して、前記第1移動体を前記第2軸に平行な方向に誘導する請求項3〜8のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第2電磁アクチュエータは、前記固定子がコイルを含むコイルユニットを有し、前記可動子が磁石を含む磁石ユニットを有する請求項9に記載の移動体装置。
- 前記第2電磁アクチュエータは、前記第1移動体の重心位置を含む前記二次元平面に平行な平面内で、前記第1移動体に駆動力を作用させる請求項9又は10に記載の移動体装置。
- 前記第2及び第3移動体のそれぞれは、前記第1軸に平行な方向にも所定のストロークで移動可能であり、
前記第2及び第3移動体を共に前記第1軸に平行な方向に駆動する第2駆動系をさらに備える請求項2に記載の移動体装置。 - 前記連結装置は、前記第2及び第3移動体それぞれに設けられた固定子と、前記第1移動体に設けられた可動子とを含み、電磁力により前記第1及び第2軸それぞれに平行な方向への駆動力を生成して、前記第1移動体を前記第1及び第2軸に平行な方向に誘導する電磁アクチュエータを含む請求項12に記載の移動体装置。
- 前記電磁アクチュエータは、前記固定子がコイルを含むコイルユニットを有し、前記可動子が磁石を含む磁石ユニットを有する請求項13に記載の移動体装置。
- 前記電磁アクチュエータは、前記第1移動体の前記二次元平面に直交する方向に関する重心位置を含む前記二次元平面に平行な平面内で、前記第1移動体に駆動力を作用させる請求項13又は14に記載の移動体装置。
- 前記電磁アクチュエータにより生成される前記第1軸に平行な方向の駆動力を用いて、前記第1移動体を前記第2及び第3移動体に対して前記第1軸に平行な方向に非接触状態で駆動する非接触駆動系を更に有する請求項13〜15のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記状態設定装置は、前記第1〜第3移動体を接続する第1位置と、前記第1〜第3移動体を互いに非接触状態とする第2位置との間を移動可能な可動部材を有する接続装置を含む請求項1に記載の移動体装置。
- 前記状態設定装置は、前記第1移動体を前記第2及び第3移動体それぞれに非接触状態で連結する連結装置をさらに含む請求項17に記載の移動体装置。
- 前記連結装置は、前記第2及び第3移動体それぞれに設けられた固定子と、前記第1移動体に設けられた可動子とを含み、電磁力により前記第2軸に平行な方向の駆動力を生成して、前記第1移動体を前記第2軸に平行な方向に誘導する電磁アクチュエータを含む請求項18に記載の移動体装置。
- 前記電磁アクチュエータは、前記第1移動体の重心位置を含む前記二次元平面に平行な平面内で前記第1移動体に駆動力を作用させる請求項19に記載の移動体装置。
- 前記接続装置は、前記第1移動体の重心位置を含む前記二次元平面に平行な平面内で前記第1〜3移動体を接続する請求項17〜20のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記可動部材は、前記2次元平面に直交する方向に移動する請求項17〜21のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記接続装置は、球状部材と、テーパ面を有する凹部を含む係合部材とを有し、前記球状部材と前記係合部材とを前記可動部材を介して接近させることにより前記球状部材を前記凹部に嵌合させて前記第1〜第3移動体を接続し、前記可動部材を介して前記球状部材と前記係合部材とを離間させることにより、前記第1〜第3移動体を相対移動可能な状態とする請求項17〜22のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記接続装置は、前記第1移動体と前記第2移動体とを複数箇所で接続し、前記第1移動体と前記第3移動体とを複数箇所で接続する請求項17〜23のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記可動部材は、前記第2及び第3移動体それぞれに設けられる請求項17〜24のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第2及び第3移動体を共に前記第1軸に平行な方向に駆動する第2駆動系を更に備える請求項17〜25のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第1移動体を前記第2及び第3移動体に対して前記第1軸に平行な方向に非接触状態で駆動する非接触駆動系を更に備える請求項17〜26のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第1移動体を前記第2及び前記第3移動体それぞれに当接させることにより、前記第1移動体の前記第2及び第3移動体に対する相対移動可能範囲を制限する制限装置を更に備える請求項17〜27のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記制限装置は、前記第1移動体の重心位置を含む前記二次元平面に平行な平面内で、前記第1移動体を前記第2及び第3移動体それぞれに当接させる請求項28に記載の移動体装置。
- 前記制限装置は、前記第1移動体と前記第2及び第3移動体それぞれとの当接面に緩衝部材を有する請求項28又は29に記載の移動体装置。
- 互いに直交する第1及び第2軸を含む二次元平面に沿って移動可能な第1移動体と、
前記第1軸に平行な方向に関して前記第1移動体の一側に配置され、少なくとも前記第2軸に平行な方向に所定のストロークで移動可能な第2移動体と、
前記第1軸に平行な方向に関して前記第1移動体の他側に配置され、少なくとも前記第2軸に平行な方向に所定のストロークで移動可能な第3移動体と、
前記第2及び第3移動体を共に前記第2軸に平行な方向に駆動する第1駆動系と、
前記第1移動体を前記第2及び第3移動体それぞれに非接触状態で連結する連結装置と、
前記第1移動体と前記第2及び第3移動体との相対移動可能範囲を所定の範囲に制限する第1位置と、前記第1移動体と前記第2及び第3移動体との前記所定の範囲を超えた相対移動を許容する第2位置との間を移動可能な可動部材を有する制限装置と、を備える移動体装置。 - 前記制限装置は、前記第1移動体の重心位置を含む前記二次元平面に平行な平面内で、前記第1移動体を前記第2及び第3移動体それぞれに当接させる請求項31に記載の移動体装置。
- 前記制限装置は、前記第1移動体と前記第2及び第3移動体それぞれとの当接面に緩衝部材を有する請求項32に記載の移動体装置。
- 前記可動部材は、前記第2及び第3移動体それぞれに設けられる請求項31〜33のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記連結装置は、前記第2及び第3移動体それぞれに設けられた固定子と、前記第1移動体に設けられた可動子とを含み、電磁力により前記第2軸に平行な方向に駆動力を生成して、前記第1移動体を前記第2軸に平行な方向に誘導する電磁アクチュエータを有する請求項31〜34のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記電磁アクチュエータは、前記第1移動体の重心位置を含む前記二次元平面に平行な平面内で前記第1移動体に駆動力を作用させる請求項35に記載の移動体装置。
- 前記第1移動体を前記第2及び第3移動体に対して前記第1軸に平行な方向に非接触状態で駆動する非接触駆動系を更に備える請求項31〜36のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第2及び第3移動体を共に前記第1軸に平行な方向に駆動する第2駆動系を更に備え、
前記非接触駆動系は、前記第2駆動系により前記第2及び第3移動体が前記第1軸に平行な方向に駆動される際に、前記第1移動体を前記第2及び第3移動体と同方向に誘導する請求項37に記載の移動体装置。 - 前記第1〜第3移動体を接続する接続装置を更に備える請求項31〜38のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第1移動体と前記第2移動体との間隔に関する情報を計測する第1センサと、
前記第1移動体と前記第3移動体との間隔に関する情報を計測する第2センサと、を更に備え、
前記第1移動体は、前記第1及び第2センサの計測値に基づいて前記第2及び第3移動体に対する位置が制御される請求項1〜39のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記第2及び第3移動体それぞれは、前記第1及び第2軸それぞれに平行な方向を周期方向とするスケールと、該スケールを用いて前記第2及び第3移動体それぞれの前記二次元平面内の位置情報を計測するヘッドと、を含む第1計測装置の計測値に基づいて、前記二次元平面内の位置が制御される請求項1〜40のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第1計測装置は、前記第2及び第3移動体のそれぞれ及び前記第2及び第3移動体の外部との一方に配置された前記スケールと、前記第2及び第3移動体のそれぞれ及び前記第2及び第3移動体の外部との他方に配置された前記ヘッドと、を含むエンコーダシステムである請求項41に記載の移動体装置。
- 前記スケールは、前記第2及び第3移動体のそれぞれに設けられ、
前記ヘッドは、前記第2及び第3移動体の外部に設けられている請求項42に記載の移動体装置。 - 前記第1移動体は、前記二次元平面に平行なガイド面を有するガイド部材上に非接触支持される請求項1〜43のいずれか一項に記載の移動体装置。
- 前記第1移動体に設けられた反射面に測長ビームを照射し、その反射光に基づいて該第1移動体の前記二次元平面内の位置情報を、前記第2及び第3移動体とは別に計測する第2計測装置を更に備え、
前記反射面は、前記第1移動体の外側面よりも内部側に設けられる請求項1〜44のいずれか一項に記載の移動体装置。 - 前記第2計測装置は、レーザ干渉計システムを含む請求項45に記載の移動体装置。
- 前記第1移動体は、前記外側面に開口する開口部を備え、
前記反射面は、前記第1移動体の前記開口部内に設けられ、
前記測長ビームは、前記開口を介して前記反射面に照射される請求項46に記載の移動体装置。 - 前記第1移動体を、前記レーザ干渉計システムの計測原点位置に位置決めする位置決め装置を更に備える請求項46又は47に記載の移動体装置。
- 前記位置決め装置は、前記第1移動体及び所定の固定部材の一方に設けられたテーパ面を有する凹部を含む位置決め部材と、前記第1移動体及び前記固定部材の他方に設けられ、前記位置決め部材に接近及び離間する方向に移動可能に設けられ、前記位置決め部材に接近する際に前記テーパ面に摺動することにより、前記第1移動体を前記所定位置に案内する球状部と、を有する請求項48に記載の移動体装置。
- 前記位置決め装置は、少なくとも2つ設けられる請求項49に記載の移動体装置。
- パターンを介して物体をエネルギビームにより露光することにより、前記パターンを前記物体に転写する露光装置であって、
前記パターンを有するパターン保持体と前記物体との一方が前記第1移動体に保持される請求項1〜50のいずれか一項に記載の移動体装置と、
前記パターン保持体と前記物体との他方を保持する保持装置と、を備える露光装置。 - 前記パターン保持体が前記第1移動体に保持され、
前記物体が前記保持装置に保持される請求項51に記載の露光装置。 - 前記第2及び第3移動体間に架設され、前記パターン保持体に照射される前記エネルギビームの一部を遮光することにより、前記パターン保持体のパターン面における前記エネルギビームが照射される範囲を制限する遮光部材を更に備える請求項52に記載の露光装置。
- 前記遮光部材は、前記第2及び第3移動体上で前記第2軸に平行な方向に移動可能である請求項53に記載の露光装置。
- 前記遮光部材が前記第2軸に平行な方向に離間して複数設けられる請求項53又は54に記載の露光装置。
- 前記第2及び第3移動体は、前記保持装置を支持する構造部材とは分離された一対の支持部材上をそれぞれ移動する請求項52〜55のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記一対の支持部材は、前記構造部材に対して上方に配置された部材に吊り下げ固定される請求項56に記載の露光装置。
- 前記第2及び第3移動体の少なくとも一方に搭載され、前記第1移動体との間で、前記パターン保持体の相互受け渡しを行う受け渡し装置を更に備える請求項52に記載の露光装置。
- 前記受け渡し装置は、前記第2移動体に搭載され、前記パターン保持体の前記第1軸に平行な方向の一側を保持する第1保持装置と、前記3移動体に搭載され、前記パターン保持体の前記第1軸に平行な方向の他側を保持する第2保持装置と、を含む請求項58に記載の露光装置。
- 前記第2及び第3移動体は、前記第1駆動系により前記第1移動体と離れて前記第2軸方向に駆動されることにより、その保持する前記パターン保持体の交換が行われる交換位置に位置される請求項58又は59に記載の露光装置。
- 前記受け渡し装置は、前記第1移動体と非接触状態で設けられる請求項58〜60のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記第2移動体の前記第2軸に平行な方向への移動を案内する第1案内部材と、
前記第3移動体の前記第2軸に平行な方向への移動を案内する第2案内部材と、
前記第1案内部材上で前記第2移動体に対して前記第2軸に平行な方向の一側に配置され、前記第1案内部材を前記第2軸に平行な方向に移動可能な第4移動体と、
前記第2案内部材上で前記第3移動体に対して前記第2軸に平行な方向の一側に配置され、前記第2案内部材を前記第2軸に平行な方向に移動可能で、前記第1駆動系により第4移動体と共に前記第2軸に平行な方向に、前記第2及び第3移動体とは独立して駆動される第5移動体と、
前記第4移動体に搭載され、前記パターン保持体の前記第1軸に平行な方向の一側を保持する第1保持装置と、前記5移動体に搭載され、前記パターン保持体の前記第1軸に平行な方向の他側を保持する第2保持装置と、を含み、前記第1移動体との間で、前記パターン保持体の相互受け渡しを行う受け渡し装置と、を更に備える請求項52に記載の露光装置。 - 前記第1駆動系は、前記可動部材が前記第2位置に位置された状態で、前記第2及び第3移動体を駆動して前記第1移動体に対して前記第2軸に平行な方向の他側に位置させるとともに、前記第4及び第5移動体を前記第2軸に平行な方向の他側に駆動して、前記第1移動体と前記パターン保持体の受け渡しを行う位置に位置決めする請求項62に記載の露光装置。
- パターンを介して物体をエネルギビームにより露光することにより、前記パターンを前記物体に転写する露光装置であって、
前記パターンを有するパターン保持体と前記物体との一方を保持して、互いに直交する第1軸及び第2軸を含む二次元平面に沿って移動可能なメインステージと、
前記第1軸に平行な方向に関して前記メインステージの一側及び他側にそれぞれ配置され、少なくとも前記第2軸に平行な方向に所定のストロークで移動可能な一対のサブステージと、
前記一対のサブステージを前記第2軸に平行な方向に駆動する第1駆動系と、
前記メインステージと前記一対のサブステージとを、一体的に駆動可能な第1の状態と一体的に駆動不可能な第2の状態とを切り替え設定する状態設定装置と、
前記パターン保持体と前記物体との他方を保持する保持装置と、を備える露光装置。 - 前記パターン保持体が前記メインステージに保持され、
前記物体が前記保持装置に保持される請求項64に記載の露光装置。 - 前記状態設定装置は、前記メインステージを前記一対のサブステージそれぞれに非接触状態で連結する連結装置を含む請求項65に記載の露光装置。
- 前記メインステージを前記一対のサブステージに対して前記第1軸に平行な方向に非接触状態で駆動する非接触駆動系をさらに備える請求項66に記載の露光装置。
- 前記状態設定装置は、前記メインステージと前記一対のサブステージとを接続する第1位置と、前記メインステージと前記一対のサブステージとを互いに非接触状態とする第2位置との間を移動可能な可動部材を有する接続装置を含む請求項65に記載の露光装置。
- 前記状態設定装置は、前記メインステージを前記一対のサブステージそれぞれに非接触状態で連結する連結装置をさらに含む請求項68に記載の露光装置。
- 前記一対のサブステージ間に架設され、前記パターン保持体に照射される前記エネルギビームの一部を遮光することにより、前記パターン保持体のパターン面における前記エネルギビームが照射される範囲を制限する遮光部材を更に備える請求項64〜69のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記一対のサブステージの少なくとも一方に搭載され、前記メインステージとの間で、前記パターン保持体の相互受け渡しを行う受け渡し装置を更に備える請求項64〜70のいずれか一項に記載の露光装置。
- パターンを介して物体をエネルギビームにより露光することにより、前記パターンを前記物体に転写する露光装置であって、
前記パターンを有するパターン保持体と前記物体との一方を保持して、互いに直交する第1軸及び第2軸を含む二次元平面に沿って移動可能なメインステージと、
前記第1軸に平行な方向に関して前記メインステージの一側及び他側にそれぞれ配置され、少なくとも前記第2軸に平行な方向に所定のストロークで移動可能な一対のサブステージと、
前記一対のサブステージを前記第2軸に平行な方向に駆動する第1駆動系と、
前記メインステージを前記一対のサブステージそれぞれに非接触状態で連結する連結装置と、
前記メインステージと前記一対のサブステージとの相対移動可能範囲を所定の範囲に制限する第1位置と、前記メインステージと前記一対のサブステージとの前記所定の範囲を超えた相対移動を許容する第2位置との間を移動可能な可動部材を有する制限装置と、
前記パターン保持体と前記物体との他方を保持する保持装置と、を備える露光装置。 - 前記パターン保持体が前記メインステージに保持され、
前記物体が前記保持装置に保持される請求項72に記載の露光装置。 - 前記一対のサブステージ間に架設され、前記パターン保持体に照射される前記エネルギビームの一部を遮光することにより、前記パターン保持体のパターン面における前記エネルギビームが照射される範囲を制限する遮光部材を更に備える請求項72又は73に記載の露光装置。
- 前記一対のサブステージの少なくとも一方に搭載され、前記メインステージとの間で、前記パターン保持体の相互受け渡しを行う受け渡し装置を更に備える請求項72〜74のいずれか一項に記載の露光装置。
- 第1面に配置されるパターンにエネルギビームを照射して拡大倍率を有する投影光学系を介して形成される前記パターンの拡大像で第2面上に配置される物体を露光する露光装置であって、
前記パターンが形成されたマスクを保持して、互いに直交する第1軸及び第2軸を含む二次元平面に沿って移動可能なメインステージと、
前記第1軸に平行な方向に関して前記メインステージの一側及び他側にそれぞれ配置され、前記メインステージと一体的に移動可能な一対のサブステージと、
前記第1軸に平行な方向に関して前記パターンの像の投影領域が所定の間隔で配列された複数の拡大倍率を有する投影光学系と、を備える露光装置。 - 前記一対のサブステージは、前記物体上の前記複数の投影領域のうちの隣接する2つの投影領域の間隔に対応する距離以上前記第1軸に平行な方向に関して前記メインステージと一体的に移動する請求項76に記載の露光装置。
- 前記マスクのパターン面には、前記第2軸に平行な方向に延設された複数の帯状の領域が、前記第1軸に平行な方向に所定間隔で形成されており、該複数の帯状の領域には、前記物体上に第1パターンを形成するためのマスクパターンの一部、及び、前記第1パターンとは異なる第2パターンを前記物体上に形成するためのマスクパターンの一部が前記第1軸に平行な方向に関して交互に形成されており、
前記一対のサブステージは、前記複数の帯状の領域のうちの隣接する帯状領域の間隔と同等以上前記第1軸に平行な方向に関して前記メインステージと一体的に移動する請求項76又は77に記載の露光装置。 - 前記一対のサブステージ間に架設され、前記マスクに照射される前記エネルギビームの一部を遮光することにより、前記マスクのパターン面における前記エネルギビームが照射される範囲を制限する遮光部材を更に備える請求項76〜78のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記一対のサブステージの少なくとも一方に搭載され、前記メインステージとの間で、前記マスクの相互受け渡しを行う受け渡し装置を更に備える請求項76〜79のいずれか一項に記載の露光装置。
- 互いに直交する第1及び第2軸を含む二次元平面内で前記第1軸に平行な方向に移動する移動体と、外部装置との間で用力の伝達を行わせる用力伝達装置であって、
前記移動体に一端が接続されるとともに前記外部装置に他端が接続され、前記用力の伝達路を形成する長尺の可撓性部材と、
前記可撓性部材の長手方向における他端側の第1中間部分が固定され、前記第2軸に平行な第1軸線回りに少なくとも所定範囲で回動可能な第1回動部材と、
前記可撓性部材の長手方向における一端側の第2中間部分が固定され、前記移動体と共に前記第1軸に平行な方向に移動することにより前記第1回動部材に対して接近及び離間可能に設けられ、前記第2軸に平行な第2軸線回りに少なくとも所定範囲で回動可能な第2回動部材と、を備える用力伝達装置。 - 前記移動体に追従して前記第1軸に平行な方向に移動可能な追従移動体に設けられ、前記可撓性部材の長手方向における前記第1中間部分と前記第2中間部分との間の第3中間部分が固定され、前記第2軸に平行な第3軸線回りに少なくとも所定範囲で回動可能に設けられた第3回動部材を更に備える請求項81に記載の用力伝達装置。
- 前記追従移動体は、前記移動体に対して該移動体の半分の移動速度で追従する請求項82に記載の用力伝達装置。
- 前記追従移動体は、長手方向の一端が前記移動体に接続されるとともに、他端が固定され、且つ長手方向の中間部分が前記追従移動体に巻き掛けられた可撓性を有する牽引部材を介して、前記移動体に牽引される請求項83に記載の用力伝達装置。
- 前記移動体及び追従移動体は、前記第1軸に平行な方向に延設された同一のガイド部材上により前記第1軸に平行な方向に案内される請求項82〜84のいずれか一項に記載の用力伝達装置。
- 前記可撓性部材は、前記第1中間部分と前記第3中間部分との間の距離と、前記第2中間部分と前記第3中間部分との間の距離が同じである請求項82〜85のいずれか一項に記載の用力伝達装置。
- 前記可撓性部材は、前記移動体に対して前記第1軸に平行な方向の一側及び他側それぞれに延設され、その一端それぞれが共に前記移動体に接続された一側可撓性部材と他側可撓性部材とを含み、
前記第1〜第3回動部材は、前記一側可撓性部材及び他側可撓性部材に対応して、前記移動体に対して前記第1軸に平行な方向の一側及び他側それぞれに設けられる請求項82〜86のいずれか一項に記載の用力伝達装置。 - 前記可撓性部材は、前記移動体に対して前記第1軸に平行な方向の一側及び他側それぞれに延設され、その一端それぞれが共に前記移動体に接続された一側可撓性部材と他側可撓性部材とを含み、
前記第1及び第2回動部材は、前記一側可撓性部材及び他側可撓性部材に対応して、前記移動体に対して前記第1軸に平行な方向の一側及び他側それぞれに設けられる請求項81に記載の用力伝達装置。 - 前記可撓性部材は、前記移動体と前記外部装置とを電気的に接続するケーブル、前記移動体と前記外部装置との間で流体を伝達させるためのチューブのいずれかを含む請求項81〜88のいずれか一項に記載の用力伝達装置。
- 所定のパターンを有するパターン保持体を介して物体をエネルギビームにより露光することにより、前記パターンを前記物体に転写する露光装置であって、
前記移動体が、前記パターン保持体を前記第1軸に平行な方向に案内する請求項81〜89のいずれか一項に記載の用力伝達装置と、
前記物体を保持し、該物体を前記第1軸に平行な方向に案内する物体保持装置と、を備える露光装置。 - 前記物体は、サイズが500mm以上の基板である請求項48〜68、78のいずれか一項に記載の露光装置。
- 請求項51〜80、90、91のいずれか一項に記載の露光装置を用いて物体を露光することと、
露光された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。 - 請求項51〜80、90、91のいずれか一項に記載の露光装置を用いてフラットパネルディスプレイ用の基板を露光することと、
露光された前記基板を現像することと、を含むフラットパネルディスプレイの製造方法。
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