JP2016133374A - 変位測定装置および変位測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】位相検出部は、スケール信号のエッジのタイミングでサンプリング信号を出すサンプリング信号生成部と、クロックパルスに基づいて一定時間毎にカウント値をカウントアップするとともに前記サンプリング信号で指示されるタイミングでカウント値を出力するカウンタと、スケール信号のエッジの極性が立ち上がりエッジか立ち下がりエッジかを判定し、サンプリング信号が出たエッジが立ち下がりエッジである場合に調整信号を出すエッジ極性判定部と、調整信号を受けた場合には、前記カウンタから出力されたカウント値に対し所定の調整量を加算する調整部と、を備える。
【選択図】図16
Description
ただし、サンプリングを行うタイミングを立ち上がりエッジか立ち下がりエッジかのどちらか一方に決めておく必要がある。
周期的方形波信号CMPのエッジに位相情報があるわけであるが、例えば立ち上がりエッジが0°に相当するとすれば、立ち下がりエッジは180°を意味することになる。
立ち上がりエッジと立ち下がりエッジを区別せずに無分別にカウンタ値を取り込むと、カウンタ値と位相との対応がズレてしまうことになる。
複数回のサンプリング値を平均化する場合であっても、やはり、サンプリングを開始するエッジ極性を立ち上がりエッジか立ち下がりエッジかのどちらか一方に決めておく必要がある。
図19は、サンプルイネーブル信号ENBと周期的方形波信号CMPとの関係を示すタイミングチャートである。
サンプルイネーブル信号は一定周期、例えば100msec間隔で立ち上がる信号であり、サンプルイネーブル信号の立ち上がりにより、カウント値のサンプリングが開始になる。
周期的方形波信号CMPについては、メインスケールと検出ヘッドとの相対位置に応じた位相情報を持ちつつ、立ち上がりと立ち下がりとを繰り返す。
サンプルイネーブル信号の立ち上がりのあと、周期的方形波信号CMPの立ち上がりからサンプリングを開始し、各エッジのタイミングでカウント値を所定回数サンプリングする。ここではカウント値を続けて4回サンプリングして平均化処理を行うとする。したがって、サンプルイネーブル信号の立ち上がりのあと、周期的方形波信号CMPの最初の立ち上がりから各エッジのタイミングでサンプリング信号が4回オンになって、このサンプリング信号のオンタイミングでカウント値のサンプリングを行う。
また、変位検出に必要になる回路動作というのは8msec程度のサンプリング動作とその後わずかの演算処理だけである。
したがって、サンプルイネーブル信号がオンになったあと20msec程度の回路動作があって、その後の時間(80msec以上)というのは次のサンプルイネーブル信号のオンまで回路動作はほとんど無く、電力消費は限りなく抑制されるようになっている。となると、残された大きな電力消費は前記待ち時間twの長さに起因しており、この待ち時間twが短くなれば、極限的に消費電力が少ない変位測定装置とすることができる。
メインスケールと、
前記メインスケールに対して相対変位可能に設けられ、前記メインスケールに対する相対変位に応じて位相が変化する周期的信号を出力する検出ヘッドと、
前記周期的信号をエッジに位相情報を持つ矩形波のスケール信号に復調する復調部と、
前記スケール信号の位相情報をエッジのタイミングで検出する位相検出部と、を備え、
前記位相検出部は、
前記スケール信号のエッジのタイミングでサンプリング信号を出すサンプリング信号生成部と、
クロックパルスに基づいて一定時間毎にカウント値をカウントアップするとともに前記サンプリング信号で指示されるタイミングでカウント値を出力するカウンタと、
前記スケール信号のエッジの極性が立ち上がりエッジか立ち下がりエッジかを判定し、前記サンプリング信号が出たエッジが立ち下がりエッジである場合に調整信号を出すエッジ極性判定部と、
前記調整信号を受けた場合には、前記カウンタから出力された前記カウント値に対し所定の調整量を加算する調整部と、を備える
ことを特徴とする。
さらに、k個のサンプリング値の平均を算出する平均演算実行部を有し、
前記カウンタは、基準信号に同期し、基準信号の2分のk周期をカウント値の1回転とするループカウンタであり、
前記サンプリング信号生成部は、サンプリングがイネーブルになってから前記スケール信号のエッジのタイミングで連続k回のサンプリング信号を出し、
前記エッジ極性判定部は、サンプリングがイネーブルになってから前記スケール信号の最初のエッジが立ち下がりエッジであった場合に前記調整信号を出し、
前記調整部は、前記カウンタから出力されるカウント値に対し、カウンタ一周期のk分の1に相当する値を調整量として加算する
ことが好ましい。
kは自然数である。
さらに、k個のサンプリング値の平均を算出する平均演算実行部を有し、
前記カウンタは、基準信号に同期し、基準信号の2分の(k+α)周期をカウント値の1回転とするループカウンタであり、
前記サンプリング信号生成部は、サンプリングがイネーブルになってから前記スケール信号のエッジのタイミングで連続k回のサンプリング信号を出し、
前記エッジ極性判定部は、サンプリングがイネーブルになってから前記スケール信号の最初のエッジが立ち下がりエッジであった場合に前記調整信号を出し、
前記調整部は、前記カウンタから出力されるカウント値に対し、カウンタ一周期分の(k+α)分の1に相当する値を調整量として加算する
ことが好ましい。
kおよびαは自然数である。
立ち上がりエッジを立ち下がりエッジと読み替え、
立ち下がりエッジを立ち上がりエッジと読み替えてもよい。
メインスケールと、
前記メインスケールに対して相対変位可能に設けられ、前記メインスケールに対する相対変位に応じて位相が変化する周期的信号を出力する検出ヘッドと、
前記周期的信号をエッジに位相情報を持つ矩形波のスケール信号に復調する復調部と、
前記スケール信号の位相情報を前記エッジのタイミングで検出する位相検出部と、を備える変位測定装置の変位測定方法であって、
クロックパルスに基づいて一定時間毎にカウント値をカウントアップし、
前記スケール信号のエッジのタイミングで前記カウント値をサンプリングし、
前記スケール信号のエッジの極性が立ち上がりエッジか立ち下がりエッジかを判定し、
前記カウント値をサンプリングしたタイミングのエッジが立ち下がりエッジである場合には、サンプリングされた前記カウント値に対し所定の調整量を加算する
ことを特徴とする。
(第1実施形態)
本発明の主たるポイントは、二値化処理された位相信号から位相情報をデジタル値として取り出すにあたり、待ち時間twをできる限り短くすることにある。
したがって、本発明の特徴は信号処理の部分にあるのであるが、話の前提として、本発明を適用するのに好適な変位測定装置(エンコーダ)の構成例から順を追って説明する。
図1は、エンコーダ100の全体構成を示す図である。
エンコーダ100は、メインスケール22と、検出ヘッド21と、信号処理部と、表示器17と、を備える。
メインスケール22の長手方向を測定軸x方向とする。
図2は、メインスケール22に設けられた電極パターンを示す図である。
図3は、検出ヘッド21に設けられた電極パターンを示す図である。
図2において各第1受信電極24aは下向きの三角形状であり、メインスケール22の長手方向に沿って一定ピッチ(Pr)で多数配列されている。
一方、第2受信電極24bは上向きの三角形状であり、同じく、メインスケール22の長手方向に沿って一定ピッチ(Pr)で多数配列されている。
第1受信電極24aと第2受信電極24bとは櫛歯が噛み合うように配設されている。
検出ヘッド21には、送信電極23と、第1検出電極26a,26bと、第2検出電極27a,27bと、が設けられている。
ここで、送信電極23は、8つの電極で一つの単位(一群)を構成する。
すなわち、送信電極23は、7つおきに共通接続されている。
例えば、1番目の送信電極23は、2番から8番を飛ばして、9番目の送信電極と共通接続され、さらに、10番から16番を飛ばして、17番目の送信電極と共通接続されている。
(以下同様なので省略。)
図3中、送信電極の数を数えやすいように番号を付した。
駆動信号Sdとしては、45°ずつ位相がずれた8相の周期信号a,b,…,hが用意される。
(8相の周期信号a−hに対し、位相の順に相番号0から7と番号付けする。)
そして、一群を構成する8つの送信電極には、45°ずつ位相がずれた8相の周期信号a,b,…,hがそれぞれ供給される。これらの駆動信号Sdは、より具体的には、高周波パルスでチョップされた信号となっており、送信波形発生回路220で生成される(図8)。駆動信号Sdの電位の時間変化を式で表わすと次式のようになる。
ここで、Aは送信信号Sdの振幅、Tは送信信号Sdの周期、nは相番号(0、1、2、・・・・7)である。
この周期的電場パターンのピッチWtは、送信電極23のピッチPt0の8倍である。
このピッチWtは、受信電極24a,24bのピッチPrのN倍になるように設定されている。
(Nは正の整数。)
Nとしては、1,3,5等の奇数であることが好ましく、本実施形態ではN=3としている。
したがって、8つの連続する送信電極23に対し、常に3つ乃至4つの受信電極24a,24bが容量結合することになる。そして、各受信電極24a,24bが受信する信号(の位相)は、容量結合する送信電極23と受信電極24a,24bとの組み合わせによって決定されるところ、メインスケール22に対する検出ヘッド21の相対位置に応じて変化する。
偏位量D1、D2は、基準位置x0からの測定方向の距離xの関数で、それぞれ下記式のように表わされる。
D2(x)=(Pr-Pt2)x/Pr
(偏位D1による大きな周期をλ1とし、偏位D2による大きな周期をλ2とした。)
第1検出電極26a,26bおよび第2検出電極27a,27bは、第1伝達電極25aの(3つ分)および第2伝達電極25bの(3つ分)と容量結合しているのであるから、第1伝達電極25aおよび第2伝達電極25bに生じた容量変化を検出電流として取り出せる。
例えば、送信電極23のうちのどれか一つと第1検出電極の一方(26a)との間の容量が位置xによってどのように変化するかを考えてみる。
この容量をCn(B1)で表わすことにする。
容量Cn(B1)は次の式で表わされる。
グラフに表現すると図4のようになる。
Bは大きな周期の振幅、Cは小さな周期(pr)の振幅、Dはオフセット値である。
第1検出電極の一方(26a)と他方(26b)とは半周期ずれているので、大きな周期(λ1)は逆相になる。
この容量をCn(B2)で表わすことにする。
容量Cn(B2)は次の式で表わされる。
グラフに表現すると図5のようになる。
この誘起電圧の変化を検出信号B1、B2として取り出すと次のようになる。
また、検出信号C1,C2の大きな周期(λ2)が検出信号B1,B2の大きな周期(λ1)の数十倍になるようにする。
すると、下記式の演算により、各レベル、すなわち、粗い周期(粗スケール)、中間の周期(中スケール)、および、細かい周期(密スケール)、で位相変位を得ることができる。
(中スケール):B1−B2
(密スケール):(B1+B2)−(C1+C2)
図8は、信号処理部200の機能ブロック図である。
信号処理部200は、制御回路210と、送信波形発生回路220と、復調部230と、位相検出部300と、合成回路270と、実寸換算部280と、を備える。
制御回路210は、タイマ211を内蔵している。このタイマ211によって、表示器17の表示リフレッシュサイクルが間欠的な一定周期(例えば100msec間隔)になるように制御される。そして、各表示リフレッシュサイクル内で位相データの抽出、合成,表示動作が実行されるように各回路動作のオンオフが制御される。制御回路210は、100msecごとに立ち上がり所定時間だけ継続するイネーブル信号ENBを送信波形発生回路220、復調部230、位相検出部300、合成回路270および実寸換算部に供給する。
これにより、粗スケール復調部231は、"C1−C2"で得られる粗スケール信号の復調を行う。
中スケール復調部232には、第1検出電極26a、26bからの検出信号B1、B2が入力される。
これにより、中スケール復調部232は、"B1−B2"で得られる中スケール信号の復調を行う。
密スケール復調部233には、第1検出電極26a、26bおよび第2検出電極27a、27bからの検出信号B1、B2、C1、C2が入力される。
これにより、密スケール復調部233は、"(B1+B2)−(C1+C2)"で得られる密スケール信号の復調を行う。
粗位相検出部310には、粗スケール信号(CMP−COA)が入力される。
中位相検出部320には、中スケール信号(CMP−MED)が入力される。
密位相検出部330には、密スケール信号(CMP−FIN)が入力される。
粗位相検出部310、中位相検出部320および密位相検出部330は基本的には同じ構成であるので、ここでは密位相検出部330を例にして説明する。
図9は、密位相検出部330の機能ブロック図である。
密位相検出部330は、カウンタ331と、サンプリングタイミング制御部340と、位相調整部350と、平均値演算部360と、を備える。
本実施形態では、カウンタ331の一周を周期信号の4周期分としている。
(周期信号の一周期はスケール信号CMPの一周期と等しい。
カウンタ331の一周をスケール信号CMPの4周期分とした、と表現しても同じことである。)
これは、密位相検出部330においては、4つのカウント値の平均値を位相情報とするようにしたことによる。カウンタ331の一周が周期信号のぴったり4周期分である必要はなく、カウンタ331の一周が周期信号の4周期分以上あればよい。
平均値算出に用いるカウント値の個数をkとすれば、カウンタの一周は基準信号の2分のk周期分である。
サンプリングタイミング制御部340は、密スケール信号(CMP−FIN)およびイネーブル信号ENBに基づいて、カウンタ331にカウント値の出力を指示するとともに、必要に応じて位相調整部350に対して位相調整の指示を出す。
サンプリング信号生成部341は、イネーブル信号ENBの立ち上がりの後、密スケール信号(CMP−FIN)のエッジのタイミングで4回立ち上がるサンプリング信号を生成する。
密スケール信号の位相検出にあたっては4回分のサンプリング値を平均した平均値を位相情報とするため、サンプリング信号が4回立ち上がるように設定してある。
例えば、中スケール信号(CMP−MED)や粗スケール信号(CMP−COA)の位相検出にあたっては2回分のサンプリング値から平均値を求めるとすれば、サンプリング信号が立ち上がる回数は2回ということになる。
例えば、図11のように、イネーブル信号ENBの立ち上がりの後、密スケール信号(CMP−FIN)の最初のエッジが立ち上がりであれば、サンプリング信号は、その立ち上がりエッジから4回立ち上がる。
これは背景技術と同じである。
また、図12のように、イネーブル信号ENBの立ち上がりの後、密スケール信号(CMP−FIN)の最初のエッジが立ち下がりエッジであるケースも当然ある。この場合であっても、サンプリング信号は、密スケール信号(CMP−FIN)の最初のエッジである立ち下がりエッジから4回立ち上がる。このように生成されるサンプリング信号は、カウンタ331に供給される。
カウンタ331は、サンプリング信号のタイミングでカウント値を出力する。
エッジ極性判定部342は、イネーブル信号ENBの立ち上がり直後に来る密スケール信号(CMP−FIN)のエッジ極性を判定する。そして、エッジ極性判定部342は、イネーブル信号ENBの立ち上がり直後に来る密スケール信号(CMP−FIN)のエッジ極性が立ち下がりエッジであった場合、位相調整部350に調整信号を出力する。例えば、図11のケースでは、イネーブル信号ENBの立ち上がり直後に来る密スケール信号(CMP−FIN)のエッジ極性は立ち上がりエッジである。この場合、調整信号はずっとLOWである。
この場合、エッジ極性判定部342は、調整信号のHIGHを位相調整部350に供給する。
イネーブル信号ENBの立ち上がり直後に来る密スケール信号(CMP−FIN)のエッジ極性が立ち下がりエッジであった場合、エッジ極性判定部342から位相調整部350に調整信号が出力される(図12)。
調整信号を受けると、位相調整部350は、カウンタ331からカウント値に調整量を加算する。
ここでは、調整量は、密スケール信号(CMP−FIN)の半周期分である。
カウンタの一周である1024が4周期に相当するようにカウンタ331を設定したので、調整量である密スケール信号(CMP−FIN)半周期分とはカウンタ値で128に相当する。
二進数で表わせば、"0010000000"である。
カウンタの一周期を360°(2π)とすれば、調整量は45°(π/4)ということになる。
このようにして調整されたカウント値は平均値演算部360に出力される。
もちろん、エッジ極性判定部342から調整信号を受けない場合は、位相調整部350はカウンタ331からのカウント値をそのまま平均値演算部360に出力する。
平均値演算部360は、データバッファ361と、演算実行部362と、を備える。
サンプリング信号のタイミングに合わせて4回分のカウント値を取り込み、それらの平均を求めると、図中三角マークで記した値が平均値に相当する。
図13のケースでは、サンプリングが立ち上がりエッジからスタートしているので、この値を後工程(例えば合成処理や実寸法換算)にそのまま使える。
図14、図15を参照しながら説明する。
図14では、位相調整部350による位相調整が無い場合の問題点を説明する。
図14において、イネーブル信号ENBの立ち上がりの後、最初に来る密スケール信号(CMP−FIN)のエッジは立ち下がりエッジである。
前述のように、この場合でもサンプリング信号は密スケール信号(CMP−FIN)の最初のエッジである立ち下がりエッジから4回立ち上がる。
サンプリング信号に従ってカウンタ331のカウント値を取り込む。
そして、演算実行部362によって4つのカウント値の平均値を求めたとする。
図14中に三角マークで平均値を示した。
このようにして求められた「平均値」は、エッジの立ち上がりからサンプリングした場合と比べてズレがある。
したがって、この値を後工程(合成処理や実寸法換算)にそのまま使用すると、測定値にズレが生じる。
図15においては、イネーブル信号ENBがオンになったあと、密スケール信号(CMP−FIN)の立ち上がりエッジが来るまでカウント値の取り込みを待っている。4回分のカウント値の平均値を図中、実線の三角マークで示す。(対比のため、図14のケースを破線で示してある。)
したがって、図16に示す如く、密スケール信号(CMP−FIN)の半周期分の値を加算する必要がある。この役割を果たすのが位相調整部350である。
細かく説明しないが、例えば、図17と図18とを見比べれば、平均化に使うサンプル数が2である場合でも調整量は同じであることがすぐに理解されるであろう。
ちなみに、この場合、カウンタの一周期を基準にして調整量を表現すれば、調整量はカウンタの一周期の4分の1ということになる。
カウンタの一周期を360°(2π)とすれば、調整量は90°(π/2)ということになる。
そして、調整量は、
[カウンタの一周期分/k]
ということになる。
求められたデジタルとしての各位相情報は合成回路270で重み付けられて合成される。
(1)従前は、位相情報のサンプリングを開始するのに、スケール信号CMPの立ち上がりエッジが来るまで待っていた。そのため、時間も電力も無駄に消費していた。
この点、本実施形態では、立ち上がりエッジを待つことなく、立ち下がりエッジであるとしても位相情報のサンプリングを開始する。これにより、待ち時間twは、多く見積もってもスケール信号CMPの半周期内に収まる。仮に、4つのカウント値を平均化して位相情報とする場合を考えると、約10%程度電力効率を改善できる。
これにより、時間、電力を無駄に消費せず、しかも正確な変位測定装置とすることができる。
本発明の適用範囲は、静電容量式のエンコーダに限らないし、直線移動型に限られるものでもない。
位相情報に基づいて絶対位置を求めるエンコーダであれば光電式や磁気式のエンコーダでもよい。ロータリーエンコーダでもよいことはもちろんである。
その為、立ち下がりエッジからサンプリングを開始した場合にはスタンダード(標準)との整合をとるように調整量を加算するとした。もちろん、逆になってもよいのである。すなわち、立ち下がりエッジからサンプリングを開始することをスタンダード(標準)として後工程(合成処理や実寸法換算)を組んだとする。この場合、立ち上がりエッジからサンプリングを開始した場合に調整量の加算が必要になる。
Claims (5)
- メインスケールと、
前記メインスケールに対して相対変位可能に設けられ、前記メインスケールに対する相対変位に応じて位相が変化する周期的信号を出力する検出ヘッドと、
前記周期的信号をエッジに位相情報を持つ矩形波のスケール信号に復調する復調部と、
前記スケール信号の位相情報をエッジのタイミングで検出する位相検出部と、を備え、
前記位相検出部は、
前記スケール信号のエッジのタイミングでサンプリング信号を出すサンプリング信号生成部と、
クロックパルスに基づいて一定時間毎にカウント値をカウントアップするとともに前記サンプリング信号で指示されるタイミングでカウント値を出力するカウンタと、
前記スケール信号のエッジの極性が立ち上がりエッジか立ち下がりエッジかを判定し、前記サンプリング信号が出たエッジが立ち下がりエッジである場合に調整信号を出すエッジ極性判定部と、
前記調整信号を受けた場合には、前記カウンタから出力された前記カウント値に対し所定の調整量を加算する調整部と、を備える
ことを特徴とする変位測定装置。 - 請求項1に記載の変位測定装置において、
さらに、k個のサンプリング値の平均を算出する平均演算実行部を有し、
前記カウンタは、基準信号に同期し、基準信号の2分のk周期をカウント値の1回転とするループカウンタであり、
前記サンプリング信号生成部は、サンプリングがイネーブルになってから前記スケール信号のエッジのタイミングで連続k回のサンプリング信号を出し、
前記エッジ極性判定部は、サンプリングがイネーブルになってから前記スケール信号の最初のエッジが立ち下がりエッジであった場合に前記調整信号を出し、
前記調整部は、前記カウンタから出力されるカウント値に対し、カウンタ一周期のk分の1に相当する値を調整量として加算する
ことを特徴とする変位測定装置。
kは自然数である。 - 請求項1に記載の変位測定装置において、
さらに、k個のサンプリング値の平均を算出する平均演算実行部を有し、
前記カウンタは、基準信号に同期し、基準信号の2分の(k+α)周期をカウント値の1回転とするループカウンタであり、
前記サンプリング信号生成部は、サンプリングがイネーブルになってから前記スケール信号のエッジのタイミングで連続k回のサンプリング信号を出し、
前記エッジ極性判定部は、サンプリングがイネーブルになってから前記スケール信号の最初のエッジが立ち下がりエッジであった場合に前記調整信号を出し、
前記調整部は、前記カウンタから出力されるカウント値に対し、カウンタ一周期分の(k+α)分の1に相当する値を調整量として加算する
ことを特徴とする変位測定装置。
kおよびαは自然数である。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の変位測定装置において、
立ち上がりエッジを立ち下がりエッジと読み替え、
立ち下がりエッジを立ち上がりエッジと読み替える
ことを特徴とする変位測定装置。 - メインスケールと、
前記メインスケールに対して相対変位可能に設けられ、前記メインスケールに対する相対変位に応じて位相が変化する周期的信号を出力する検出ヘッドと、
前記周期的信号をエッジに位相情報を持つ矩形波のスケール信号に復調する復調部と、
前記スケール信号の位相情報を前記エッジのタイミングで検出する位相検出部と、を備える変位測定装置の変位測定方法であって、
クロックパルスに基づいて一定時間毎にカウント値をカウントアップし、
前記スケール信号のエッジのタイミングで前記カウント値をサンプリングし、
前記スケール信号のエッジの極性が立ち上がりエッジか立ち下がりエッジかを判定し、
前記カウント値をサンプリングしたタイミングのエッジが立ち下がりエッジである場合には、サンプリングされた前記カウント値に対し所定の調整量を加算する
ことを特徴とする変位測定方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015007660A JP6609411B2 (ja) | 2015-01-19 | 2015-01-19 | 変位測定装置および変位測定方法 |
DE102015016601.8A DE102015016601B4 (de) | 2015-01-19 | 2015-12-22 | Verschiebungsmessvorrichtung und Verschiebungsmessverfahren |
US14/990,937 US9851224B2 (en) | 2015-01-19 | 2016-01-08 | Displacement measuring device and displacement measuring method |
CN201610035807.8A CN105806201B (zh) | 2015-01-19 | 2016-01-19 | 位移测量装置和位移测量方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015007660A JP6609411B2 (ja) | 2015-01-19 | 2015-01-19 | 変位測定装置および変位測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016133374A true JP2016133374A (ja) | 2016-07-25 |
JP6609411B2 JP6609411B2 (ja) | 2019-11-20 |
Family
ID=56293517
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015007660A Active JP6609411B2 (ja) | 2015-01-19 | 2015-01-19 | 変位測定装置および変位測定方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9851224B2 (ja) |
JP (1) | JP6609411B2 (ja) |
CN (1) | CN105806201B (ja) |
DE (1) | DE102015016601B4 (ja) |
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- 2015-12-22 DE DE102015016601.8A patent/DE102015016601B4/de active Active
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- 2016-01-08 US US14/990,937 patent/US9851224B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102015016601A1 (de) | 2016-07-21 |
CN105806201B (zh) | 2019-07-26 |
US9851224B2 (en) | 2017-12-26 |
CN105806201A (zh) | 2016-07-27 |
DE102015016601B4 (de) | 2021-09-16 |
US20160209242A1 (en) | 2016-07-21 |
JP6609411B2 (ja) | 2019-11-20 |
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Legal Events
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A977 | Report on retrieval |
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