JPH0694406A - 変位測定装置 - Google Patents
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- JPH0694406A JPH0694406A JP4270912A JP27091292A JPH0694406A JP H0694406 A JPH0694406 A JP H0694406A JP 4270912 A JP4270912 A JP 4270912A JP 27091292 A JP27091292 A JP 27091292A JP H0694406 A JPH0694406 A JP H0694406A
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- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
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- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G01D5/2415—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying overlap adapted for encoders
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- Power Engineering (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】低消費電力化を図り、スムーズなデータ表示を
可能としたアブソリュート型の変位測定装置を提供する
ことを目的とする。 【構成】ＡＢＳセンサ１０、その出力を処理して位相情
報を持った粗スケール、中間スケール信号、密スケール
の各周期信号を得る復調回路１２、得られた周期信号か
ら位相情報を検出して、粗スケール，中間スケール，密
スケールの各位相データを得る位相検出回路１３、各位
相データを合成して絶対変位量を求める合成回路１４、
この合成回路１４により得られた絶対変位量を所定のリ
フレッシュサイクルで表示するための演算回路１６と表
示器１７、および各回路を制御する制御回路１８を備
え、制御回路１８は復調回路１２および位相検出回路１
３による位相データ抽出の動作時間を制限するタイマ１
９を内蔵している。
可能としたアブソリュート型の変位測定装置を提供する
ことを目的とする。 【構成】ＡＢＳセンサ１０、その出力を処理して位相情
報を持った粗スケール、中間スケール信号、密スケール
の各周期信号を得る復調回路１２、得られた周期信号か
ら位相情報を検出して、粗スケール，中間スケール，密
スケールの各位相データを得る位相検出回路１３、各位
相データを合成して絶対変位量を求める合成回路１４、
この合成回路１４により得られた絶対変位量を所定のリ
フレッシュサイクルで表示するための演算回路１６と表
示器１７、および各回路を制御する制御回路１８を備
え、制御回路１８は復調回路１２および位相検出回路１
３による位相データ抽出の動作時間を制限するタイマ１
９を内蔵している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ディジタルノギス等の
小型計測器に適用される変位測定装置に係り、特に変位
センサの固定要素に対する可動要素の絶対的な変位量を
測定することを可能としたいわゆるアブソリュート型の
変位測定装置に関する。
小型計測器に適用される変位測定装置に係り、特に変位
センサの固定要素に対する可動要素の絶対的な変位量を
測定することを可能としたいわゆるアブソリュート型の
変位測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】測定値を液晶表示装置等に表示するディ
ジタルノギス，ディジタルマイクロメータ，ハイトゲー
ジ等の小型計測器として、静電容量式の変位センサを利
用するものが有望である。静電容量式変位センサは、メ
インスケール等の固定要素と、これに対して相対移動す
るスライダ等の可動要素とにそれぞれ多数の電極が配設
され、固定要素に対する可動要素の移動に伴って電極パ
ターン間に生じる周期的な容量変化の信号を取り出すこ
とにより変位量検出を行うものである。
ジタルノギス，ディジタルマイクロメータ，ハイトゲー
ジ等の小型計測器として、静電容量式の変位センサを利
用するものが有望である。静電容量式変位センサは、メ
インスケール等の固定要素と、これに対して相対移動す
るスライダ等の可動要素とにそれぞれ多数の電極が配設
され、固定要素に対する可動要素の移動に伴って電極パ
ターン間に生じる周期的な容量変化の信号を取り出すこ
とにより変位量検出を行うものである。
【０００３】この様な変位センサには、その出力信号の
形態によって、インクリメンタル型とアブソリュート型
の２種類がある。前者は、スライダが基準位置から移動
することにより生じる周期信号を連続的に計測すること
によって変位量を測定する。後者は、電極パターンの形
状によって、粗密に応じた複数種の変位量検出のための
周期信号、例えば粗スケール信号，中間スケール信号，
および密スケール信号の各周期信号を出力可能として、
これらの各周期信号の位相情報を合成することにより、
可動要素の絶対的な変位量（位置）の検出を可能とした
ものである。
形態によって、インクリメンタル型とアブソリュート型
の２種類がある。前者は、スライダが基準位置から移動
することにより生じる周期信号を連続的に計測すること
によって変位量を測定する。後者は、電極パターンの形
状によって、粗密に応じた複数種の変位量検出のための
周期信号、例えば粗スケール信号，中間スケール信号，
および密スケール信号の各周期信号を出力可能として、
これらの各周期信号の位相情報を合成することにより、
可動要素の絶対的な変位量（位置）の検出を可能とした
ものである。
【０００４】アブソリュート型の変位測定装置におい
て、上述した粗スケール信号，中間スケール信号および
密スケール信号はそれぞれのエッジに位相情報を持つ矩
形波の周期信号として復調される。これらの周期信号か
ら位相を検出するには、通常立上がりエッジ位相と立下
がりエッジ位相を複数回ずつ検出して平均化することが
行われる。これは、復調回路内の演算増幅器のオフセッ
トを相殺し、またデータ変動による表示のちらつきを防
止するためである。
て、上述した粗スケール信号，中間スケール信号および
密スケール信号はそれぞれのエッジに位相情報を持つ矩
形波の周期信号として復調される。これらの周期信号か
ら位相を検出するには、通常立上がりエッジ位相と立下
がりエッジ位相を複数回ずつ検出して平均化することが
行われる。これは、復調回路内の演算増幅器のオフセッ
トを相殺し、またデータ変動による表示のちらつきを防
止するためである。
【０００５】一方復調回路により得られる各周期信号
は、変位センサのスライダのメインスケールに対する相
対移動（以下、単に変位センサ移動という）時には信号
周期が伸縮する。この信号周期の伸縮は移動方向によっ
て異なり、またその影響は密スケール信号，中間スケー
ル信号，粗スケール信号の順に大きい。そしてこの信号
周期の伸縮のために、位相情報抽出に要する時間は変位
センサの停止，移動の状態により変化することになる。
は、変位センサのスライダのメインスケールに対する相
対移動（以下、単に変位センサ移動という）時には信号
周期が伸縮する。この信号周期の伸縮は移動方向によっ
て異なり、またその影響は密スケール信号，中間スケー
ル信号，粗スケール信号の順に大きい。そしてこの信号
周期の伸縮のために、位相情報抽出に要する時間は変位
センサの停止，移動の状態により変化することになる。
【０００６】アブソリュート変位測定装置における上述
した位相情報抽出時間の変動の様子を、具体的に図５を
参照して説明する。図５(a) ，(b) はそれぞれ、変位セ
ンサ停止時および変位センサ移動時の密スケール信号
（ＣＭＰ−ＦＩＮ．），中間スケール信号（ＣＭＰ−Ｍ
ＥＤ．）および粗スケール信号（ＣＭＰ−ＣＯＡ．）を
示している。位相データの抽出は、例えば密スケール信
号についていえば、その立上がりエッジの位相データＤ
FRと立ち下がりエッジの位相データＤFFを検出してこれ
らの平均値、即ち（ＤFR＋ＤFF）／２を求めることによ
り行われる。中間スケール信号についても（ＤMR＋ＤM
F）／２を求め、粗スケール信号についても（ＤCR＋ＤC
F）／２を求める。こうして求められた位相データを合
成することにより絶対変位量が算出され、これが所定の
リフレッシュサイクルで表示される。表示リフレッシュ
サイクルの１フレームは、以上のデータ抽出時間、合
成，表示時間および待ち時間により構成されることにな
る。
した位相情報抽出時間の変動の様子を、具体的に図５を
参照して説明する。図５(a) ，(b) はそれぞれ、変位セ
ンサ停止時および変位センサ移動時の密スケール信号
（ＣＭＰ−ＦＩＮ．），中間スケール信号（ＣＭＰ−Ｍ
ＥＤ．）および粗スケール信号（ＣＭＰ−ＣＯＡ．）を
示している。位相データの抽出は、例えば密スケール信
号についていえば、その立上がりエッジの位相データＤ
FRと立ち下がりエッジの位相データＤFFを検出してこれ
らの平均値、即ち（ＤFR＋ＤFF）／２を求めることによ
り行われる。中間スケール信号についても（ＤMR＋ＤM
F）／２を求め、粗スケール信号についても（ＤCR＋ＤC
F）／２を求める。こうして求められた位相データを合
成することにより絶対変位量が算出され、これが所定の
リフレッシュサイクルで表示される。表示リフレッシュ
サイクルの１フレームは、以上のデータ抽出時間、合
成，表示時間および待ち時間により構成されることにな
る。
【０００７】図５(a) (b) を比較して明らかなように、
変位センサ停止時と変位センサ移動時では、復調された
周期信号の周期が異なる。これは、静電容量式変位セン
サに用いられる駆動信号は周波数一定であるが、変位セ
ンサ移動による送信電極と受信電極の対向関係変化によ
って実質的に周波数変調されたと等価の効果が得られる
ためである。そしてこの周期変動は、密スケール信号，
中間スケール信号，粗スケール信号の順に大きく、図５
(b) では密スケール信号の周期がセンサ停止時の図５
(a) に比べて大きくなった状態を示している。図５(b)
の状態では、立上がりエッジ検出と立ち下がりエッジ検
出を必要とする位相データ抽出に要する時間が、図５
(a) のセンサ停止時に比べて長くなることになる。
変位センサ停止時と変位センサ移動時では、復調された
周期信号の周期が異なる。これは、静電容量式変位セン
サに用いられる駆動信号は周波数一定であるが、変位セ
ンサ移動による送信電極と受信電極の対向関係変化によ
って実質的に周波数変調されたと等価の効果が得られる
ためである。そしてこの周期変動は、密スケール信号，
中間スケール信号，粗スケール信号の順に大きく、図５
(b) では密スケール信号の周期がセンサ停止時の図５
(a) に比べて大きくなった状態を示している。図５(b)
の状態では、立上がりエッジ検出と立ち下がりエッジ検
出を必要とする位相データ抽出に要する時間が、図５
(a) のセンサ停止時に比べて長くなることになる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、アブソ
リュート型変位測定装置では、変位センサのある方向へ
の高速移動時には、全位相情報を得るために長時間を要
することになる。その間位相データ抽出のためにアナロ
グ回路部を動作させておくことにすると、これにより装
置の消費電力が増加する。また位相データ抽出時間に応
じて、表示リフレッシュサイクルを変化させれば、表示
が不規則になって見苦しくなる。表示リフレッシュサイ
クルを固定するとしても、位相データ抽出時間の変化を
考慮すると、１フレーム時間が大きくなり過ぎて、セン
サ移動に対するデータ表示の追従性が悪くなり、表示が
不自然になる。
リュート型変位測定装置では、変位センサのある方向へ
の高速移動時には、全位相情報を得るために長時間を要
することになる。その間位相データ抽出のためにアナロ
グ回路部を動作させておくことにすると、これにより装
置の消費電力が増加する。また位相データ抽出時間に応
じて、表示リフレッシュサイクルを変化させれば、表示
が不規則になって見苦しくなる。表示リフレッシュサイ
クルを固定するとしても、位相データ抽出時間の変化を
考慮すると、１フレーム時間が大きくなり過ぎて、セン
サ移動に対するデータ表示の追従性が悪くなり、表示が
不自然になる。
【０００９】本発明は、上述のような位相データ抽出時
間の変動に伴う問題を解決して、低消費電力化を図り、
またスムーズなデータ表示を可能としたアブソリュート
型の変位測定装置を提供することを目的とする。
間の変動に伴う問題を解決して、低消費電力化を図り、
またスムーズなデータ表示を可能としたアブソリュート
型の変位測定装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に係る変位測定装
置は、固定要素に対する可動要素の相対位置関係に応じ
た出力信号を出す変位センサと、この変位センサの出力
信号を処理して、それぞれエッジに位相情報を持った少
なくとも粗スケール，密スケールの二種の変位量検出用
の周期信号を得る復調手段と、この復調手段により得ら
れた各周期信号のそれぞれから位相情報を検出して、粗
スケール，密スケールの位相データを得る位相検出手段
と、この位相検出手段により得られた粗スケール，密ス
ケールの位相データを合成して、前記固定要素に対する
前記可動要素の絶対変位量を求める合成手段と、この合
成手段により得られた絶対変位量を所定のリフレッシュ
サイクルで表示する表示手段と、前記復調手段および位
相検出手段による位相データ抽出の動作時間を制限する
制御手段とを備えたことを特徴としている。
置は、固定要素に対する可動要素の相対位置関係に応じ
た出力信号を出す変位センサと、この変位センサの出力
信号を処理して、それぞれエッジに位相情報を持った少
なくとも粗スケール，密スケールの二種の変位量検出用
の周期信号を得る復調手段と、この復調手段により得ら
れた各周期信号のそれぞれから位相情報を検出して、粗
スケール，密スケールの位相データを得る位相検出手段
と、この位相検出手段により得られた粗スケール，密ス
ケールの位相データを合成して、前記固定要素に対する
前記可動要素の絶対変位量を求める合成手段と、この合
成手段により得られた絶対変位量を所定のリフレッシュ
サイクルで表示する表示手段と、前記復調手段および位
相検出手段による位相データ抽出の動作時間を制限する
制御手段とを備えたことを特徴としている。
【００１１】本発明に係る変位測定装置はまた、上述し
た基本構成に加えて、制限された位相データ抽出時間内
に抽出できない位相データを補完するために用いられる
ダミー位相データを発生するダミー位相データ発生手段
を有することを特徴としている。
た基本構成に加えて、制限された位相データ抽出時間内
に抽出できない位相データを補完するために用いられる
ダミー位相データを発生するダミー位相データ発生手段
を有することを特徴としている。
【００１２】
【作用】本発明によれば、アブソリュート型変位測定装
置において、位相データ抽出の動作にタイムリミットを
設けることによって、表示リフレッシュサイクルを表示
に最適な値に固定して、変位センサの停止状態，移動状
態の如何に拘らず、スムーズな測定値表示を行うことが
できる。また位相データ抽出を行う復調回路および位相
検出回路部の動作時間にタイムリミットを設けることに
より、効果的に消費電力を低減することができる。特に
アナログ回路である復調回路での消費電力低減効果が大
きい。
置において、位相データ抽出の動作にタイムリミットを
設けることによって、表示リフレッシュサイクルを表示
に最適な値に固定して、変位センサの停止状態，移動状
態の如何に拘らず、スムーズな測定値表示を行うことが
できる。また位相データ抽出を行う復調回路および位相
検出回路部の動作時間にタイムリミットを設けることに
より、効果的に消費電力を低減することができる。特に
アナログ回路である復調回路での消費電力低減効果が大
きい。
【００１３】本発明によると、位相データ抽出動作にタ
イムリミットを設けたことにより、変位センサの高速移
動時に位相データ抽出ができなくなる場合が生じるが、
この場合にはダミー位相データを用意して位相データ合
成を行うことにより、センサの高速移動中も合成，表示
に支障をきたさないようにして、自然なデータ表示を行
うことができる。
イムリミットを設けたことにより、変位センサの高速移
動時に位相データ抽出ができなくなる場合が生じるが、
この場合にはダミー位相データを用意して位相データ合
成を行うことにより、センサの高速移動中も合成，表示
に支障をきたさないようにして、自然なデータ表示を行
うことができる。
【００１４】
【実施例】以下、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。図１は、本発明の一実施例に係る変位測定装
置のシステム構成であり、図２は図１におけるアブソリ
ュート型静電容量式変位センサ（以下、ＡＢＳセンサと
いう）１０の構成である。
説明する。図１は、本発明の一実施例に係る変位測定装
置のシステム構成であり、図２は図１におけるアブソリ
ュート型静電容量式変位センサ（以下、ＡＢＳセンサと
いう）１０の構成である。
【００１５】ＡＢＳセンサ１０は、図２に示すように、
固定要素であるメインスケール２２とこれに対し僅かの
間隙を介して対向配置された可動要素であるスライダ２
１とを有する。スライダ２１は、メインスケール２２に
対して、測定軸ｘ方向に移動可能なものとなっている。
スライダ２１には、送信電極２３が所定ピッチＰt0で配
設されている。送信電極２３は、メインスケール２２に
ピッチＰr で配設された第１受信電極２４ａ及び第２受
信電極２４ｂと容量結合されている。受信電極２４ａ，
２４ｂは、その配列方向に沿って隣接するピッチＰt1，
Ｐt2の第１伝達電極２５ａ，第２伝達電極２５ｂに１対
１で夫々接続されている。伝達電極２５ａ，２５ｂは、
夫々スライダ２１側に設けられた第１検出電極２６ａ，
２６ｂ及び第２検出電極２７ａ，２７ｂと容量結合され
ている。
固定要素であるメインスケール２２とこれに対し僅かの
間隙を介して対向配置された可動要素であるスライダ２
１とを有する。スライダ２１は、メインスケール２２に
対して、測定軸ｘ方向に移動可能なものとなっている。
スライダ２１には、送信電極２３が所定ピッチＰt0で配
設されている。送信電極２３は、メインスケール２２に
ピッチＰr で配設された第１受信電極２４ａ及び第２受
信電極２４ｂと容量結合されている。受信電極２４ａ，
２４ｂは、その配列方向に沿って隣接するピッチＰt1，
Ｐt2の第１伝達電極２５ａ，第２伝達電極２５ｂに１対
１で夫々接続されている。伝達電極２５ａ，２５ｂは、
夫々スライダ２１側に設けられた第１検出電極２６ａ，
２６ｂ及び第２検出電極２７ａ，２７ｂと容量結合され
ている。
【００１６】送信電極２３は、７つおきに共通接続され
て一群が８電極の複数の電極群を構成している。これら
の電極群には、計測モードではそれぞれ位相が４５°ず
つずれた８相の周期信号ａ，ｂ，…，ｈが駆動信号Ｓｄ
として供給されるようになっている。これらの駆動信号
Ｓｄは、より具体的には、高周波パルスでチョップされ
た信号となっており、図１の送信波形発生回路１１から
生成出力される。
て一群が８電極の複数の電極群を構成している。これら
の電極群には、計測モードではそれぞれ位相が４５°ず
つずれた８相の周期信号ａ，ｂ，…，ｈが駆動信号Ｓｄ
として供給されるようになっている。これらの駆動信号
Ｓｄは、より具体的には、高周波パルスでチョップされ
た信号となっており、図１の送信波形発生回路１１から
生成出力される。
【００１７】送信電極２３に駆動信号Ｓｄが供給される
ことにより生ずる電場パターンのピッチＷt は、送信電
極２３のピッチＰt0の８倍であり、このピッチＷt は、
受信電極２４ａ，２４ｂのピッチＰr のＮ倍に設定され
ている。ここでＮは、１，３，５等の奇数であることが
好ましく、この実施例では３に設定されている。したが
って、８つの連続する送信電極２３に対しては常に３乃
至４つの受信電極２４ａ，２４ｂが容量結合されること
になる。受信電極２４ａ，２４ｂは、三角形状又は正弦
波状の電極片を相互に挟み合う形で配設してなるもので
ある。各受信電極２４ａ，２４ｂで受信される信号の位
相は、送信電極２３と受信電極２４ａ，２４ｂとの容量
結合面積によって決定されるが、これはスライダ２１と
メインスケール２２との相対位置によって変化する。
ことにより生ずる電場パターンのピッチＷt は、送信電
極２３のピッチＰt0の８倍であり、このピッチＷt は、
受信電極２４ａ，２４ｂのピッチＰr のＮ倍に設定され
ている。ここでＮは、１，３，５等の奇数であることが
好ましく、この実施例では３に設定されている。したが
って、８つの連続する送信電極２３に対しては常に３乃
至４つの受信電極２４ａ，２４ｂが容量結合されること
になる。受信電極２４ａ，２４ｂは、三角形状又は正弦
波状の電極片を相互に挟み合う形で配設してなるもので
ある。各受信電極２４ａ，２４ｂで受信される信号の位
相は、送信電極２３と受信電極２４ａ，２４ｂとの容量
結合面積によって決定されるが、これはスライダ２１と
メインスケール２２との相対位置によって変化する。
【００１８】受信電極２４ａ，２４ｂと伝達電極２５
ａ，２５ｂとが同一ピッチで形成されていれば、検出電
極２６ａ，２６ｂ，２７ａ，２７ｂは、単にメインスケ
ール２２のｘ方向位置がピッチＰr だけ変化する毎に繰
り返される周期信号を検出することになるが、この実施
例のＡＢＳセンサ１０では、粗い変位量（粗スケー
ル）、中間の変位量（中間スケール）及び細かい変位量
（密スケール）の３つのレベルの変位量を検出するた
め、伝達電極２５ａ，２５ｂが、実際には受信電極２４
ａ，２４ｂに対してピッチを変えて夫々Ｄ1 ，Ｄ2 だけ
偏位させている。偏位量Ｄ1 ，Ｄ2 は、夫々基準位置ｘ
0 からの測定方向の距離ｘの関数で、下記数１のように
表すことができる。
ａ，２５ｂとが同一ピッチで形成されていれば、検出電
極２６ａ，２６ｂ，２７ａ，２７ｂは、単にメインスケ
ール２２のｘ方向位置がピッチＰr だけ変化する毎に繰
り返される周期信号を検出することになるが、この実施
例のＡＢＳセンサ１０では、粗い変位量（粗スケー
ル）、中間の変位量（中間スケール）及び細かい変位量
（密スケール）の３つのレベルの変位量を検出するた
め、伝達電極２５ａ，２５ｂが、実際には受信電極２４
ａ，２４ｂに対してピッチを変えて夫々Ｄ1 ，Ｄ2 だけ
偏位させている。偏位量Ｄ1 ，Ｄ2 は、夫々基準位置ｘ
0 からの測定方向の距離ｘの関数で、下記数１のように
表すことができる。
【００１９】
【数１】Ｄ1(ｘ) ＝（Ｐr −Ｐt1）ｘ／Ｐr Ｄ2(ｘ) ＝（Ｐr −Ｐt2）ｘ／Ｐr
【００２０】伝達電極２５ａ，２５ｂをこのように受信
電極２４ａ，２４ｂに対して偏位させ、検出電極２６
ａ，２６ｂ，２７ａ，２７ｂをピッチＷr1（＝３Ｐt
1），Ｗr2（＝３Ｐt2）の波形パターンとすることによ
り、検出電極２６，２７からは、偏位量Ｄ1(ｘ) ，Ｄ2
(ｘ) に応じた大きな周期に検出電極２５ａ，２５ｂ単
位の小さな周期が重畳された検出信号Ｂ1 ，Ｂ2 ，Ｃ1
，Ｃ2 を得ることができる。信号Ｂ1 ，Ｂ2 は大きな
周期が逆相、小さな周期が同相である。従って両信号の
差から大きな周期の信号が、また両信号の和から小さな
周期の信号が得られる。検出信号Ｃ1 ，Ｃ2 についても
同様である。ここで、検出信号Ｂ1 ，Ｂ2 の大きな周期
が小さな周期の数十倍、検出信号Ｃ1 ，Ｃ2 の大きな周
期が検出信号Ｂ1 ，Ｂ2 の大きな周期の数十倍になるよ
うに電極パターンを設定することにより、下記数２の演
算で各レベルの変位を得ることができる。
電極２４ａ，２４ｂに対して偏位させ、検出電極２６
ａ，２６ｂ，２７ａ，２７ｂをピッチＷr1（＝３Ｐt
1），Ｗr2（＝３Ｐt2）の波形パターンとすることによ
り、検出電極２６，２７からは、偏位量Ｄ1(ｘ) ，Ｄ2
(ｘ) に応じた大きな周期に検出電極２５ａ，２５ｂ単
位の小さな周期が重畳された検出信号Ｂ1 ，Ｂ2 ，Ｃ1
，Ｃ2 を得ることができる。信号Ｂ1 ，Ｂ2 は大きな
周期が逆相、小さな周期が同相である。従って両信号の
差から大きな周期の信号が、また両信号の和から小さな
周期の信号が得られる。検出信号Ｃ1 ，Ｃ2 についても
同様である。ここで、検出信号Ｂ1 ，Ｂ2 の大きな周期
が小さな周期の数十倍、検出信号Ｃ1 ，Ｃ2 の大きな周
期が検出信号Ｂ1 ，Ｂ2 の大きな周期の数十倍になるよ
うに電極パターンを設定することにより、下記数２の演
算で各レベルの変位を得ることができる。
【００２１】
【数２】 Ｃ1 −Ｃ2 （粗スケール） Ｂ1 −Ｂ2 （中間スケール） （Ｂ1 ＋Ｂ2 ）−（Ｃ1 ＋Ｃ2 ） （密スケール）
【００２２】これらの演算出力信号Ｃ1 −Ｃ2 ，Ｂ1 −
Ｂ2 ，（Ｂ1 ＋Ｂ2 ）−（Ｃ1 ＋Ｃ2 ）は、それぞれ粗
スケール復調回路１２1 ，中スケール復調回路１２2 ，
密スケール復調回路１２3 および位相検出回路１３1 ，
１３2 ，１３3 で処理される。復調は具体的には送信波
形のチョップ周波数でのサンプリング、ミキシング、低
域ろ波、二値化等の処理を経て、エッジに位相情報を担
った矩形波の周期信号ＣＭＰ、即ち粗スケール信号（Ｃ
ＭＰ−ＣＯＡ．），中間スケール信号（ＣＭＰ−ＭＥ
Ｄ．）および密スケール信号（ＣＭＰ−ＦＩＮ．）を生
成する。位相検出回路１３1 ，１３2 ，１３3 は、送信
波形発生回路１１から出力される０°の駆動信号Ｓｄを
参照信号として、各スケール信号の立上がりエッジと立
下がりエッジ位相情報を検出し、これを平均して各スケ
ール信号の位相をディジタル値で出力する。
Ｂ2 ，（Ｂ1 ＋Ｂ2 ）−（Ｃ1 ＋Ｃ2 ）は、それぞれ粗
スケール復調回路１２1 ，中スケール復調回路１２2 ，
密スケール復調回路１２3 および位相検出回路１３1 ，
１３2 ，１３3 で処理される。復調は具体的には送信波
形のチョップ周波数でのサンプリング、ミキシング、低
域ろ波、二値化等の処理を経て、エッジに位相情報を担
った矩形波の周期信号ＣＭＰ、即ち粗スケール信号（Ｃ
ＭＰ−ＣＯＡ．），中間スケール信号（ＣＭＰ−ＭＥ
Ｄ．）および密スケール信号（ＣＭＰ−ＦＩＮ．）を生
成する。位相検出回路１３1 ，１３2 ，１３3 は、送信
波形発生回路１１から出力される０°の駆動信号Ｓｄを
参照信号として、各スケール信号の立上がりエッジと立
下がりエッジ位相情報を検出し、これを平均して各スケ
ール信号の位相をディジタル値で出力する。
【００２３】これらの位相検出回路１３1 〜１３3 から
出力されたディジタル値の各位相データはそれぞれ、測
定しようとする変位量に相当するものであるが、これら
は合成回路１４で重み付けられて合成される。合成回路
１４には、ＥＥＰＲＯＭ等からなるオフセット記憶部
（図示せず）に記憶されたオフセット値も供給されてお
り、合成値のオフセット量が調整できるようになってい
る。合成回路１４の出力は、演算回路１６において、例
えば電極配列ピッチが実寸法値に変換される。演算回路
１６は、図示しないインターフェースを介してマイクロ
コンピュータ等の制御回路１８と接続されている。演算
回路１６で得られた実寸法値は、ＬＣＤ表示器１７に表
示されるようになっている。この実施例においては、シ
ステムを駆動する直流電源として太陽電池１５が用いら
れている。
出力されたディジタル値の各位相データはそれぞれ、測
定しようとする変位量に相当するものであるが、これら
は合成回路１４で重み付けられて合成される。合成回路
１４には、ＥＥＰＲＯＭ等からなるオフセット記憶部
（図示せず）に記憶されたオフセット値も供給されてお
り、合成値のオフセット量が調整できるようになってい
る。合成回路１４の出力は、演算回路１６において、例
えば電極配列ピッチが実寸法値に変換される。演算回路
１６は、図示しないインターフェースを介してマイクロ
コンピュータ等の制御回路１８と接続されている。演算
回路１６で得られた実寸法値は、ＬＣＤ表示器１７に表
示されるようになっている。この実施例においては、シ
ステムを駆動する直流電源として太陽電池１５が用いら
れている。
【００２４】制御回路１８は、タイマ１９を内蔵してい
る。このタイマ１９によって、表示リフレッシュサイク
ルが固定されると共に、その表示リフレッシュサイクル
内で位相データ抽出動作時間とその後の合成，表示動作
時間とがそれぞれ所定値に固定されて、データ抽出動作
が間欠的に行われる。即ち制御回路１８は、送信波形発
生回路１１，アナログ回路である復調回路１２1 〜１２
3 、および位相検出回路１３1 〜１３3 を間欠的に動作
させるデータ抽出用駆動信号ＯＮ1 と、位相検出回路１
３1 〜１３3 から得られる各位相データをディジタル的
に処理して合成し表示するために合成回路１４，演算回
路１６に送る駆動信号ＯＮ2 とを発生する。制御回路１
８は、これら各回路のオン，オフ駆動を行う駆動信号の
他、各回路にリセット信号、クロック信号等を供給して
システム全体の動作を制御している。
る。このタイマ１９によって、表示リフレッシュサイク
ルが固定されると共に、その表示リフレッシュサイクル
内で位相データ抽出動作時間とその後の合成，表示動作
時間とがそれぞれ所定値に固定されて、データ抽出動作
が間欠的に行われる。即ち制御回路１８は、送信波形発
生回路１１，アナログ回路である復調回路１２1 〜１２
3 、および位相検出回路１３1 〜１３3 を間欠的に動作
させるデータ抽出用駆動信号ＯＮ1 と、位相検出回路１
３1 〜１３3 から得られる各位相データをディジタル的
に処理して合成し表示するために合成回路１４，演算回
路１６に送る駆動信号ＯＮ2 とを発生する。制御回路１
８は、これら各回路のオン，オフ駆動を行う駆動信号の
他、各回路にリセット信号、クロック信号等を供給して
システム全体の動作を制御している。
【００２５】図３は、この実施例の変位センサ装置での
制御回路１８により制御される具体的な測定動作波形で
ある。表示リフレッシュサイクルは、余り長くなると、
変位センサを移動した時のＬＣＤ表示器１７の数値変化
が変位センサ移動に追随しないように見えるため不自然
になる。また、表示リフレッシュサイクルを余り短くす
ることは、変位センサの高速移動中のデータ抽出が困難
になるという不都合があり、見易さの点でも無意味にな
る。したがって経験上、この実施例では表示リフレッシ
ュサイクルを０．１sec としている。
制御回路１８により制御される具体的な測定動作波形で
ある。表示リフレッシュサイクルは、余り長くなると、
変位センサを移動した時のＬＣＤ表示器１７の数値変化
が変位センサ移動に追随しないように見えるため不自然
になる。また、表示リフレッシュサイクルを余り短くす
ることは、変位センサの高速移動中のデータ抽出が困難
になるという不都合があり、見易さの点でも無意味にな
る。したがって経験上、この実施例では表示リフレッシ
ュサイクルを０．１sec としている。
【００２６】この表示リフレッシュサイクル内で、間欠
的測定動作を行うべく、データ抽出用駆動信号ＯＮ1 の
オン期間が４０〜５０ｍsec の間で固定され、これに引
き続く合成，表示用駆動信号ＯＮ2 のオン期間が４０〜
５０ｍsec の間で固定されている。残りの時間は待ち時
間である。待ち時間は必須のものではなく、表示リフレ
ッシュサイクルがまず設定され、その中でデータ抽出時
間，合成および表示時間が設定されて残った時間が待ち
時間となっている。
的測定動作を行うべく、データ抽出用駆動信号ＯＮ1 の
オン期間が４０〜５０ｍsec の間で固定され、これに引
き続く合成，表示用駆動信号ＯＮ2 のオン期間が４０〜
５０ｍsec の間で固定されている。残りの時間は待ち時
間である。待ち時間は必須のものではなく、表示リフレ
ッシュサイクルがまず設定され、その中でデータ抽出時
間，合成および表示時間が設定されて残った時間が待ち
時間となっている。
【００２７】図示のように、データ抽出の動作時間は駆
動信号ＯＮ1 により固定されてタイムリミットが設けら
れている。センサ停止時には、このタイムリミットの範
囲内で全てのスケール信号についてそれぞれ、立上がり
エッジと立ち下がりエッジの位相情報（ＤFR，ＤFF），
（ＤMR，ＤMF），（ＤCR，ＤCF）を取出すことができ、
それらの平均をとって位相データを得ることができる。
動信号ＯＮ1 により固定されてタイムリミットが設けら
れている。センサ停止時には、このタイムリミットの範
囲内で全てのスケール信号についてそれぞれ、立上がり
エッジと立ち下がりエッジの位相情報（ＤFR，ＤFF），
（ＤMR，ＤMF），（ＤCR，ＤCF）を取出すことができ、
それらの平均をとって位相データを得ることができる。
【００２８】一方、変位センサの移動速度および移動方
向によって、復調回路１２1 〜１２3 に得られる復調信
号の周期が変化する。この周期変化はセンサ移動速度が
大きい程大きい。また、密スケール信号（ＣＭＰ ＦＩ
Ｎ．）、中間スケール信号（ＣＭＰ ＭＥＤ．）、粗ス
ケール信号（ＣＭＰ ＣＯＡ．）の順でセンサ移動速度
の変化による周期変化の割合が大きい。例えば、図示の
ように、センサのある方向への高速移動時には、密スケ
ール信号ＣＭＰ ＦＩＮ．の周期が長くなって、タイム
リミット内でその立ち下がりエッジの位相情報ＤFFを取
ることができなくなる。より高速にセンサが移動してい
る場合には、密スケール信号ＣＭＰ ＦＩＮ．だけでな
く、中間スケール信号ＣＭＰ−ＭＥＤ．についても立ち
下がりエッジの位相情報ＤMFが取れなくなる。
向によって、復調回路１２1 〜１２3 に得られる復調信
号の周期が変化する。この周期変化はセンサ移動速度が
大きい程大きい。また、密スケール信号（ＣＭＰ ＦＩ
Ｎ．）、中間スケール信号（ＣＭＰ ＭＥＤ．）、粗ス
ケール信号（ＣＭＰ ＣＯＡ．）の順でセンサ移動速度
の変化による周期変化の割合が大きい。例えば、図示の
ように、センサのある方向への高速移動時には、密スケ
ール信号ＣＭＰ ＦＩＮ．の周期が長くなって、タイム
リミット内でその立ち下がりエッジの位相情報ＤFFを取
ることができなくなる。より高速にセンサが移動してい
る場合には、密スケール信号ＣＭＰ ＦＩＮ．だけでな
く、中間スケール信号ＣＭＰ−ＭＥＤ．についても立ち
下がりエッジの位相情報ＤMFが取れなくなる。
【００２９】そこでこの実施例においては、タイムリミ
ット内で位相データ抽出動作が終了しなかった場合に
は、ダミー位相データを用意してこれを補完する。ダミ
ー位相データとしては、具体的にはたとえば、過去の複
数の表示リフレッシュサイクルに渡る抽出データを保存
しておいて、その中で最新のデータを用いるか、或いは
別途発生したダミーデータを用いる。例えば、密スケー
ル信号からの位相データ抽出ができない場合には、ここ
にダミー位相データを与えて、中間スケール信号，粗ス
ケール信号からの位相データと共に合成処理を行う。こ
れによりデータ表示部の下位桁が、正しい値ではない
が、実際の位相データを用いた場合と同様の自然な数値
表示変化を示すことになる。
ット内で位相データ抽出動作が終了しなかった場合に
は、ダミー位相データを用意してこれを補完する。ダミ
ー位相データとしては、具体的にはたとえば、過去の複
数の表示リフレッシュサイクルに渡る抽出データを保存
しておいて、その中で最新のデータを用いるか、或いは
別途発生したダミーデータを用いる。例えば、密スケー
ル信号からの位相データ抽出ができない場合には、ここ
にダミー位相データを与えて、中間スケール信号，粗ス
ケール信号からの位相データと共に合成処理を行う。こ
れによりデータ表示部の下位桁が、正しい値ではない
が、実際の位相データを用いた場合と同様の自然な数値
表示変化を示すことになる。
【００３０】具体的に、上述したダミー位相データ発生
を用いてデータ合成を行う部分の構成例を含めたシステ
ムを示せば、図４のようになる。ここでは、図１の実施
例の粗，中，密スケールのうち一系統のみを代表的に示
しているが、実際にはＡＢＳセンサ１０と合成回路１４
の間に同様の構成で３系統の位相検出部が構成される。
図示のように、位相検出回路１３の後段には、ダミー位
相データ発生回路３１が設けられている。ダミー位相デ
ータ発生回路３１は、ここでは位相検出回路１３から得
られる位相データを、少なくとも１リフレッシュサイク
ル分、好ましくは複数リフレッシュサイクル分一次記憶
するバッファメモリ３２と、位相検出のエラーを検出し
てバッファメモリ３２の読出し制御を行うエラー検出回
路３３を有する。位相検出回路１３の出力とバッファメ
モリ３２の出力とはセレクタ３４により選択されて合成
回路１４に入力されるようになっている。
を用いてデータ合成を行う部分の構成例を含めたシステ
ムを示せば、図４のようになる。ここでは、図１の実施
例の粗，中，密スケールのうち一系統のみを代表的に示
しているが、実際にはＡＢＳセンサ１０と合成回路１４
の間に同様の構成で３系統の位相検出部が構成される。
図示のように、位相検出回路１３の後段には、ダミー位
相データ発生回路３１が設けられている。ダミー位相デ
ータ発生回路３１は、ここでは位相検出回路１３から得
られる位相データを、少なくとも１リフレッシュサイク
ル分、好ましくは複数リフレッシュサイクル分一次記憶
するバッファメモリ３２と、位相検出のエラーを検出し
てバッファメモリ３２の読出し制御を行うエラー検出回
路３３を有する。位相検出回路１３の出力とバッファメ
モリ３２の出力とはセレクタ３４により選択されて合成
回路１４に入力されるようになっている。
【００３１】正常に位相検出が行われている時、例えば
センサ停止時は、位相検出回路１３に得られる位相デー
タがセレクタ３４を介して合成回路１４に送られる。セ
ンサの高速移動により前述したタイムリミット内で位相
データを検出できなかった場合には、エラー検出回路３
２がエラー検出信号を出す。このエラー検出信号が出る
と、これによりバッファメモリ３２とセレクタ３４が制
御されて、バッファメモリ３２に記憶されている最も最
近の位相データが読み出され、これがダミー位相データ
としてセレクタ３４を介して合成回路１４に送られる。
センサ停止時は、位相検出回路１３に得られる位相デー
タがセレクタ３４を介して合成回路１４に送られる。セ
ンサの高速移動により前述したタイムリミット内で位相
データを検出できなかった場合には、エラー検出回路３
２がエラー検出信号を出す。このエラー検出信号が出る
と、これによりバッファメモリ３２とセレクタ３４が制
御されて、バッファメモリ３２に記憶されている最も最
近の位相データが読み出され、これがダミー位相データ
としてセレクタ３４を介して合成回路１４に送られる。
【００３２】この様にセンサの高速移動中は、ダミー位
相データが用いられる結果、合成データには誤差が含ま
れるが、もともとセンサの高速移動中は表示データが順
次更新され、特に下位桁では大きく変化する。したがっ
て、センサ移動中は表示データの単調増加，単調減少が
保持される程度の正確さで表示がリフレッシュされれ
ば、使用者に違和感を与えることはない。またセンサ停
止によって正確なデータ表示がなされるので、センサ移
動中の表示データそのものの不正確は問題にならない。
相データが用いられる結果、合成データには誤差が含ま
れるが、もともとセンサの高速移動中は表示データが順
次更新され、特に下位桁では大きく変化する。したがっ
て、センサ移動中は表示データの単調増加，単調減少が
保持される程度の正確さで表示がリフレッシュされれ
ば、使用者に違和感を与えることはない。またセンサ停
止によって正確なデータ表示がなされるので、センサ移
動中の表示データそのものの不正確は問題にならない。
【００３３】なお実施例では、タイムリミットを設けた
ことにより位相データ抽出ができなくなった場合のダミ
ー位相データとして、前のサイクルで抽出された位相デ
ータを用いたが、他の任意のデータをダミー位相データ
とすることもできる。但し、“０”のような固定データ
を用いると、合成後の測定データが偶数のみ，或いは奇
数のみとなり、表示が若干不自然になる。したがって自
然な表示を行うために好ましくは、ダミー位相データは
ランダム・データであった方がよい。
ことにより位相データ抽出ができなくなった場合のダミ
ー位相データとして、前のサイクルで抽出された位相デ
ータを用いたが、他の任意のデータをダミー位相データ
とすることもできる。但し、“０”のような固定データ
を用いると、合成後の測定データが偶数のみ，或いは奇
数のみとなり、表示が若干不自然になる。したがって自
然な表示を行うために好ましくは、ダミー位相データは
ランダム・データであった方がよい。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、位
相データ抽出動作にタイムリミットを設けることによっ
て、表示リフレッシュサイクルを最適設定して変位セン
サの停止時，移動時に拘らず良好な測定値表示を可能と
し、同時に平均消費電流を低減したアブソリュート型変
位測定装置を得ることができる。また位相データ抽出動
作にタイムリミットを設けたことに伴い、抽出できなか
った位相データについてはダミー位相データを用いて補
完することにより、高速移動中の不自然なデータ表示を
なくすことができる。
相データ抽出動作にタイムリミットを設けることによっ
て、表示リフレッシュサイクルを最適設定して変位セン
サの停止時，移動時に拘らず良好な測定値表示を可能と
し、同時に平均消費電流を低減したアブソリュート型変
位測定装置を得ることができる。また位相データ抽出動
作にタイムリミットを設けたことに伴い、抽出できなか
った位相データについてはダミー位相データを用いて補
完することにより、高速移動中の不自然なデータ表示を
なくすことができる。
【図１】 本発明の一実施例に係る静電容量式変位測定
装置のブロック構成を示す図である。
装置のブロック構成を示す図である。
【図２】 同実施例のＡＢＳセンサの構成を示す図であ
る。
る。
【図３】 同実施例の測定動作のタイミング図である。
【図４】 ダミー位相データ発生部を含む実施例装置の
要部構成を示す図である。
要部構成を示す図である。
【図５】 従来装置よる位相データ抽出の動作を説明す
るための図である。
るための図である。
１０…ＡＢＳセンサ、１１…送信波形発生回路、１２1
〜１２3 …復調回路、１３1 〜１３3 …位相検出回路、
１４…合成回路、１５…太陽電池、１６…演算回路、１
７…ＬＣＤ表示器、１８…制御回路、１９…タイマ、３
１…ダミー位相データ発生回路、３２…バッファメモ
リ、３３…位相検出エラー検出回路、３４…セレクタ。
〜１２3 …復調回路、１３1 〜１３3 …位相検出回路、
１４…合成回路、１５…太陽電池、１６…演算回路、１
７…ＬＣＤ表示器、１８…制御回路、１９…タイマ、３
１…ダミー位相データ発生回路、３２…バッファメモ
リ、３３…位相検出エラー検出回路、３４…セレクタ。
Claims (3)
- 【請求項１】 固定要素に対する可動要素の相対位置関
係に応じた出力信号を出す変位センサと、 この変位センサの出力信号を処理して、それぞれエッジ
に位相情報を持った少なくとも粗スケール，密スケール
の二種の変位量検出用の周期信号を得る復調手段と、 この復調手段により得られた各周期信号のそれぞれから
位相情報を検出して、粗スケール，密スケールの位相デ
ータを得る位相検出手段と、 この位相検出手段により得られた粗スケール，密スケー
ルの位相データを合成して、前記固定要素に対する前記
可動要素の絶対変位量を求める合成手段と、 この合成手段により得られた絶対変位量を所定のリフレ
ッシュサイクルで表示する表示手段と、 前記復調手段および位相検出手段による位相データ抽出
の動作時間を制限する機能を有する制御手段と、を備え
たことを特徴とする変位測定装置。 - 【請求項２】 固定要素に対する可動要素の相対位置関
係に応じた出力信号を出す変位センサと、 この変位センサの出力信号を処理して、それぞれエッジ
に位相情報を持った少なくとも粗スケール，密スケール
の二種の変位量検出用の周期信号を得る復調手段と、 この復調手段により得られた各周期信号のそれぞれから
位相情報を検出して、粗スケール，密スケールの位相デ
ータを得る位相検出手段と、 この位相検出手段により得られた粗スケール，密スケー
ルの位相データを合成して、前記固定要素に対する前記
可動要素の絶対変位量を求める合成手段と、 この合成手段により得られた絶対変位量を所定のリフレ
ッシュサイクルで表示する表示手段と、 前記復調手段および位相検出手段による位相データ抽出
の動作時間を制限する機能を有する制御手段と、 この制御手段により制限された動作時間内に抽出できな
い位相データを補完するためのダミー位相データを発生
するダミー位相データ発生手段と、を備えたことを特徴
とする変位測定装置。 - 【請求項３】 前記制御手段は、前記位相データ抽出の
動作時間を制限するタイマを内蔵し、このタイマによっ
て固定の表示リフレッシュサイクル内で一定時間前記復
調手段および位相検出手段をオン駆動し、その後一定時
間前記合成手段および表示手段をオン駆動することを特
徴とする請求項１または２に記載の変位測定装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4270912A JP2878913B2 (ja) | 1992-09-14 | 1992-09-14 | 変位測定装置 |
| US08/117,770 US5391992A (en) | 1992-09-14 | 1993-09-08 | Measuring device for absolute measurement of positions |
| GB9318913A GB2270597B (en) | 1992-09-14 | 1993-09-13 | Absolute-type measuring device |
| DE4331195A DE4331195C2 (de) | 1992-09-14 | 1993-09-14 | Meßvorrichtung zum absoluten Messen von Verschiebungen |
| CN93117701A CN1034973C (zh) | 1992-09-14 | 1993-09-14 | 用于绝对位置测量的测量装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4270912A JP2878913B2 (ja) | 1992-09-14 | 1992-09-14 | 変位測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0694406A true JPH0694406A (ja) | 1994-04-05 |
| JP2878913B2 JP2878913B2 (ja) | 1999-04-05 |
Family
ID=17492723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4270912A Expired - Fee Related JP2878913B2 (ja) | 1992-09-14 | 1992-09-14 | 変位測定装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5391992A (ja) |
| JP (1) | JP2878913B2 (ja) |
| CN (1) | CN1034973C (ja) |
| DE (1) | DE4331195C2 (ja) |
| GB (1) | GB2270597B (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000014483A1 (fr) * | 1998-09-02 | 2000-03-16 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Detecteur de position |
| CN103292679A (zh) * | 2013-05-24 | 2013-09-11 | 江阴市江凌科技有限公司 | 位移测量电路 |
| JP2014182040A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-29 | Honda Motor Co Ltd | 内燃機関の回転位相検出装置 |
| JP2016133374A (ja) * | 2015-01-19 | 2016-07-25 | 株式会社ミツトヨ | 変位測定装置および変位測定方法 |
| JP2017183683A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 静電容量を表すデータを取得する方法 |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5708367A (en) * | 1995-07-10 | 1998-01-13 | Tousson; Eliahou | Digital position sensor |
| WO1997024576A1 (fr) * | 1996-01-02 | 1997-07-10 | Xingfang Zhu | Condensateur variable differentiel a lames de couplage |
| DE19861259C5 (de) * | 1997-04-16 | 2010-09-02 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Positionsmeßeinrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Positionsmeßeinrichtung |
| DE10050392A1 (de) * | 2000-10-12 | 2002-04-18 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Positionsmesseinrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Positionsmesseinrichtung |
| DE10244583A1 (de) * | 2002-09-25 | 2004-04-08 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Messsystem und Verfahren zu dessen Funktionsüberprüfung |
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