JP2016091582A - 磁気ディスク用ガラス基板及び磁気ディスク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】主表面を有する磁気ディスク用ガラス基板であって、前記主表面において原子間力顕微鏡により測定した算術平均粗さRaが0.15nm以下であって、原子間力顕微鏡により測定した結果に基づき、所定の領域を、角度方向を0°から180°まで1°ごとに変化させながら各々の角度方向における角度方向算術平均粗さRa_degを算出し、前記算出された角度方向算術平均粗さRa_degのうち、最も大きい値を角度方向算術平均粗さ最大値Ra_deg_maxとし、最も小さい値を角度方向算術平均粗さ最小値Ra_deg_minとした場合に、(Ra_deg_max)/(Ra_deg_min)の値が、2.6以下であることを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板を提供することにより上記課題を解決する。
【選択図】 図3
Description
次に、本実施の形態における磁気ディスク用ガラス基板について説明する。図1に示されるように、本実施の形態における磁気ディスク用ガラス基板10は、ドーナッツ形状となるように形成されており、中央部分に円形の開口部11を有している。本実施の形態における磁気ディスク用ガラス基板において、開口部11が形成されている内側が内周面21、外側が外周面22となっており、内周面21と外周面22との間における主表面30の上に、磁性層を成膜することにより磁気ディスクが作製される。
磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、素板加工工程、面取部加工工程、端面研磨工程、および主表面研磨工程などを有する。これらの工程の間や、これらの工程の後に、エッチング工程、洗浄工程、乾燥工程などが行われてもよい。
次に、本実施の形態における磁気ディスク用ガラス基板において、角度方向算術平均粗さ最大値Ra_deg_max、角度方向算術平均粗さ最小値Ra_deg_minの算出方法について説明する。
本実施の形態における磁気ディスクは、図4に示されるように、上述した本実施の形態における磁気ディスク用ガラス基板10の主表面30の上に、垂直磁化膜50となる垂直磁性層を成膜することにより作製される。垂直磁性層を形成する磁性材料としては、CoCrPt系合金、FePt系合金等が挙げられる。
本実施の形態における例1〜9における磁気ディスク用ガラス基板として、外径が65mm、内径が20mm、板厚が0.64mmの磁気ディスク用ガラス基板の製造方法について説明する。本願においては、例1〜7は実施例であり、例8、9は比較例である。
磁気ディスク用ガラス基板の評価として、AFMを用いて磁気ディスク用ガラス基板の主表面における算術平均粗さRaを測定した。また、前述の角度方向算術平均粗さRa_degの算出方法に基づき、角度方向算術平均粗さ最大値Ra_deg_max、角度方向算術平均粗さ最小値Ra_deg_minを得て、(Ra_deg_max)/(Ra_deg_min)の値、(Ra_deg_max)−(Ra_deg_min)の値を算出した。
例1〜9における磁気ディスク用ガラス基板を用いて磁気ディスクを製造する製造方法について説明する。
次に、作製した磁気ディスクについて、ミッシングビットによる磁気ディスク評価を行った。この結果を表1に示す。ミッシングビットは、線記録密度1600kBPI、トラック密度500kTPI(面記録密度800Gbit/inch2)の条件で記録し、再生した際の信号強度を測定して評価した。再生した時に得られる出力が、合格の閾値(第一の閾値)以下であるものをミッシングビットとし、第一の閾値以下だが修正可能な第二の閾値(第一の閾値の80%)以上のものをコレクダブル・ミッシングビット(Correctable Missing Bit)、修正不可能なもの(第一の閾値の80%未満)をアンコレクタブル・ミッシングビット(Uncorrectable Missing Bit)として、各条件500枚の磁気ディスクについて測定し、1面当たりの個数として算出した。
例1における磁気ディスク用ガラス基板は、2次研磨の第1段階は、100g/cm2の圧力で、上定盤回転数が−7rpm、下定盤回転数が21rpm、研磨キャリア公転数が7rpm、研磨キャリア自転数が2.5rpm、研磨時間が20分の条件で行った。また、2次研磨の第2段階は、40g/cm2の圧力で、上定盤回転数が−3rpm、下定盤回転数が9rpm、研磨キャリア公転数が3rpm、研磨キャリア自転数が1.1rpm、研磨時間が0.5分の条件で行った。
例2における磁気ディスク用ガラス基板は、2次研磨の第1段階は、100g/cm2の圧力で、上定盤回転数が−7rpm、下定盤回転数が21rpm、研磨キャリア公転数が7rpm、研磨キャリア自転数が2.5rpm、研磨時間が20分の条件で行った。また、2次研磨の第2段階は、50g/cm2の圧力で、上定盤回転数が−3rpm、下定盤回転数が9rpm、研磨キャリア公転数が3rpm、研磨キャリア自転数が1.5rpm、研磨時間が0.5分の条件で行った。
例3における磁気ディスク用ガラス基板は、2次研磨の第1段階は、100g/cm2の圧力で、上定盤回転数が−7rpm、下定盤回転数が21rpm、研磨キャリア公転数が7rpm、研磨キャリア自転数が2.5rpm、研磨時間が20分の条件で行った。また、2次研磨の第2段階は、60g/cm2の圧力で、上定盤回転数が−3rpm、下定盤回転数が9rpm、研磨キャリア公転数が3rpm、研磨キャリア自転数が1.1rpm、研磨時間が0.5分の条件で行った。
例4における磁気ディスク用ガラス基板は、2次研磨の第1段階は、100g/cm2の圧力で、上定盤回転数が−7rpm、下定盤回転数が21rpm、研磨キャリア公転数が7rpm、研磨キャリア自転数が2rpm、研磨時間が20分の条件で行った。また、2次研磨の第2段階は、50g/cm2の圧力で、上定盤回転数が−3rpm、下定盤回転数が9rpm、研磨キャリア公転数が3rpm、研磨キャリア自転数が0.6rpm、研磨時間が0.5分の条件で行った。
例5における磁気ディスク用ガラス基板は、2次研磨の第1段階は、100g/cm2の圧力で、上定盤回転数が−7rpm、下定盤回転数が21rpm、研磨キャリア公転数が7rpm、研磨キャリア自転数が2rpm、研磨時間が20分の条件で行った。また、2次研磨の第2段階は、50g/cm2の圧力で、上定盤回転数が−3rpm、下定盤回転数が9rpm、研磨キャリア公転数が3rpm、研磨キャリア自転数が0.5rpm、研磨時間が0.5分の条件で行った。
例6における磁気ディスク用ガラス基板は、2次研磨の第1段階は、100g/cm2の圧力で、上定盤回転数が−7rpm、下定盤回転数が21rpm、研磨キャリア公転数が7rpm、研磨キャリア自転数が2rpm、研磨時間が20分の条件で行った。また、2次研磨の第2段階は、50g/cm2の圧力で、上定盤回転数が−3rpm、下定盤回転数が9rpm、研磨キャリア公転数が3rpm、研磨キャリア自転数が0.3rpm、研磨時間が0.5分の条件で行った。
例7における磁気ディスク用ガラス基板は、2次研磨の第1段階は、100g/cm2の圧力で、上定盤回転数が−15rpm、下定盤回転数が15rpm、研磨キャリア公転数が0rpm、研磨キャリア自転数が2rpm、研磨時間が20分の条件で行った。また、2次研磨の第2段階は、50g/cm2の圧力で、上定盤回転数が−5rpm、下定盤回転数が5rpm、研磨キャリア公転数が0rpm、研磨キャリア自転数が0.7rpm、研磨時間が0.5分の条件で行った。
例8における磁気ディスク用ガラス基板は、2次研磨の第1段階は、100g/cm2の圧力で、上定盤回転数が−15rpm、下定盤回転数が15rpm、研磨キャリア公転数が0rpm、研磨キャリア自転数が2rpm、研磨時間が20分の条件で行った。また、2次研磨の第2段階は、50g/cm2の圧力で、上定盤回転数が−5rpm、下定盤回転数が5rpm、研磨キャリア公転数が0rpm、研磨キャリア自転数が0rpm、研磨時間が0.5分の条件で行った。
例9における磁気ディスク用ガラス基板は、2次研磨の第1段階は、100g/cm2の圧力で、上定盤回転数が−15rpm、下定盤回転数が15rpm、研磨キャリア公転数が0rpm、研磨キャリア自転数が2rpm、研磨時間が20分の条件で行った。また、2次研磨の第2段階は、100g/cm2の圧力で、上定盤回転数が−5rpm、下定盤回転数が5rpm、研磨キャリア公転数が0rpm、研磨キャリア自転数が0.3rpm、研磨時間が0.5分の条件で行った。
11 開口部
21 内周面
22 外周面
30 主表面
Claims (7)
- 主表面を有する磁気ディスク用ガラス基板であって、
前記主表面において原子間力顕微鏡により測定した算術平均粗さRaが0.15nm以下であって、
原子間力顕微鏡により測定した結果に基づき、所定の領域を、角度方向を0°から180°まで1°ごとに変化させながら各々の角度方向における角度方向算術平均粗さRa_degを算出し、前記算出された角度方向算術平均粗さRa_degのうち、最も大きい値を角度方向算術平均粗さ最大値Ra_deg_maxとし、最も小さい値を角度方向算術平均粗さ最小値Ra_deg_minとした場合に、
(Ra_deg_max)/(Ra_deg_min)の値が、2.6以下であることを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板。 - (Ra_deg_max)/(Ra_deg_min)の値が、2.4以下であることを特徴とする請求項1に記載の磁気ディスク用ガラス基板。
- (Ra_deg_max)−(Ra_deg_min)の値が、0.020nm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気ディスク用ガラス基板。
- 主表面を有する磁気ディスク用ガラス基板であって、
前記主表面において原子間力顕微鏡により測定した算術平均粗さRaが0.15nm以下であって、
原子間力顕微鏡により測定した結果に基づき、所定の領域を、角度方向を0°から180°まで1°ごとに変化させながら各々の角度方向における角度方向算術平均粗さRa_degを算出し、前記算出された角度方向算術平均粗さRa_degのうち、最も大きい値を角度方向算術平均粗さ最大値Ra_deg_maxとし、最も小さい値を角度方向算術平均粗さ最小値Ra_deg_minとした場合に、
(Ra_deg_max)−(Ra_deg_min)の値が、0.024nm以下であることを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板。 - (Ra_deg_max)−(Ra_deg_min)の値が、0.022nm以下であることを特徴とする請求項4に記載の磁気ディスク用ガラス基板。
- 前記角度方向算術平均粗さRa_degは、原子間力顕微鏡により測定した結果に、カットオフを40nmとするハイパスフィルタをかけたものに基づき算出することを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板。
- 請求項1から6のいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の主表面に、磁性層を成膜したことを特徴とする磁気ディスク。
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