JP2016087482A - 塗布装置及び塗布方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 塗液供給源
3 タンク
4 塗液補充系
5 ガス導入系
6 圧力計
7 塗液補充用開閉弁
8 ガス導入用開閉弁
9 塗液供給系
9a タンク側系路
9b ノズル側系路
10 基台
11 塗布対象物
11a 塗布始端
12 ノズル
13a,13b,13c 開閉弁
15 バッファタンク
17 可変容量型バッファタンク
18 シャフト
20 シリンジポンプ
20a ピストンロッド
20b モータ
20c ピストン
20d シリンダ
22 追加の塗液供給系
22a タンク側系路
22b ノズル側系路
a タンク
b 塗液
c 塗液補充用開閉弁
d 塗液補充系
e ガス導入用開閉弁
f ガス導入系
g ノズル
h 開閉弁
i 塗液供給系
j 塗布対象物
k 塗布始端
m 塗液の盛り上がり
Claims (6)
- タンク内に貯留されている塗液を、加圧により塗液供給系へ押し出して供給する塗液供給源と、
該塗液供給系に接続され、供給される塗液を吐出しつつ、塗布対象物に対し相対移動されて、塗布対象物を塗布処理するノズルと、
上記塗液供給系に設けられ、塗布処理を開始するときに開かれて塗液を上記ノズルに供給し、閉じられて塗液の該ノズルへの供給を停止する開閉弁と、
上記塗液供給系に設けられ、かつ塗液が内部に充満され、上記開閉弁が開かれたときに上記ノズルに向かって伝播される圧力の変化を抑制するバッファタンクとを備えたことを特徴とする塗布装置。 - 前記バッファタンクは可変容量型であることを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。
- 前記バッファタンクに代えて、前記塗液供給系に、前記開閉弁と前記ノズルとの間に配置して、塗布処理を開始するとき該開閉弁が閉じられた状態で、塗液を該ノズルに供給するシリンジポンプを設け、
該開閉弁は、塗布処理を開始するときに開かれることに代えて、上記シリンジポンプによる塗液の供給停止に応じて開かれることを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。 - 前記塗液供給源と前記ノズルとの間に、塗液供給系と並列に、追加の塗液供給系を設けると共に、
該追加の塗液供給系に、塗布処理を開始するとき前記開閉弁が閉じられた状態で、塗液を前記ノズルに供給するシリンジポンプを設け、
該開閉弁は、塗布処理を開始するときに開かれることに代えて、上記シリンジポンプによる塗液の供給停止に応じて開かれることを特徴とする請求項1に記載の塗布装置。 - 請求項3に記載の塗布装置を用い、
塗布処理を開始するとき前記開閉弁が閉じられた状態で、前記シリンジポンプから前記ノズルに塗液が供給され、
次いで塗布処理を続行するために、上記シリンジポンプによる塗液の供給停止に応じて、上記開閉弁が開かれて前記塗液供給源から上記ノズルに塗液が供給されることを特徴とする塗布方法。 - 請求項4に記載の塗布装置を用い、
塗布処理を開始するとき前記塗液供給系の前記開閉弁が閉じられた状態で、前記シリンジポンプから前記追加の塗液供給系を介して前記ノズルに塗液が供給され、
次いで塗布処理を続行するために、上記シリンジポンプによる塗液の供給停止に応じて、上記開閉弁が開かれて前記塗液供給源から上記塗液供給系を介して上記ノズルに塗液が供給されることを特徴とする塗布方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014220742A JP5782172B1 (ja) | 2014-10-29 | 2014-10-29 | 塗布装置及び塗布方法 |
TW104102074A TWI644731B (zh) | 2014-10-29 | 2015-01-22 | 塗佈裝置及塗佈方法 |
CN201510102889.9A CN106031913B (zh) | 2014-10-29 | 2015-03-09 | 涂敷装置以及涂敷方法 |
KR1020150046334A KR102270149B1 (ko) | 2014-10-29 | 2015-04-01 | 도포 장치 및 도포 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014220742A JP5782172B1 (ja) | 2014-10-29 | 2014-10-29 | 塗布装置及び塗布方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015026069A Division JP6426491B2 (ja) | 2015-02-13 | 2015-02-13 | 塗布装置及び塗布方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5782172B1 JP5782172B1 (ja) | 2015-09-24 |
JP2016087482A true JP2016087482A (ja) | 2016-05-23 |
Family
ID=54200708
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014220742A Active JP5782172B1 (ja) | 2014-10-29 | 2014-10-29 | 塗布装置及び塗布方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5782172B1 (ja) |
KR (1) | KR102270149B1 (ja) |
CN (1) | CN106031913B (ja) |
TW (1) | TWI644731B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6426491B2 (ja) * | 2015-02-13 | 2018-11-21 | 中外炉工業株式会社 | 塗布装置及び塗布方法 |
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JP4206643B2 (ja) | 2001-02-28 | 2009-01-14 | 凸版印刷株式会社 | スリット式塗布装置 |
JP4184124B2 (ja) | 2003-03-14 | 2008-11-19 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
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JP5885755B2 (ja) * | 2011-12-01 | 2016-03-15 | タツモ株式会社 | 塗布装置および塗布方法 |
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-
2014
- 2014-10-29 JP JP2014220742A patent/JP5782172B1/ja active Active
-
2015
- 2015-01-22 TW TW104102074A patent/TWI644731B/zh active
- 2015-03-09 CN CN201510102889.9A patent/CN106031913B/zh active Active
- 2015-04-01 KR KR1020150046334A patent/KR102270149B1/ko active IP Right Grant
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JP2014022545A (ja) * | 2012-07-18 | 2014-02-03 | Tokyo Electron Ltd | 塗布装置及び塗布方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5782172B1 (ja) | 2015-09-24 |
CN106031913A (zh) | 2016-10-19 |
KR102270149B1 (ko) | 2021-06-28 |
CN106031913B (zh) | 2019-04-05 |
TWI644731B (zh) | 2018-12-21 |
KR20160051525A (ko) | 2016-05-11 |
TW201615284A (zh) | 2016-05-01 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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