JP2005288387A - 塗布方法および塗布装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一方向に延びる吐出口を有する塗布器を被塗布部材に近接させ、定容量ポンプから塗布器に塗布液を供給して被塗布部材に塗布器から塗布液を吐出するとともに、被塗布部材の塗布器に対する相対移動をして、被塗布部材上に塗膜を形成する塗布方法において、定容量ポンプから塗布器に至る経路中で塗布時の圧力を検知し、前記検知した塗布時の圧力波形形状が所望の形状になるように圧力を制御して塗布することを特徴とする塗布方法。
【選択図】図1
Description
370×470mmで厚さ0.7mmの無アルカリガラス基板を洗浄後に、ダイコータ1を用いて塗布をした。ダイは吐出口の長手方向長さが370mm、吐出口面の塗布方向長さが0.5mm、スリットの間隙が100μmで、基板に370mm幅の塗布膜が形成できるものであり、塗布速度は100mm/sにした。シリンジポンプ50にはシリンジ内径がφ16mmのものを用いた。また塗布液は液晶TFTの製造の用いられるポジレジストで、固形分濃度23%、粘度が10mPaSであった。シリンジポンプ50のピストン52の動作速度は、真空乾燥後の厚さが1.5μmになるように、1.2mm/sに設定した。そして、まず、ダイ20を停止している基板の塗布開始部に近接させ、ダイ20の吐出口面36と基板との間のすきまであるクリアランスを100μmにした。クリアランス設定後にピストン54を1.2mm/sで動作開始した。そしてピストン動作開始から待機時間t=0.1秒後にステージ6の動作も開始して塗布を行い、基板端(塗布開始位置)から465mmのガラス基板の位置にダイ20の吐出口34がきたときに、シリンジポンプ50を停止した。その後、基板端から470mmのガラス基板位置が吐出口34の真下に来たところで、ダイ20を塗布終了のために引き上げた。以上の塗布後に、27秒で到達真空度65Paの真空乾燥を行った。そして塗布方向の膜厚分布を、光干渉式の膜厚計で測定し、図4に破線で示す膜厚分布を得た。このときの膜厚精度Uを、端部10mmを除く領域でU=(最大値−最小値)/(2×平均値)で求め、3.4%の値を得た。目標が3%未満であり、膜厚分布を見ると図4の破線のように、塗布開始部がかなりのアンダーシュートとなった。圧力計48で塗布開始時の圧力を測定したところ、図5(a)の破線に示すように、開始部は膜厚分布と同様なアンダーシュートとなった。シリンジポンプ50のピストンの動作速度は、図5(b)の破線に示すように制御していたが、圧力の開始部アンダーシュートを解消するために、図5(b)の実線のように、ピストン速度を、動作開始から0.1秒後に、目標膜厚塗布時のピストン速度1.2mm/sに対して1.5倍の大きさである1.8mm/sに、さらにその0.1秒後に目標膜厚塗布時のピストン速度である1.2mm/sになるよう調整した。まず圧力を測定したところ、図5(a)の実線のようになり、アンダーシュートは解消された。同じピストン動作速度パターンで再度塗布を行い、真空乾燥後に膜厚分布を実施例1と同様に測定したところ、図4の実線に示すものとなり、アンダーシュートが解消されているとともに、膜厚精度Uも端部10mm除外で2.5%となり、目標の3%以下を達成した。
実施例2
ダイコータ1を用いてカラーフィルターを製造した。
2 基台
4 ガイドレール
6 ステージ
10 支柱
20 ダイ(塗布器)
22 フロントリップ
24 リアリップ
26 マニホールド
28 スリット
32 シム
34 吐出口
36 吐出口面
40 塗布液供給装置
42 供給バルブ
44 吸引バルブ
46 フィルター
47 絞りバルブ
48 圧力計
50 シリンジポンプ
52 シリンジ
54 ピストン
56 本体
60 供給ホース
62 吸引ホース
64 タンク
66 塗布液
68 圧空源
70 上下昇降ユニット
72 モータ
74 ガイド
78 昇降台
80 吊り下げ保持台
90 拭き取りユニット
92 拭き取りヘッド
94 ブラケット
96 スライダー
98 駆動ユニット
100 トレイ
102 台車
120 厚さセンサー
122 支持台
130 制御装置
132 操作盤
A 基板(被塗布部材)
B ビード
C 塗布膜
Claims (7)
- 一方向に延びる吐出口を有する塗布器を被塗布部材に近接させ、定容量ポンプから塗布器に塗布液を供給して被塗布部材に塗布器から塗布液を吐出するとともに、被塗布部材の塗布器に対する相対移動をして、被塗布部材上に塗膜を形成する塗布方法において、定容量ポンプから塗布器に至る経路中で塗布時の圧力を検知し、前記検知した塗布時の圧力波形形状が所望の形状になるように圧力を制御して塗布することを特徴とする塗布方法。
- 前記圧力の制御は、前記定容量ポンプの機械駆動部の動作速度を、任意の時間間隔で変化させて行うことを特徴とする請求項1に記載の塗布方法。
- 前記圧力の制御は、前記定容量ポンプと塗布器の間に形状が可変となるオリフィスを設け、オリフィスの形状を変えることで行うことを特徴とする請求項1に記載の塗布方法。
- 塗布液を吐出するために一方向に延びる吐出口を有する塗布器と、塗布器に塗布液を供給する定容量ポンプと、被塗布部材を保持する載置台と、前記塗布器および載置台のうちの少なくとも一方を相対的に移動させる移動手段と、塗布器を被塗布部材に近接させる近接手段とを備えて、被塗布部材に塗膜を形成する塗布装置であって、さらに定容量ポンプから塗布器に至る経路中に圧力検知器を設けるとともに、塗布時に該圧力検知器により検知した圧力波形形状を所望の形状になるように圧力を制御する圧力制御装置を備えたことを特徴とする塗布装置。
- 前記圧力制御装置は、定容量ポンプの機械駆動部の動作速度を、任意の時間間隔で変化させる定容量ポンプ速度制御器であることを特徴とする請求項4に記載の塗布装置。
- 前記圧力制御装置として前記定容量ポンプと塗布器の間に形状が可変となるオリフィスを設けたことを特徴とする請求項4に記載の塗布装置。
- 請求項1〜3のいずれかに記載の塗布方法を用いてディスプレイ用部材を製造することを特徴とするディスプレイ用部材の製造方法。
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