JP2016087601A - 塗布装置及び塗布方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 塗液供給源
3 タンク
4 塗液補充系
5 ガス導入系
6 圧力計
7 塗液補充用開閉弁
8 ガス導入用開閉弁
9 塗液供給系
9a タンク側系路
9b ノズル側系路
10 基台
11 塗布対象物
11a 塗布始端
12 ノズル
13a,13b,13c 開閉弁
15 バッファタンク
17 可変容量型バッファタンク
18 シャフト
20 シリンジポンプ
20a ピストンロッド
20b モータ
20c ピストン
20d シリンダ
22 追加の塗液供給系
22a タンク側系路
22b ノズル側系路
a タンク
b 塗液
c 塗液補充用開閉弁
d 塗液補充系
e ガス導入用開閉弁
f ガス導入系
g ノズル
h 開閉弁
i 塗液供給系
j 塗布対象物
k 塗布始端
m 塗液の盛り上がり
Claims (2)
- タンク内に貯留されている塗液を、加圧により塗液供給系へ押し出して供給する塗液供給源と、
該塗液供給系に接続され、供給される塗液を吐出しつつ、塗布対象物に対し相対移動されて、塗布対象物を塗布処理するノズルと、
上記塗液供給系に設けられ、かつ塗液が内部に充満され、塗布処理を開始するときのみ塗液を吐出して上記ノズルに供給し、他方、該ノズルへの塗液の供給を停止したとき上記塗液供給源から該ノズルに向かって伝播される圧力の変化を抑制するシリンジポンプと、
上記塗液供給系に、上記シリンジポンプと上記ノズルとの間に配置して設けられ、該シリンジポンプに上記塗液供給源から塗液を供給するときのみ閉じられるシリンジポンプ充填用開閉弁と、
上記塗液供給系に、上記シリンジポンプと上記塗液供給源との間に配置して設けられ、該シリンジポンプで塗布処理を開始するとき閉じられ、他方、該シリンジポンプへ該塗液供給源から塗液を供給するとき、並びに、該塗液供給源から上記ノズルへ塗液を供給するために該シリンジポンプによる塗液の供給停止に応じて、開かれる開閉弁とを備えたことを特徴とする塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置を用い、
前記シリンジポンプ充填用開閉弁が閉じられている状態で、前記開閉弁が開かれて、前記塗液供給系を介して前記塗液供給源から前記シリンジポンプに塗液が供給され、
次いで、塗布処理を開始するとき、上記開閉弁が閉じられた状態で、上記シリンジポンプ充填用開閉弁が開かれていて、上記シリンジポンプから上記塗液供給系を介して前記ノズルに塗液が供給され、
次いで、塗布処理を続行するために、上記シリンジポンプによる塗液の供給停止に応じて、上記開閉弁が開かれて上記塗液供給源から上記塗液供給系を介して上記ノズルに塗液が供給されることを特徴とする塗布方法。
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