JP7492992B2 - 塗布方法、プログラムおよび記録媒体 - Google Patents
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Description
得られる圧力波形に基づいて、吐出制御パラメータが再調整される。これにより、基板の消費を抑えつつ、吐出制御パラメータを再調整できる。
図1は、実施形態に係る塗布装置1の全体構成を模式的に示す図である。塗布装置1は、基板Sの上面Sfに処理液を塗布する基板処理装置である。基板Sは、例えば、液晶表示装置用のガラス基板である。なお、基板Sは、半導体ウエハ、フォトマスク用ガラス基板、プラズマディスプレイ用ガラス基板、磁気・光ディスク用のガラス又はセラミック基板、有機EL用ガラス基板、太陽電池用ガラス基板又はシリコン基板、その他フレキシブル基板およびプリント基板などの電子機器向けの各種被処理基板であってもよい。塗布装置1は、例えばスリットコータである。
・定常速度V1
・加速時間T1:停止状態から定常速度V1に加速させる時間
・定常速度時間T2:定常速度V1を継続させる時間
・定常速度V2
・減速時間T3:定常速度V1から定常速度V2に減速させる時間
・定常速度時間T4:定常速度V2を継続させる時間
・定常速度V3
・加速時間T5:定常速度V2から定常速度V3に加速させる時間
・定常速度時間T6:定常速度V3を継続させる時間
・定常速度V4
・減速時間T7:定常速度V3から定常速度V4に減速させる時間
・定常速度時間T8:定常速度V4を継続させる時間
・定常速度V5
・加速時間T9:定常速度V4から定常速度V5に加速させる時間
・定常速度時間T10:定常速度V5を継続させる時間
・減速時間T11:定常速度V5から停止状態に減速させる時間
図5は、吐出制御パラメータの調整処理の流れを示す図である。図5に示される調整処理は、処理レシピが変更された場合、または、ユーザからの指示入力があった場合に行われる。処理レシピは、具体的には、処理手順または処理内容(処理液の種類、基材の種類、処理液の供給量)を含む。
事前調整段階では、まず、吐出制御パラメータ調整部915が、吐出制御パラメータを所定の初期値に設定する(ステップS1)。初期値は、任意の値であってもよいし、あるいは、所定のアルゴリズムに基づいて設定される値であってもよい。また、吐出制御パラメータ調整部915は、ユーザからの初期値の入力を受け付け、受け付けた初期値を記憶部93に記憶させてもよい。
実塗布段階においては、まず、塗布装置1は、事前調整段階によって調整された吐出制御パラメータに基づいて実塗布を行うとともに、圧力波形を取得する(ステップS5)。具体的には、処理液供給機構8は、ノズル71を塗布位置に移動させる。そして、制御ユニット9は、移動機構5を制御することによって基板Sを所定の搬送方向Dtに移動させつつ、吐出制御パラメータにしたがってポンプ81を駆動することによって、ノズル71から処理液を基板Sに吐出させる。また、実塗布が行われている間、吐出圧力測定部911は、圧力計86によって測定される吐出圧力をサンプリングすることによって、圧力波形データを取得する。以下、ステップS5で取得される圧力波形を「実塗布圧力波形」と称する。ステップS5は、「実塗布工程」および「第1取得工程」の一例である。
再調整段階では、まず、吐出制御パラメータが更新される(ステップS7)。具体的には、吐出制御パラメータ調整部915は、疑似塗布を行った場合の圧力波形が、後述する第2理想波形Wt2(図6参照)となるように、吐出制御パラメータを更新する。吐出制御パラメータを更新するアルゴリズムしては、例えば、ベイズ最適化、遺伝的アルゴリズム、勾配法、線形計画法など、任意に選択し得る。ステップS7は、「第1更新工程」の一例である。
ステップS6によって、実塗布圧力波形が理想的でないと評価された場合、疑似塗布(ステップS8)で得られる圧力波形に基づいて吐出制御パラメータが再調整される。これにより、基板Sの消費を抑えつつ、吐出制御パラメータの再調整を行うことができる。基板Sの消費が抑制されることによって、環境負荷を低減できる。
以上、実施形態について説明してきたが、本発明は上記のようなものに限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
5 移動機構
7 塗布機構
71 ノズル
72 ローラ
8 処理液供給機構
9 制御ユニット
81 ポンプ
86 圧力計
910 吐出制御部
911 吐出圧力測定部
915 吐出制御パラメータ調整部
931 プログラム
Wr1 実塗布圧力波形
Wt1 第1理想波形
Wt2 第2理想波形
Claims (6)
- 基板に処理液を塗布する塗布方法であって、
a) 予め設定された吐出制御パラメータにしたがって、ノズルに対して前記基板を相対的に移動させつつ前記ノズルから前記基板に処理液を吐出する実塗布を行う実塗布工程と、
b) 前記実塗布工程における、前記ノズルの吐出圧力の時間変化を示す実塗布圧力波形を取得する第1取得工程と、
c) 前記実塗布圧力波形を評価する第1評価工程と、
d) 前記第1評価工程の評価結果に基づいて、前記吐出制御パラメータを再調整する再調整工程と、
を含み、
前記再調整工程は、
d1) 前記吐出制御パラメータにしたがって、前記ノズルから前記基板以外の箇所に前記処理液を吐出する疑似塗布を行う第1疑似塗布工程と、
d2) 前記第1疑似塗布工程において、前記吐出圧力の時間変化を示す第1疑似塗布圧力波形を取得する第2取得工程と、
d3) 前記第1疑似塗布圧力波形を評価する第2評価工程と、
d4) 前記第2評価工程の評価結果に基づいて、前記吐出制御パラメータを更新する第1更新工程と、
を含む、塗布方法。 - 請求項1に記載の塗布方法であって、
前記第1評価工程は、前記実塗布圧力波形の、第1理想波形からのずれ量に基づいて評価する工程を含み、
前記第2評価工程は、前記第1疑似塗布圧力波形の、前記第1理想波形とは形状が異なる第2理想波形からのずれ量に基づいて評価する工程を含む、
塗布方法。 - 請求項2に記載の塗布方法であって、
前記第2理想波形は、前記第1理想波形を、前記実塗布圧力波形と前記第1理想波形との差分値に応じて変形させた形状を有する、塗布方法。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の塗布方法であって、
e) 前記実塗布工程よりも先に、前記吐出制御パラメータを調整する事前調整工程、
をさらに含み、
前記事前調整工程は、
e1) 予め設定された前記吐出制御パラメータにしたがって、前記疑似塗布を行う第2疑似塗布工程と、
e2) 前記第2疑似塗布工程において、前記吐出圧力の時間変化を示す第2疑似塗布圧力波形を取得する第3取得工程と、
e3) 前記第2疑似塗布圧力波形を評価する第3評価工程と、
e4) 前記第3評価工程の評価結果に基づいて、前記吐出制御パラメータを更新する第2更新工程と、
を含み、
前記実塗布工程において、前記事前調整工程によって調整された吐出制御パラメータにしたがって前記実塗布を行う、塗布方法。 - コンピュータが実行可能なプログラムであって、
前記コンピュータに請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の塗布方法を実行させる、プログラム。 - コンピュータが読み取り可能な記録媒体であって、
請求項5に記載のプログラムが記録されている、記録媒体。
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