JP2016081977A - 離間用接着シート - Google Patents
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Abstract
【解決手段】離間用接着シートAUは、当該離間用接着シートAUの面内の少なくとも3箇所に頂部APを有し、板状部材が貼付されたときに当該板状部材が貼付された被着体貼付領域AWを包囲可能な多角形の包囲領域ACと、各頂部APからそれぞれ当該離間用接着シートAUの外縁方向に延びて、包囲領域ACに対して各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込CUと、不干渉切込CUおよび包囲領域ACによって区分され、包囲領域ACに張力を付与する引張領域ALとを備えている。
【選択図】図1
Description
また、本発明の離間用接着シートでは、前記2つの辺は、断続的な切込からなることが好ましい。
さらに、本発明の離間用接着シートでは、前記不干渉切込は、前記各頂部からそれぞれ離間用接着シートの外縁方向に延びる切込からなることが好ましい。
なお、本実施形態において、X軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行なD1方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
図1において、離間用接着シートAUは、少なくとも基材BSと当該基材BSの一方の面に積層された接着剤AD層とからなり、少なくとも3方向に張力が付与されることで、当該接着剤AD層に接着された板状部材としてのウエハWFから形成される複数の片状体としてのチップCPの相互間隔を広げる離間用接着シートであって、当該離間用接着シートAUの面内の4箇所に頂部APを有し、ウエハWFが貼付されたときに当該ウエハWFが貼付された被着体貼付領域AWを包囲可能な多角形の包囲領域ACと、各頂部APからそれぞれ当該離間用接着シートAUの外縁方向に延びて、包囲領域ACに対して各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込CUと、不干渉切込CUおよび包囲領域ACによって区分され、当該包囲領域ACに張力を付与する引張領域ALと、フレームとしてのリングフレームRF(図2(A)参照)に貼付され、互いに隣り合う引張領域ALを接続するフレーム貼付領域AFとを備えている。
不干渉切込CUは、各頂部APからそれぞれ離間用接着シートAUの外縁方向に延びる2つの辺CSと、リングフレームRFの内縁に沿う円弧部CTとから構成されている。
先ず、図2(A)に示すように、ウエハWFが包囲領域AC内に配置され、リングフレームRFが円弧部CTおよび引張領域ALの外縁部に配置されるように、それらウエハWFおよびリングフレームRFに離間用接着シートAUを貼付し一体物WKを形成する。なお、ウエハWFは、切断刃や加圧水等のウエハ切断手段によりチップCPに個片化されるか、レーザ光や薬液等のウエハ脆弱化手段によりチップCPに個片化可能とされている。
そして、同図に示すように、左右に一対配置された支持部材21の間に位置する離間テーブル30の上方にウエハWFが位置するように、リングフレームRFの左右の部分を各支持部材21の溝21Aに挿通させる。次に、支持部材21を下降させると、図2(B)に示すように、4つの引張領域ALによって包囲領域ACに+X軸方向、−X軸方向、+Y軸方向、−Y軸方向の4方向の張力が付与されてチップCPの相互間隔が広がる。そして、最外周に位置するチップCPが所定の位置に達したことを光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段が検知すると、支持部材21の下降を停止する。
ここで、接着シートASに不干渉切込CUが形成されていない場合、包囲領域ACには、上記4方向に加え、これらの合成方向(CD1、CD2、CD3、CD4方向)にも張力が付与される。このため、各チップCPは、図2(C)に示すように、内側のチップCPの間隔と外側のチップCPとの間隔に違いが生じ、各チップCPを理論上の位置に配置することができない。
これに対し、本実施形態では、不干渉切込CUが形成された離間用接着シートAUを使用するため、包囲領域ACに対して4方向に張力を付与したときに、当該包囲領域ACに対してそれらの合成方向に張力が付与されることを極力抑制することができる。
図3(C)、(D)、(E)に示すように、離間用接着シートAU3、AU4、AU5は、離間用接着シートAU、AU1、AU2に対しフレーム貼付領域AFを備えない構成を有してもよい。
図4(D)、(E)、(F)に示すように、離間用接着シートAU9、AU10、AU11は、各頂部APからそれぞれ当該離間用接着シートAU9、AU10、AU11の外縁方向に延びる断続的な切込(切り取り線)からなる不干渉切込CU9、CU10、CU11を備え、不干渉切込CU9、CU10の破断により切り離された不要シートUSを除去したり、不干渉切込CU11を破断したりすることで、図1、図3(C)、図4(A)に示す離間用接着シートAU、AU3、AU6を形成可能に構成されてもよい。
不干渉切込CU、CU1、CU2、CU9を構成する各辺や、不干渉切込CU6〜CU8、CU10〜CU11を曲線状や折線状等の切込で形成してもよい。
図1、図3(A)〜(B)、図4(D)に示す離間用接着シートAU、AU1、AU2、AU9において、包囲領域ACの各頂部APからそれぞれ当該離間用接着シートAU、AU1、AU2、AU9の外縁方向に延びる2つの辺のみを形成し、リングフレームRFの内縁に沿う円弧部を切断することなく不干渉切込を形成してもよい。
包囲領域の形状は、離間テーブルの上面の形状と相似関係にある形状でもよいし、相似関係にない形状でもよし、被着体貼付領域と相似関係にある形状でもよいし、相似関係にない形状でもよく、被着体貼付領域を包囲可能な多角形の形状であればなんら限定されることはなく、被着体貼付領域に対して張力を付与する方向と数によってその形状を決定することができる。
板状部材や片状体の形状は、例えば円形、楕円形、三角形や五角形以上の多角形等、その他の形状であってもよい。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
AD…接着剤
AL、AL1、AL2、AL6、AL7、AL8…引張領域
AP…頂部
AU、AU1、AU2、AU3、AU4、AU5、AU6、AU7、AU8、AU9、AU10、AU11…離間用接着シート
AW、AW1…被着体貼付領域
BS…基材
CP…チップ(片状体)
CS…辺
CU、CU1、CU2、CU3、CU6、CU7、CU8、CU9、CU10、CU1…不干渉切込
WF…ウエハ(板状部材)
Claims (4)
- 少なくとも基材と当該基材の一方の面に積層された接着剤層とからなり、少なくとも3方向に張力が付与されることで、当該接着剤層に接着された板状部材から形成される複数の片状体の相互間隔を広げる離間用接着シートであって、
当該離間用接着シートの面内の少なくとも3箇所に頂部を有し、前記板状部材が貼付されたときに当該板状部材が貼付された被着体貼付領域を包囲可能な多角形の包囲領域と、
前記各頂部からそれぞれ当該離間用接着シートの外縁方向に延びて、前記包囲領域に対して各張力方向の合成方向に張力が付与されることを防止する不干渉切込と、
前記不干渉切込および包囲領域によって区分され、当該包囲領域に張力を付与する引張領域とを備えていることを特徴とする離間用接着シート。 - 前記不干渉切込は、前記各頂部からそれぞれ離間用接着シートの外縁方向に延びる2つの辺を有していることを特徴とする請求項1に記載の離間用接着シート。
- 前記2つの辺は、断続的な切込からなることを特徴とする請求項2に記載の離間用接着シート。
- 前記不干渉切込は、前記各頂部からそれぞれ離間用接着シートの外縁方向に延びる切込からなることを特徴とする請求項1に記載の離間用接着シート。
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