JP2016072455A - 位置精度検査方法、位置精度検査装置及び位置検査ユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ステージ11に載置されたウエハWに形成された半導体デバイスのプローバによる検査を行う際に、半導体デバイスの電極パッド71〜75に対するプローブ針の接触位置を事前に検査する。プローブ針が配置される位置にプローブ針に代えて、プローブ針の位置を示す図形61〜65が形成されたレチクル31を配置し、レチクル31を通してウエハWに形成された半導体デバイスを撮像素子33により撮像し、撮像した画像からレチクル31に形成された図形と電極パッド71〜75との位置関係を解析する。必要に応じて、図形61〜65の中心と電極パッド71〜75の中心とを一致させるようにステージ11の位置を補正する。
【選択図】図3
Description
31 レチクル
33 撮像素子
40,40A 撮像ユニット
61,62,63,64.65 図形
71,72,73,74,75 電極パッド
100 位置精度検査装置
Claims (12)
- 被検査基板に形成された被検査チップの特定の領域に対して探針による接触式検査を行う際の接触位置を検査する位置精度検査方法であって、
前記被検査基板を基板載置台に載置する載置ステップと、
前記探針が配置される位置に、前記探針に代えて、前記被検査基板に接触させる前記探針の位置を示す図形が形成されたガラス基板を配置し、前記ガラス基板を通して前記被検査基板に形成された前記被検査チップを撮像する撮像ステップと、
前記撮像ステップにより得られた画像から、前記図形と前記特定の領域との位置関係を解析する解析ステップと、を有することを特徴とする位置精度検査方法。 - 前記解析ステップにより得られた前記図形と前記特定の領域との位置関係に基づいて、前記探針を前記特定の領域に接触させることができるか否かを判定する判定ステップを有することを特徴とする請求項1記載の位置精度検査方法。
- 前記判定ステップでは、前記図形の中心と前記特定の領域の中心との距離が予め定められた所定の閾値以内であるときに、前記探針を前記特定の領域に接触させることができると判定することを特徴とする請求項2記載の位置精度検査方法。
- 前記判定ステップにおいて前記図形の中心と前記特定の領域の中心とが所定の精度で一致しないと判定されたときに、前記図形の中心と前記特定の領域の中心とが一致するように前記基板載置台の座標を補正する補正ステップを有することを特徴とする請求項2又は3記載の位置精度検査方法。
- 前記撮像ステップにおいて、前記基板載置台を動かさずに前記ガラス基板を通して前記被検査基板に形成された前記被検査チップを少なくとも2つ以上撮像し、
得られた各画像に対して前記解析ステップと前記判定ステップを行い、少なくとも1つの画像について前記図形の中心と前記特定の領域の中心とが所定の精度で一致しないと判定されたときに前記補正ステップを実行することを特徴とする請求項4に記載の位置精度検査方法。 - 前記被検査基板は、半導体ウエハであり、
前記被検査チップは、半導体デバイスであり、
前記特定の領域は、前記半導体デバイスの電極パッド又は半田バンプであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の位置精度検査方法。 - 被検査基板に形成された被検査チップの特定の領域に対して探針による接触式検査を行う際の接触位置を検査する位置精度検査装置であって、
前記被検査基板を載置する基板載置台と、
前記基板載置台の上方に配置される撮像ユニットと、
前記撮像ユニットにより撮像された画像を解析する解析装置とを備え、
前記撮像ユニットは、
前記探針が配置される位置に前記探針に代えて配置され、前記被検査基板に接触させる前記探針の位置を示す図形が形成されたガラス基板と、
前記ガラス基板を通して前記基板載置台に載置された前記被検査基板を撮像する撮像素子とを有し、
前記解析装置は、前記ガラス基板を通して前記被検査基板に形成された前記被検査チップを撮像して得られた画像から、前記図形と前記特定の領域との位置関係を解析することを特徴とする位置精度検査装置。 - 複数の前記位置検査ユニットを備えることを特徴とする請求項7記載の位置精度検査装置。
- 前記解析装置は、前記図形と前記特定の領域との位置関係に基づいて、前記探針を前記特定の領域に接触させることができるか否かを判定することを特徴とする請求項7又は8記載の位置精度検査装置。
- 前記基板載置台の載置面と平行な面内方向で前記基板載置台を移動させると共に、前記載置面と直交する軸を中心として前記基板載置台を回転させる駆動装置を備え、
前記解析装置は、前記図形の中心と前記特定の領域の中心とが所定の精度で一致しないと判定したときに、前記図形の中心と前記特定の領域の中心とが一致するように前記駆動装置を制御して前記基板載置台の座標を補正することを特徴とする請求項9記載の位置精度検査装置。 - 前記被検査基板は、半導体ウエハであり、
前記被検査チップは、半導体デバイスであり、
前記特定の領域は、前記半導体デバイスの電極パッド又は半田バンプであることを特徴とする請求項7乃至10のいずれか1項に記載の位置精度検査装置。 - 半導体ウエハに形成された半導体デバイスの電極パッド又は半田バンプに対してプローブ針を接触させて電気的特性を検査する際に、前記電極パッド又は前記半田バンプに対する前記プローブ針の接触位置を事前に検査するために前記半導体ウエハの上方に配置される位置検査ユニットであって、
前記位置検査ユニットは、
撮像ユニットと、
前記撮像ユニットを保持する保持基板とを備え、
前記撮像ユニットは、
前記プローブ針が配置される位置に前記プローブ針に代えて配置され、前記プローブ針の位置を示す図形が形成されたガラス基板と、
前記ガラス基板を通して前記半導体ウエハに形成された前記半導体デバイスを撮像する撮像素子とを有することを特徴とする位置検査ユニット。
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