JP2016066643A - 基板処理装置、制御方法、およびコンピュータプログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この基板処理装置1は、基板9を停滞させると処理不良の要因となる停滞不能エリア200と、停滞不能エリア200の搬送方向下流側に位置する待機バッファ60と、を有する。ライン制御PC82は、停滞不能エリア200内の基板9の在荷枚数と、待機バッファ60内のバッファ空き数とを取得する。そして、取得した在荷枚数およびバッファ空き数に基づいて、停滞不能エリア200への基板9の投入を規制するか否かを切り替える。このようにすれば、スケジューラに依存することなく、停滞不能エリア200における基板9の停滞を防止して、処理不良の発生を抑制できる。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の一実施形態に係る基板処理装置1の構成を示した図である。この基板処理装置1は、液晶表示パネルのTFTアレイを製造する工程において、矩形のガラス基板9の表面に、レジスト膜を形成して露光を行う装置である。図1に示すように、基板処理装置1は、インデクサ10、洗浄部20、デハイドベーク部30、塗布乾燥部40、ソフトベーク部50、待機バッファ60、および露光部70の7つの処理部を有する。基板処理装置1は、これらの処理部間で基板9を順次に受け渡しながら、基板9に対して一連の処理を行う。
続いて、停滞不能エリア200への基板9の投入制御について、より詳細に説明する。
Y≦X+A ・・・(1)
Y>X+B ・・・(2)
<3−1.規制開始パラメータAの補正>
上記の規制開始パラメータAは、固定値であってもよく、状況に応じて補正されるものであってもよい。以下では、規制開始パラメータAを補正する場合の補正処理の例を、図6のフローチャートを参照しつつ、説明する。なお、本実施形態では、ライン制御PC82が、上述したコンピュータプログラムPに基づいて、図6の補正処理を実行する。
上記の規制解除パラメータBは、固定値であってもよく、状況に応じて補正されるものであってもよい。以下では、規制解除パラメータBを補正する場合の補正処理の例を、図7および図8のフローチャートを参照しつつ、説明する。なお、本実施形態では、ライン制御PC82が、上述したコンピュータプログラムPに基づいて、図7および図8の補正処理を実行する。
以上、本発明の主たる実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではない。以下では、種々の変形例について説明する。
基板処理装置1において、レシピが変更されたり、停滞不能エリア200内の一部のユニットがメンテナンス等で停止したりすると、停滞不能エリア200内における通常時の基板9の在荷枚数も変化する。そうすると、停滞不能エリア200に対する待機バッファ60の相対的な余裕量も変化する。例えば、停滞不能エリア200内の1つのユニットがメンテナンス中となった場合、停滞不能エリア200内における通常時の在荷枚数Xが減るため、待機バッファ60の余裕量が相対的に増加した状態となる。
Y≦X+A+Z ・・・(1a)
Y>X+B+Z ・・・(2a)
待機バッファ60内の一部の基板収納部61が、メンテナンス等で使用不可となった場合には、当該基板収納部61を考慮から除外するようにしてもよい。具体的には、待機バッファ60内の複数の基板収納部61のうち、一部の基板収納部61が使用不可になると、まず、ライン制御PC82内の記憶部821に、使用不可となった基板収納部を指定する情報を記憶させる。ライン制御PC82は、バッファ空き数Yを算出する際に、指定された基板収納部61の数を減算する。そして、減算後のバッファ空き数Yを用いて、停滞不能エリア200への基板9の投入規制を行う。このようにすれば、使用できない基板収納部61を考慮から除外して、より実情に合った基板9の投入規制を行うことができる。
上記の実施形態では、ライン制御PC82が、停滞不能エリア200への基板9の投入制御を行う制御部の機能を担っていた。しかしながら、当該制御部の機能を、複数のコントローラ81の一部によって実現してもよい。例えば、図9のように、デハイドベーク部30を担当するコントローラ81に、停滞不能エリア200への基板9の投入を制御するためのコンピュータプログラムPが、インストールされていてもよい。図9の例では、デハイドベーク部30を担当するコントローラ81内の記憶部811を、7つのコントローラ81の共有メモリとして用いる。7つのコントローラ81は、各々が担当する処理部内に存在する基板9の数を、当該記憶部811に書き込む。デハイドベーク部30を担当するコントローラ81は、記憶部811に書き込まれたこれらの情報に基づき、停滞不能エリア200内の基板9の在荷枚数Xと、待機バッファ60内のバッファ空き数Yとを算出し、停滞不能エリア200への投入規制を行うか否かを判断する。このようにすれば、処理部毎のコントローラ81とは別に、投入規制制御用のコンピュータを用意する必要がない。したがって、基板処理装置1の制御システム80を、よりシンプルに構成できる。
また、上記の実施形態のような停滞不能エリア200への基板9の投入制御を行いつつ、図10のように、従来のスケジューラ90を併用してもよい。図10の例では、停滞不能エリア200への基板9の投入制御は、ライン制御PC82または処理部用のコントローラ81で行い、それ以外の基板9の搬送制御については、スケジューラ90で行うことができる。したがって、スケジューラ90で、停滞不能エリア200への基板9の投入制御を含む全ての搬送制御を行う場合よりも、スケジューラ90の処理負担を減らすことができる。
上記の実施形態では、基板処理装置1内に、インデクサ10、洗浄部20、デハイドベーク部30、塗布乾燥部40、ソフトベーク部50、待機バッファ60、および露光部70の7つの処理部が設けられていた。しかしながら、基板処理装置内の処理部の数や、各処理部における処理内容は、上記の実施形態と相違していてもよい。例えば、基板処理装置は、露光後の現像処理を行う現像部を、さらに有していてもよい。また、基板処理装置内に、複数の停滞不能エリアが含まれていてもよい。
9 基板
10 インデクサ
20 洗浄部
30 デハイドベーク部
40 塗布乾燥部
50 ソフトベーク部
60 待機バッファ
61 基板収納部
70 露光部
80 制御システム
81 コントローラ
82 ライン制御PC
83 処理部間通信ネットワーク
84 操作パネル
90 スケジューラ
100 停滞可能エリア
200 停滞不能エリア
811,821 記憶部
841 表示部
842 入力部
A 規制開始パラメータ
B 規制解除パラメータ
M 記憶媒体
P コンピュータプログラム
T テーブルデータ
X 在荷枚数
Y バッファ空き数
Z 環境補正値
Claims (14)
- 複数の処理部間で基板を受け渡しながら、基板に対して一連の処理を行う基板処理装置であって、
基板を停滞させると処理不良の要因となる停滞不能エリアと、
前記停滞不能エリアの搬送方向下流側に位置する待機バッファと、
前記停滞不能エリアへの基板の投入を制御する制御部と、
を有し、
前記待機バッファは、基板を待機させる複数の基板収納部を有し、
前記制御部は、
前記停滞不能エリア内の基板の在荷枚数と、前記待機バッファ内の基板が待機していない基板収納部の数を示すバッファ空き数とを取得する情報取得手段と、
前記在荷枚数および前記バッファ空き数に基づいて、前記停滞不能エリアへの基板の投入を規制するか否かを切り替える切替手段と、
を有する、基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記在荷枚数をX、前記バッファ空き数をY、0以上の整数である規制開始パラメータをA、A以上の整数である規制解除パラメータをBとして、
前記切替手段は、
Y≦X+Aを満たすと、前記停滞不能エリアへの基板の投入規制を開始し、
Y>X+Bを満たすと、前記停滞不能エリアへの基板の投入規制を解除する、基板処理装置。 - 請求項2に記載の基板処理装置であって、
前記制御部は、
投入規制中にY=0になった時点でX>0となっていれば、その時点のXをAに足して、新たな規制開始パラメータAとする、基板処理装置。 - 請求項2または請求項3に記載の基板処理装置であって、
前記制御部は、
X=0になった時点でY>Aとなっていれば、前記規制開始パラメータAの値を減少させる、基板処理装置。 - 請求項2乃至請求項4のいずれか1項に記載の基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記投入規制を解除した後、予め設定された時間よりも短い時間で、前記投入規制が開始されると、前記規制解除パラメータBの値を増加させる、基板処理装置。 - 請求項2乃至請求項5のいずれか1項に記載の基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記投入規制を解除した後、予め設定された時間よりも長い時間、前記待機バッファ内の基板の数が0枚である状態が継続されると、前記規制解除パラメータBの値を減少させる、基板処理装置。 - 請求項2乃至請求項6のいずれか1項に記載の基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記複数の処理部における基板の処理条件を示すレシピを複数有し、
前記レシピ毎に、前記規制開始パラメータAおよび前記規制解除パラメータBを、固有の値として保持する、基板処理装置。 - 請求項2乃至請求項7のいずれか1項に記載の基板処理装置であって、
前記制御部に、基板の処理環境の変化に応じた環境補正値Zが予め設定され、
前記切替手段は、基板の処理環境が変化したときに、
前記Y≦X+Aに代えて、Y≦X+A+Zを用い、
前記Y>X+Bに代えて、Y>X+B+Zを用いる、基板処理装置。 - 請求項1乃至請求項8のいずれか1項に記載の基板処理装置であって、
前記待機バッファが有する前記基板収納部の数は、前記停滞不能エリアに存在可能な基板の最大在荷枚数よりも多い、基板処理装置。 - 請求項1乃至請求項9のいずれか1項に記載の基板処理装置であって、
前記制御部は、
前記待機バッファ内の前記複数の基板収納部のうち、使用できない基板収納部を指定する指定手段と、
前記バッファ空き数から、前記指定手段により指定された基板収納部の数を減らす減算手段と、
をさらに有し、
前記切替手段は、減算手段による減算後の前記バッファ空き数に基づいて、基板の投入を規制するか否かを切り替える、基板処理装置。 - 請求項1乃至請求項10のいずれか1項に記載の基板処理装置であって、
前記複数の処理部の各々を制御する複数のコントローラを有し、
前記制御部の機能が、前記複数のコントローラと通信可能に接続された他のコンピュータによって実現される、基板処理装置。 - 請求項1乃至請求項10のいずれか1項に記載の基板処理装置であって、
前記複数の処理部の各々を制御する複数のコントローラを有し、
前記制御部の機能が、前記複数のコントローラの一部によって実現される、基板処理装置。 - 基板を停滞させると処理不良の要因となる停滞不能エリアと、前記停滞不能エリアの搬送方向下流側において基板を待機させる複数の基板収納部を有する待機バッファと、を備えた基板処理装置において、前記停滞不能エリアへの基板の投入を制御する制御方法であって、
a)前記停滞不能エリア内の基板の在荷枚数と、前記待機バッファ内の基板が待機していない基板収納部の数を示すバッファ空き数とを取得する工程と、
b)前記在荷枚数および前記バッファ空き数に基づいて、前記停滞不能エリアへの基板の投入を規制するか否かを切り替える工程と、
を有する、制御方法。 - 基板を停滞させると処理不良の要因となる停滞不能エリアと、前記停滞不能エリアの搬送方向下流側において基板を待機させる複数の基板収納部を有する待機バッファと、を備えた基板処理装置において、前記停滞不能エリアへの基板の投入を制御するためのコンピュータプログラムであって、コンピュータに、
a)前記停滞不能エリア内の基板の在荷枚数と、前記待機バッファ内の基板が待機していない基板収納部の数を示すバッファ空き数とを取得する処理と、
b)前記在荷枚数および前記バッファ空き数に基づいて、前記停滞不能エリアへの基板の投入を規制するか否かを切り替える処理と、
を実行させる、コンピュータプログラム。
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