JP2011091197A - 異常検出システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カラー液晶表示装置等に用いるガラス基板を複数枚収納するカセットや該カセットを収納するストッカ棚の異常を検出するシステムであって、欠陥検査装置と、検査結果情報格納データベースと、装置通過履歴格納データベースと、カセット搬送履歴格納データベースと、ストッカエリア情報格納データベースと、ロット実績格納データベースと、欠陥情報の集計を行う集計手段と、カセット集計情報格納データベースと、ストッカ状態判定手段と、を備えカセットの異常や該カセットを収納するストッカ棚の異常を検出することを特徴とする異常検出システム。
【選択図】図5
Description
た欠陥情報は被検査基板のIDコードに付与され、製造生産工程内のネットワークを通じて適宜読み込みが可能となっている。この欠陥情報によって対象基板の良否(OKまたはNG)の判定を行っている。
a)処理工程内を搬送される全ての基板は個々に識別コードを持っており、各装置は基板払出しと同時に基板の識別コードと基板の搬送制御フラグ(搬送先を示す情報)等を下流装置に受け渡すいわゆるデータトラッキング機構を有している。
b)各処理工程に設置された欠陥検査装置では被検査基板に対して欠陥検査を実施し、各欠陥検査装置における検査結果を基板識別コード単位にデータベースに格納する。
c)各処理工程にて搬送された全基板に対して、処理工程内の通過した装置、および装置ポジション情報、装置固有の装置データを基板識別コード単位にデータベースに格納する。なお、本システムが使用する装置データは基板投入設備が出力する投入カセットIDと基板投入段数とする。
d)基板を収納するカセットは、それぞれ固有の識別番号を持っており、カセットの処理工程投入/回収の搬送履歴をデータベースに格納する。
e)ストッカ設備での搬送履歴は、カセットID単位にデータベースに格納する。
号を示すロット番号、生産品種コードを示す品種コード、生産工程の識別コードを示す工程ID、生産枚数を示す回収数、OKの良品基板数を示す良品数、NGの不良基板数を示す不良数、生産枚数÷良品数を示す工程良品率、ロット内の総欠陥数を示す欠陥数、ロットが生産された日時を示す生産日時を含み、各処理工程における生産ロットの生産実績を格納するデータベースであり、ロットあるいは品種の良品数や良品率を管理できる情報を持つ。
先ず、処理工程内に設置された欠陥検査装置にて基板の欠陥検査を行う。検出された欠陥情報は、少なくとも検査判定(OK/NG)、検査基板コード、欠陥サイズ、欠陥座標(X,Y)を持ち、検査終了時に基板コードに対する検査結果を検査結果情報格納データベースに記録する。欠陥検査装置は、処理工程内を搬送される基板すべてに対して上記欠陥検査〜検査結果情報格納データベースへの記録を繰り返す。
集計PCは、上記検査結果情報格納データベースを随時監視し、対象処理工程における最新の検査結果情報を取得する。最新の検査結果情報は、今回検査して得られた検査結果情報と前回の検査結果情報の差を求め、差があった場合を今回の検査情報を最新情報とするするか、または前回の検査結果情報に関係なく今回の検査結果情報を最新の検査結果情報
としても良い。
集計PCは取得した検査情報の基板コードに基づいて、装置通過履歴格納データベースから例えば装置がLD設備であればLD情報である投入カセットIDと投入段番号を取得する。更に、カセット搬送履歴格納データベースから取得したカセットID、搬送先ID=現処理工程IDに基づいて、対象処理工程におけるカセット情報を取得し、カセットの欠陥情報集計リストを作成する。カセットの欠陥情報集計リストは、カセットID、ロット番号、品種コード、処理工程ID、OK数、NG数、搬送日時(対象処理工程への投入日時)を含むものである。
集計PCは上記カセット毎の欠陥情報の生成処理と同時に、カセット搬送履歴格納データベースとストッカエリア情報格納データベースから対象カセットに対する搬送履歴情報を集計する。カセット搬送履歴情報を集計したリストは、カセットID、ストッカ収納時間(総計)、エリア内外移動回数、総移動回数、移動パターン情報を含むものである。ストッカ収納時間は、前処理工程からストッカに収納された段階での搬送日時と現処理工程への搬送日時までの経過時間として算出される。エリア内外移動回数は、前処理工程回収から現処理工程投入までのカセット搬送履歴において、ストッカエリア情報データベースの持つストッカエリアIDに変更があった回数を算出される。総移動回数は、前処理工程回収から現処理工程投入までのカセット搬送回数を算出される。移動パターン情報は、前処理工程回収から現処理工程投入までのカセット搬送履歴において、ストッカエリア情報データベースの区分IDをもとに、図6中の左上⇒右下への移動履歴を区分IDを用いて、「1133」というように搬送履歴を表記される。
集計PCは上記カセット毎の欠陥情報の生成、及びカセット搬送情報の生成にて生成した情報をカセット単位に統合し、カセット集計情報を作成しカセット集計情報格納データベースに保存する。
ストッカ収納時間 例)30min、60min単位等
総移動回数 例)2回、4回等
エリア内外移動回数 例)2回、4回等を設定しておく。
処理工程ID・・・判定処理を実行する処理工程を指定
監視データ・・・監視するデータを指定(例えば、カセット良品率/カセット不良率を監
視データと指定する)
閾値・・・異常判定と認識する閾値の設定
対象期間・・・判定処理に用いる対象期間
2・・・基板
3・・・ブラックマトリックス(BM)
4−1・・・レッドRの着色画素(R画素)
4−2・・・グリーンGの着色画素(G画素)
4−3・・・ブルーBの着色画素(B画素)
5・・・透明電極
6・・・フォトスペーサー(PS)
7・・・バーテイカルアライメント(VA)
10・・・ストッカ設備
11・・・カセット
12・・・基板投入装置
13・・・処理装置A
14・・・搬送装置
15・・・処理装置B
16・・・欠陥検査装置
17・・・基板回収装置
18・・・カセット
20・・・ストッカ設備
21・・・ストッカ棚
22・・・カセット搬出用のロボット
23・・・コンベア
24・・・カセット搬入用のロボット
30・・・ストッカ設備
31・・・各処理装置群
32・・・各欠陥検査装置
33・・・カセット搬送履歴格納データベース
34・・・装置通過履歴格納データベース
35・・・検査結果情報格納データベース
36・・・集計PC
37・・・カセット集計情報格納データベース
38・・・ストッカエリア情報データベース
39・・・ロット実績格納データベース
40・・・ストッカ状態判定システム
Claims (4)
- カラー液晶表示装置等に用いるガラス基板を複数枚収納するカセットや該カセットを収納するストッカ棚の異常を検出するシステムであって、ガラス基板を処理する工程に配置された欠陥検査装置と、欠陥検査装置から得られた検査結果情報を格納する検査結果情報格納データベースと、ガラス基板が処理工程内を通過する履歴情報を格納する装置通過履歴格納データベースと、カセットの搬送履歴を格納するカセット搬送履歴格納データベースと、複数のストッカ棚が存在するストッカエリアの情報を格納するストッカエリア情報格納データベースと、ガラス基板のロット実績を格納するロット実績格納データベースと、各データベースの情報から欠陥情報の集計を行う集計手段と、集計手段によって集計された情報を格納するカセット集計情報格納データベースと、カセット集計情報からカセットとストッカ棚の異常を監視判定するストッカ状態判定手段と、を備えガラス基板を複数枚収納するカセットの異常や該カセットを収納するストッカ棚の異常を検出することを特徴とする異常検出システム。
- 集計手段は検査結果情報格納データベースが更新される度に検査結果情報格納データベースと装置通過履歴格納データベースとカセット搬送履歴格納データベースからカセット集計情報を生成し、該カセット集計情報をカセット集計情報格納データベースへ格納することを特徴とする請求項1に記載の異常検出システム。
- ストッカ状態判定手段はカセット集計情報を予め定義した判定条件に従って異常検出を行うことを特徴とする請求項1または2に記載の異常検出システム。
- ストッカ状態判定手段は異常検出されたカセット/ストッカ棚に対して対応処置の指示と通知を行うことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の異常検出システム。
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