JP5446481B2 - 装置データ収集装置 - Google Patents
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Landscapes
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Description
ものがある。
2・・・ガラス基板
3・・・ブラックマトリックス
4a・・・レッドRの着色画素
4b・・・グリーンGの着色画素
4c・・・ブルーBの着色画素
5・・・透明電極
6・・・フォトスペーサー
7・・・バーテイカルアライメント
11・・・装置データ収集装置(EES)
12・・・対象装置
13・・・装置情報
14・・・検査装置
15・・・検査結果情報
16・・・データ収集用PC
17・・・ID情報
18・・・LCS
19・・・波形データファイル
20・・・基準波形データファイル
31・・・抽出された波形データ
32・・・選択された基準波形
33・・・新たな基準波形33
50・・・検査装置
51・・・検査結果情報
52・・・取得済みの複数の波形データ
53・・・波形データ
54・・・良品時の基準波形
55・・・不良発生時の基準波形
56・・・不良1が発生した場合の基準波形群
57・・・不良2が発生した場合の基準波形群
58・・・上限値異常の基準波形
59・・・下限値異常の基準波形
60・・・上限値異常の基準波形
61・・・下限値異常の基準波形
62・・・新たに作成された不良発生時の基準波形
63・・・不良発生時の基準波形
64・・・更新された不良発生時の基準波形
Claims (2)
- 製造処理装置から装置情報を得て、前記装置情報から基準波形データを作成、更新する装置データ収集装置であって、
装置情報を収集する機能と、
検査装置からの検査結果情報を受信する通信機能と、
前記装置情報から得られる波形データを格納するデータベースと、
前記基準波形データを格納するデータベースと、
前記波形データと前記基準波形データを比較する機能を備え、
検査装置から得られた検査結果が良品の場合、
製造処理装置から得た装置情報から作成した波形データと良品時の基準波形データを重ねて自動で更新し、
一方、前記検査結果が、不良品の場合、
良品時の基準波形データと比較して、所定範囲内で一致していなかった場合は、
更に不良品時の基準波形データと比較して、
所定範囲内で一致していた場合は、前記波形データと前記不良品時の基準波形データを重ね合わせて更新し、
また、所定範囲内で一致しない場合は、前記波形データを新たな不良品時の基準波形データとして登録することを特徴とする装置データ収集装置。 - 前記不良品時の基準波形に不良内容を紐付することを特徴とする請求項1記載の装置データ収集装置。
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