JP2007141942A - 搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】搬送効率に優れた搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法を提供する。
【解決手段】搬送制御システムは、複数の搬送媒体が搬入されるとともにこれら搬入された搬送媒体を処理して搬出する複数の製造装置と、複数の製造装置間で前記複数の搬送媒体を搬送する搬送装置と、複数の製造装置の稼動を制御し、かつ、複数の製造装置間の搬送パターンを固定するとともにそれぞれ一定の時間間隔で搬送を行うように搬送装置を制御する制御装置とを備えている。
【選択図】 図24
【解決手段】搬送制御システムは、複数の搬送媒体が搬入されるとともにこれら搬入された搬送媒体を処理して搬出する複数の製造装置と、複数の製造装置間で前記複数の搬送媒体を搬送する搬送装置と、複数の製造装置の稼動を制御し、かつ、複数の製造装置間の搬送パターンを固定するとともにそれぞれ一定の時間間隔で搬送を行うように搬送装置を制御する制御装置とを備えている。
【選択図】 図24
Description
この発明は、搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法に関する。
一般に、液晶表示パネル等の工業製品を多数製造する場合、搬送制御システムが用いられている。例えば、液晶表示パネルの製造に用いる搬送制御システムは、液晶表示パネルを形成する複数の搬送媒体が収容されるカセットと、搬入される複数の搬送媒体を加工する複数の製造装置と、これら複数の製造装置間で複数の搬送媒体が収容されたカセットを自動で搬送する搬送装置とを有している(例えば、特許文献1参照)。
製造装置間でのカセットの搬送は、製造装置からの要求により行われる。
特開2004−277167号広報
製造装置間でのカセットの搬送は、製造装置からの要求により行われる。
しかしながら、カセット搬送の要求が同時に複数の製造装置からあった場合、搬送を要求してから完了するまでに時間がかかり、製造装置の稼働率に影響を与えてしまう可能性がある。また、搬送時間短縮のために搬送装置を増やした場合、搬送装置による搬送が滞ってしまう可能性があり、搬送装置を増やすことにも限界がある。
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、搬送効率に優れた搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法を提供することにある。
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、搬送効率に優れた搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法を提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明の態様に係る搬送制御システムは、
複数の搬送媒体が搬入されるとともにこれら搬入された搬送媒体を処理して搬出する複数の製造装置と、
前記複数の製造装置間で前記複数の搬送媒体を搬送する搬送装置と、
前記複数の製造装置の稼動を制御し、かつ、前記複数の製造装置間の搬送パターンを固定するとともにそれぞれ一定の時間間隔で搬送を行うように前記搬送装置を制御する制御装置とを備えている。
複数の搬送媒体が搬入されるとともにこれら搬入された搬送媒体を処理して搬出する複数の製造装置と、
前記複数の製造装置間で前記複数の搬送媒体を搬送する搬送装置と、
前記複数の製造装置の稼動を制御し、かつ、前記複数の製造装置間の搬送パターンを固定するとともにそれぞれ一定の時間間隔で搬送を行うように前記搬送装置を制御する制御装置とを備えている。
また、本発明の他の態様に係る搬送制御システムの制御方法は、
複数の搬送媒体が搬入されるとともにこれら搬入された搬送媒体を処理して搬出する複数の製造装置と、前記複数の製造装置間で前記複数の搬送媒体を搬送する搬送装置と、制御装置とを備えた搬送制御システムの制御方法において、
前記複数の製造装置の稼動を制御し、
前記複数の製造装置間の搬送パターンを固定するとともにそれぞれ一定の時間間隔で搬送を行うように前記搬送装置を制御している。
複数の搬送媒体が搬入されるとともにこれら搬入された搬送媒体を処理して搬出する複数の製造装置と、前記複数の製造装置間で前記複数の搬送媒体を搬送する搬送装置と、制御装置とを備えた搬送制御システムの制御方法において、
前記複数の製造装置の稼動を制御し、
前記複数の製造装置間の搬送パターンを固定するとともにそれぞれ一定の時間間隔で搬送を行うように前記搬送装置を制御している。
この発明によれば、搬送効率に優れた搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法を提供することができる。
以下、図面を参照しながらこの発明に係る搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法を液晶表示パネルの製造に用いる搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法に適用した実施の形態について詳細に説明する。始めに、搬送制御システムを用いて製造された液晶表示パネルの構成について説明する。
図1に示すように、液晶表示パネル100は、アレイ基板110と、対向基板120と、液晶層130と、シール材140と、アレイ基板または対向基板に設けられた図示しないカラーフィルタとを備えている。アレイ基板110は、透明な絶縁基板としてガラス基板111と、このガラス基板上に形成されたアレイパターン112と、アレイパターン上に形成されたスペーサとして複数本の柱状スペーサ113と、アレイパターン上全面に形成された配向膜114と、を有している。
アレイパターン112は、複数の走査線と、これら走査線に交差した複数の信号線と、これら走査線および信号線の各交差部近傍に位置したスイッチング素子としての薄膜トランジスタと、この薄膜トランジスタに接続された画素電極と等で形成されている。
対向基板120は、透明な絶縁基板としてガラス基板121と、このガラス基板上に形成された共通電極122と、この共通電極上に形成された配向膜123とを有している。配向膜114、123にはそれぞれ配向処理(ラビング)が施されている。
アレイ基板110および対向基板120は、柱状スペーサ113により所定の隙間を保持して対向配置され、両基板の周縁部に配置されたシール材140により互いに接合されている。液晶層130は、アレイ基板110および対向基板120の間に狭持されている。
次に、搬送制御システムについて説明する。
図2および図3に示すように、搬送制御システムは、製造装置群1と、搬送装置2と、制御装置3と、ストッカ4と、液晶表示パネルを形成する複数の搬送媒体が収容される図示しないカセット5と、を備えている。この実施の形態において、搬送装置2は、複数の搬送台車として、複数の自走式の自動搬送台車2aを有している。
図2および図3に示すように、搬送制御システムは、製造装置群1と、搬送装置2と、制御装置3と、ストッカ4と、液晶表示パネルを形成する複数の搬送媒体が収容される図示しないカセット5と、を備えている。この実施の形態において、搬送装置2は、複数の搬送台車として、複数の自走式の自動搬送台車2aを有している。
製造装置群1は、第1製造装置群1Aと、第2製造装置群1Bと、第3製造装置群1Cとを有している。第1製造装置群1Aは、第1製造装置10、第2製造装置20および装置コンピュータを有し、装置コンピュータはそれぞれ第1製造装置および第2製造装置に設けられている。第2製造装置群1Bは、第3製造装置30、第4製造装置40および装置コンピュータを有し、装置コンピュータはそれぞれ第3製造装置および第4製造装置に設けられている。第3製造装置群1Cは、第5製造装置50および装置コンピュータを有し、装置コンピュータは、第5製造装置に設けられている。
製造装置10、20、30、40、50およびストッカ4は自動搬送台車2aの搬送路6に沿って設けられている。自動搬送台車2aは、これら複数の製造装置間と、各製造装置およびストッカ4間とで複数の搬送媒体が収容されたカセット5を搬送する。この実施の形態において、複数の製造装置間と、各製造装置およびストッカ4間とにおいて、自動搬送台車2aが搬送指示を受けてから目的地(製造装置付近およびストッカ付近のいずれか)に到着するまで最大で5分かかる。
図1ないし図3に示すように、搬送制御システムは、例えば、アレイ基板110の配向膜114および対向基板120の配向膜123の形成と、これらアレイ基板および対向基板の貼り合せとを行うために用いられる。第1製造装置10および第2製造装置20は配向膜114、123を成膜する装置であり、第3製造装置30および第4製造装置40は配向膜に配向処理を施す装置であり、第5製造装置50はアレイ基板110と対向基板120とを貼り合せる装置である。
制御装置3は、ホストコンピュータ7と、搬送制御コンピュータ8とを有している。ホストコンピュータ7は、製造装置10、20、30、40、50の稼動を制御し、かつ、カセット5の情報を確認する。ホストコンピュータ7はカセット5の進捗管理のみを行う。搬送制御コンピュータ8は、各製造装置からの搬送要求に基づいて搬送装置2に搬送を指示する。
搬送制御コンピュータ8は、複数の製造装置間の搬送パターンと、各製造装置およびストッカ4間の搬送パターンを固定するとともにそれぞれ一定の時間間隔で搬送を行うように自動搬送台車2aを制御する。この実施の形態において、各製造装置およびストッカ4間の搬送パターンは図4に示すように固定されている。なお、自動搬送台車2aは搬送制御コンピュータ8の制御により自動搬送を行う自動搬送装置として形成されている。
図5に示すように、製造装置10、20、30、40、50は、それぞれカセット5を搬入するための複数のポートPを有している。第1製造装置10および第2製造装置20は、ポートP1、P2、P3、P4の4つのポートをそれぞれ有している。第3製造装置30および第4製造装置40は、ポートP1、P2の2つのポートをそれぞれ有している。第5製造装置50は、ポートP1、P2、P3の3つのポートを有している。
この実施の形態において、製造装置には、ポート毎にフラグ番号が設けられ、ポートカウンタが設定されている。製造装置は、ポート毎にそれぞれ設けられた搬送要求フラグおよび異常フラグを有している。
カセット5がポートPに搬入され、加工処理されてから搬出されるまでの間、ホストコンピュータ7が各製造装置を制御する時間、すなわちリードタイムTは、第1製造装置群1Aでそれぞれ60分、第2製造装置群1Bでそれぞれ30分、第3製造装置群1Cで20分である。
カセット5の複数の搬送媒体の加工処理が終了としてカウントされる処理終了タイマは、第1製造装置群1Aでそれぞれ55分、第2製造装置群1Bでそれぞれ25分、第3製造装置群1Cで15分である。このため、各製造装置群の製造装置は、処理終了タイマが経過する前に加工処理を終了させるように形成されている。
第1製造装置群1Aのタクト(1枚のガラス基板111上に配向膜114を成膜するためにかかる時間または1枚のガラス基板121上に配向膜123を成膜するためにかかる時間)は60秒である。第2製造装置群1Bのタクト(1つの配向膜114に配向処理を施す時間または1つの配向膜123に配向処理を施す時間)は60秒である。第3製造装置群1Cのタクト(1組のアレイ基板110および対向基板120をシール材140で貼り合せる時間)は30秒である。
カセット5には複数の搬送媒体が収容されているため、各製造装置には、複数の搬送媒体がまとまって搬入される。搬入された複数の搬送媒体は加工処理された後、カセット5に収容され、カセットごと搬出される。
後述するが、搬送制御コンピュータ8は、カセット5の複数の搬送媒体の加工処理が終了する前に、自動搬送台車2aに搬送を開始させ、加工処理が終了するカセットが搬入されたポート付近に予め自動搬送台車2aを待機させている。これにより、加工処理が終了し後に自動搬送台車2aに搬送指示した場合にかかる搬送時間の分、製造時間を短縮できる。
後述するが、搬送制御コンピュータ8は、カセット5の複数の搬送媒体の加工処理が終了する前に、自動搬送台車2aに搬送を開始させ、加工処理が終了するカセットが搬入されたポート付近に予め自動搬送台車2aを待機させている。これにより、加工処理が終了し後に自動搬送台車2aに搬送指示した場合にかかる搬送時間の分、製造時間を短縮できる。
ここで、上記した搬送制御システムを用いた液晶表示パネルの製造方法の概略を説明する。
図1ないし図4に示すように、上記した搬送制御システムを用いて液晶表示パネルを製造する場合、まず、ストッカ4には、搬送媒体としてアレイパターン112および柱状スペーサ113が形成されたガラス基板111と、共通電極122が形成されたガラス基板121とがそれぞれ複数収容されたカセット5が入庫されている。
図1ないし図4に示すように、上記した搬送制御システムを用いて液晶表示パネルを製造する場合、まず、ストッカ4には、搬送媒体としてアレイパターン112および柱状スペーサ113が形成されたガラス基板111と、共通電極122が形成されたガラス基板121とがそれぞれ複数収容されたカセット5が入庫されている。
ストッカ4に入庫されたカセット5は第1製造装置10または第2製造装置20に搬送され、配向膜114、123の成膜が行われる。続いて、カセット5は第3製造装置30または第4製造装置40に搬送され、配向膜114、123に施す配向処理が行われる。次いで、カセット5は第5製造装置50に搬送され、アレイ基板110と対向基板120との貼り合せが行われて空状態の表示パネルが形成される。その後、搬送媒体として表示パネルが複数収容されたカセット5がストッカ4に搬送され、入庫される。これにより、搬送制御システムを用いた液晶表示パネルの製造が完了する。
次に、上記した搬送制御システムの制御方法について説明する。
始めに、製造装置10、20、30、40、50の各ポートPに複数のカセット5が一定の時間間隔で順に搬入され、加工処理されてから搬出されるまでの間、ホストコンピュータ7で行われるカセットの処理時間の管理方法を、加工処理終了を予測して自動搬送台車2aに搬送指示をおこなう搬送制御コンピュータ8の搬送ロジックと併せて説明する。ここでは、製造装置10、20、30、40、50の1つに1つのカセット5が搬入された場合について説明する。なお、ホストコンピュータ7は、ポートP毎のカセット5の処理時間の管理を行っている。
始めに、製造装置10、20、30、40、50の各ポートPに複数のカセット5が一定の時間間隔で順に搬入され、加工処理されてから搬出されるまでの間、ホストコンピュータ7で行われるカセットの処理時間の管理方法を、加工処理終了を予測して自動搬送台車2aに搬送指示をおこなう搬送制御コンピュータ8の搬送ロジックと併せて説明する。ここでは、製造装置10、20、30、40、50の1つに1つのカセット5が搬入された場合について説明する。なお、ホストコンピュータ7は、ポートP毎のカセット5の処理時間の管理を行っている。
図6に示すように、製造装置のポートPにカセット5が搬入され、ポートに搬入されたカセットの処理時間の管理がスタートすると、まず、ステップS1aにおいて、製造装置は、ホストコンピュータ7に搬送媒体の加工処理開始の報告をする。これにより、ステップS2aにおいて、ホストコンピュータ7は、ポートPに搬入されたカセット5の複数の搬送媒体の加工処理が終了するまでの処理時間のカウントを開始する。処理時間のカウントが開始されるとほぼ同時に、ステップS3aにおいて、ホストコンピュータ7は、加工処理が終了するカセット5が搬入されたポートP付近への自動搬送台車2aの搬送を開始させるまでの時間のカウントを開始する。
次いで、搬送媒体の加工処理が行われる間、ステップS4aにおいて、ホストコンピュータ7は、製造装置からダウン報告があるかどうか判断する。すなわち、製造装置のトラブル等で搬送媒体の加工処理の処理時間が長い等、異常でないかどうか判断する。ダウン報告がない場合、すなわち、搬送媒体の加工処理が正常に行われた場合、ステップS9aにおいて、ホストコンピュータ7は、製造装置による加工処理の終了する処理時間がカウントアップとなったかどうか判断する。すなわち、加工処理の終了する処理時間(処理終了時間)としてカウントされたかどうか判断する。
処理時間がカウントアップとなった場合、すなわち、加工処理が終了し、加工処理の終了する処理時間となると、ポートPから自動搬送台車2aへのカセット5の搬送が可能な時間としてカウントされ、ステップS10aにおいて、ホストコンピュータ7の指示により装置コンピュータは、製造装置のポートPの搬送要求フラグをONにする。
ここで、処理時間がカウントアップとなる少なくとも5分前、より詳しくは、自動搬送台車2aの搬送を開始させる時間としてカウントされた際に、ホストコンピュータ7は、加工処理が終了するカセット5が搬入されたポートP付近への自動搬送台車2aの搬送を開始させる。
搬送要求フラグがONになると、搬送制御コンピュータ8の制御により、カセット5をポートPからこのポート付近の自動搬送台車2aに搬出させることにより、カセット5の処理時間の管理が終了する。
処理時間がカウントアップしなかった場合(ステップS9a)、例えば、加工処理の終了する処理時間とならずに加工処理が継続している場合、製造装置からダウン報告があるかどうか判断する(ステップS4a)。
図6および図7に示すように、ステップS4aにおいて、ダウン報告がある場合、すなわち、搬送媒体の加工処理が異常であった場合、ステップS5aにおいて、ホストコンピュータ7は、カセット5の複数の搬送媒体の加工処理が終了するまでの処理時間のカウントを一時停止させる。これにより、搬送媒体の加工処理も一時停止となる。すると、ステップS6aにおいて、ホストコンピュータ7は、製造装置のポートPの異常フラグをONにする。また、ステップS7aにおいて、ホストコンピュータ7は、搬送媒体の加工処理が正常に行うことができるまで製造装置に復帰待ちをさせる。
その後、ステップS8aにおいて、製造装置が搬送媒体の加工処理を正常に行える状態となった場合、ホストコンピュータ7は、カセット5の複数の搬送媒体の加工処理が終了するまでの処理時間のカウントを再開する。処理時間のカウントを再開すると、ホストコンピュータ7は、製造装置による加工処理の終了する処理時間がカウントアップとなったかどうか判断する(ステップS9a)。
次に、複数のカセット5をストッカ4から第1製造装置群1Aに一定の時間間隔Iで順に搬送する搬送方法を、図1ないし図5、および図8ないし図13を参照しながら説明する。この実施の形態において、カセット5は、通常10分間隔でストッカ4から第1製造装置群1Aに搬送される。
図8に示すように、ストッカ4に複数のカセット5が入庫されている状態若しくは10分間隔でストッカ4からカセット5を搬出できる状態において、ストッカから第1製造装置群1Aへのカセットの搬送がスタートすると、まず、ステップS1bにおいて、ホストコンピュータ7は、ポートカウンタAを1に設定する。次いで、ステップS2bにおいて、ストッカ4からカセット5の出庫が開始される。これにより、ステップS3bにおいて、搬送制御コンピュータ8は、自動搬送台車2aをストッカ4へ移動させる。
続いて、ステップS4bにおいて、ホストコンピュータ7は、カセット5のアンロードを開始させる。すなわち、ホストコンピュータ7は、カセット5をストッカ4から出庫させて自動搬送台車2aに移載させる。カセット5のアンロードが完了すると、ステップS5bにおいて、搬送制御コンピュータ8は、自動搬送台車2aを移動させ、第1製造装置群1AのポートカウンタAが1の第1製造装置10のポートP1付近へカセットを搬送させる。
その後、ステップS6bにおいて、ホストコンピュータ7は、カセット5のロードを指示する。すなわち、搬送制御コンピュータ8は、カセット5を自動搬送台車2aから第1製造装置10のポートP1に搬入させる。これにより、ステップS7bにおいて、カセット5のロードが完了すると、第1製造装置10はガラス基板111への配向膜114の成膜またはガラス基板121への配向膜123の成膜を開始するとともにホストコンピュータ7は、ポートカウンタAの設定を変更しA+1に設定する。ここでは、ホストコンピュータ7は、ポートカウンタAを2に設定する。
図9に示すように、続いて、ステップS8bにおいて、ホストコンピュータ7は、カセット5が投入されてからの時間のカウントを開始する。ここでは、第1製造装置10のポートP1にカセット5が搬入されてからの時間のカウントを開始する。その後、ステップS9bにおいて、ホストコンピュータ7が上記時間のカウントを開始してから5分が経過すると、ステップS10bにおいて、ホストコンピュータ7は、ストッカ4に異常入庫されたカセットがあるかどうか判断する。
より詳しくは、ストッカ4の異常棚にカセット5が入庫されているかどうか判断する。なお、上記判断する際、ホストコンピュータ7は、異常入庫カウンタが0か、1以上か、の情報を基に判断する。ここで、異常入庫カウンタとは、異常棚に入庫されたカセット5の数である。また、ストッカ4の異常棚にカセット5が入庫される場合としては、第2製造装置群1Bの異常により第1製造装置群1Aから入庫される場合や、第5製造装置50の異常により第2製造装置群1Bから入庫される場合等がある。なお、異常棚へのカセット5の入庫については後述する。
ストッカ4に異常入庫されたカセットがない場合(ステップS10b)、ステップS11bにおいて、ホストコンピュータ7は、ポートカウンタAにカセット5のロード要求があるかどうか判断する。ここでは、ポートカウンタAは2に設定されているため、第2製造装置20のポートP1へのカセット5搬入の要求があるかどうか判断する。
ポートカウンタAにカセット5のロード要求がある場合、ステップS12bにおいて、搬送制御コンピュータ8は、自動搬送台車2aをストッカ4へ移動させる。続いて、ステップS13bにおいて、ストッカ4からカセット5の出庫を開始すると、ステップS14bにおいて、ホストコンピュータ7は、カセット5のアンロードを開始させる。すなわち、ホストコンピュータ7は、カセット5をストッカ4から出庫させて自動搬送台車2aに移載させる。
カセット5のアンロードが完了すると、ステップS15bにおいて、搬送制御コンピュータ8は、自動搬送台車2aを移動させ、第1製造装置群1AのポートカウンタAが2の第2製造装置20のポートP1付近へカセットを搬送させる。
図10に示すように、次いで、ステップS16bにおいて、自動搬送台車2aの移動が完了すると、搬送制御コンピュータ8は、自動搬送台車2aを待機させる。
図10に示すように、次いで、ステップS16bにおいて、自動搬送台車2aの移動が完了すると、搬送制御コンピュータ8は、自動搬送台車2aを待機させる。
その後、ステップS17bにおいて、ホストコンピュータ7が、上記時間のカウント(ここでは、第1製造装置10のポートP1にカセット5が搬入されてからの時間のカウント)を開始してから10分が経過すると、ステップS18bにおいて、ホストコンピュータ7は、カセット5のロードを指示する。このため、搬送制御コンピュータ8は、カセット5を自動搬送台車2aから第2製造装置20のポートP1に搬入させる。
これにより、ステップS19bにおいて、カセット5のロードが完了する。すると、第2製造装置20はガラス基板111への配向膜114の成膜またはガラス基板121への配向膜123の成膜を開始する。
その後、ステップS20bにおいて、ホストコンピュータ7は、カセット5の搬送指示があるかどうか判断し、カセット5の搬送指示がない場合、カセット5のストッカ4から第1製造装置群1Aへの搬送は終了する。
図11に示すように、カセット5の搬送指示がある場合(ステップS20b)、ステップS27bにおいて、ホストコンピュータ7は、ポートカウンタAの設定を変更しA+1に設定する。ここでは、ホストコンピュータ7は、ポートカウンタAを3に設定する。
図11に示すように、カセット5の搬送指示がある場合(ステップS20b)、ステップS27bにおいて、ホストコンピュータ7は、ポートカウンタAの設定を変更しA+1に設定する。ここでは、ホストコンピュータ7は、ポートカウンタAを3に設定する。
続いて、ステップS28bにおいて、ホストコンピュータ7は、ポートカウンタAが8を超えているかどうか判断する。ここでは、第1製造装置群1AのポートカウンタAが1ないし8であるため、上記したように判断する。
ポートカウンタAが8を超えていない場合(ステップS28b)、ステップS8bに移行する。ここでは、ポートカウンタAは3に設定されているため、上記したようにステップS8bに移行することになる。ポートカウンタAが8を超えた場合(ステップS28b)、ステップS29bにおいて、ホストコンピュータ7は、ポートカウンタAを1に設定した後、ステップS8bに移行する。
図9および図12に示すように、上記ステップS10bにおいて、ストッカ4に異常入庫されたカセット5がある場合、ステップS21bにおいて、ホストコンピュータ7は、異常入庫カウンタを異常入庫カウンタ−1に設定する。
その後、ステップS22bにおいて、ホストコンピュータ7が、上記時間のカウント(ここでは、第1製造装置10のポートP1にカセット5が搬入されてからの時間のカウント)を開始してから10分が経過すると、ステップS23bにおいて、ホストコンピュータ7は、上記時間をリセットし、ステップS27bに移行する。
上記したように、ステップS21b、S22b、S23bは、ストッカ4の異常棚にカセット5が入庫されている場合に、カセット5のストッカ4から第1製造装置群1Aへの搬送を一度見送る工程である。
図9および図13に示すように、上記ステップS11bにおいて、ポートカウンタAにカセット5のロード要求がない場合、ステップS24bにおいて、ホストコンピュータ7は、ポートカウンタAの設定を変更しA+1に設定する。ここでは、ホストコンピュータ7は、ポートカウンタAを3に設定する。
その後、ステップS25bにおいて、ホストコンピュータ7が、上記時間のカウント(ここでは、第1製造装置10のポートP1にカセット5が搬入されてからの時間のカウント)を開始してから10分が経過すると、ステップS26bにおいて、ホストコンピュータ7は、上記時間をリセットし、ステップS27bに移行する。
上記したように、ステップS24b、S25b、S26bは、第1製造装置群1AのポートカウンタAのポートPに異常が生じ、カセットを異常が生じたポートPに搬送できない場合に、カセット5のストッカ4から第1製造装置群1Aへの搬送を一度見送る工程である。
以後、カセット5搬送の指示がある限り、上記説明した工程(ステップS8bないしステップS29b)が繰り返し行われる。これにより、図24に示すように、通常、カセット5は、10分間隔でストッカ4から第1製造装置群1Aに搬送されることになる。
以後、カセット5搬送の指示がある限り、上記説明した工程(ステップS8bないしステップS29b)が繰り返し行われる。これにより、図24に示すように、通常、カセット5は、10分間隔でストッカ4から第1製造装置群1Aに搬送されることになる。
次に、カセット5を製造装置群Xから製造装置群Yに一定の時間間隔で順に搬送する搬送方法を図1ないし図5、および図14ないし図19を参照しながら説明する。製造装置群Xから製造装置群Yへの搬送としては、第1製造装置群1Aから第2製造装置群1Bへの搬送と、第2製造装置群1Bから第3製造装置群1Cへの搬送とを含んでいる。ここでは、カセット5を第1製造装置群1Aから第2製造装置群1Bへ搬送する搬送方法を例に説明する。この実施の形態において、カセット5は、通常10分間隔で第1製造装置群1Aから第2製造装置群1Bに搬送される。
図14に示すように、第1製造装置群1Aから第2製造装置群1Bへのカセットの搬送がスタートすると、まず、ステップS1cにおいて、ホストコンピュータ7は、第1製造装置群1Aのカセット移動タイマのカウントを開始する。続いて、ステップS2cにおいて、ホストコンピュータ7は、第1製造装置群1Aのカセット搬送要求フラグがONになっているかどうか確認し、ステップS3cにおいて、ホストコンピュータ7は、第1製造装置群1Aの搬送要求フラグがONになっているポートがあるかどうか判断する。搬送要求ONポートがある場合はステップS4cへ、搬送要求ONポートがない場合はステップS13cへ移行する(図17)。
ここで、図26に示すように、搬送制御コンピュータ8は、カセット5を第1製造装置群1Aから第2製造装置群1Bへ搬送するための第2プログラムの起動(ステップS3e)を、カセット5をストッカ4から第1製造装置群1Aへ搬送するための第1プログラムを起動(ステップS1e)してから5分経過後(ステップS2e)に行っている。
この実施の形態において、第2プログラム起動時に、第1製造装置群1Aに搬送要求フラグがONになっているポートはないが、その後、第1製造装置10のポートP1で搬送要求フラグが最初にONになる。上記したことから、第1製造装置10のポートP1の処理終了タイマがカウントアップとなるとほぼ同時に第1製造装置10のポートP1の搬送要求フラグがONになり、かつ、上記第1製造装置10のポートP1のカセット移動タイマのカウントが開始される。以下、第1製造装置10のポートP1の搬送要求フラグがONになったとして説明する。
第1製造装置群1Aに搬送要求フラグがONになっているポートがある場合、ステップS4cにおいて、搬送要求フラグがONになっているポートが複数あるか確認し、複数ある場合は条件の確認を行って1つのポートを選択する。
図19に示すように、条件を確認する際は、まず、異常フラグONポートより異常フラグOFFポートを優先して1つのポートを選択する。これでも1つのポートを選択できない場合は処理終了タイマ値が大きいポートを優先して1つのポートを選択する。ここでは、第1製造装置群1Aの搬送要求フラグONポートは1つのみであり、続いて、ステップS5cに移行する。
ステップS5cにおいて、搬送制御コンピュータ8は、自動搬送台車2aを搬送要求があるポートへ移動させ、ステップS6cにおいて、目的地への自動搬送台車の移動が完了する。これにより、第1製造装置10のポートP1付近への自動搬送台車2aの移動が完了する。
図15に示すように、次いで、ステップS7cにおいて、製造装置の装置コンピュータより搬送要求があると、ステップS8cにおいて、ホストコンピュータ7は、カセット5のアンロードを指示する。その後、ステップS9cにおいて、カセット5のアンロードが完了すると、ステップS10cにおいて、ホストコンピュータ7の指示により装置コンピュータは搬送要求フラグをOFFにするとともに処理終了タイマをOFFにする。これにより、第1製造装置10のポートP1の搬送要求フラグがOFFになるとともに処理終了タイマもOFFになる。
その後、ステップS11cにおいて、ホストコンピュータ7は、第2製造装置群1Bにロード要求のポートPがあるかどうか判断する。ロード要求のポートPがある場合はステップS12cへ、ロード要求のポートがない場合はステップS27cへそれぞれ移行する(図18)。ここでは、第2製造装置群1Bの全てのポートPでロード要求しているため、ステップS12cへ移行する。
ステップS12cにおいて、ホストコンピュータ7は、第2製造装置群1Bにロード要求のポートPが複数あるか確認し、複数ある場合にはポートカウンタBの若い番号を選択する。ここでは、第3製造装置30のポートP1でポートカウンタBが1であるため、第3製造装置30のポートP1がロード要求ポートとして選択される。
図16に示すように、続いて、ステップS20cにおいて、搬送制御コンピュータ8は、自動搬送台車2aを搬送要求があるポートへ移動させ、ステップS21cにおいて、目的地への自動搬送台車の移動が完了する。これにより、第3製造装置30のポートP1付近への自動搬送台車2aの移動が完了し、搬送制御コンピュータ8は、自動搬送台車2aを待機させる。
次いで、ステップS22cにおいて、ホストコンピュータ7が、第1製造装置群1Aのカセット移動タイマのカウントを開始してから10分が経過すると、ステップS23cにおいて、ホストコンピュータ7は、カセット5のロードを指示する。このため、搬送制御コンピュータ8は、カセット5を自動搬送台車2aから第3製造装置30のポートP1に搬入させる。これにより、ステップS24cにおいて、カセット5のロードが完了する。すると、第3製造装置30は、配向膜114への配向処理または配向膜123への配向処理を開始する。
その後、ステップS25cにおいて、ホストコンピュータ7は、カセット5の搬送指示があるかどうか判断し、カセット5の搬送指示がない場合、カセット5の第1製造装置群1Aから第2製造装置群1Bへの搬送は終了する。
カセット5の搬送指示がある場合(ステップS25c)、ステップS26cにおいて、ホストコンピュータ7は、第1製造装置群1Aのカセット移動タイマをリセットし、ステップS1cに移行する(図14)。
図15および図18に示すように、上記ステップS11cにおいて、ロード要求のポートがない場合、ステップS27cにおいて、ホストコンピュータ7は、異常入庫カウンタを異常入庫カウンタ+1に設定する。
続いて、ステップS28cにおいて、ホストコンピュータ7は、カセット5のストッカ4への移動を指示する。これにより、搬送制御コンピュータ8は、自動搬送台車2aをストッカ4へ移動させ、ステップS29cにおいて、カセット5をストッカ4へ入庫させる。その後、ステップS30cにおいて、ホストコンピュータ7は、第1製造装置群1Aのカセット移動タイマをリセットし、ステップS1cに移行する(図14)。
上記したように、ステップS27c、S28c、S29c、S30cは、第2製造装置群1Bがダウンして、この第2製造装置群1Bにカセット5を搬送できない場合に、カセット5を第1製造装置群1Aからストッカ4へ搬送する工程である。
図14および図17に示すように、上記ステップS3cにおいて、搬送要求ONポートがない場合、ステップS13cにおいて、ホストコンピュータ7は、ストッカ4の異常棚に入庫された第2製造装置群1B処理待ちのカセット5があるかどうか判断する。処理待ちのカセット5がある場合はステップS14cへ、処理待ちのカセット5がない場合はステップS18cへそれぞれ移行する。
処理待ちのカセット5がある場合(ステップS13c)、ステップS14cにおいて、ホストコンピュータ7が、第1製造装置群1Aのカセット移動タイマのカウントを開始してから5分が経過すると、ステップS15cにおいて、ホストコンピュータ7は、第2製造装置群1Bにロード要求のポートPがあるかどうか判断する。ロード要求のポートPがある場合はステップS16cへ、ロード要求のポートがない場合はステップS18cへそれぞれ移行する。
ロード要求のポートPがある場合(ステップS15c)、ステップS16cにおいて、搬送制御コンピュータ8は、自動搬送台車2aをストッカ4へ移動させる。続いて、ステップS17cにおいて、ホストコンピュータ7は、カセット5のアンロードを開始させる。すなわち、ホストコンピュータ7は、カセット5をストッカ4の異常棚から出庫させて自動搬送台車2aに移載させる。カセット5のアンロードが完了すると、ステップS20cに移行する(図16)。
処理待ちのカセット5がない場合(ステップS13c)およびロード要求のポートPがない場合(ステップS15c)、ステップS18cにおいて、ホストコンピュータ7が、第1製造装置群1Aのカセット移動タイマのカウントを開始してから10分が経過すると、ステップS19cにおいて、ホストコンピュータ7は、第1製造装置群1Aのカセット移動タイマをリセットし、ステップS1cに移行する(図14)。
上記したように、ステップS13c、S14c、S15c、S16c、S17cは、ストッカ4の異常棚にカセット5が入庫されている場合に、カセット5をストッカ4の異常棚から出庫させる工程である。また、ステップS18c、S19cは、第1製造装置群1Aに搬送要求フラグがONになっているポートがなく、さらにストッカ4の異常棚にカセット5が入庫されていない場合に、第1製造装置群1A及びストッカ4から第2製造装置群1Bへのカセット5の搬送を一度見送る工程である。
以後、カセット5の搬送指示がある限り、上記説明した工程(ステップS1cないしステップS30c)が繰り返し行われる。これにより、図24に示すように、カセット5は、通常、10分間隔で第1製造装置群1Aから第2製造装置群1Bに搬送されることになる。なお、第2製造装置群1Bから第3製造装置群1Cへの搬送においても、通常、10分間隔でカセット5が搬送されることになる。
次に、複数のカセット5を第3製造装置群1Cからストッカ4に一定の時間間隔で順に搬送する方法を、図1ないし図5、および図20ないし図23を参照しながら説明する。この実施の形態において、カセット5は、通常10分間隔で第3製造装置群1Cからストッカ4に搬送される。
図20に示すように、第3製造装置群1Cからストッカ4へのカセットの搬送がスタートすると、まず、ステップS1dにおいて、ホストコンピュータ7は、第3製造装置群1Cのカセットの移動タイマのカウントを開始する。
続いて、ステップS2dにおいて、ホストコンピュータ7は、第3製造装置群1Cのカセット搬送要求フラグがONになっているかどうか確認し、ステップS3dにおいて、ホストコンピュータ7は、第3製造装置群1Cの搬送要求フラグがONになっているポートがあるかどうか判断する。搬送要求ONポートがある場合はステップS6d(図21)へ、搬送要求ONポートがない場合はステップS4dへ移行する。
ここで、図26に示すように、搬送制御コンピュータ8は、カセット5を第3製造装置群1Cからストッカ4へ搬送するための第2プログラムの起動(ステップS3e)を、カセット5を第2製造装置群1Bから第3製造装置群1Cへ搬送するための第1プログラムを起動(ステップS1e)してから5分経過後(ステップS2e)に行っている。
この実施の形態において、第2プログラム起動時に、第3製造装置群1Cに搬送要求フラグがONになっているポートはない。この場合、ステップS4dにおいて、ホストコンピュータ7が、第3製造装置群1Cのカセット移動タイマのカウントを開始してから10分が経過すると、ステップS5dにおいて、ホストコンピュータ7は、第3製造装置群1Cのカセット移動タイマをリセットし、ステップS1dに移行する。
上記したように、ステップS4d、S5dは第3製造装置群1Cに搬送要求フラグがONになっているポートがない場合に、第3製造装置群1Cからストッカ4へのカセット5の搬送を一度見送る工程である。
その後、第5製造装置50のポートP1で搬送要求フラグが最初にONになる。第2プログラムの起動が第1プログラムを起動してから5分経過後に行われることからも、第5製造装置50のポートP1の処理終了タイマがカウントアップとなるとほぼ同時に第5製造装置50のポートP1の搬送要求フラグがONになり、かつ、上記第5製造装置50のポートP1のカセット移動タイマのカウントが開始される。以下、第5製造装置50のポートP1の搬送要求フラグがONになったとして説明する。
図21に示すように、第5製造装置50に搬送要求フラグがONになっているポートがある場合、ステップS6dにおいて、搬送要求フラグがONになっているポートが複数あるか確認し、複数ある場合は条件の確認を行って1つのポートを選択する。
図23に示すように、条件を確認する際は、まず、異常フラグONポートより異常フラグOFFポートを優先して1つのポートを選択する。これでも1つのポートを選択できない場合は処理終了タイマ値が大きいポートを優先して1つのポートを選択する。ここでは、第3製造装置群1Cの搬送要求フラグONポートは、第5製造装置50のポートP1のみのであり、続いて、ステップS7dに移行する。
ステップS7dにおいて、搬送制御コンピュータ8は、自動搬送台車2aを搬送要求があるポートへ移動させ、ステップS8dにおいて、目的地への自動搬送台車の移動が完了する。これにより、第5製造装置50のポートP1付近への自動搬送台車2aの移動が完了する。
次いで、ステップS9dにおいて、第5製造装置50の装置コンピュータより搬送要求があると、ステップS10dにおいて、ホストコンピュータ7は、カセット5のアンロードを指示する。その後、ステップS11dにおいて、カセット5のアンロードが完了すると、ステップS12dにおいて、ホストコンピュータ7の指示により装置コンピュータは搬送要求フラグをOFFにするとともに処理終了タイマをOFFにする。これにより、第5製造装置50のポートP1の搬送要求フラグがOFFになるとともに処理終了タイマもOFFになる。
図22に示すように、次いで、ステップS13dにおいて、ホストコンピュータ7は、カセット5のストッカ4への搬送を指示する。これにより、搬送制御コンピュータ8は、自動搬送台車2aをストッカ4へ移動させ、ステップS14dにおいて、自動搬送台車2aはストッカ4へ到着する。
続いて、ステップS15dにおいて、ホストコンピュータ7は、カセット5のロードを指示する。このため、搬送制御コンピュータ8は、カセット5を自動搬送台車2aからストッカ4に入庫させる。これにより、カセット5のロードが完了する。
その後、ステップS16dにおいて、ホストコンピュータ7は、カセット5の搬送指示があるかどうか判断し、カセット5の搬送指示がない場合、カセット5の第5製造装置50からストッカ4への搬送は終了する。
カセット5の搬送指示がある場合(ステップS16d)、ステップS17dにおいて、ホストコンピュータ7は、第3製造装置群1Cのカセット移動タイマをリセットし、ステップS1dに移行する(図20)。
以後、カセット5の搬送指示がある限り、上記説明した工程(ステップS1dないしステップS18d)が繰り返し行われる。これにより、図24に示すように、通常、カセット5は、10分間隔で第5製造装置50からストッカ4に搬送されることになる。
次に、製造装置の加工処理に異常があった場合のカセット5の搬送方法について説明する。ここでは、ストッカ4から10番目に出庫されたカセット5の加工処理に異常があった場合について説明する。
図25に示すように、第4製造装置40のポートP1で行われる10番目のカセット5の加工処理に異常があり、加工処理が正常に終了しなかった場合、ホストコンピュータ7は、この第4製造装置40にカセット5の搬送媒体の加工処理を継続させるように制御するとともにこの第4製造装置40のポートP1に搬送予定の14番目のカセット5をストッカに搬送させるように制御する。
また、ホストコンピュータ7は、第4製造装置40でのカセット5の搬送媒体の処理が正常に終了しなかった場合に、ストッカ4から第1製造装置群1Aへのカセット5の新規搬送を一度見送るように制御する。
上記したことから、カセット5の一定の時間間隔での搬送が可能となり、ストッカ4の異常棚に入庫されるカセット5の数を低減することができ、ひいては異常棚の棚数を低減することができる。
また、第4製造装置40でのカセット5の搬送媒体の処理が終了した後、カセット5は、ストッカ4にではなく、第5製造装置50のポートP2に直接搬送される。これによっても、異常棚の棚数を低減することができる
以上のように構成された搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法によれば、ホストコンピュータ7は、ストッカ4、第1製造装置群1A、第2製造装置群1Bおよび第3製造装置群1C間のそれぞれの搬送パターンを固定している。また、搬送制御コンピュータ8は、ストッカ4、第1製造装置群1A、第2製造装置群1Bおよび第3製造装置群1C間をそれぞれ一定の時間間隔で搬送を行うように制御している。
以上のように構成された搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法によれば、ホストコンピュータ7は、ストッカ4、第1製造装置群1A、第2製造装置群1Bおよび第3製造装置群1C間のそれぞれの搬送パターンを固定している。また、搬送制御コンピュータ8は、ストッカ4、第1製造装置群1A、第2製造装置群1Bおよび第3製造装置群1C間をそれぞれ一定の時間間隔で搬送を行うように制御している。
これにより、搬送効率に優れた搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法を得ることができる。このため、同時に複数の製造装置からカセット搬送の要求があっても、製造装置の稼働率に影響を与えることなくカセットを効率良く搬送することができる。
自動搬送台車2aの台数を最小限に抑えることができる。このため、自動搬送台車2aの台数を増やした場合に、自動搬送台車が原因で生じる自動搬送台車の渋滞を回避することができる。また、ストッカ4の異常棚に入庫されるカセット5の数を低減できるため、搬送媒体の在庫を抑えることもできる。
なお、この発明は、上述した実施の形態に限定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能である。例えば、この発明は、液晶表示パネルの製造に用いる搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法に限定されるものではなく、複数の製造装置間を搬送して製造を行う搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法であれば適用することができる。
1…製造装置群、1A…第1製造装置群、1B…第2製造装置群、1C…第3製造装置群、2…搬送装置、2a…自動搬送台車、3…制御装置、4…ストッカ、5…カセット、7…ホストコンピュータ、8…搬送制御コンピュータ、10,20,30,40,50…製造装置、100…液晶表示パネル、X…製造装置群、Y…製造装置群。
Claims (8)
- 複数の搬送媒体が搬入されるとともにこれら搬入された搬送媒体を処理して搬出する複数の製造装置と、
前記複数の製造装置間で前記複数の搬送媒体を搬送する搬送装置と、
前記複数の製造装置の稼動を制御し、かつ、前記複数の製造装置間の搬送パターンを固定するとともにそれぞれ一定の時間間隔で搬送を行うように前記搬送装置を制御する制御装置とを備えている搬送制御システム。 - 前記制御装置は、前記製造装置での前記搬送媒体の処理が終了する前に予め前記搬送装置を前記搬送媒体の処理が行われている前記製造装置付近に待機させるように制御する請求項1に記載の搬送制御システム。
- ストッカを備え、
前記制御装置は、前記製造装置での前記搬送媒体の処理が正常に終了しなかった場合に、この製造装置に前記搬送媒体の処理を継続させるように制御するとともにこの製造装置に搬送予定の前記搬送媒体を前記ストッカに搬送させるように制御する請求項1に記載の搬送制御システム。 - 前記制御装置は、前記製造装置での前記搬送媒体の処理が正常に終了しなかった場合に、これら製造装置への前記搬送媒体の新規搬送を見送るように制御する請求項3に記載の搬送制御システム。
- 複数の搬送媒体が搬入されるとともにこれら搬入された搬送媒体を処理して搬出する複数の製造装置と、前記複数の製造装置間で前記複数の搬送媒体を搬送する搬送装置と、制御装置とを備えた搬送制御システムの制御方法において、
前記複数の製造装置の稼動を制御し、
前記複数の製造装置間の搬送パターンを固定するとともにそれぞれ一定の時間間隔で搬送を行うように前記搬送装置を制御する搬送制御システムの制御方法。 - 前記搬送装置の搬送を行う際は、前記製造装置での前記搬送媒体の処理が終了する前に予め前記搬送装置を前記搬送媒体の処理が行われている前記製造装置付近に待機させる請求項5に記載の搬送制御システムの制御方法。
- 前記製造装置での前記搬送媒体の処理が正常に終了しなかった場合に、この製造装置に前記搬送媒体の処理を継続させるように制御するとともにこの製造装置に搬送予定の前記搬送媒体をストッカに搬送させるように制御する請求項5に記載の搬送制御システムの制御方法。
- 前記製造装置での前記搬送媒体の処理が正常に終了しなかった場合に、これら製造装置への前記搬送媒体の新規搬送を見送るように制御する請求項7に記載の搬送制御システムの制御方法。
Priority Applications (1)
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JP2005330224A JP2007141942A (ja) | 2005-11-15 | 2005-11-15 | 搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法 |
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JP (1) | JP2007141942A (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2011016619A (ja) * | 2009-07-08 | 2011-01-27 | Ihi Corp | 搬送装置及び搬送装置制御方法 |
JP2011091197A (ja) * | 2009-10-22 | 2011-05-06 | Toppan Printing Co Ltd | 異常検出システム |
JP2014104645A (ja) * | 2012-11-27 | 2014-06-09 | Ricoh Co Ltd | 物体処理システム |
CN118280499A (zh) * | 2024-06-04 | 2024-07-02 | 中国海洋大学 | 一种耐腐蚀材料的稳定性评估方法 |
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2005
- 2005-11-15 JP JP2005330224A patent/JP2007141942A/ja active Pending
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